JP2798530B2 - レーザ加工機 - Google Patents
レーザ加工機Info
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- JP2798530B2 JP2798530B2 JP3208841A JP20884191A JP2798530B2 JP 2798530 B2 JP2798530 B2 JP 2798530B2 JP 3208841 A JP3208841 A JP 3208841A JP 20884191 A JP20884191 A JP 20884191A JP 2798530 B2 JP2798530 B2 JP 2798530B2
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- Japan
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- axis direction
- horizontal
- laser beam
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/08—Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
- B23K26/10—Devices involving relative movement between laser beam and workpiece using a fixed support, i.e. involving moving the laser beam
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/08—Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
- B23K26/083—Devices involving movement of the workpiece in at least one axial direction
- B23K26/0838—Devices involving movement of the workpiece in at least one axial direction by using an endless conveyor belt
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はレーザビームによりワー
クの切断加工等を行うレーザ加工機に関するものであ
る。
クの切断加工等を行うレーザ加工機に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】図９は例えば刊行物（三菱電機（株）製
炭酸ガスレーザ加工機カタログ）に示された従来のレー
ザ加工機を示す構成図であり、図において、１はテーブ
ル２に固定された被加工体としてのワーク、３はワーク
１に対し略直交してレーザビーム４を照射する加工ヘッ
ド、５はテーブル２を水平Ｘ軸方向に駆動させるＸ軸駆
動機構、６は水平Ｘ軸方向と直交する水平Ｙ軸方向に後
記のＺ軸駆動機構を駆動させるＹ軸駆動機構、７は保持
した加工ヘッド３をワーク１の面に対し直交する鉛直Ｚ
軸方向に駆動させるＺ軸駆動機構部であり、このＺ軸駆
動機構部７は上記Ｙ軸駆動機構６によって水平Ｙ軸方向
に駆動されるようになっている。
炭酸ガスレーザ加工機カタログ）に示された従来のレー
ザ加工機を示す構成図であり、図において、１はテーブ
ル２に固定された被加工体としてのワーク、３はワーク
１に対し略直交してレーザビーム４を照射する加工ヘッ
ド、５はテーブル２を水平Ｘ軸方向に駆動させるＸ軸駆
動機構、６は水平Ｘ軸方向と直交する水平Ｙ軸方向に後
記のＺ軸駆動機構を駆動させるＹ軸駆動機構、７は保持
した加工ヘッド３をワーク１の面に対し直交する鉛直Ｚ
軸方向に駆動させるＺ軸駆動機構部であり、このＺ軸駆
動機構部７は上記Ｙ軸駆動機構６によって水平Ｙ軸方向
に駆動されるようになっている。
【０００３】図１０はワーク１およびレーザビーム４の
動きの説明図であり、図１０において、３３および３４
はレーザ発振器（図示せず）から送られてきたレーザビ
ーム４の進行方向を曲げるミラーである。
動きの説明図であり、図１０において、３３および３４
はレーザ発振器（図示せず）から送られてきたレーザビ
