JP2001269827A - 立形工作機械 - Google Patents

立形工作機械

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JP2001269827A
JP2001269827A JP2000087849A JP2000087849A JP2001269827A JP 2001269827 A JP2001269827 A JP 2001269827A JP 2000087849 A JP2000087849 A JP 2000087849A JP 2000087849 A JP2000087849 A JP 2000087849A JP 2001269827 A JP2001269827 A JP 2001269827A
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Kozo Imanishi
耕造 今西
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Toyoda Koki KK
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Toyoda Koki KK
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 立形工作機械において、高速送りでも各部重
心位置による振動の発生を防止する。 【解決手段】 立形工作機械は、対向して水平第1軸線
方向に設けられた移動体7の案内8に跨って主軸頭20
が移動可能に案内支承されると共に、対向して水平第1
軸線方向と垂直な水平第2軸線方向に設けられた案内6
に跨って移動台が移動可能に案内支承された主軸側組立
体20,7、対向した上下第3軸線方向に設けられた案
内3に跨って移動可能に案内支承された工作物支持体4
並びに主軸側組立体及び工作物支持体の各送り駆動手段
を備えており、対向した水平第1軸線方向の案内が郭定
する水平支持面及び対向した水平第2軸線方向の案内が
郭定する水平支持面の範囲内に主軸側組立体の重心が常
に位置し、対向した上下第3軸線方向の案内が郭定する
水平支持面の範囲内に工作物を装着した工作物支持体の
重心が常に位置するようになっている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、立形工作機械、
例えばマシニングセンタ、特に主軸頭、コラム等をリニ
アモータ等で高速送りする立形工作機械に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の技術における立形工作機械は、図
10及び図11に示すように、ベッド51上に門型フレ
ーム52が立設され、ベッド51の上面には、門型フレ
ーム52が囲繞する空間Hを通して平行なY軸線方向の
案内53,53が設けられている。Y軸線方向に移動可
能に案内53,53に支持された工作物テーブル54
は、ベッド51の後端部に取り付けられたサーボモータ
55により送りねじ機構を介してY軸線方向に空間Hを
通して送り駆動され得るようになっている。
【0003】門型フレーム52の頂面には平行なX軸線
方向の案内58,58が設けられており、X軸線方向に
移動可能に案内58,58に支持されたZ軸線方向に伸
びる移動コラム57は、門型フレーム52の頂面の一端
部に取り付けられたサーボモータ59により送りねじ機
構を介してX軸線方向に送り駆動され得るようになって
いる。
【0004】移動コラム57の前面部は、門型フレーム
52の前面より突出して、垂れ下がっており、平行なZ
軸線方向の案内56,56が形成されている。Z軸線方
向に移動可能に案内56,56に支持された主軸頭60
は、移動コラム57の頂面に取り付けられたサーボモー
タ61により送りねじ機構を介してZ軸線方向に送り駆
動され得るようになっている。
【0005】主軸頭60には、工作物テーブル4に向う
端部に工具が装着されるZ軸線方向の主軸62が備えら
れている。工作物テーブル54に装着された工作物は、
サーボモータ55により工作物テーブル54がY軸線方
向に移動されることによりY軸線方向に送られる。
【0006】又、主軸62に装着され、回転駆動される
工具は、サーボモータ59により送りねじ機構を介して
移動コラム57がY軸線方向に移動されると共に、サー
ボモータ61により送りねじ機構を介して主軸頭60が
Z軸線方向に移動されことにより、Z軸線方向に送られ
る。従って、工作物のY軸線方向の送りと工具のX軸線
方向の送り及びZ軸線方向の送りとが相俟って三次元的
な相対移動乃至位置決めとなり、それにより適宜な加工
