JPS62108185A - 移動テ−ブル装置 - Google Patents
移動テ−ブル装置Info
- Publication number
- JPS62108185A JPS62108185A JP60249545A JP24954585A JPS62108185A JP S62108185 A JPS62108185 A JP S62108185A JP 60249545 A JP60249545 A JP 60249545A JP 24954585 A JP24954585 A JP 24954585A JP S62108185 A JPS62108185 A JP S62108185A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- moving
- base
- moving table
- intermediate base
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G12—INSTRUMENT DETAILS
- G12B—CONSTRUCTIONAL DETAILS OF INSTRUMENTS, OR COMPARABLE DETAILS OF OTHER APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G12B5/00—Adjusting position or attitude, e.g. level, of instruments or other apparatus, or of parts thereof; Compensating for the effects of tilting or acceleration, e.g. for optical apparatus
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/60—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/601—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism a single sliding pair followed parallelly by a single sliding pair
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q11/00—Accessories fitted to machine tools for keeping tools or parts of the machine in good working condition or for cooling work; Safety devices specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools
- B23Q11/001—Arrangements compensating weight or flexion on parts of the machine
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q11/00—Accessories fitted to machine tools for keeping tools or parts of the machine in good working condition or for cooling work; Safety devices specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools
- B23Q11/0032—Arrangements for preventing or isolating vibrations in parts of the machine
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q17/00—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools
- B23Q17/24—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools using optics or electromagnetic waves
- B23Q17/248—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools using optics or electromagnetic waves using special electromagnetic means or methods
- B23Q17/2495—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools using optics or electromagnetic waves using special electromagnetic means or methods using interferometers
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、移動テーブル装置、たとえば刻線機（ルー
リングエンジン）など種々の用途の機械に組み込まれた
ものに関する。
リングエンジン）など種々の用途の機械に組み込まれた
ものに関する。
精密加工または測定を行なう精密機械装置に組み込まれ
、被加工物、被測定物、もしくは切削工具、測定具等を
所定位置に移動するのに用いられる、従来の移動テーブ
ル装置は第４図の模式図に示した基本構造を有するもの
が一般である。図中１は質量ｍの移動テーブルであり、
２は移動テーブル１を１紙面に直角な方向の移動を拘束
し、紙面に平行な方向に対しては摩擦を伴わずに往復動
せしめる、たとえばエアスライダーからなるガイド、３
はＪ＆ｍ ４に対して除振装置５，５′を介して据え付
けられたベースである。そしてこのベース３と移動テー
ブルｌとの間には直動式駆動装置、たとえばリニアサー
ボモータ（図示せず）が設けられており、このリニアサ
ーボモータに通電がなされることによって移動テーブル
１がベース３に対して左方向、もしくは右方向に移動し
うるようにされている。
、被加工物、被測定物、もしくは切削工具、測定具等を
所定位置に移動するのに用いられる、従来の移動テーブ
ル装置は第４図の模式図に示した基本構造を有するもの
が一般である。図中１は質量ｍの移動テーブルであり、
２は移動テーブル１を１紙面に直角な方向の移動を拘束
し、紙面に平行な方向に対しては摩擦を伴わずに往復動
せしめる、たとえばエアスライダーからなるガイド、３
はＪ＆ｍ ４に対して除振装置５，５′を介して据え付
けられたベースである。そしてこのベース３と移動テー
ブルｌとの間には直動式駆動装置、たとえばリニアサー
ボモータ（図示せず）が設けられており、このリニアサ
ーボモータに通電がなされることによって移動テーブル
１がベース３に対して左方向、もしくは右方向に移動し
うるようにされている。
従来の移動テーブル装置は以上のように構成されている
のであるが、その作動に当ってつぎのような問題点を有
している。
のであるが、その作動に当ってつぎのような問題点を有
している。
すなわち、第４図の従来の装置では、移動テーブル１が
たとえば紙面に平行に左方へ移動したとすると、この装
置全体の重心位置も移動テーブル１の移動量に対応して