ーム４の進行方向を曲げるミラーである。
【０００４】次に動作について説明する。ワーク１はテ
ーブル２の上にセットされ、水平Ｘ軸駆動機構５により
図９の如くＸ軸方向に移動される。また、図１０に示す
ように、Ｙ軸駆動機構６により、ミラー３４および加工
ヘッド３の位置がＹ軸方向に移動され、鉛直Ｚ軸駆動機
構部７により加工ヘッド３の位置がＺ軸方向に移動され
て、高さが変化される。これら３軸の駆動機構の作動を
組合せることにより、ワーク１と加工ヘッド３の相対位
置を変化させ、加工ヘッド３から照射するレーザビーム
４によりワーク１の加工を行う。
ーブル２の上にセットされ、水平Ｘ軸駆動機構５により
図９の如くＸ軸方向に移動される。また、図１０に示す
ように、Ｙ軸駆動機構６により、ミラー３４および加工
ヘッド３の位置がＹ軸方向に移動され、鉛直Ｚ軸駆動機
構部７により加工ヘッド３の位置がＺ軸方向に移動され
て、高さが変化される。これら３軸の駆動機構の作動を
組合せることにより、ワーク１と加工ヘッド３の相対位
置を変化させ、加工ヘッド３から照射するレーザビーム
４によりワーク１の加工を行う。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来のレーザ加工機は
上記のように構成されているため、微細な形状を加工す
る場合でも、重いテーブル２などを移動することが必要
であり、急加減速しようとしても、駆動機構の駆動力が
不足したり、振動が発生し、加工精度が悪化する。その
ため、加工精度を確保するためには急加減速せずに低速
で加工することを余儀なくされ、加工効率が非常に悪い
という問題点があった。
上記のように構成されているため、微細な形状を加工す
る場合でも、重いテーブル２などを移動することが必要
であり、急加減速しようとしても、駆動機構の駆動力が
不足したり、振動が発生し、加工精度が悪化する。その
ため、加工精度を確保するためには急加減速せずに低速
で加工することを余儀なくされ、加工効率が非常に悪い
という問題点があった。
【０００６】この発明は上記のような課題を解消するた
めになされたもので、微細な形状や小径穴加工などの曲
線加工などを、精度よく高速に行うことができるレーザ
加工機を得ることを目的とする。
めになされたもので、微細な形状や小径穴加工などの曲
線加工などを、精度よく高速に行うことができるレーザ
加工機を得ることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明に係るレーザ加
工機は、ワークに対してレーザビームを照射する加工ヘ
ッドと該加工ヘッドを鉛直方向に移動させる鉛直Ｚ軸方
向駆動部（鉛直Ｚ軸駆動機構部）との間に、上記レーザ
ビームの方向を変える第１、第２、第３のミラーを設
け、この第１のミラーと第２および第３のミラーとの相
対位置を該第２および第３のミラーを一体として上記レ
ーザビームが第１のミラーから第２のミラーへ進む方向
に移動させて変化させる第１の駆動手段と、上記第２の
ミラーと第３のミラーとの相対位置を上記レーザビーム
が第２のミラーから第３のミラーへ進む方向に移動させ
て変化させる第２の駆動手段とを具備したものである。
工機は、ワークに対してレーザビームを照射する加工ヘ
ッドと該加工ヘッドを鉛直方向に移動させる鉛直Ｚ軸方
向駆動部（鉛直Ｚ軸駆動機構部）との間に、上記レーザ
ビームの方向を変える第１、第２、第３のミラーを設
け、この第１のミラーと第２および第３のミラーとの相
対位置を該第２および第３のミラーを一体として上記レ
ーザビームが第１のミラーから第２のミラーへ進む方向
に移動させて変化させる第１の駆動手段と、上記第２の
ミラーと第３のミラーとの相対位置を上記レーザビーム
が第２のミラーから第３のミラーへ進む方向に移動させ
て変化させる第２の駆動手段とを具備したものである。
【０００８】
【作用】この発明におけるレーザ加工機は、加工ヘッド
を保持し鉛直Ｚ軸方向に移動させる鉛直Ｚ軸駆動機構部
に、上記加工ヘッドを直交する水平２軸方向に移動可能
に設けたことにより、軽量な加工ヘッドを急加減速する
ことができ、微細な形状の加工や小径穴加工を高速に精
度よく行うことができる。
を保持し鉛直Ｚ軸方向に移動させる鉛直Ｚ軸駆動機構部
に、上記加工ヘッドを直交する水平２軸方向に移動可能
に設けたことにより、軽量な加工ヘッドを急加減速する
