JP3126216B2 - レーザ加工機 - Google Patents
レーザ加工機Info
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- JP3126216B2 JP3126216B2 JP04139183A JP13918392A JP3126216B2 JP 3126216 B2 JP3126216 B2 JP 3126216B2 JP 04139183 A JP04139183 A JP 04139183A JP 13918392 A JP13918392 A JP 13918392A JP 3126216 B2 JP3126216 B2 JP 3126216B2
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- Japan
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- laser processing
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はレーザ加工機に係り、
さらに詳細には、より大きなワークをより高精度に加工
することのできるレーザ加工機に関する。
さらに詳細には、より大きなワークをより高精度に加工
することのできるレーザ加工機に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、板状のワークのレーザ加工を行な
うレーザ加工機には、所定位置に固定して設けたレーザ
加工ヘッドに対してワークをＸ軸，Ｙ軸方向へ移動し位
置決めする形式のレーザ加工機がある。
うレーザ加工機には、所定位置に固定して設けたレーザ
加工ヘッドに対してワークをＸ軸，Ｙ軸方向へ移動し位
置決めする形式のレーザ加工機がある。
【０００３】また、ワークをＸ軸又はＹ軸方向の一方の
軸方向へ移動し、かつレーザ加工ヘッドをＸ軸又はＹ軸
方向の他方の軸方向へ移動する形式のレーザ加工機があ
る。
軸方向へ移動し、かつレーザ加工ヘッドをＸ軸又はＹ軸
方向の他方の軸方向へ移動する形式のレーザ加工機があ
る。
【０００４】さらに、ワークをワークテーブル上に固定
し、レーザ加工ヘッドをＸ軸およびＹ軸方向へ移動し位
置決めしてレーザ加工を行なう形式のレーザ加工機があ
る。
し、レーザ加工ヘッドをＸ軸およびＹ軸方向へ移動し位
置決めしてレーザ加工を行なう形式のレーザ加工機があ
る。
【０００５】ワークをＸ，Ｙ軸方向へ移動する形式にお
いては、ワークの移動領域がワークの面積の４倍必要で
あるので、比較的大きなワークの加工を行なう場合に
は、ワークを固定して加工ヘッドがＸ，Ｙ軸方向へ移動
する形式のレーザ加工機が使用されている。
いては、ワークの移動領域がワークの面積の４倍必要で
あるので、比較的大きなワークの加工を行なう場合に
は、ワークを固定して加工ヘッドがＸ，Ｙ軸方向へ移動
する形式のレーザ加工機が使用されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】加工すべきワークの寸
法と加工精度との関係は図５（Ａ）に示すごとき関係に
あり、ワーク寸法が大きくなると加工精度が低下する。
また、加工能率を向上すべく加工速度の高速化を図る
と、加工速度と精度との関係は図５（Ｂ）に示すごとき
関係にあり、高速化を図ると加工精度が低下する。さら
に、ワーク寸法が大きくなると、レーザ加工ヘッドを支
持してＸ，Ｙ軸方向へ移動する部分の寸法，重量が大と
なり、加減速が著しくそこなわれることとなる。すなわ
ち、ワーク寸法と加工速度との関係は図５（Ｃ）に示す
ごとき関係にあり、ワーク寸法がある寸法以上になると
高速性が失われることとなる。
法と加工精度との関係は図５（Ａ）に示すごとき関係に
あり、ワーク寸法が大きくなると加工精度が低下する。
また、加工能率を向上すべく加工速度の高速化を図る
と、加工速度と精度との関係は図５（Ｂ）に示すごとき