が行われる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】上記のような構造の立
形工作機械においては、送り駆動される主軸頭60及び
移動コラム57の合成重心が案内58,58で郭定され
る案内面の範囲内になく、例えば案内面の手前に位置
し、案内面における支持点を中心にモーメンが働くこと
になる。
【0008】そのような構造においては、送り駆動をリ
ニアモータによるような高速送りの場合には、案内面か
らの重心の偏位は、移動コラム57及び主軸頭60の送
りにおけるヨーイングやピッチング等の振動の発生因と
なり、加工精度に悪影響を与える。又、送り制御系にお
いても、そのような振動により制御系のゲインが向上で
きないで、追従誤差が大きくなり、加工精度が低下す
る。
【0009】そこで、この発明は、リニアモータ送り駆
動のように高速送りである立形工作機械において、主軸
頭等の移動体の重心を案内面範囲内にして、案内面から
の重心の偏位をなくして、高速送りにも拘らず加工精度
に悪影響を与えなくすることにより、上記の従来の技術
の問題点を解消するものである。
【0010】
【課題を解決するための手段】この発明の立形工作機械
は、中間空間を形成して対向して立設され、夫々に水平
第1軸線方向に垂直な水平第2軸線方向の案内が設けら
れたコラム、対向コラムの水平第2軸線方向の案内に両
側部が移動可能に案内支承され、対向した水平第1軸線
方向に案内が設けられた移動体、移動体の対向した水平
第1軸線方向の案内に両側部が移動可能に案内支承され
た主軸頭、コラム又はベッドに設けられた対向した上下
第3軸線方向の案内に両側部が移動可能に案内支承され
た工作物支持体、並びに移動体、主軸頭及び工作物支持
体の各送り駆動手段、例えば、各案内に沿って各部重心
を挟むように位置しているリニアモータを備え、各対向
案内に案内支承される各部の重心に対し当該対向案内が
対称的な位置にあり、主軸頭の重心が対向した水平第1
軸線方向の案内の中心面内にに常に位置し、対向した水
平第2軸線方向の案内が郭定する水平支持面の範囲内に
主軸頭及び移動体の合成重心が常に位置し、上下第3軸
線方向の案内が郭定する水平支持面の範囲内に工作物を
装着した工作物支持体の重心が常に位置する。
【0011】そして、主軸頭が送られても、対向した水
平第1軸線方向の案内が郭定する水平支持面の範囲内に
主軸頭の重心が常に位置し、主軸頭及び移動体が夫々送
られても、対向した水平第2軸線方向の案内が郭定する
水平支持面の範囲内に主軸頭及び移動体の合成重心が常
に位置し、工作物支持体が送られても上下第3軸線方向
の案内が郭定する水平支持面の範囲内に工作物を装着し
た工作物支持体の重心が常に位置するようになってい
る。
【0012】
【発明の実施の形態】この発明の実施の形態におけるリ
ニアモータ送り駆動の立形工作機械(図示の例はマシニ
ングセンタ)を図面に従って説明する。なお、図1及び
図5における左右方向、紙面垂直方向及び上下方向を夫
々X軸線方向、Y軸線方向及びZ軸線方向とする。
【0013】図1、図2、図3及び図4に示す実施の第
1形態のリニアモータ送り駆動の立形マシニングセンタ
は、ベッド1上にX軸線方向に間隔をあけて中間空間H
を形成してY線方向及びZ軸線方向に伸びた外郭のコラ
ム2,2が立設されいる。ベッド1は、コラム2,2間
において作業者側の手前にはY軸線方向に台形に凹所1
aが形成されている。
【0014】コラム2,2の対向内面の夫々には、Y軸
線方向の中央域でY軸線方向に適宜の間隔をあけて平行
なZ軸線方向の案内3,3が形成され、中間空間Hに位
置する工作物テーブル4は、左右両側がそれぞれ案内
3,3に支持され、直立中心線に対し対称的な構造とな
っている。コラム2・工作物テーブル4の両対向面間に
おいて働くように設けられたリニアモータ5,5により
中間空間H内をZ軸線方向に送り駆動され得るようにな
っている。各コラム2の内側頂面が段面となるように、
外側頂面上にコラム2の一部をなす副コラム2aが立設
されいる。
【0015】コラム2,2の内側頂面の夫々には、Y軸
線方向の案内6が設けられており、コラム2,2の内側
頂面に跨り、副コラム2a,2aに挟まれて中間空間H
の上部に位置する移動台7は、長方形の枠体であり、X
軸線方向の枠部7a,7aの対向内面の夫々にはZ軸線
方向に適宜の間隔をあけて平行なX軸線方向の案内8,
8が形成され、Y軸線方向の枠部7b,7bは、コラム
2,2の案内6,6に支持され、移動台7は、中心線に
対し対称的な構造となっている。枠部7b・副コラム2
aの両対向面間において働くように設けられたリニアモ