ことができ、微細な形状の加工や小径穴加工を高速に精
度よく行うことができる。
【０００９】
実施例１．以下、この発明の一実施例を図について説明
する。図１はこの発明の概要を示す説明図であり、図１
０に示す従来のものと同一部分または相当部分には同一
符号を付して重複説明を省略する。
する。図１はこの発明の概要を示す説明図であり、図１
０に示す従来のものと同一部分または相当部分には同一
符号を付して重複説明を省略する。
【００１０】図１において、３０，３１，３２はミラー
である。ミラー３４で鉛直下方に曲げられて進んできた
レーザビームはミラー３０により水平方向に９０度曲げ
られ、さらにミラー３１により水平方向に９０度曲げら
れた後、ミラー３２により鉛直方向に９０度曲げて加工
ヘッド３に入る。この場合、ミラー３０はＺ軸駆動機構
部７に固定され、ミラー３２は加工ヘッド３に固定され
ており、Ｚ軸駆動機構部７によりミラー３０より先の加
工ヘッド３までが同時にＺ軸方向に移動される。
である。ミラー３４で鉛直下方に曲げられて進んできた
レーザビームはミラー３０により水平方向に９０度曲げ
られ、さらにミラー３１により水平方向に９０度曲げら
れた後、ミラー３２により鉛直方向に９０度曲げて加工
ヘッド３に入る。この場合、ミラー３０はＺ軸駆動機構
部７に固定され、ミラー３２は加工ヘッド３に固定され
ており、Ｚ軸駆動機構部７によりミラー３０より先の加
工ヘッド３までが同時にＺ軸方向に移動される。
【００１１】図２はこの発明の一実施例によるレーザ加
工機の概観図であり、図９に示す従来のものと同一部分
または相当部分には同一符号を付して重複説明を省略す
る。図２において、８はＺ軸駆動機構部７と加工ヘッド
３の間に備えられた加工ヘッド微動機構であり、この加
工ヘッド微動機構８の中に、第１、第２、第３のミラ
ー、および、第１、第２の駆動手段が構成されている。
工機の概観図であり、図９に示す従来のものと同一部分
または相当部分には同一符号を付して重複説明を省略す
る。図２において、８はＺ軸駆動機構部７と加工ヘッド
３の間に備えられた加工ヘッド微動機構であり、この加
工ヘッド微動機構８の中に、第１、第２、第３のミラ
ー、および、第１、第２の駆動手段が構成されている。
【００１２】この加工ヘッド微動機構の詳細な断面正面
図を図３に示す。図３において、９はＺ軸駆動機構部７
に固定されたベースプレート、１０はベースプレート９
に固定された第１プレート、１１は第１プレート１０に
対して水平Ｙ軸方向に移動可能に設けられた第２プレー
ト、１２は第２プレート１１に対して水平Ｙ軸方向と直
交する水平Ｘ軸方向に移動可能に設けられた第３プレー
ト、１３は第１プレート１０に対し第２プレート１１を
水平Ｙ軸方向に移動自在に接続するガイド、１７は水平
Ｘ軸方向に移動するボールネジを内蔵したテーブル、１
８はテーブル１７を駆動するサーボモータ、１９はサー
ボモータ１８の回転角度を検出するエンコーダ、１５は
第３プレート１２とテーブル１７をつなぐ継ぎ手、１６
はカムフォロア、２５は継ぎ手レール、３０は第１プレ
ート１０に固定されたミラー、３１は第２プレート１１
に固定されたミラー、３２は第３プレート１２に固定さ
れたミラー、２０は第３プレート１２に固定されたカバ
ー、３はカバー２０に固定された加工ヘッドである。
図を図３に示す。図３において、９はＺ軸駆動機構部７
に固定されたベースプレート、１０はベースプレート９
に固定された第１プレート、１１は第１プレート１０に
対して水平Ｙ軸方向に移動可能に設けられた第２プレー
ト、１２は第２プレート１１に対して水平Ｙ軸方向と直
交する水平Ｘ軸方向に移動可能に設けられた第３プレー
ト、１３は第１プレート１０に対し第２プレート１１を
水平Ｙ軸方向に移動自在に接続するガイド、１７は水平
Ｘ軸方向に移動するボールネジを内蔵したテーブル、１
８はテーブル１７を駆動するサーボモータ、１９はサー
ボモータ１８の回転角度を検出するエンコーダ、１５は
第３プレート１２とテーブル１７をつなぐ継ぎ手、１６
はカムフォロア、２５は継ぎ手レール、３０は第１プレ
ート１０に固定されたミラー、３１は第２プレート１１
に固定されたミラー、３２は第３プレート１２に固定さ
れたミラー、２０は第３プレート１２に固定されたカバ
ー、３はカバー２０に固定された加工ヘッドである。
【００１３】図４は図３の側面図、図５は図３の底面図
である。図４、図５において、１４は第２プレート１１