関係にあり、高速化を図ると加工精度が低下する。さら
に、ワーク寸法が大きくなると、レーザ加工ヘッドを支
持してＸ，Ｙ軸方向へ移動する部分の寸法，重量が大と
なり、加減速が著しくそこなわれることとなる。すなわ
ち、ワーク寸法と加工速度との関係は図５（Ｃ）に示す
ごとき関係にあり、ワーク寸法がある寸法以上になると
高速性が失われることとなる。
【０００７】したがって、従来はワーク寸法が大きい場
合には高速，高精度の加工が困難視されていた。
合には高速，高精度の加工が困難視されていた。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上述のごとき従来の問題
に鑑みて、本発明は、加工すべきワークを支持するワー
クテーブルに隣接して配置した基台に、上記ワークテー
ブルの上方へ大きく突出したＸ軸キャリッジをＸ軸方向
へ移動自在に支持して設け、上記Ｘ軸キャリッジにＹ軸
方向へ移動自在に支持されたＹ軸キャリッジにＹ軸スラ
イダをＹ軸方向へ移動自在に装着して設け、前記ワーク
にレーザ加工を行うためのレーザ加工ヘッドを備えたＸ
軸スライダを、前記Ｙ軸スライダにＸ軸方向へ移動自在
に装着して設け、前記Ｘ軸キャリッジのＸ軸方向への位
置決め及び前記Ｙ軸キャリッジのＹ軸方向の位置決め毎
に前記レーザ加工ヘッドをＸ軸及びＹ軸方向へ移動して
レーザ加工可能に構成してある。
に鑑みて、本発明は、加工すべきワークを支持するワー
クテーブルに隣接して配置した基台に、上記ワークテー
ブルの上方へ大きく突出したＸ軸キャリッジをＸ軸方向
へ移動自在に支持して設け、上記Ｘ軸キャリッジにＹ軸
方向へ移動自在に支持されたＹ軸キャリッジにＹ軸スラ
イダをＹ軸方向へ移動自在に装着して設け、前記ワーク
にレーザ加工を行うためのレーザ加工ヘッドを備えたＸ
軸スライダを、前記Ｙ軸スライダにＸ軸方向へ移動自在
に装着して設け、前記Ｘ軸キャリッジのＸ軸方向への位
置決め及び前記Ｙ軸キャリッジのＹ軸方向の位置決め毎
に前記レーザ加工ヘッドをＸ軸及びＹ軸方向へ移動して
レーザ加工可能に構成してある。
【０００９】
【実施例】図１は参考例を示すもので、図１における符
号１は、四角形の環状の支持フレームである。この支持
フレーム１は、加工すべき比較的大きな板状のワーク
（図示省略）を支持するワークテーブル（図示省略、ワ
ークを支持するもの全てを意味する）の上方位置に配置
してあり、この支持フレーム１の上面にはＸ軸方向に延
伸したガイドレール３が敷設してある。
号１は、四角形の環状の支持フレームである。この支持
フレーム１は、加工すべき比較的大きな板状のワーク
（図示省略）を支持するワークテーブル（図示省略、ワ
ークを支持するもの全てを意味する）の上方位置に配置
してあり、この支持フレーム１の上面にはＸ軸方向に延
伸したガイドレール３が敷設してある。
【００１０】上記ガイドレール３には第１Ｘ軸サーボモ
ータ５の駆動によりボールネジ等の伝達機構を介してＸ
軸方向へ移動位置決めされるＸ軸移動キャリッジ７がＸ
軸方向へ移動自在に支承されている。このＸ軸移動キャ
リッジ７上にはＹ軸方向に延伸したガイドレール９が敷
設してあり、かつＹ軸キャリッジ１１がＹ軸方向へ移動
自在に支承されている。
ータ５の駆動によりボールネジ等の伝達機構を介してＸ
軸方向へ移動位置決めされるＸ軸移動キャリッジ７がＸ
軸方向へ移動自在に支承されている。このＸ軸移動キャ
リッジ７上にはＹ軸方向に延伸したガイドレール９が敷
設してあり、かつＹ軸キャリッジ１１がＹ軸方向へ移動
自在に支承されている。
【００１１】上記Ｙ軸キャリッジ１１は、Ｘ軸移動キャ
リッジ７に装着したＹ軸サーボモータ１３を駆動するこ
とにより、ボールネジ機構などのごとき伝達機構を介し
てＹ軸方向へ移動位置決めされるものである。このＹ軸
キャリッジ１１には、前記ワークのレーザ加工を行なう
レーザ加工ヘッド１５をＺ軸方向へ調節可能に備えたＸ
軸スライダ１７がＸ軸方向へ移動自在に支承されてい
る。
リッジ７に装着したＹ軸サーボモータ１３を駆動するこ