ータ9,9によりY軸線方向に送り駆動され得るように
なっている。
【0016】移動台7の枠体中空部に枠部7a,7aに
挟まれてその中心線に位置する主軸頭20は、案内8,
8に支持され、枠部・主軸頭に設けられたリニアモータ
21,21によりX軸線方向に送り駆動され得るように
なっており、主軸頭20の中心線において回転駆動さ
れ、工作物テーブル4に向う端部に工具が装着されるZ
軸線方向の主軸22が備えられている。即ち、主軸22
の軸線は、常に枠部7a,7aの案内8,8の中心線と
交わり、主軸22を備えた主軸頭20の重心は、常に中
心線を含む直立面、即ち中心面内にある。
【0017】図5、図6、図7及び図4に示す実施の第
2形態のリニアモータ送り駆動の立形マシニングセンタ
は、ベッド1上にX軸線方向に間隔をあけて中間空間H
を形成してY線方向及びZ軸線方向に伸びた外郭のコラ
ム2,2が立設されいる。
【0018】ベッド1には、コラム2,2間において作
業者側の手前及び上下面に開いて、上下にベッド1の略
中央域に達するY軸線方向の平行な対向面をもつ凹部1
bが形成され、ベッド1の凹部1bの対向内面の夫々に
は、Y軸線方向に適宜の間隔をあけて平行なZ軸線方向
の案内10,10が形成されている。
【0019】中間空間Hに位置する工作物テーブル4
は、前面開口の断面コ字形でZ軸線方向に伸びる脚部4
aをもっており、脚部4aの左右両側がそれぞれ案内1
0,10に支持され、凹部1b・脚部4aの対向面間に
おいて働くように設けられたリニアモータ11,11に
より中間空間H内をZ軸線方向に送り駆動され得るよう
になっている。
【0020】副コラム2a、案内6、移動台7、案内
8、リニアモータ9、主軸頭20、リニアモータ21及
び主軸22に関しては、実施の第1形態と同じである。
実施の第1形態と実施の第2形態との間には、Z軸線方
向の案内10,10の形成箇所が前者においてはベッド
1に立設されたコラム2であり、後者においてはベッド
1である相違点がある。
【0021】前者は、後者に較べて、Z軸線方向の送り
距離範囲を大きくしても、コラム2のみを長大化するだ
けで、後者とは異なりベッド1は関係しないので、工作
物のローディング高さは低いまま変わらない利点があ
る。後者は、前者に較べて、コラム2に形成された案内
10,10の直立度を確保するためにコラム2のベッド
1の上面への取付けに留意を必要とする構造に比し案内
10,10の直立度を確保してベッド1自体に案内1
0,10を形成する構造の方が製作コストが低廉である
という利点がある。
【0022】そして、実施の第1形態及び実施の第2形
態において、コラム2,2の内側頂面の夫々にY軸線方
向の案内6が設けられている代わりに、図8に示すよう
に、副コラム2a,2aの対向内面の夫々にはZ軸線方
向に適宜の間隔をあけて平行なY軸線方向の案内6a,
6aが設けられ、移動台7の各枠部7bの外側面が案内
6a,6aに支持されており、一対の平行な案内6a,
6aの中間にリニアモータ9が配置されている第1変形
形式や、図9に示すように、第1変形形式の各副コラム
2aの下側の案内6aが副コラム2aの対向内面でなく
各コラム2の内側頂面に設けられ、移動台7の各枠部7
bの外側面及び下側面が案内6a,6aに支持されてい
る第2変形形式もある。
【0023】これらの変形形式においては、単一の案内
に平行してリニアモータが配置されている形式と異な
り、リニアモータの推進力と案内における摩擦抵抗とに
よるモーメントは生じない。又、第2変形形式において
は、水平方向の荷重より大きな上下方向の荷重を支承し
ているので、剛性及び耐荷重の点で第1変形形式より優
れており、第1変形形式は、組付けにおける心出しが第
2変形形式より容易である。
【0024】上記の発明の実施の形態において、リニア
モータ5,9,11,21は、図示しない制御系により
制御駆動される。工作物テーブル4は、左右両端縁の夫
々がコラム2の案内3,3により支承案内されて、又は
脚部4aの両側の夫々がベッド1の案内10,10に支
承案内されてリニアモータ5,11によりZ軸線方向に
送られ、その工作物テーブル4の中央に装着された工作
物もZ軸線方向に送られるのであるが、そのZ軸線方向
の送りにおいて工作物テーブル4及び工作物の合成重心
はベッド1乃至コラム2の案内3,3,3,3;10,
10,10,10で支える支持面の範囲内、特に略中心
に変わらずにある。
【0025】他方、主軸頭20は、前後両側面の夫々が
移動台7の案内8,8に支承案内されてリニアモータ2
1によりX軸線方向に送られ、その主軸頭20において
回転駆動されている主軸22に装着された工具もX軸線
方向に送られるのであるが、そのX軸線方向の送りにお
