JPH05138564A - ヘツド部駆動方法及び機構 - Google Patents
ヘツド部駆動方法及び機構Info
- Publication number
- JPH05138564A JPH05138564A JP30464191A JP30464191A JPH05138564A JP H05138564 A JPH05138564 A JP H05138564A JP 30464191 A JP30464191 A JP 30464191A JP 30464191 A JP30464191 A JP 30464191A JP H05138564 A JPH05138564 A JP H05138564A
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- JP
- Japan
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- head
- sub
- driving
- belts
- unit
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- Manipulator (AREA)
- Control And Safety Of Cranes (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ヘッド部２０を載置した副軸ユニット２２の
左右端を一対の独立したサーボモータ３１、３１’によ
り駆動されるベルト３０、３０’によってＹ方向に駆動
するヘッド部駆動機構において、該サーボモータ及びベ
ルト等の作動特性により発生する振動や作動遅れを確実
に補償し該副軸ユニット２２の両端を常に同一速度でか
つ同一量だけ円滑に移動させるためベルト３０、３０’
のピッチ誤差を解消し、該副軸ユニットの位置決め精度
を向上し、かつ両サーボモータの相互干渉を無くし、主
軸の各サーボモータにかかる負荷を軽減して搭載動作の
高速化を図る。また一対のベルトのダンピング特性を同
等にすることにより、位置決め精度とタクトの著しい向
上を図る。 【構成】Ｘ方向及びＹ方向に移動自在なヘッドの駆動方
法であって、ヘッド部を駆動するＸＹロボットの主軸両
端をそれぞれサーボモータとリニアエンコーダとを用い
て該ヘッド部の位置と速度とをフルクローズループによ
って制御し、２本のベルトにて同期駆動を可能とした。
左右端を一対の独立したサーボモータ３１、３１’によ
り駆動されるベルト３０、３０’によってＹ方向に駆動
するヘッド部駆動機構において、該サーボモータ及びベ
ルト等の作動特性により発生する振動や作動遅れを確実
に補償し該副軸ユニット２２の両端を常に同一速度でか
つ同一量だけ円滑に移動させるためベルト３０、３０’
のピッチ誤差を解消し、該副軸ユニットの位置決め精度
を向上し、かつ両サーボモータの相互干渉を無くし、主
軸の各サーボモータにかかる負荷を軽減して搭載動作の
高速化を図る。また一対のベルトのダンピング特性を同
等にすることにより、位置決め精度とタクトの著しい向
上を図る。 【構成】Ｘ方向及びＹ方向に移動自在なヘッドの駆動方
法であって、ヘッド部を駆動するＸＹロボットの主軸両
端をそれぞれサーボモータとリニアエンコーダとを用い
て該ヘッド部の位置と速度とをフルクローズループによ
って制御し、２本のベルトにて同期駆動を可能とした。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は例えばＩＣチップ部品を
部品供給部から真空圧により吸引し、該チップ部品を基
板上に装着するためヘッド部をＸ−Ｙ方向に駆動するた
めのヘッド部駆動機構に関する。
部品供給部から真空圧により吸引し、該チップ部品を基
板上に装着するためヘッド部をＸ−Ｙ方向に駆動するた
めのヘッド部駆動機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】これまで知られているＩＣチップ装着用
のヘッド部駆動機構としては図１に示すようなものがあ
る。図１において、ＩＣチップ部品吸引装着ヘッド１０
は下端にＩＣチップ部品を吸引し、Ｘ方向（副軸方向）