とにより、ボールネジ機構などのごとき伝達機構を介し
てＹ軸方向へ移動位置決めされるものである。このＹ軸
キャリッジ１１には、前記ワークのレーザ加工を行なう
レーザ加工ヘッド１５をＺ軸方向へ調節可能に備えたＸ
軸スライダ１７がＸ軸方向へ移動自在に支承されてい
る。
【００１２】このＸ軸スライダ１７は、比較的小さく制
限された領域においてＸ軸方向に移動自在なものであっ
て、このＸ軸スライダ１７はＹ軸キャリッジ１１に装着
した第２Ｘ軸サーボモータ１９を駆動することにより、
ボールネジ等を介してＸ軸方向に移動位置決めされる構
成である。
限された領域においてＸ軸方向に移動自在なものであっ
て、このＸ軸スライダ１７はＹ軸キャリッジ１１に装着
した第２Ｘ軸サーボモータ１９を駆動することにより、
ボールネジ等を介してＸ軸方向に移動位置決めされる構
成である。
【００１３】すなわち、この参考例においては、Ｘ軸方
向の移動を２重に行ない得る構成としてなるものであ
る。
向の移動を２重に行ない得る構成としてなるものであ
る。
【００１４】なお、適宜のレーザ発振器から前記レーザ
加工ヘッド１５へレーザビームを導く構成や、レーザ加
工ヘッド１５にアシストガスを導く構成等は通常の構成
と同様の構成で良いものであるから、この構成について
の詳細な説明は省略する。
加工ヘッド１５へレーザビームを導く構成や、レーザ加
工ヘッド１５にアシストガスを導く構成等は通常の構成
と同様の構成で良いものであるから、この構成について
の詳細な説明は省略する。
【００１５】上記構成において、ワークテーブル上に支
持された大きなワークのレーザ加工を行なう場合、第１
Ｘ軸サーボモータ５を制御してＸ軸移動キャリッジ７を
ワークの所望位置に対応した位置へ移動位置決めした
後、Ｙ軸キャリッジ１１をＹ軸方向へ移動すると共にＸ
軸スライダ１７をＸ軸方向へ移動し、レーザ加工ヘッド
１５からワークへレーザビームを照射することにより、
ワークの所望位置のレーザ加工を行なうことができる。
持された大きなワークのレーザ加工を行なう場合、第１
Ｘ軸サーボモータ５を制御してＸ軸移動キャリッジ７を
ワークの所望位置に対応した位置へ移動位置決めした
後、Ｙ軸キャリッジ１１をＹ軸方向へ移動すると共にＸ
軸スライダ１７をＸ軸方向へ移動し、レーザ加工ヘッド
１５からワークへレーザビームを照射することにより、
ワークの所望位置のレーザ加工を行なうことができる。
【００１６】この場合、Ｙ軸キャリッジ１１は比較的小
型で軽量であり、またＸ軸スライダ１７等も小型軽量で
あり、かつ両者とも移動範囲が比較的小さなものである
から、上記Ｙ軸キャリッジ１１およびＸ軸スライダ１７
を高速で移動してもレーザ加工の高精度を維持すること
ができ、高速，高精度の加工を行なうことができる。
型で軽量であり、またＸ軸スライダ１７等も小型軽量で
あり、かつ両者とも移動範囲が比較的小さなものである
から、上記Ｙ軸キャリッジ１１およびＸ軸スライダ１７
を高速で移動してもレーザ加工の高精度を維持すること
ができ、高速，高精度の加工を行なうことができる。
【００１７】上述のごとく所望領域のレーザ加工の終了
後に、Ｘ軸移動キャリッジ７を、前記Ｘ軸スライダ１９
のＸ軸方向の移動範囲以内でＸ軸方向に移動位置決め
し、前述と同様にＹ軸キャリッジ１１をＹ軸方向に移動
し、かつＸ軸スライダ１７をＸ軸方向に移動してレーザ
加工を行なうことにより、前回加工した領域に隣接した
領域のレーザ加工を高速，高精度に行なうことができ
る。
後に、Ｘ軸移動キャリッジ７を、前記Ｘ軸スライダ１９
のＸ軸方向の移動範囲以内でＸ軸方向に移動位置決め
し、前述と同様にＹ軸キャリッジ１１をＹ軸方向に移動
し、かつＸ軸スライダ１７をＸ軸方向に移動してレーザ
加工を行なうことにより、前回加工した領域に隣接した
領域のレーザ加工を高速，高精度に行なうことができ
る。
【００１８】したがって、隣接した領域のレーザ加工を
順次行なうことにより、大きなワーク全体のレーザ加工
を行なうことができる。この場合、全体としてのレーザ