いて工具・主軸22・主軸頭20の合成重心は、移動台
7のY軸線方向に間隔をあけた案内8,8の支える支持
面の範囲内、特にY軸線方向に間隔をあけた案内8,8
の中心面内にある。
【0026】そして、移動台7は、左右両側の下面の夫
々がコラム2の案内6,6に支承案内されて、又は左右
両側面が夫々副コラム2aの案内6a,6aに支持さ
れ、又はその左右両側が夫々コラム2の案内6及び副コ
ラム2aの案内6aに支持されて、リニアモータ9によ
りY軸線方向に送られ、その移動台7共々主軸頭20も
X軸線方向に送られるのであるが、そのX軸線方向の送
りにおいて移動台7自体の重心は、X軸線方向に間隔を
あけた案内6,6又は案内6a,6aの中心面内にあ
る。
【0027】上記のX軸線方向の送りにおいて工具・主
軸22・主軸頭20、移動台7の合成重心は、コラム
2,2の案内6,6で支える支持面又は対向する副コラ
ム2a,2aの案内6a,6aで支える支持面の範囲内
にある。従って、主軸頭20のX軸線方向の送り、移動
体のY軸線方向の送り及び工作物テーブル4のZ軸線方
向の送りとは、相俟って工具と工作物との三次元的な相
対移動乃至位置決めとなり、それにより適宜な加工が行
われる。
【0028】
【発明の効果】この発明の立形工作機械においては、主
軸頭が水平第1軸線方向に送られても、主軸頭の重心
は、主軸頭を案内支承する対向した水平第1軸線方向の
案内が郭定する水平支持面の範囲内に常に位置し、特に
対向した水平第1軸線方向の案内の中心面内に位置し、
主軸頭を案内支承する対向した水平第1軸線方向の案内
をもつ移動が水平第2軸線方向に送られても、主軸頭及
び移動体の合成重心、即ち主軸側組立体の重心が常に水
平第2軸線方向の案内が郭定する水平支持面の範囲内に
常に位置する。
【0029】即ち、主軸頭が水平平面のどの位置に送ら
れても、主軸側組立体の重心が水平第1軸線方向の対向
案内及び水平第2軸線方向の対向案内が郭定する水平支
持面の範囲内に常に位置する。又、工作物が装着され上
下第3軸線方向に送られる工作物支持体においても、工
作物支持体を上下第3軸線方向に移動可能に案内支持す
る対向した上下第3軸線方向の案内が郭定する支持面の
範囲内に工作物・工作物支持体の合成重心が常に位置す
る。
【0030】その結果、主軸側組立体の重心及び工作物
・工作物支持体の合成重心による支持面における支持点
を中心にしたモーメントを働かせることはない。従っ
て、送り駆動手段として例えばリニアモータのように駆
動手段を用いて主軸側組立体や工作物・工作物支持体を
高速に送り駆動しても、ヨーイングやピッチング等の振
動は発生しない。
【0031】又、リニアモータを用いることにより装置
の小形化及び急速送りが共に可能となり、リニアモータ
が各案内に沿って各部重心を挟むように位置させること
により安定した急速送りが行われる。それにより、生産
効率の向上を図るため高速送りが可能で、なお加工精度
を高精度に保ち得る。そして、各支持部材が各部重心に
対し対称的な構造であるので、熱変形も抑止され、加工
精度を高精度に保ち得る。
【0032】工作物の支持体を上下第3軸線方向に送る
案内がコラムに設けられた形式では、第3軸線方向の送
り距離範囲を大きくしても、コラムのみを長大化するだ
けで、ベッドは関係しないので、工作物のローディング
高さは低いまま変わらないので作業性がよい。又、同案
内がベッドに設けられた形式では、案内の直立度の維持
が容易で製作コストが低廉である。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施の第1形態におけるリニアモー
タ送り駆動立形工作機械の断面正面図である。
【図2】図1のII−II線における断面図である。
【図3】図1のIII−III線における断面図であ
る。
【図4】この発明の実施の第1形態及び第2形態におけ
るリニアモータ送り駆動立形工作機械の平面図である。
【図5】この発明の実施の第2形態におけるリニアモー
タ送り駆動立形工作機械の断面正面図である。
【図6】図5のVI−VI線における断面図である。
【図7】図5のVII−VII線における断面図であ
る。
【図8】この発明の実施の形態におけるリニアモータ送
り駆動立形工作機械の移動体の支持構造の第1変形例の
断面図である。
【図9】この発明の実施の形態におけるリニアモータ送
り駆動立形工作機械の移動体の支持構造の第2変形例の
断面図である。
【図10】従来の技術における立形工作機械の正面図で
ある。
【図11】従来の技術における立形工作機械の側面図で
ある。
【符号の説明】