左方向へ移動する。
たとえば紙面に平行に左方へ移動したとすると、この装
置全体の重心位置も移動テーブル１の移動量に対応して
左方向へ移動する。
そのため除振装置５．５”に作用する力が変動し、この
場合には除振装置５が若干沈み、除振装置５′が反対に
若干浮き上り、この装置全体としては傾くことになる。
場合には除振装置５が若干沈み、除振装置５′が反対に
若干浮き上り、この装置全体としては傾くことになる。
ところで、除振装置５．５′は、低周波振動を遮断しよ
うとすれば１通常、そのばね定数を小さくしなければな
らないが、除振装置５．５′ばばね定数を小さくすると
応答性が悪くなり、そのため重心位置の変動に追従する
ことができない。このことは従来の移動テーブル装置に
おける二律背反的な問題点である。
うとすれば１通常、そのばね定数を小さくしなければな
らないが、除振装置５．５′ばばね定数を小さくすると
応答性が悪くなり、そのため重心位置の変動に追従する
ことができない。このことは従来の移動テーブル装置に
おける二律背反的な問題点である。
はとんどの精密機械装置においては、それに組み込まれ
た移動テーブルの傾きは精度に対し重大な影響を及ぼす
ことから、装置全体の重心が変動するような移動テーブ
ル装置には除振装置を付設することができない。
た移動テーブルの傾きは精度に対し重大な影響を及ぼす
ことから、装置全体の重心が変動するような移動テーブ
ル装置には除振装置を付設することができない。
また従来の移動テーブル装置において、前記したリニア
サーボモータに通電し、移動テーブル１を、たとえば左
方向に移動させ、その際移動テーブル１を加速度α、で
加速したとすると、ベース３には、その反作用としてＦ
＝ｍα１なる力が移動テーブル１の移動方向とは反対の
方向に作用する。そしてこの力Ｆは除振装置５．５′を
介して基礎４に加えられることになる。
サーボモータに通電し、移動テーブル１を、たとえば左
方向に移動させ、その際移動テーブル１を加速度α、で
加速したとすると、ベース３には、その反作用としてＦ
＝ｍα１なる力が移動テーブル１の移動方向とは反対の
方向に作用する。そしてこの力Ｆは除振装置５．５′を
介して基礎４に加えられることになる。
リニアサーボモータを用いろことにより、前記加速度α
□を重力の加速度である１ｇを越えろ８度に大きくしつ
るようになったが、その場合には基礎４に作用する力が
より一層大となるので、基礎４の強度ならびに質址を余
程大きくしないと振動を抑制できないことが問題点であ
る。
□を重力の加速度である１ｇを越えろ８度に大きくしつ
るようになったが、その場合には基礎４に作用する力が
より一層大となるので、基礎４の強度ならびに質址を余
程大きくしないと振動を抑制できないことが問題点であ
る。
さらに具体的に述へれば、従来の移動テーブル装置を、
たとえばルーリングエンジンのようにきわめて高精度が
要求される機械装置に組み込んだ場合には移動テーブル
１の加減速時の振動を抑制するため、移動テーブル１に
比してベース３を十分に重く、一方、移動テーブル１の
加、減速度は１′分に小さくしなければならぬことにな
る。
たとえばルーリングエンジンのようにきわめて高精度が
要求される機械装置に組み込んだ場合には移動テーブル
１の加減速時の振動を抑制するため、移動テーブル１に
比してベース３を十分に重く、一方、移動テーブル１の
加、減速度は１′分に小さくしなければならぬことにな
る。
また集積回路の製作工程に用いられるワイヤボンダーに
組み込まれた場合には、移動テーブル１が大きな加、減
速度で移動することから、それ自身が加振源となるため
、高精度の位置決めが困難となる。
組み込まれた場合には、移動テーブル１が大きな加、減
速度で移動することから、それ自身が加振源となるため
、高精度の位置決めが困難となる。
この発明は、従来の移動テーブル装置における前記した
問題点を解消し、テーブルが移動してもテーブル装置全
体の重心位置が移動せず、テーブル移動時の正負両加速
一度が大きくとも振動の発生を抑制しつる移動テーブル
装置を提供することを目的とする。
問題点を解消し、テーブルが移動してもテーブル装置全
体の重心位置が移動せず、テーブル移動時の正負両加速
一度が大きくとも振動の発生を抑制しつる移動テーブル
装置を提供することを目的とする。
この発明は、前記した課題を解決するための技術的手段
として、移動テーブル装置をつぎのように構成した。す
なわち、基礎に水平に据え付けられたベースと、このベ
ースにガイドを介して１つの直線方向にのみ往復自在に
係合された中間ベースと、この中間ベースに前記と同様
なガイドを介して前記と同方向のみに往復動自在に係合
された移動テーブルと、この移動テーブルと直配中間ベ
ースとの間に介在させた直動式駆動装置とによって構成
されている。
として、移動テーブル装置をつぎのように構成した。す
なわち、基礎に水平に据え付けられたベースと、このベ
ースにガイドを介して１つの直線方向にのみ往復自在に
係合された中間ベースと、この中間ベースに前記と同様
なガイドを介して前記と同方向のみに往復動自在に係合
された移動テーブルと、この移動テーブルと直配中間ベ
ースとの間に介在させた直動式駆動装置とによって構成
されている。
この発明にかかる移動テーブル装置は以上のように構成
されているので、移動テーブルは直動式駆動装置により
中間ベースに対し、両者の移動速度の合計した相対移動
速度にて高速移動させられる。そしてその際の移動テー
ブル、中間ベースのベースに対する移動方向は向きが反
対で、かつ移動量には一定の関係が成立して移動がなさ
れるため移動テーブルの移動位置の如何に拘らず、装置
全体としての重心位置は移動しない。
されているので、移動テーブルは直動式駆動装置により
中間ベースに対し、両者の移動速度の合計した相対移動
速度にて高速移動させられる。そしてその際の移動テー
ブル、中間ベースのベースに対する移動方向は向きが反
対で、かつ移動量には一定の関係が成立して移動がなさ
れるため移動テーブルの移動位置の如何に拘らず、装置
全体としての重心位置は移動しない。
また直動式駆動装置からの推力によって移動テーブルが
一つの方向に動かされるが、その反作用として、中間ベ
ースが移動テーブルが一つの方向に動かされるが、その
反作用として、中間ベースが移動テーブルから加えられ
る力によって反対方向に同時に移動することとなり、前
記駆動装置の推力は移動テーブル装置に対して内方とし
て作用し、基礎などの外部へは及ばない。
一つの方向に動かされるが、その反作用として、中間ベ
ースが移動テーブルが一つの方向に動かされるが、その
反作用として、中間ベースが移動テーブルから加えられ
る力によって反対方向に同時に移動することとなり、前
記駆動装置の推力は移動テーブル装置に対して内方とし
て作用し、基礎などの外部へは及ばない。
この発明にかかる実施例装置について説明するに先立っ
て、その基本構造を模式的に示した第３図を参照しなが
ら、その構成ならびに作動原理を説明する。
て、その基本構造を模式的に示した第３図を参照しなが
ら、その構成ならびに作動原理を説明する。
質量ｍの移動テーブルｌが、紙面に直角な方向の移動を
拘束され、紙面に平行な方向に対しては、摩擦を伴わず
に往復動しうるよう、たとえばエアスライダーからなる
ガイド２を介して。
拘束され、紙面に平行な方向に対しては、摩擦を伴わず
に往復動しうるよう、たとえばエアスライダーからなる
ガイド２を介して。
ベース３ではなく、質量Ｍの中間ベース６に係合されて
おり、この中間ベース６が、前記ガイド２と同様のガイ
ド７を介してベース３に係合されている。そしてベース