加工が高速，高精度に行なわれることとなる。
順次行なうことにより、大きなワーク全体のレーザ加工
を行なうことができる。この場合、全体としてのレーザ
加工が高速，高精度に行なわれることとなる。
【００１９】図２は第２の参考例を示すものである。こ
の第２の参考例においては、ワークテーブルＷＴに隣接
して配置した基台２１上にＸ軸ガイドレール２３を設
け、このＸ軸ガイドレール２３にＸ軸移動キャリッジ２
５をＸ軸方向へ移動自在に支承し、Ｘ軸サーボモータ２
７の駆動によりＸ軸方向へ移動する構成としてある。
の第２の参考例においては、ワークテーブルＷＴに隣接
して配置した基台２１上にＸ軸ガイドレール２３を設
け、このＸ軸ガイドレール２３にＸ軸移動キャリッジ２
５をＸ軸方向へ移動自在に支承し、Ｘ軸サーボモータ２
７の駆動によりＸ軸方向へ移動する構成としてある。
【００２０】そして、上記Ｘ軸キャリッジ２５上にＹ軸
方向へ移動自在に支承したＹ軸キャリッジ２９の一端部
を前記ワークテーブルＷＴの上方位置に突出せしめ、こ
のＹ軸キャリッジ２９の一端部に、レーザ加工ヘッド３
１を上下調節自在に備えたＸ軸スライダ３３をＸ軸方向
へ移動自在に装着した構成である。
方向へ移動自在に支承したＹ軸キャリッジ２９の一端部
を前記ワークテーブルＷＴの上方位置に突出せしめ、こ
のＹ軸キャリッジ２９の一端部に、レーザ加工ヘッド３
１を上下調節自在に備えたＸ軸スライダ３３をＸ軸方向
へ移動自在に装着した構成である。
【００２１】この第２の参考例の構成においても、前記
第１の参考例と同様の効果を奏するものである。
第１の参考例と同様の効果を奏するものである。
【００２２】図３は、本発明の実施例を示すものであ
る。この実施例は、Ｘ軸移動キャリッジ３５の一端側が
基台２１からワークテーブルの上方へ大きく突出した構
成であり、このＸ軸移動キャリッジ３５にＹ軸移動キャ
リッジ３７をＹ軸方向へ移動自在に装着してある。
る。この実施例は、Ｘ軸移動キャリッジ３５の一端側が
基台２１からワークテーブルの上方へ大きく突出した構
成であり、このＸ軸移動キャリッジ３５にＹ軸移動キャ
リッジ３７をＹ軸方向へ移動自在に装着してある。
【００２３】そして、上記Ｙ軸移動キャリッジ３７上に
Ｙ軸方向へ移動自在に支承したＹ軸スライダ３９に、レ
ーザ加工ヘッド４１を上下調節自在に備えたＸ軸スライ
ダ４３をＸ軸方向へ移動自在に装着した構成である。
Ｙ軸方向へ移動自在に支承したＹ軸スライダ３９に、レ
ーザ加工ヘッド４１を上下調節自在に備えたＸ軸スライ
ダ４３をＸ軸方向へ移動自在に装着した構成である。
【００２４】すなわちこの実施例においては、Ｘ軸方向
およびＹ軸方向を共に２重構造にしたものであり、Ｘ軸
移動キャリッジ３５をＸ軸方向へ移動位置決めし、また
Ｙ軸キャリッジ３７をＹ軸方向へ移動位置決めする毎
に、その領域内においてＹ軸スライダ３９をＹ軸方向へ
移動し、かつＸ軸スライダ４３をＸ軸方向へ移動するこ
とにより、レーザ加工ヘッド４１をＸ，Ｙ軸方向へ移動
位置決めしてレーザ加工を行うことができるものであ
る。
およびＹ軸方向を共に２重構造にしたものであり、Ｘ軸
移動キャリッジ３５をＸ軸方向へ移動位置決めし、また
Ｙ軸キャリッジ３７をＹ軸方向へ移動位置決めする毎
に、その領域内においてＹ軸スライダ３９をＹ軸方向へ
移動し、かつＸ軸スライダ４３をＸ軸方向へ移動するこ
とにより、レーザ加工ヘッド４１をＸ，Ｙ軸方向へ移動
位置決めしてレーザ加工を行うことができるものであ
る。
【００２５】上述のごとき実施例の説明より理解される
ように、大きなワークの全体的寸法に対応して全体に亘
って一度に移動するものではなく、ワークの所望領域に
おいて高速，高精度の加工を行なうものであるから、前
述した図５（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）の関係は、図４
（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）のように変化することとなる。
