JP5353005B2 - 露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
本願は、2005年7月11日に出願された特願2005−201582号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
本発明の第1の観点による露光装置は、第1ステージ(WST)と、第2ステージ(MST)とを備える露光装置(EX)において、前記第2ステージのメンテナンスを行うメンテナンス装置(55)と、前記第1ステージに載置された基板(W)の露光処理中に前記メンテナンス装置による前記メンテナンスを実行させる制御装置(20)とを備える。
この発明によると、第1ステージに載置された基板に対する露光処理が行われている間に、制御装置の制御の下でメンテナンス装置による第2ステージのメンテナンスが実行される。
本発明の第2の観点による露光装置は、複数のステージ(WST、MST)を備える露光装置において、前記複数のステージのうちの一のステージは、他のステージとの間の空間の気体の流れを制御して前記一のステージ及び前記他のステージの少なくとも一方を温調する温調装置(81〜84)を備える。
この発明によると、複数のステージのうちの一のステージに設けられた温調装置により、当該一のステージと他のステージとの間の空間の気体の流れが制御され、これらのステージの少なくとも一方が温調される。
本発明のデバイス製造方法は、上記の何れかに記載の露光装置を用いてデバイスのパターンを基板に転写する工程を含む。
本発明の露光方法は、基板を露光する露光方法において、前記基板を保持する第1ステージを使って所定処理を実行し、前記所定処理の実行中に、前記第1ステージと異なる第2ステージのメンテナンスを実行するものである。
また本発明のデバイス製造方法は、上記の露光方法を用いて基板を露光することを含む。
また、本発明によれば、複数のステージのうちの一のステージに設けられた温調装置により、当該一のステージと他のステージとの間の空間の気体の流れが制御され、これらのステージの少なくとも一方が温調されるため、露光精度等を向上させることができるという効果がある。
また本発明の露光方法によれば、スループットの更なる向上を図ることができるという効果がある
更に、本発明のデバイス製造方法によれば、露光精度及びスループットの更なる向上を図ることができることから、微細なデバイスを効率よく製造することができるという効果がある。その結果として、歩留まり向上を期待することができ、更には製造されるデバイスの製造コストを低減させることもできる。
Claims (33)
- 上面を有するベース盤と、
前記ベース盤の上方に配置され、前記上面上で移動する第1ステージと、
前記ベース盤の上方に配置され、前記上面上で移動する第2ステージと、
前記第2ステージに洗浄剤を供給する供給装置及び前記洗浄剤を回収する回収装置を有し、前記第2ステージのメンテナンスを行うメンテナンス装置と、
前記第1ステージに載置された基板の露光処理中に、前記ベース盤の前記上面上の前記第2ステージに対する前記メンテナンス装置による前記メンテナンスを実行させる制御装置と、を備えることを特徴とする露光装置。 - 前記基板にパターン像を投影する投影光学系を備える請求項1に記載の露光装置。
- 上面を有するベース盤と、
前記ベース盤の上方に配置され、基板が載置された状態で前記上面上で移動する第1ステージと、
前記ベース盤の上方に配置され、前記上面上で移動する第2ステージと、
前記第2ステージに洗浄剤を供給する供給装置及び前記洗浄剤を回収する回収装置を有し、前記第2ステージのメンテナンスを行うメンテナンス装置と、
前記基板にパターン像を投影する投影光学系と、
前記投影光学系の下方に前記第1ステージが移動されたときに、前記ベース盤の前記上面上の前記第2ステージに対する前記メンテナンス装置による前記メンテナンスを実行させる制御装置と、を備える露光装置。 - 前記第1ステージを前記投影光学系と対向する位置に移動可能な第1駆動装置と、
前記第2ステージを前記投影光学系と対向する位置に移動可能な第2駆動装置とをさらに備えることを特徴とする請求項2又は3記載の露光装置。 - 前記洗浄剤は、アルコール及び過酸化水素の少なくとも一方を含む請求項1〜4のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記メンテナンス装置は、前記第2ステージをクリーニングすることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記メンテナンス装置は、前記第2ステージの撥液性を回復又は維持する請求項1〜6のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記第2ステージの少なくとも一部には撥液コートが施されており、
前記メンテナンス装置は、前記撥液コートのメンテナンスを行うことを特徴とする請求項1〜7のいずれか一項記載の露光装置。 - 前記撥液コートのメンテナンスは、前記第2ステージからの前記撥液コートの剥離及び前記第2ステージに対する前記撥液コートの再塗布の少なくとも一方を含む請求項8に記載の露光装置。
- 前記第2ステージの洗浄後、前記撥液コートの剥離及び前記撥液コートの再塗布の少なくとも一方が行われる請求項9に記載の露光装置。
- 基板上に液浸露光用の液体で液浸領域が形成され、
前記液体を介して前記基板が露光される請求項1〜10のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記メンテナンス装置は、前記第2ステージの表面に近接可能に配置された第1洗浄用ノズル及び第2洗浄用ノズルを有し、
前記供給装置からの前記洗浄剤が前記第1洗浄用ノズルの供給口から前記第2ステージ上に供給され、
前記第2ステージ上に供給された前記洗浄剤が前記第2洗浄用ノズルの回収口を介して前記回収装置に回収される請求項1〜11のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記第1洗浄用ノズルと前記第2洗浄用ノズルとは対向するように配置される請求項12に記載の露光装置。
- 前記第1洗浄用ノズルからの前記洗浄剤の供給と前記第2洗浄用ノズルからの前記洗浄剤の回収とが実行されている状態で、前記第1、第2洗浄用ノズルに対して前記第2ステージが移動される請求項12又は13に記載の露光装置。
- 前記メンテナンス装置は、前記第2ステージの上方に配置される洗浄用プレートを有し、
前記洗浄用プレートと前記第2ステージとの間に前記洗浄剤が供給される請求項1〜14のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記洗浄用プレートに対して前記第2ステージが移動される請求項15に記載の露光装置。
- 前記洗浄用プレートは、前記供給装置に接続され、前記第2ステージ上に前記洗浄剤を供給する供給管と、前記回収装置に接続され、前記供給管から供給された前記洗浄剤を回収する回収管と、を有する請求項15又は16に記載の露光装置。