1 ベッド 1a,1b 凹所 2 コラム 2a 副コラム 3 案内 4 工作物テーブル 4a 脚部 5,9,11,21 リニアモータ 6,6a,8,10 案内 7 移動台 7a,7b 枠部 20 主軸頭 22 主軸 H 中間空間

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 対向して水平第1軸線方向に設けられた
    移動体の案内に跨って主軸頭が移動可能に案内支承され
    ると共に、対向して水平第1軸線方向と垂直な水平第2
    軸線方向に設けられた案内に跨って移動体が移動可能に
    案内支承された主軸側組立体、対向した上下第3軸線方
    向に設けられた案内に跨って移動可能に案内支承された
    工作物支持体並びに主軸側組立体及び工作物支持体の各
    送り駆動手段を備え、対向した水平第1軸線方向の案内
    が郭定する水平支持面及び対向した水平第2軸線方向の
    案内が郭定する水平支持面の範囲内に主軸側組立体の重
    心が常に位置し、対向した上下第3軸線方向の案内が郭
    定する水平支持面の範囲内に工作物を装着した工作物支
    持体の重心が常に位置する立形工作機械。
  2. 【請求項2】 中間空間を形成して対向して立設され、
    夫々に水平第1軸線方向と垂直な水平第2軸線方向の案
    内が設けられたコラム、対向コラムの水平第2軸線方向
    の案内に両側部が移動可能に案内支承され、対向した水
    平第1軸線方向に案内が設けられた移動体、移動体の対
    向した水平第1軸線方向の案内に両側部が移動可能に案
    内支承された主軸頭、コラムに設けられた対向した上下
    第3軸線方向の案内に両側部が移動可能に案内支承され
    た工作物支持体、並びに移動体、主軸頭及び工作物支持
    体の各送り駆動手段を備え、 各対向案内に案内支承される各部の重心に対し当該対向
    案内が対称的な位置にあり、 対向した水平第1軸線方向の案内が郭定する水平支持面
    の範囲内に主軸頭の重心が常に位置し、対向した水平第
    2軸線方向の案内が郭定する水平支持面の範囲内に主軸
    頭及び移動体の合成重心が常に位置し、上下第3軸線方
    向の案内が郭定する水平支持面の範囲内に工作物を装着
    した工作物支持体の重心が常に位置する立形工作機械。
  3. 【請求項3】 中間空間を形成して対向して立設され、
    夫々に水平第1軸線方向と垂直な水平第2軸線方向の案
    内が設けられたコラム、対向コラムの水平第2軸線方向
    の案内に両側部が移動可能に案内支承され、対向した水
    平第1軸線方向に案内が設けられた移動体、移動体の対
    向した水平第1軸線方向の案内に両側部が移動可能に案
    内支承された主軸頭、ベッドに設けられた対向した上下
    第3軸線方向の案内に両側部が移動可能に案内支承され
    た工作物支持体、並びに移動体、主軸頭及び工作物支持
    体の各送り駆動手段を備え、 各対向案内に案内支承される各部の重心に対し当該対向
    案内が対称的な位置にあり、 対向した水平第1軸線方向の案内が郭定する水平支持面
    の範囲内に主軸頭の重心が常に位置し、対向した水平第
    2軸線方向の案内が郭定する水平支持面の範囲内に主軸
    頭及び移動体の合成重心が常に位置し、上下第3軸線方
    向の案内が郭定する水平支持面の範囲内に工作物を装着
    した工作物支持体の重心が常に位置する立形工作機械。
  4. 【請求項4】 主軸頭の重心が対向した水平第1軸線方
    向の案内の中心面内にある請求項1乃至請求項3のいず
    れかに記載の立形工作機械。
  5. 【請求項5】 送り駆動手段がリニアモータである請求
    項1乃至請求項4のいずれかに記載の立形工作機械。
  6. 【請求項6】 送り駆動手段であるリニアモータが各案
    内に沿って各部重心を挟むように位置している請求項5
    に記載の立形工作機械。
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Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1312439A1 (en) * 2001-11-15 2003-05-21 Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. Machine tool with special configuration of drive line, guide surfaces and center of gravity of moving object