ように、大きなワークの全体的寸法に対応して全体に亘
って一度に移動するものではなく、ワークの所望領域に
おいて高速，高精度の加工を行なうものであるから、前
述した図５（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）の関係は、図４
（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）のように変化することとなる。
【００２６】したがって、従来に比較して、寸法大のワ
ークであっても、全体として高速，高精度のレーザ加工
が可能となるものである。
ークであっても、全体として高速，高精度のレーザ加工
が可能となるものである。
【００２７】
【発明の効果】以上のごとき実施例の説明より理解され
るように、本発明においては、ワークテーブルに隣接し
て配置した基台２１にＸ軸方向へ移動自在に支持された
Ｘ軸キャリッジ３５は前記ワークテーブルの上方へ大き
く突出してあり、このＸ軸キャリッジ３５にＹ軸方向へ
移動自在に支持されたＹ軸キャリッジ３７にはＹ軸スラ
イダ３９がＹ軸方向へ移動自在に支持されており、この
Ｙ軸スライダ３９にはレーザ加工ヘッド４１を備えたＸ
軸スライダ４３がＸ軸方向へ移動自在に支持されれてい
る。
るように、本発明においては、ワークテーブルに隣接し
て配置した基台２１にＸ軸方向へ移動自在に支持された
Ｘ軸キャリッジ３５は前記ワークテーブルの上方へ大き
く突出してあり、このＸ軸キャリッジ３５にＹ軸方向へ
移動自在に支持されたＹ軸キャリッジ３７にはＹ軸スラ
イダ３９がＹ軸方向へ移動自在に支持されており、この
Ｙ軸スライダ３９にはレーザ加工ヘッド４１を備えたＸ
軸スライダ４３がＸ軸方向へ移動自在に支持されれてい
る。
【００２８】そして、前記Ｘ軸キャリッジ３５をＸ軸方
向へ位置決めし、またＹ軸キャリッジ３７をＹ軸方向へ
位置決めする毎に、その領域においてレーザ加工ヘッド
４１をＸ軸及びＹ軸方向へ移動してレーザ加工可能の構
成であるから、大きなワークに対しての大きな移動範囲
の位置決めはＸ軸キャリッジ３５，Ｙ軸キャリッジ３７
を移動し位置決めすることによって対応でき、移動範囲
毎においての小さな領域内のレーザ加工はＸ軸スライダ
４３，Ｙ軸スライダ３９を移動位置決めすることによっ
て対応できるものであり、レーザ加工ヘッド４１の移動
位置決めを軽快にかつ迅速に行い得ることとなり、大き
いワークに対してのレーザ加工をより高速でより高精度
に行い得るものである。
向へ位置決めし、またＹ軸キャリッジ３７をＹ軸方向へ
位置決めする毎に、その領域においてレーザ加工ヘッド
４１をＸ軸及びＹ軸方向へ移動してレーザ加工可能の構
成であるから、大きなワークに対しての大きな移動範囲
の位置決めはＸ軸キャリッジ３５，Ｙ軸キャリッジ３７
を移動し位置決めすることによって対応でき、移動範囲
毎においての小さな領域内のレーザ加工はＸ軸スライダ
４３，Ｙ軸スライダ３９を移動位置決めすることによっ
て対応できるものであり、レーザ加工ヘッド４１の移動
位置決めを軽快にかつ迅速に行い得ることとなり、大き
いワークに対してのレーザ加工をより高速でより高精度
に行い得るものである。
【００２９】また、基台２１からＸ軸キャリッジ３５が
ワークテーブル上へ大きく突出した構成とすることによ
って、ワークテーブルの例えば前側及び左右両側の３方
向が開放された態様となるものであって、ワークテーブ
ルに対するワークの搬出入の自由度が大きくなるもので
ある。
ワークテーブル上へ大きく突出した構成とすることによ
って、ワークテーブルの例えば前側及び左右両側の３方
向が開放された態様となるものであって、ワークテーブ
ルに対するワークの搬出入の自由度が大きくなるもので
ある。
【図１】第１の参考例に係るレーザ加工機の主要部分の
みを概略的に示した斜視説明図である。
みを概略的に示した斜視説明図である。
【図２】第２の参考例を概略的に示す斜視説明図であ
る。
る。
【図３】本発明に係る実施例を概略的に示す斜視説明図
である。