に対し第３プレート１２を水平Ｘ軸方向に移動自在に接
続するガイド、２２は水平Ｙ軸方向に移動するボールネ
ジを内蔵したテーブル、２３はテーブル２２を駆動する
サーボモータ、２４はサーボモータ２３の回転角度を検
出するエンコーダ、２１は第２プレート１１とテーブル
２２をつなぐ継ぎ手である。
である。図４、図５において、１４は第２プレート１１
に対し第３プレート１２を水平Ｘ軸方向に移動自在に接
続するガイド、２２は水平Ｙ軸方向に移動するボールネ
ジを内蔵したテーブル、２３はテーブル２２を駆動する
サーボモータ、２４はサーボモータ２３の回転角度を検
出するエンコーダ、２１は第２プレート１１とテーブル
２２をつなぐ継ぎ手である。
【００１４】次に動作について説明する。まず、レーザ
ビームの進み方について説明する。Ｚ軸駆動機構部７を
鉛直下方に進んできたレーザビームはベースプレート
９、第１から第３のプレート１０〜１２に開けられた穴
９ａ，１０ａ，１１ａ，１２ａを通過して第１のミラー
３０で水平Ｙ軸方向に曲げられる。次に、第２のミラー
３１で水平Ｘ軸方向に９０度曲げられた後、第３のミラ
ー３２で鉛直下方に曲げられて加工ヘッド３に入射され
る。
ビームの進み方について説明する。Ｚ軸駆動機構部７を
鉛直下方に進んできたレーザビームはベースプレート
９、第１から第３のプレート１０〜１２に開けられた穴
９ａ，１０ａ，１１ａ，１２ａを通過して第１のミラー
３０で水平Ｙ軸方向に曲げられる。次に、第２のミラー
３１で水平Ｘ軸方向に９０度曲げられた後、第３のミラ
ー３２で鉛直下方に曲げられて加工ヘッド３に入射され
る。
【００１５】次に、各ミラーの移動について説明する。
第１プレート１０はベースプレート９に固定されてお
り、第１のミラー３０はこの第１プレート１０に固定さ
れているので移動しない。第２のミラー３１が固定され
ている第２プレート１１はガイド１３を介して、第１プ
レート１０と水平Ｙ軸方向に移動自在に接続されてい
る。テーブル２２は第２プレート１１と継ぎ手２１で接
続されており、サーボモータ２３により水平Ｙ軸方向に
移動される。この結果、第１のミラー３０と第２のミラ
ー３１の相対位置をレーザビームの進む方向である水平
Ｙ軸方向に変化することができる。相対位置の変化量は
サーボモータ２３に取り付けられたエンコーダ２４によ
り検出される。
第１プレート１０はベースプレート９に固定されてお
り、第１のミラー３０はこの第１プレート１０に固定さ
れているので移動しない。第２のミラー３１が固定され
ている第２プレート１１はガイド１３を介して、第１プ
レート１０と水平Ｙ軸方向に移動自在に接続されてい
る。テーブル２２は第２プレート１１と継ぎ手２１で接
続されており、サーボモータ２３により水平Ｙ軸方向に
移動される。この結果、第１のミラー３０と第２のミラ
ー３１の相対位置をレーザビームの進む方向である水平
Ｙ軸方向に変化することができる。相対位置の変化量は
サーボモータ２３に取り付けられたエンコーダ２４によ
り検出される。
【００１６】第３プレート１２はガイド１４を介して第
２プレート１１と水平Ｘ軸方向に移動自在に接続されて
いる。そのため、第２プレート１１が水平Ｙ軸方向に移
動されると第３プレート１２もＹ軸方向に移動され、第
３のプレート１２に固定されている第３のミラー３２も
同様に移動する。
２プレート１１と水平Ｘ軸方向に移動自在に接続されて
いる。そのため、第２プレート１１が水平Ｙ軸方向に移
動されると第３プレート１２もＹ軸方向に移動され、第
３のプレート１２に固定されている第３のミラー３２も
同様に移動する。
【００１７】また、テーブル１７は第３プレート１２
と、継ぎ手１５、カムフォロア１６、および、継ぎ手レ
ール２５により水平Ｙ軸方向に移動自在に接続されてい
る。第２プレート１１が水平Ｙ軸方向に移動されたと
き、この継ぎ手部分により水平Ｙ軸方向の動きはテーブ
ル１７に伝わらない。テーブル１７はサーボモータ１８
により、水平Ｘ軸方向に移動される。
と、継ぎ手１５、カムフォロア１６、および、継ぎ手レ
ール２５により水平Ｙ軸方向に移動自在に接続されてい
る。第２プレート１１が水平Ｙ軸方向に移動されたと
き、この継ぎ手部分により水平Ｙ軸方向の動きはテーブ
ル１７に伝わらない。テーブル１７はサーボモータ１８
により、水平Ｘ軸方向に移動される。
【００１８】この結果、第２のミラー３１と第３のミラ