３は除振装置５．５′を介して基礎４に据え付けられて
おり、移動テーブル１と中間ベース６との間には直動式
駆動装置、たとえばリニアサーボモータ（図示せず）が
設けられている。ただし、中間ベース６とベース３との
間には直動式駆動装置は設けられていない。ここで、リ
ニアサーボモータの構造・動作については公知技術であ
るので省略するが、それによる中間ベース６とベース３
の駆動動作を説明する。
おり、この中間ベース６が、前記ガイド２と同様のガイ
ド７を介してベース３に係合されている。そしてベース
３は除振装置５．５′を介して基礎４に据え付けられて
おり、移動テーブル１と中間ベース６との間には直動式
駆動装置、たとえばリニアサーボモータ（図示せず）が
設けられている。ただし、中間ベース６とベース３との
間には直動式駆動装置は設けられていない。ここで、リ
ニアサーボモータの構造・動作については公知技術であ
るので省略するが、それによる中間ベース６とベース３
の駆動動作を説明する。
いま、前記リニアサーボモータに通電すると、その励磁
コイルが順次に切換を励磁され１両者の間には磁気力が
推力として働らくが、このときの推力は一方には作用、
他方には反作用として等しく働らくのでたとえば移動テ
ーブル１をベース３に対して左方向に移動させたりする
と、ト述の反作用によって中間ベース６はベース３に対
して反対方向、すなわち右方向に移動する。
コイルが順次に切換を励磁され１両者の間には磁気力が
推力として働らくが、このときの推力は一方には作用、
他方には反作用として等しく働らくのでたとえば移動テ
ーブル１をベース３に対して左方向に移動させたりする
と、ト述の反作用によって中間ベース６はベース３に対
して反対方向、すなわち右方向に移動する。
リニアサーボモータから移動テーブル１に加えられた力
をＦとすると１ｍα１＝Ｆ・・・（イ）２Ｍα□＝Ｆ・
・・（ロ）となる。ここにα□は移動テーブル１の加速
度、α２は中間ベース６の加速度である。加速開始より
時ｉｊ を経過後の移動テーブル１および中間ベース６
のそれぞれ速度をＶい■２とすると、”ｔ ” ” Ｌ
’ ・・（ハＬ Ｖｔ ；ａ ２ Ｌ：・・・（ニ）
となる、したがって移動テーブル１の中間ベース６に対
する相対加速度をα、同じく相対速度をＶとすると、α
＝α□＋α２・・・（ホＬ Ｖ＝Ｖ、＋Ｖ２・・・（へ
）となる。一般に中間ベース６の質ＭＭ≧移動テーブル
１の質Ｊｉｍであり１Ｍ＝Ｋｍとおくと、に≧１である
。
をＦとすると１ｍα１＝Ｆ・・・（イ）２Ｍα□＝Ｆ・
・・（ロ）となる。ここにα□は移動テーブル１の加速
度、α２は中間ベース６の加速度である。加速開始より
時ｉｊ を経過後の移動テーブル１および中間ベース６
のそれぞれ速度をＶい■２とすると、”ｔ ” ” Ｌ
’ ・・（ハＬ Ｖｔ ；ａ ２ Ｌ：・・・（ニ）
となる、したがって移動テーブル１の中間ベース６に対
する相対加速度をα、同じく相対速度をＶとすると、α
＝α□＋α２・・・（ホＬ Ｖ＝Ｖ、＋Ｖ２・・・（へ
）となる。一般に中間ベース６の質ＭＭ≧移動テーブル
１の質Ｊｉｍであり１Ｍ＝Ｋｍとおくと、に≧１である
。
Ｆ
（ロ）式よりα２＝□＝□・・・（ト）Ｋｍ
また（へ）、（ハ）、（ニ）式よりＶ＝α、ｔ＋α２１
＝（α□＋α２）ｔ、したがって（ホ）、（チ）式（チ
）、（す）両式より、前記相対加速度αならびに相対速
度Ｖは、いずれもに＝１すなわち。
＝（α□＋α２）ｔ、したがって（ホ）、（チ）式（チ
）、（す）両式より、前記相対加速度αならびに相対速
度Ｖは、いずれもに＝１すなわち。
移動テｉプル１と中間ベース６の質量、ｍとＭが等しい
ときにそれぞれ最大値α＋ｏａｘ、 Ｖｍａｘとなる。
ときにそれぞれ最大値α＋ｏａｘ、 Ｖｍａｘとなる。
■？
そしてこれらの値はαｍａｘ＝２・□＝２α□ｔ
、 Ｖｍａｘ＝ ２ ・−＝ ２ Ｖ１テある。
このことは、移動テーブルにたとえばダイヤモンドバイ
トを固定し、中間ベース６に破開しジスト薄１模をもつ
ガラス板を固定したとすると、第４図の従来の装置にお
いてベース３灸こ前記ガラス板を固定した場合に比して
前記リニアサーボモータの推力Ｆはそのままで２倍の切
削速度で刻線を行ないうろことを意味する。
トを固定し、中間ベース６に破開しジスト薄１模をもつ
ガラス板を固定したとすると、第４図の従来の装置にお
いてベース３灸こ前記ガラス板を固定した場合に比して
前記リニアサーボモータの推力Ｆはそのままで２倍の切
削速度で刻線を行ないうろことを意味する。
また切削速度が従来どおりでよいのであれば用でき、消
費電力、発熱、コス］−等の面で従来より有利となるこ
とを意味する。
費電力、発熱、コス］−等の面で従来より有利となるこ
とを意味する。
また移動テーブル１の左方向への移動距離Ｓｔであり、
一方中間ベース６の右方向へのべ一■２Ｌである。移動
テーブル１ならびに中間ベース６の前記移動孔ＩＩｌ！
ＳＬ、Ｓ２はそれぞれの重心の移動距離にほかならない
、ベース３は常に移動しないから１ｍｓ、＝ＭＳｊ・・
・（ヌ）が常に成立するので、この移動テーブル装置全
体としての重心位置は移動しない、すなわち移動テーブ
ル１の移動位置の如何に拘らず装置全体としての重心位
置は変動しないことから、ベース３を低周波振動を遮断
するのに有利な、ばね定数の小なる除振装置５，５′を
介して基礎４に据え付けることができる。
一方中間ベース６の右方向へのべ一■２Ｌである。移動
テーブル１ならびに中間ベース６の前記移動孔ＩＩｌ！
ＳＬ、Ｓ２はそれぞれの重心の移動距離にほかならない
、ベース３は常に移動しないから１ｍｓ、＝ＭＳｊ・・
・（ヌ）が常に成立するので、この移動テーブル装置全
体としての重心位置は移動しない、すなわち移動テーブ
ル１の移動位置の如何に拘らず装置全体としての重心位
置は変動しないことから、ベース３を低周波振動を遮断
するのに有利な、ばね定数の小なる除振装置５，５′を
介して基礎４に据え付けることができる。
さらに、この移動テーブル装置においては。
移動テーブル１を動かす前記リニアサーボモータの推力
Ｆは移動テーブル１をα、なる加速度でたとえば左方向
へ動かすが、同時にその反作用として、中間ベース６が
α２なる加速度を与えられるＭα、＝Ｆなる力を移動テ
ーブル１から加えられることとなるため、前記リニアサ
ーボモータの推力Ｆは装置としては内力であり。
Ｆは移動テーブル１をα、なる加速度でたとえば左方向
へ動かすが、同時にその反作用として、中間ベース６が
α２なる加速度を与えられるＭα、＝Ｆなる力を移動テ
ーブル１から加えられることとなるため、前記リニアサ
ーボモータの推力Ｆは装置としては内力であり。
その力は全く基礎４には及ばない、したがって基礎４が
たとえば床面でその強度ならびに質量が大きくなくとも
振動を誘発することがない。
たとえば床面でその強度ならびに質量が大きくなくとも
振動を誘発することがない。
以上がこの発明にかかる移動テーブル装置の基本構成な
らびに作動原理の説明であるが、以下、この実施例装置
が刻線機に組み込まれた場合を例にあげて説明する。
らびに作動原理の説明であるが、以下、この実施例装置
が刻線機に組み込まれた場合を例にあげて説明する。
刻線機は前記したルーリングエンジンに類する精密加工
機械で、たとえば撮像管用金属メツシュの原板や、ガラ
ススクリーンなどの原板を製作するため、レジスト剤の
薄膜をコーティングしたガラス板にたとえば１０μｍピ
ッチにてミクロンオーダ幅の刻線を、ガラス板面にキズ
をつけず前記レジスト膜だけに施す装置で、ダイヤモン
ドバイトからなるカッタと前記ガラス板を固定したテー
ブルとを相対的に往復動させ。