である。
【図４】従来との対比において効果を示す説明図であ
る。
る。
【図５】従来の効果を示す説明図である。
７ Ｘ軸移動キャリッジ １１ Ｙ軸キャリッジ １５ レーザ加工ヘッド １７ Ｘ軸スライダ
Claims (1)
- 【請求項１】 加工すべきワークを支持するワークテー
ブルに隣接して配置した基台（２１）に、上記ワークテ
ーブルの上方へ大きく突出したＸ軸キャリッジ（３５）
をＸ軸方向へ移動自在に支持して設け、上記Ｘ軸キャリ
ッジ（３５）にＹ軸方向へ移動自在に支持されたＹ軸キ
ャリッジ（３７）にＹ軸スライダ（３９）をＹ軸方向へ
移動自在に装着して設け、前記ワークにレーザ加工を行
うためのレーザ加工ヘッド（４１）を備えたＸ軸スライ
ダ（４３）を、前記Ｙ軸スライダ（３９）にＸ軸方向へ
移動自在に装着して設け、前記Ｘ軸キャリッジ（３５）
のＸ軸方向への位置決め及び前記Ｙ軸キャリッジ（３
７）のＹ軸方向の位置決め毎に前記レーザ加工ヘッド
（４１）をＸ軸及びＹ軸方向へ移動してレーザ加工可能
に構成したことを特徴とするレーザ加工機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04139183A JP3126216B2 (ja) | 1992-05-29 | 1992-05-29 | レーザ加工機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04139183A JP3126216B2 (ja) | 1992-05-29 | 1992-05-29 | レーザ加工機 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05329676A JPH05329676A (ja) | 1993-12-14 |
| JP3126216B2 true JP3126216B2 (ja) | 2001-01-22 |
Family
ID=15239497
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04139183A Expired - Fee Related JP3126216B2 (ja) | 1992-05-29 | 1992-05-29 | レーザ加工機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3126216B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2921727B2 (ja) * | 1994-01-27 | 1999-07-19 | 株式会社アマダ | レーザ加工装置 |
| JPH09201691A (ja) * | 1996-01-24 | 1997-08-05 | Fanuc Ltd | レーザ加工装置 |
| US6835912B2 (en) * | 2002-05-28 | 2004-12-28 | Trumpf, Inc. | Laser cutting machine with two Y-axis drives |
| CN102091945B (zh) * | 2011-01-25 | 2012-05-23 | 北京灿烂阳光科技发展有限公司 | 轻型龙门数控切割机 |
| CN106226758B (zh) * | 2016-10-13 | 2019-05-17 | 中国汽车工业工程有限公司 | 可调节式激光测距机构 |
-
1992
- 1992-05-29 JP JP04139183A patent/JP3126216B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05329676A (ja) | 1993-12-14 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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