JP2005088125A (ja) * 2003-08-12 2005-04-07 Konica Minolta Opto Inc 加工機
EP1588796A2 (en) * 2004-04-23 2005-10-26 Aerotech, Inc. High precision Z-theta stage
CN100348365C (zh) * 2002-08-30 2007-11-14 Uht株式会社 加工装置用的驱动装置及利用该驱动装置的加工装置
JP2010058263A (ja) * 2008-09-04 2010-03-18 Mori Seiki Co Ltd 超精密工作機械
CN103370167A (zh) * 2011-02-17 2013-10-23 株式会社牧野铣床制作所 机床
JP5834121B1 (ja) * 2014-08-25 2015-12-16 株式会社ソディック 加工装置
US10035228B2 (en) 2014-10-09 2018-07-31 Amada Machine Tools Co., Ltd. Working machine
WO2022157276A1 (en) * 2021-01-22 2022-07-28 Modig Machine Tools Ab A machining device for machining a workpiece and a method thereof

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6698982B2 (en) 2001-11-15 2004-03-02 Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. Machine tool
KR100493596B1 (ko) * 2001-11-15 2005-06-03 미츠비시 쥬고교 가부시키가이샤 공작 기계
EP1312439A1 (en) * 2001-11-15 2003-05-21 Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. Machine tool with special configuration of drive line, guide surfaces and center of gravity of moving object
CN100348365C (zh) * 2002-08-30 2007-11-14 Uht株式会社 加工装置用的驱动装置及利用该驱动装置的加工装置
JP2005088125A (ja) * 2003-08-12 2005-04-07 Konica Minolta Opto Inc 加工機
JP4715081B2 (ja) * 2003-08-12 2011-07-06 コニカミノルタオプト株式会社 加工機
EP1588796A2 (en) * 2004-04-23 2005-10-26 Aerotech, Inc. High precision Z-theta stage
EP1588796A3 (en) * 2004-04-23 2006-12-06 Aerotech, Inc. High precision Z-theta stage
JP2010058263A (ja) * 2008-09-04 2010-03-18 Mori Seiki Co Ltd 超精密工作機械
CN103370167A (zh) * 2011-02-17 2013-10-23 株式会社牧野铣床制作所 机床
CN103370167B (zh) * 2011-02-17 2016-08-10 株式会社牧野铣床制作所 机床
JP5834121B1 (ja) * 2014-08-25 2015-12-16 株式会社ソディック 加工装置
CN106181448A (zh) * 2014-08-25 2016-12-07 株式会社沙迪克 加工装置
CN106181448B (zh) * 2014-08-25 2018-04-06 株式会社沙迪克 加工装置
US10035228B2 (en) 2014-10-09 2018-07-31 Amada Machine Tools Co., Ltd. Working machine
WO2022157276A1 (en) * 2021-01-22 2022-07-28 Modig Machine Tools Ab A machining device for machining a workpiece and a method thereof

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