機械で、たとえば撮像管用金属メツシュの原板や、ガラ
ススクリーンなどの原板を製作するため、レジスト剤の
薄膜をコーティングしたガラス板にたとえば１０μｍピ
ッチにてミクロンオーダ幅の刻線を、ガラス板面にキズ
をつけず前記レジスト膜だけに施す装置で、ダイヤモン
ドバイトからなるカッタと前記ガラス板を固定したテー
ブルとを相対的に往復動させ。
往動行程にのみカッタをガラス板面に接触させて刻線を
行ない、復動行程にはカッタをガラス板面から引き上げ
た状態で復帰させる。そしてこのように刻線が１凹刻ま
れ、カッタが引き上げられて復動する行程間に、カッタ
が、刻線方向とは直角をなす方向に微細ピッチ（たとえ
ば１０μｍ）だけ送られて位置決めがなされ、再び刻線
を行なうようにされている。そしてこの刻線機の前記し
たカッタとテーブルとの相対的な往復動に対しこの発明
の実施例装置が組み込まれている。
行ない、復動行程にはカッタをガラス板面から引き上げ
た状態で復帰させる。そしてこのように刻線が１凹刻ま
れ、カッタが引き上げられて復動する行程間に、カッタ
が、刻線方向とは直角をなす方向に微細ピッチ（たとえ
ば１０μｍ）だけ送られて位置決めがなされ、再び刻線
を行なうようにされている。そしてこの刻線機の前記し
たカッタとテーブルとの相対的な往復動に対しこの発明
の実施例装置が組み込まれている。
第１図は、この実施例装置が組み込まれた刻線機全体の
要部の構成を示した正面図、第２図はその側面図である
。ただし、第１図は第２図の１−１断面を矢印方向に見
た図であり、第２図は第１図の■−■断面図を矢印方向
に見た図である。
要部の構成を示した正面図、第２図はその側面図である
。ただし、第１図は第２図の１−１断面を矢印方向に見
た図であり、第２図は第１図の■−■断面図を矢印方向
に見た図である。
ベースｌＯは除振装置５．５′、たとえば水平レベル自
動調整式空気ばね防振台等を介して基礎４に据え付けら
れ、このベースｌＯには、その上面に長手方向の軸線に
沿って第１のエアスライドレール１１が固定されている
。そしてこの第１のエアスライドレール１１に、エアス
ライダ１２゜エアスライダ１３．１３″がそれぞれ係合
されており、これら両部材１１と１２ ； １１と１３
．１３’の各々との間に静圧形空気軸受がそれぞれ形成
され。
動調整式空気ばね防振台等を介して基礎４に据え付けら
れ、このベースｌＯには、その上面に長手方向の軸線に
沿って第１のエアスライドレール１１が固定されている
。そしてこの第１のエアスライドレール１１に、エアス
ライダ１２゜エアスライダ１３．１３″がそれぞれ係合
されており、これら両部材１１と１２ ； １１と１３
．１３’の各々との間に静圧形空気軸受がそれぞれ形成
され。
一定圧力の空気がこれら軸受に同時に供給されることに
よってエアスライダ１２、エアスライダ１３．１３’
が第１のエアスライドレールて第１図において左右方向
にきわめて円滑かつ摩擦なしに摺動しつるようにされて
いる。エアスライダ１２の周外側面に支柱１４、１４′
が直立固定されており、これら支柱１４． １４’のそ
れぞれ上端面に、第２のエアスライドレール１５がその
両端部で連結固定されている。そしてこの第２のエアス
ライドレール１５に、エアスライダ１６が係合されてお
り、これらの両者１５、１６間に形成される静圧形空気
軸受に一定圧力の空気が供給されることによって，エア
スライダ１６が第２のエアスライドレール１５に沿って
前記同様に摺動しうるようにされている。左右のエアス
ライダ１３、１３’は、それぞれの上部にテーブル１７
がその両端部で固定されており、換言すれば左右のエア
スライダ１３．１３″は移動テーブル１７を介して互い
に連結されている。テーブル１７にはリニアサーボモー
タを構成するリニアコイル１８が、エアスライダ１２に
は同じくリニアサーボモータを構成する磁石１９がそれ
ぞれ固定されており、リニアコイル１８に通電がなされ
ると、リニアコイル１８と磁石１９との間に推力が生ず
るようにされている。
よってエアスライダ１２、エアスライダ１３．１３’
が第１のエアスライドレールて第１図において左右方向
にきわめて円滑かつ摩擦なしに摺動しつるようにされて
いる。エアスライダ１２の周外側面に支柱１４、１４′
が直立固定されており、これら支柱１４． １４’のそ
れぞれ上端面に、第２のエアスライドレール１５がその
両端部で連結固定されている。そしてこの第２のエアス
ライドレール１５に、エアスライダ１６が係合されてお
り、これらの両者１５、１６間に形成される静圧形空気
軸受に一定圧力の空気が供給されることによって，エア
スライダ１６が第２のエアスライドレール１５に沿って
前記同様に摺動しうるようにされている。左右のエアス
ライダ１３、１３’は、それぞれの上部にテーブル１７
がその両端部で固定されており、換言すれば左右のエア
スライダ１３．１３″は移動テーブル１７を介して互い
に連結されている。テーブル１７にはリニアサーボモー
タを構成するリニアコイル１８が、エアスライダ１２に
は同じくリニアサーボモータを構成する磁石１９がそれ
ぞれ固定されており、リニアコイル１８に通電がなされ
ると、リニアコイル１８と磁石１９との間に推力が生ず
るようにされている。
移動テーブル１７には、その長手側部に長手方向に沿っ
てリニアスケール２０が固定されており。
てリニアスケール２０が固定されており。
エアスライダ１２にはリニアスケール２０用の移動ヘッ
ド２１が固定されている。
ド２１が固定されている。
したがってテーブル１７のエアスライダ１２に対する相
対位置は、リニアスケール２０と移動ヘッド２１とによ
って測定しつるようになっている。
対位置は、リニアスケール２０と移動ヘッド２１とによ
って測定しつるようになっている。
第２のエアスライドレールＩ５には、前記とは別なリニ
アサーボモータを構成するリニアコイル２２が、エアス
ライダ１６には、その下面に固定した取付は扱２３を介
して同じく別なリニアサーボモータを構成する磁石２４
がそれぞれ固定されており、リニアコイル２２に通電が
なされると、リニアコイル２２と磁石２４との間に推力
が生ずるようにされている。
アサーボモータを構成するリニアコイル２２が、エアス
ライダ１６には、その下面に固定した取付は扱２３を介
して同じく別なリニアサーボモータを構成する磁石２４
がそれぞれ固定されており、リニアコイル２２に通電が
なされると、リニアコイル２２と磁石２４との間に推力
が生ずるようにされている。
支柱１４’ には、その外側部にレーザヘッド２５が固
定されており、このレーザ光の光路２６に光軸を一致さ
せて干渉計２７が第２のエアスライドレール１５の片側
端面にブラケット２８を介して取り付けられている。そ
して干渉計２７からのレーザ光の光路２６と光軸が一致
するように移動反射＠２９がエアスライダ１６の上部に
固定されている。
定されており、このレーザ光の光路２６に光軸を一致さ
せて干渉計２７が第２のエアスライドレール１５の片側
端面にブラケット２８を介して取り付けられている。そ
して干渉計２７からのレーザ光の光路２６と光軸が一致
するように移動反射＠２９がエアスライダ１６の上部に
固定されている。
そして第２のエアスライドレール１５上におけるエアス
ライダ１６の移動位置は、エアスライダ１６とともにエ
アスライドレール１５上を移動する移動反射＠２９と干
渉計２７との距離の変化を１反射鏡２９により反射して
返ってくる光と、干渉計２７に付属した反射ＪＪ１２１
’ により反射して返ってくる光との干渉を利用して０
．０１μｍの分解能にて１ｌｌｌ＋定することができる
。エアスライダ１６にはその側部に、きわめて再現性の