ー３２の相対位置をビームの進む方向である水平Ｘ軸方
向に変化することができる。相対位置の変化量はサーボ
モータ１８に取り付けられたエンコーダ１９により検出
される。加工ヘッド３はカバー２０を介して第３プレー
ト１２に固定されているので、第３のミラー３２と加工
ヘッド３の相対位置は変化せず、固定されていることに
なる。
ー３２の相対位置をビームの進む方向である水平Ｘ軸方
向に変化することができる。相対位置の変化量はサーボ
モータ１８に取り付けられたエンコーダ１９により検出
される。加工ヘッド３はカバー２０を介して第３プレー
ト１２に固定されているので、第３のミラー３２と加工
ヘッド３の相対位置は変化せず、固定されていることに
なる。
【００１９】図５に示すように、第２プレート１１と第
３プレート１２には第２プレート１１が水平Ｙ軸方向に
移動したときに第１のミラー３０と干渉しないように開
口部１１ａ，１２ａが設けられている。また、第３プレ
ート１２の開口部１２ａは第３プレートが水平Ｘ軸方向
に移動したときに、第２のミラー３１と干渉しないよう
に第２のプレート１１の開口部１１ａより大きく設けら
れている。Ｚ軸駆動機構部７が上下した場合加工ヘッド
３まですべてが上下する。
３プレート１２には第２プレート１１が水平Ｙ軸方向に
移動したときに第１のミラー３０と干渉しないように開
口部１１ａ，１２ａが設けられている。また、第３プレ
ート１２の開口部１２ａは第３プレートが水平Ｘ軸方向
に移動したときに、第２のミラー３１と干渉しないよう
に第２のプレート１１の開口部１１ａより大きく設けら
れている。Ｚ軸駆動機構部７が上下した場合加工ヘッド
３まですべてが上下する。
【００２０】実施例２．前記実施例１では、ワーク１が
水平Ｘ軸方向に移動されるレーザ加工機について述べた
が、図６に示すようにワーク１が水平Ｘ軸方向と水平Ｙ
軸方向の両方に移動されるレーザ加工機についても同様
の動作が期待できる。このとき、発振器から進んできた
レーザビーム４はミラー３５で鉛直下方に曲げられてく
る。
水平Ｘ軸方向に移動されるレーザ加工機について述べた
が、図６に示すようにワーク１が水平Ｘ軸方向と水平Ｙ
軸方向の両方に移動されるレーザ加工機についても同様
の動作が期待できる。このとき、発振器から進んできた
レーザビーム４はミラー３５で鉛直下方に曲げられてく
る。
【００２１】実施例３．上記実施例２では、ワーク１が
水平Ｘ，Ｙ軸両方向に移動されるレーザ加工機について
述べたが、図７に示すようにワーク１は移動せず、ミラ
ー３３から加工ヘッド３までが水平Ｘ軸方向に移動する
レーザ加工機についても同様の動作が期待できる。
水平Ｘ，Ｙ軸両方向に移動されるレーザ加工機について
述べたが、図７に示すようにワーク１は移動せず、ミラ
ー３３から加工ヘッド３までが水平Ｘ軸方向に移動する
レーザ加工機についても同様の動作が期待できる。
【００２２】実施例４．前記実施例１では水平Ｘ軸、水
平Ｙ軸それぞれプレートとテーブルを直列に配置して接
続していたが、図８に示す実施例４のように、プレート
とテーブルを横に並べて配置し継ぎ手で接続する構成で
も同様の動作が期待できる。この図によれば、全体の長
さをよりコンパクトにすることができる。
平Ｙ軸それぞれプレートとテーブルを直列に配置して接
続していたが、図８に示す実施例４のように、プレート
とテーブルを横に並べて配置し継ぎ手で接続する構成で
も同様の動作が期待できる。この図によれば、全体の長
さをよりコンパクトにすることができる。
【００２３】実施例５．前記実施例１では、ミラー３
０、３１、および３２の相対位置を変化させるための駆
動手段としてボールねじを内蔵したテーブル１７および
２２と、サーボモータ１８および２３を用いたが、リニ
アモータを用いても同様の動作を期待できる。
０、３１、および３２の相対位置を変化させるための駆
動手段としてボールねじを内蔵したテーブル１７および
２２と、サーボモータ１８および２３を用いたが、リニ
アモータを用いても同様の動作を期待できる。
【００２４】実施例６．前記実施例１では、相対位置の
検出にサーボモータに取り付けられたエンコーダ１９お
よび２４を用いていたが、第１プレート１０と第２プレ
ート１１の間にリニアスケールを装着し、水平Ｙ軸方向
の相対位置を検出し、第２プレート１１と第３プレート
１２の間にリニアスケールを装着し、水平Ｘ軸方向の相
対位置を検出することもできる。こうすれば、ボールネ