- 前記洗浄用プレートの底面に、前記洗浄剤が溜まる凹部が形成される請求項15〜17のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記洗浄剤により前記第2ステージの一部が局所的に洗浄される請求項12〜18のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記第2ステージは、露光に関する計測を行う計測ステージであることを特徴とする請求項1〜19のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記第2ステージは、計測器を有し、
前記計測器がメンテナンスされる請求項20に記載の露光装置。 - 前記計測器は、空間像計測、波面収差測定、及び露光光検出の少なくとも一つに用いられる請求項21に記載の露光装置。
- 前記第2ステージは、マークが形成された基準板を有し、
前記基準板がメンテナンスされる請求項20〜22のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記メンテナンス装置は、前記第2ステージの少なくとも一部の領域に紫外線を照射する光洗浄装置を備えることを特徴とする請求項1〜23のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記第2ステージは交換可能な交換部材を備えており、
前記メンテナンス装置は前記交換部材を交換することを特徴とする請求項1〜24のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記メンテナンス装置は、前記第2ステージに対する前記交換部材の位置を調整する調整装置を備えていることを特徴とする請求項25記載の露光装置。
- 請求項1〜26のいずれか一項に記載の露光装置を用いてデバイスのパターンを基板に転写する工程を含むことを特徴とするデバイス製造方法。
- 基板を露光する露光方法において、
前記基板を保持する第1ステージを、ベース盤の上方において前記ベース盤の上面上で移動させることと、
前記第1ステージと異なる第2ステージを、前記ベース盤の上方において前記ベース盤の前記上面上で移動させることと、
前記基板にパターン像を投影する投影光学系の下方に前記第1ステージが移動されたときに、前記第1ステージと接触しないように移動された前記ベース盤の前記上面上の前記第2ステージをメンテナンスすることと、を含み、
前記メンテナンスは、供給装置を使って前記第2ステージの上面に洗浄剤を供給することと、回収装置を使って前記第2ステージに供給された前記洗浄剤を回収することと、を含む露光方法。 - 前記第2ステージは露光に関する計測を行う計測ステージを含む28記載の露光方法。
- 前記メンテナンスは、前記第2ステージのクリーニングを含む請求項28又は29に記載の露光方法。
- 前記メンテナンスは、前記第2ステージの撥液性を回復又は維持することを含む請求項28〜30のいずれか一項に記載の露光方法。
- 前記メンテナンスは、前記第2ステージの上面に紫外線を照射することを含む請求項28〜31のいずれか一項に記載の露光方法。
- 請求項28〜32のいずれか一項に記載の露光方法を用いて前記基板を露光することと、
露光された基板を現像処理することと、を含むデバイス製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007524654A JP5353005B2 (ja) | 2005-07-11 | 2006-07-11 | 露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005201582 | 2005-07-11 | ||
JP2005201582 | 2005-07-11 | ||
JP2007524654A JP5353005B2 (ja) | 2005-07-11 | 2006-07-11 | 露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法 |
PCT/JP2006/313758 WO2007007746A1 (ja) | 2005-07-11 | 2006-07-11 | 露光装置及びデバイス製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2007007746A1 JPWO2007007746A1 (ja) | 2009-01-29 |
JP5353005B2 true JP5353005B2 (ja) | 2013-11-27 |
Family
ID=37637136
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007524654A Active JP5353005B2 (ja) | 2005-07-11 | 2006-07-11 | 露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20080137047A1 (ja) |
EP (1) | EP1909310A4 (ja) |
JP (1) | JP5353005B2 (ja) |
KR (1) | KR20080031376A (ja) |
CN (1) | CN100565799C (ja) |
TW (1) | TW200710616A (ja) |
WO (1) | WO2007007746A1 (ja) |
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- 2006-07-11 EP EP06768071A patent/EP1909310A4/en not_active Withdrawn
- 2006-07-11 JP JP2007524654A patent/JP5353005B2/ja active Active
- 2006-07-11 WO PCT/JP2006/313758 patent/WO2007007746A1/ja active Application Filing
- 2006-07-11 CN CNB2006800172942A patent/CN100565799C/zh active Active
- 2006-07-11 KR KR1020087002983A patent/KR20080031376A/ko not_active Application Discontinuation
- 2006-07-11 TW TW095125356A patent/TW200710616A/zh unknown
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20080137047A1 (en) | 2008-06-12 |
TW200710616A (en) | 2007-03-16 |
JPWO2007007746A1 (ja) | 2009-01-29 |
EP1909310A1 (en) | 2008-04-09 |
CN101180707A (zh) | 2008-05-14 |
KR20080031376A (ko) | 2008-04-08 |
EP1909310A4 (en) | 2010-10-06 |
WO2007007746A1 (ja) | 2007-01-18 |
CN100565799C (zh) | 2009-12-02 |
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