良好なカッタの上丁動装置（図示せず）を介してカッタ
、すなわちダイヤモンドバイト３０が取り付けられてい
る。そしてテーブル１７には、その上面に被刻線板材た
とえばレジスト剤＃膜をコーティングしたガラス板３１
が所定位置に固定されている。
ライダ１６の移動位置は、エアスライダ１６とともにエ
アスライドレール１５上を移動する移動反射＠２９と干
渉計２７との距離の変化を１反射鏡２９により反射して
返ってくる光と、干渉計２７に付属した反射ＪＪ１２１
’ により反射して返ってくる光との干渉を利用して０
．０１μｍの分解能にて１ｌｌｌ＋定することができる
。エアスライダ１６にはその側部に、きわめて再現性の
良好なカッタの上丁動装置（図示せず）を介してカッタ
、すなわちダイヤモンドバイト３０が取り付けられてい
る。そしてテーブル１７には、その上面に被刻線板材た
とえばレジスト剤＃膜をコーティングしたガラス板３１
が所定位置に固定されている。
なおこの刻線機には１図示されていないが下記の装置１
手段が設けられている。
手段が設けられている。
エアスライダ１２．１３．１３’ 、 １６は前記した
ように一定圧力の空気が供給されているときは、エアス
ライドレール１１．１５に対して摩擦なしに摺動しつる
状態におかれる。したがってエアスタイ１−レール１１
．１５が少しでも水平に狂いがあると、低い方へエアス
ライダ１２．１３．１３’ 、 １（ｉが自重ないしは
それに加オ）る部材の重紙によって動いてしまうことに
なる。そのため、このような動きを抑制するわずかな摩
擦力を各エアスライダに付与する手段が設けられている
。
ように一定圧力の空気が供給されているときは、エアス
ライドレール１１．１５に対して摩擦なしに摺動しつる
状態におかれる。したがってエアスタイ１−レール１１
．１５が少しでも水平に狂いがあると、低い方へエアス
ライダ１２．１３．１３’ 、 １（ｉが自重ないしは
それに加オ）る部材の重紙によって動いてしまうことに
なる。そのため、このような動きを抑制するわずかな摩
擦力を各エアスライダに付与する手段が設けられている
。
また各エアスライダの停止）位置、移動ストロークを規
制するたるのリミッタや、テーブル１７を電源通電時に
初期位置に復帰させる駆動装置が設けられている。
制するたるのリミッタや、テーブル１７を電源通電時に
初期位置に復帰させる駆動装置が設けられている。
この刻線機は以上のように構成されているが。
第３図に示したこの発明の基本構造の各構成部材との対
応を説明すると、エアスライダ１２、支柱１４．１４′
、第２のエアスライドレール１５．および第２のエアス
ライドレール１５上で停止した所定の位置に保持されて
、ダイヤモンドバイト３０を有しているエアスライダ１
６からなるコンポーネントが質量１ｎの移動テーブル１
に、エアスライダ１３．１３’およびテーブル１７が質
量Ｍの中間ベース６に、ベースＩＯおよび第１のエアス
ライドレール１１がベース３にそれぞれ相当する。
応を説明すると、エアスライダ１２、支柱１４．１４′
、第２のエアスライドレール１５．および第２のエアス
ライドレール１５上で停止した所定の位置に保持されて
、ダイヤモンドバイト３０を有しているエアスライダ１
６からなるコンポーネントが質量１ｎの移動テーブル１
に、エアスライダ１３．１３’およびテーブル１７が質
量Ｍの中間ベース６に、ベースＩＯおよび第１のエアス
ライドレール１１がベース３にそれぞれ相当する。
そしてエアスライダ１２とテーブル１７との間に設けら
れた磁石１９とリニアコイル１８とからなるリニアサー
ボモータが、第３図の移動テーブル１と中間ベース６と
の間に設けられた直動式駆！ＩすＪ装置にほかならない
。
れた磁石１９とリニアコイル１８とからなるリニアサー
ボモータが、第３図の移動テーブル１と中間ベース６と
の間に設けられた直動式駆！ＩすＪ装置にほかならない
。
また前記した通り移動テーブル］の質ｋｋｒｎと。
中間ベース６の質ｍＭとをほぼ等しくすることによって
メリットが得られるが、移動テーブル１に相当する前記
したコンポネントの重量と、中間ベース６に相当するエ
アスライダ１３．１３’およびテーブル１７の重量とを
等しくすれば同様のメリットが得られることは明らかで
ある。
メリットが得られるが、移動テーブル１に相当する前記
したコンポネントの重量と、中間ベース６に相当するエ
アスライダ１３．１３’およびテーブル１７の重量とを
等しくすれば同様のメリットが得られることは明らかで
ある。
つぎにこの刻線機の動作について概略説明する。
前記したテーブルＩ７の初期位置復帰用駆動装置により
エアスライダ１２をエアスライダ１３’ に接近させ、
テーブル１７を初期位置に停止させる。
エアスライダ１２をエアスライダ１３’ に接近させ、
テーブル１７を初期位置に停止させる。
ダイヤモンドバイト３０を前記した上下動装置によって
ガラス板３１に接触するように引き下げる。
ガラス板３１に接触するように引き下げる。
リニアコイル１８に通電し、リニアコイル１８．磁石１
９からなるリニアサーボモータを駆動することによって
エアスライダＩ２をエアスライダ１３’から引き離し５
エアスライダ１３に近付ける方向に移動させる。この１
ψ動の様子は、この実施例の当初に説明した通りである
。したがってエアスライダ１３．１３’ が第１のエア
スライドレール１１に固定されていたとする場合に比し
て、前記リニアサーボモータの推力は同じでも、エアス
ライダ１６．すなわちダイヤモンドバイト３０は、テー
ブル１７．すなねちガラス板３１に対しての相対速度を
倍増させ、ガラス板３Ｌの薄膜に刻線することができる
。つぎにダイヤモンドバイト３゜を前記上下動装置によ
りガラス板３１面より引き上げてからエアスライダ１２
とテーブル１７を前記初期位置に復帰させる。その間に
エアスライダ１６を第２のエアスライドレール１５に沿
って、リニアコイル２２に通電し、干渉計２７のディテ
クタ（図示せず）からの信号によってリニアサーボモー
タ２２，２４の作動をフィードバック制御し。
９からなるリニアサーボモータを駆動することによって
エアスライダＩ２をエアスライダ１３’から引き離し５
エアスライダ１３に近付ける方向に移動させる。この１
ψ動の様子は、この実施例の当初に説明した通りである
。したがってエアスライダ１３．１３’ が第１のエア
スライドレール１１に固定されていたとする場合に比し
て、前記リニアサーボモータの推力は同じでも、エアス
ライダ１６．すなわちダイヤモンドバイト３０は、テー
ブル１７．すなねちガラス板３１に対しての相対速度を
倍増させ、ガラス板３Ｌの薄膜に刻線することができる
。つぎにダイヤモンドバイト３゜を前記上下動装置によ
りガラス板３１面より引き上げてからエアスライダ１２
とテーブル１７を前記初期位置に復帰させる。その間に
エアスライダ１６を第２のエアスライドレール１５に沿
って、リニアコイル２２に通電し、干渉計２７のディテ
クタ（図示せず）からの信号によってリニアサーボモー
タ２２，２４の作動をフィードバック制御し。
所定の１ピツチたとえば１０μｍだけ移動させ。
ダイヤモンドバイ１−３０をつぎの刻線位置に位置決め
する。
する。
以下前記した動作を所定の刻線回数繰り返せばよい。
この動作量において、高速でなされる刻線動作時におい
ては、テーブル移動装置全体としては重心の移動が生じ
ないので、ばね定数の小さな防振装置５．５″は１−分
に機能し、常に装置全体を水平に保持する。一方、刻線
ピッチの割出し動作時には、厳密にいえば重心移動が生
ずるが、移動がたとえば１０μｍずっと微小であり、し
かも移動が低速で行なわれることがら、防振装ｂ！ｉ５