ジや継ぎ手に存在するガタの影響を排除して正確な相対
位置を検出することができる。
検出にサーボモータに取り付けられたエンコーダ１９お
よび２４を用いていたが、第１プレート１０と第２プレ
ート１１の間にリニアスケールを装着し、水平Ｙ軸方向
の相対位置を検出し、第２プレート１１と第３プレート
１２の間にリニアスケールを装着し、水平Ｘ軸方向の相
対位置を検出することもできる。こうすれば、ボールネ
ジや継ぎ手に存在するガタの影響を排除して正確な相対
位置を検出することができる。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、ワークにレーザビームを照射する加工ヘッドと該加
工ヘッドを鉛直Ｚ軸方向に駆動させるＺ軸駆動機構部と
の間に、レーザビームの方向を変える複数のミラーを有
する加工ヘッド微動機構を設けたので、軽量な加工ヘッ
ドを急加減速することができ、従って、微細な形状の加
工や小径穴加工などの曲線加工を、Ｘ軸駆動機構、Ｙ軸
駆動機構および上記加工ヘッド微動機構を作動させるこ
とにより、水平Ｘ軸方向および水平Ｙ軸方向の長いスト
ロークにわたって、小さな駆動力で振動を発生させるこ
となく、高速に精度よく行うことができるという効果が
ある。
ば、ワークにレーザビームを照射する加工ヘッドと該加
工ヘッドを鉛直Ｚ軸方向に駆動させるＺ軸駆動機構部と
の間に、レーザビームの方向を変える複数のミラーを有
する加工ヘッド微動機構を設けたので、軽量な加工ヘッ
ドを急加減速することができ、従って、微細な形状の加
工や小径穴加工などの曲線加工を、Ｘ軸駆動機構、Ｙ軸
駆動機構および上記加工ヘッド微動機構を作動させるこ
とにより、水平Ｘ軸方向および水平Ｙ軸方向の長いスト
ロークにわたって、小さな駆動力で振動を発生させるこ
となく、高速に精度よく行うことができるという効果が
ある。
【図１】この発明の実施例１の概要を示す説明図であ
る。
る。
【図２】この発明の実施例１を示す概観図である。
【図３】この発明の実施例１を示す断面正面図である。
【図４】この発明の実施例１を示す断面側面図である。
【図５】この発明の実施例１を示す断面下面図である。
【図６】この発明の実施例２の概要を示す説明図であ
る。
る。
【図７】この発明の実施例３の概要を示す説明図であ
る。
る。
【図８】この発明の実施例４を示す断面下面図である。
【図９】従来のレーザ加工機を示す概観図である。
【図１０】従来のレーザ加工機を示す説明図である。
１ ワーク ３ 加工ヘッド ４ レーザビーム ３０ 第１のミラー ３１ 第２のミラー ３２ 第３のミラー １７ テーブル（第１の駆動手段） １８ サーボモータ（第１の駆動手段） ２２ テーブル（第２の駆動手段） ２３ サーボモータ（第２の駆動手段）
Claims (1)
- 【請求項１】 ワークを固定するテーブルと、該ワーク
に対してレーザビームを照射する加工ヘッドと、該加工
ヘッドを鉛直Ｚ軸方向に移動させる鉛直Ｚ軸方向駆動部
と、上記テーブルと上記加工ヘッドとの相対位置を水平
Ｘ軸方向に変化させるＸ軸駆動機構と、上記テーブルと
上記加工ヘッドとの相対位置を水平Ｙ軸方向に変化させ
るＹ軸駆動機構と、上記加工ヘッドと上記鉛直Ｚ軸方向
駆動部との間に設けられ該加工ヘッドを水平Ｘ軸方向お
よび水平Ｙ軸方向に移動させる加工ヘッド微動機構とを
備え、 該加工ヘッド微動機構が、上記 鉛直Ｚ軸方向駆動部に固
定され鉛直Ｚ軸方向に進行するレーザービームを水平Ｙ
軸方向に曲げる第１のミラーと、前記第１のミラーで曲
げられたレーザビームを水平Ｘ軸方向に９０度曲げる第
２のミラーと、前記加工ヘッドに固定され前記第２のミ
ラーで曲げられたレーザビームを鉛直方向に曲げる第３
のミラーと、前記第１のミラーと第２および第３のミラ
ーとの相対位置を該第２および第３のミラーを一体とし
て前記レーザビームが第１のミラーから第２のミラーへ
進む方向に移動させて変化させる第１の駆動手段と、前
記第２のミラーと前記第３のミラーとの相対位置を前記
レーザビームが該第２のミラーから該第３のミラーへ進
む方向に移動させて変化させる第２の駆動手段とを備え
たことを特徴とするレーザ加工機。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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