．５″の水平レベル自動調整機構（図示せず）で容易に
追従できる。
ては、テーブル移動装置全体としては重心の移動が生じ
ないので、ばね定数の小さな防振装置５．５″は１−分
に機能し、常に装置全体を水平に保持する。一方、刻線
ピッチの割出し動作時には、厳密にいえば重心移動が生
ずるが、移動がたとえば１０μｍずっと微小であり、し
かも移動が低速で行なわれることがら、防振装ｂ！ｉ５
．５″の水平レベル自動調整機構（図示せず）で容易に
追従できる。
この刻線機に組み込んだ実施例装置には、第３図のガイ
ド２．７に前記したエアスライドレールとエアスライダ
からなるエアスライドを用いたが、この代りにボールガ
イドをまたは滑りガイド等を用いるようにしてもよく、
摩擦力が小さい程、この発明の効果はＷＩ著である。ま
た直動式駆動装置についてもリニアサーボモータ１８．
１９の代りにエアシリンダを用いるようにしてもよい。
ド２．７に前記したエアスライドレールとエアスライダ
からなるエアスライドを用いたが、この代りにボールガ
イドをまたは滑りガイド等を用いるようにしてもよく、
摩擦力が小さい程、この発明の効果はＷＩ著である。ま
た直動式駆動装置についてもリニアサーボモータ１８．
１９の代りにエアシリンダを用いるようにしてもよい。
この発明にかかる移動テーブル装置においてはつぎの効
果を奏する。
果を奏する。
（ｉ） 移動テーブルもしくはそれに相当する部材の
移動位置の如何に拘らず、装置全体としての重心位置が
移動しないようにされているので、たとえば低周波振動
を遮断するのに有利なはね定数の小さい除振装置を介し
て基礎に据え付けることができる。
移動位置の如何に拘らず、装置全体としての重心位置が
移動しないようにされているので、たとえば低周波振動
を遮断するのに有利なはね定数の小さい除振装置を介し
て基礎に据え付けることができる。
（ｉｉ） 移動テーブルもしくは、それに相当する部
材を駆動する直劾形駆動装置の推力は全体の装置に対し
て内力として作用し、その作用は基礎に及ばないので、
振動を誘発することなく高速駆動をなし得る。
材を駆動する直劾形駆動装置の推力は全体の装置に対し
て内力として作用し、その作用は基礎に及ばないので、
振動を誘発することなく高速駆動をなし得る。
（ｉｉｉ） 同一容量の直劾形駆動装置で従来のテー
ブル装置に比べ、最高２倍の加速度で移動テーブル、も
しくはそれに相当する部材を移動させることが司能であ
る。
ブル装置に比べ、最高２倍の加速度で移動テーブル、も
しくはそれに相当する部材を移動させることが司能であ
る。
このことは移動加速度が従来どおりでよい動装置を使用
することができ、省エネルギー、コスト面で有利となる
。
することができ、省エネルギー、コスト面で有利となる
。
第１図はこの発明の１実施例である移動テーブル装置が
組み込まれた刻ｍ＊全体の要部の構成を示した正面図、
第２図はその側面図で、第１図は第２図の１−１断面を
矢印方向に見た図であり、第２図は第１図の■−■断面
図を矢印方向に見た図である。。第３図はこの発明にか
かる移動テーブル装置の基本構成を示した模式説明図、
第４図は従来の移動テーブル装置の同じく基本構成を示
した模式説明図である。 １・・移動テーブル、 ２・・・ガイド。 ３・・ベース、 ４・・・基礎、５．５″
・・・除振装置、 ６、・・・中間ベース、７・ガイ
ド、 ｌＯ・・・ベース、１１・・・第１
のエアスライドレール、１２・・エアスライダ。 １１、１２・・・エアスライド。 １３・・・エアスライダ、 １５・・・第２のエアスライドレール、１６・・エアス
ライダ。 １５、１６・・・エアスライ１へ、 １７・・・テーブル、 １８・・リニアコイル。 １９・・磁石。 １８．１９・・・リニアサーボモータ、２２・・リニア
コイル、 ２４・・・磁石。 ２２．２４・・・リニアサーボモータ。 ３０・・・ダイヤモンドバイト、 ３１・・・レジス１〜剤被膜のガラス板。 代理人 弁理士 間 宮 武 峨 第３図 第４図
組み込まれた刻ｍ＊全体の要部の構成を示した正面図、
第２図はその側面図で、第１図は第２図の１−１断面を
矢印方向に見た図であり、第２図は第１図の■−■断面
図を矢印方向に見た図である。。第３図はこの発明にか
かる移動テーブル装置の基本構成を示した模式説明図、
第４図は従来の移動テーブル装置の同じく基本構成を示
した模式説明図である。 １・・移動テーブル、 ２・・・ガイド。 ３・・ベース、 ４・・・基礎、５．５″
・・・除振装置、 ６、・・・中間ベース、７・ガイ
ド、 ｌＯ・・・ベース、１１・・・第１
のエアスライドレール、１２・・エアスライダ。 １１、１２・・・エアスライド。 １３・・・エアスライダ、 １５・・・第２のエアスライドレール、１６・・エアス
ライダ。 １５、１６・・・エアスライ１へ、 １７・・・テーブル、 １８・・リニアコイル。 １９・・磁石。 １８．１９・・・リニアサーボモータ、２２・・リニア
コイル、 ２４・・・磁石。 ２２．２４・・・リニアサーボモータ。 ３０・・・ダイヤモンドバイト、 ３１・・・レジス１〜剤被膜のガラス板。 代理人 弁理士 間 宮 武 峨 第３図 第４図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、基礎に水平に据え付けられたベースと、このベース
にガイドを介して１つの直線方向にのみ往復自動に係合
された中間ベースと、この中間ベースに前記と同様なガ
イドを介して前記と同方向のみに往復動自在に係合され
た移動テーブルと、この移動テーブルと前記中間ベース
との間に介在させた直動式駆動装置とを備えてなる移動
テーブル装置。 ２、ガイドは、エアスライドレールとそれに係合された
エアスライダとからなる特許請求の範囲第１項記載の移
動テーブル装置。 ３、直動式駆動装置がリニアモータである特許請求の範
囲第１項または第２項記載の移動テーブル装置。 ４、ベースは基礎に除振装置を介して据え付けられたも
のである特許請求の範囲第１項ないし第３項のいずれか
に記載の移動テーブル装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60249545A JPS62108185A (ja) | 1985-11-06 | 1985-11-06 | 移動テ−ブル装置 |
| DE19863636550 DE3636550A1 (de) | 1985-11-06 | 1986-10-28 | Anordnung eines beweglichen tisches |
| US06/925,479 US4750721A (en) | 1985-11-06 | 1986-10-31 | Movable table system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60249545A JPS62108185A (ja) | 1985-11-06 | 1985-11-06 | 移動テ−ブル装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62108185A true JPS62108185A (ja) | 1987-05-19 |
| JPH0435037B2 JPH0435037B2 (ja) | 1992-06-09 |
Family
ID=17194583
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60249545A Granted JPS62108185A (ja) | 1985-11-06 | 1985-11-06 | 移動テ−ブル装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4750721A (ja) |
| JP (1) | JPS62108185A (ja) |
| DE (1) | DE3636550A1 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6391503B2 (en) | 1997-09-19 | 2002-05-21 | Nikon Corporation | Scanning exposure methods |
| JP2009248219A (ja) * | 2008-04-03 | 2009-10-29 | Fanuc Ltd | 温調器を備えた加工装置 |
Families Citing this family (26)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5171002A (en) * | 1992-01-06 | 1992-12-15 | Laser Machining, Inc. | Machine tool apparatus |
| US5601027A (en) * | 1993-11-22 | 1997-02-11 | Ebara Corporation | Positioning system with damped magnetic attraction stopping assembly |
| US7365513B1 (en) | 1994-04-01 | 2008-04-29 | Nikon Corporation | Positioning device having dynamically isolated frame, and lithographic device provided with such a positioning device |
| US5874820A (en) * | 1995-04-04 | 1999-02-23 | Nikon Corporation | Window frame-guided stage mechanism |
| US6989647B1 (en) | 1994-04-01 | 2006-01-24 | Nikon Corporation | Positioning device having dynamically isolated frame, and lithographic device provided with such a positioning device |
| US5528118A (en) | 1994-04-01 | 1996-06-18 | Nikon Precision, Inc. | Guideless stage with isolated reaction stage |
| US6246204B1 (en) | 1994-06-27 | 2001-06-12 | Nikon Corporation | Electromagnetic alignment and scanning apparatus |
| US5623853A (en) * | 1994-10-19 | 1997-04-29 | Nikon Precision Inc. | Precision motion stage with single guide beam and follower stage |
| US6008500A (en) * | 1995-04-04 | 1999-12-28 | Nikon Corporation | Exposure apparatus having dynamically isolated reaction frame |
| TW318255B (ja) | 1995-05-30 | 1997-10-21 | Philips Electronics Nv | |
| US5760564A (en) * | 1995-06-27 | 1998-06-02 | Nikon Precision Inc. | Dual guide beam stage mechanism with yaw control |
| DE19531520A1 (de) * | 1995-07-20 | 1997-01-23 | Heisel Uwe Prof Dr Ing Dr H C | Vorrichtung zum Positionieren und Fixieren von Körpern |
| DE19628921C2 (de) * | 1995-10-02 | 2000-02-24 | Wiemers Karl Heinz | Werkzeugmaschine mit mittels Magnetkräften spann- und positionierbarer Spanneinrichtung |
| IL135139A0 (en) * | 1997-09-19 | 2001-05-20 | Nikon Corp | Stage apparatus, scanning type exposure apparatus, and device produced with the same |
| US6628435B1 (en) * | 2000-07-18 | 2003-09-30 | Creo Srl | Contact-less ballistic scanning method |
| US6987558B2 (en) | 2001-01-16 | 2006-01-17 | Nikon Corporation | Reaction mass for a stage device |
| JP2002283174A (ja) * | 2001-03-26 | 2002-10-03 | Fanuc Ltd | 直線駆動装置 |
| JP2003145374A (ja) | 2001-11-15 | 2003-05-20 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 工作機械 |
| JP2004090031A (ja) * | 2002-08-30 | 2004-03-25 | Uht Corp | 加工装置用の駆動装置及びその駆動装置を利用した加工装置 |
| US20040119436A1 (en) * | 2002-12-23 | 2004-06-24 | Michael Binnard | Method and apparatus for reducing countermass stroke with initial velocity |
| JP4106618B2 (ja) * | 2003-04-14 | 2008-06-25 | 日本精工株式会社 | 位置決め装置 |
| DE20310654U1 (de) * | 2003-07-11 | 2003-09-18 | Retsch Gmbh & Co Kg | Laborgerät mit Gleitfußlagerung |
| US8302456B2 (en) | 2006-02-23 | 2012-11-06 | Asylum Research Corporation | Active damping of high speed scanning probe microscope components |
| US7649613B2 (en) * | 2006-03-03 | 2010-01-19 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus, method of controlling a component of a lithographic apparatus and device manufacturing method |
| US9383388B2 (en) | 2014-04-21 | 2016-07-05 | Oxford Instruments Asylum Research, Inc | Automated atomic force microscope and the operation thereof |
| CN110480367A (zh) * | 2019-08-13 | 2019-11-22 | 中山市宝元海精密五金制品有限公司 | 一种cnc五金加工的减震底座 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5045662A (ja) * | 1973-08-27 | 1975-04-23 | ||
| JPS5254459A (en) * | 1975-10-29 | 1977-05-02 | Hitachi Ltd | Precisely and finely movable pedestal |
| JPS5720813A (en) * | 1980-07-14 | 1982-02-03 | Toshiba Corp | Table device |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5485678A (en) * | 1977-12-20 | 1979-07-07 | Canon Inc | High accuracy alignment method for air bearing guide system xy stage |
| DE3045201A1 (de) * | 1980-12-01 | 1982-07-15 | Mora Fabrik für Meßgeräte Helmut Freund, 8750 Aschaffenburg | Hoehenmess- und anreissgeraet mit einem auf einer richtplatte verschiebbaren geraetefuss |
| DE3135180A1 (de) * | 1981-09-05 | 1983-04-14 | Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar | Einrichtung zum linearen fuehren eines abtasters |
| JPS5868118A (ja) * | 1981-10-20 | 1983-04-22 | Telmec Co Ltd | 高精度位置決めステ−ジ用防振装置 |
| US4485339A (en) * | 1983-06-10 | 1984-11-27 | The Perkin-Elmer Corporation | Electro-magnetic alignment device |
| JPS61109637A (ja) * | 1984-10-31 | 1986-05-28 | Hitachi Ltd | テ−ブル装置 |
-
1985
- 1985-11-06 JP JP60249545A patent/JPS62108185A/ja active Granted
-
1986
- 1986-10-28 DE DE19863636550 patent/DE3636550A1/de active Granted
- 1986-10-31 US US06/925,479 patent/US4750721A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5045662A (ja) * | 1973-08-27 | 1975-04-23 | ||
| JPS5254459A (en) * | 1975-10-29 | 1977-05-02 | Hitachi Ltd | Precisely and finely movable pedestal |
| JPS5720813A (en) * | 1980-07-14 | 1982-02-03 | Toshiba Corp | Table device |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6391503B2 (en) | 1997-09-19 | 2002-05-21 | Nikon Corporation | Scanning exposure methods |
| JP2009248219A (ja) * | 2008-04-03 | 2009-10-29 | Fanuc Ltd | 温調器を備えた加工装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4750721A (en) | 1988-06-14 |
| JPH0435037B2 (ja) | 1992-06-09 |
| DE3636550C2 (ja) | 1990-06-28 |
| DE3636550A1 (de) | 1987-05-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS62108185A (ja) | 移動テ−ブル装置 | |
| JP2714502B2 (ja) | 移動ステージ装置 | |
| JP2798530B2 (ja) | レーザ加工機 | |
| JPH0863231A (ja) | 目標物移動装置、位置決め装置及び可動ステージ装置 | |
| JP2631485B2 (ja) | 位置決め装置 | |
| JPH06252034A (ja) | 電磁式アライメント装置 | |
| JPH01113827U (ja) | ||
| JPH05235077A (ja) | 半導体デバイスボンディング用の極座標運動ボンディングヘッド | |
| US4816847A (en) | High resonance drive table and method of making a planar work surface | |
| JPS58211363A (ja) | キヤリツジ組立体 | |
| JPS6292277A (ja) | 情報記録再生装置 | |
| JPH1128630A (ja) | Ｘｙテーブル | |
| JPH0618007B2 (ja) | 非接触駆動形平面移動台 | |
| JPH0516167B2 (ja) | ||
| JPH10125593A (ja) | ステージ装置 | |
| JPS61239307A (ja) | 位置決め装置 | |
| JPH09211337A (ja) | 載物台 | |
| JPH0637710U (ja) | 座標測定機 | |
| JPS6352215A (ja) | 変位制御装置 | |
| JPS601913Y2 (ja) | 走査装置 | |
| JPS5976745A (ja) | Ｘｙテーブル | |
| JPH05138564A (ja) | ヘツド部駆動方法及び機構 | |
| Kossyk et al. | Device photolithography: The primary pattern generator part ii-mechanical design | |
| JPH0339751Y2 (ja) | ||
| JPH10277769A (ja) | レーザ加工機の駆動方法およびその装置 |