及びＹ方向（主軸方向）に移動した後これを基板上に装
着する。このヘッド１０は、該ヘッド１０をＸ方向に移
動させるための直動軸受レール１１へ摺動自在に取り付
けられている。またこのレール１１は両端をそれぞれ受
部１３、１３’に支持された支持体即ち副軸１２に固定
されている。副軸１２に取り付けられているモータ１４
はヘッド１０を、図示していないベルトを介してレール
１１に沿ってＸ方向に移動させる作用をしている。また
受部１３、１３’はＸ方向に伸長しているレール１１に
対して直交するＹ方向に伸長する一対の主軸ベース部１
９、１９’へ固定された直動軸受レール即ち直動ガイド
ベアリング１５、１５’に支持されている。これらの受
部１３、１３’はフレームに固定された主軸駆動サーボ
モータ１７及びロータリーエンコーダ１８によって制御
駆動されている駆動ベルト１６により駆動され、前記レ
ール１５、１５’上をＹ方向に移動する。この実施例で
はモータ１４、１７の回転をベルトにより直線運動に変
換しているが、これ以外にボールネジによる直線駆動も
広く知られている。しかしこのように一方の主軸ベース
部１９において副軸１２を駆動制御する装置において
は、副軸を駆動するため副軸端部に設けた副軸駆動部に
該副軸自体の質量によりもたらされる大きなモーメント
がかかり、このため副軸の移動に関してダンピングの問
題が発生する。かかる問題を解消するためには高剛性の
主軸及び副軸ユニットが必要となり、かつ大容量の駆動
モータが使用されなければならない。しかしそうすると
高速における作動が困難となる。またダンピングを防止
するためにボールねじを用いるとボールねじのリードが
大となり、実質上高速化が困難となる欠点があった。換
言すると、図１の実施例においては、長い棒状の副軸１
２の一端のみが駆動され、他端は直動軸受でガイドして
いるだけであるのでいわば片持構造となっているため、
モータ１７によるＹ方向への特に駆動時及び停止時に振
動を発生しやすく、また、その振動を収束するための振
動収束時間（ダンピング時間）が長くなる。一般にチッ
プマウンタは基板を高速度で生産する必要があるため、
ヘッドを出来る限りＸ及びＹ方向に高速度で移動させる
必要がある。
のヘッド部駆動機構としては図１に示すようなものがあ
る。図１において、ＩＣチップ部品吸引装着ヘッド１０
は下端にＩＣチップ部品を吸引し、Ｘ方向（副軸方向）
及びＹ方向（主軸方向）に移動した後これを基板上に装
着する。このヘッド１０は、該ヘッド１０をＸ方向に移
動させるための直動軸受レール１１へ摺動自在に取り付
けられている。またこのレール１１は両端をそれぞれ受
部１３、１３’に支持された支持体即ち副軸１２に固定
されている。副軸１２に取り付けられているモータ１４
はヘッド１０を、図示していないベルトを介してレール
１１に沿ってＸ方向に移動させる作用をしている。また
受部１３、１３’はＸ方向に伸長しているレール１１に
対して直交するＹ方向に伸長する一対の主軸ベース部１
９、１９’へ固定された直動軸受レール即ち直動ガイド
ベアリング１５、１５’に支持されている。これらの受
部１３、１３’はフレームに固定された主軸駆動サーボ
モータ１７及びロータリーエンコーダ１８によって制御
駆動されている駆動ベルト１６により駆動され、前記レ
ール１５、１５’上をＹ方向に移動する。この実施例で
はモータ１４、１７の回転をベルトにより直線運動に変
換しているが、これ以外にボールネジによる直線駆動も
広く知られている。しかしこのように一方の主軸ベース
部１９において副軸１２を駆動制御する装置において
は、副軸を駆動するため副軸端部に設けた副軸駆動部に
該副軸自体の質量によりもたらされる大きなモーメント
がかかり、このため副軸の移動に関してダンピングの問
題が発生する。かかる問題を解消するためには高剛性の
主軸及び副軸ユニットが必要となり、かつ大容量の駆動
モータが使用されなければならない。しかしそうすると
高速における作動が困難となる。またダンピングを防止
するためにボールねじを用いるとボールねじのリードが
大となり、実質上高速化が困難となる欠点があった。換
言すると、図１の実施例においては、長い棒状の副軸１
２の一端のみが駆動され、他端は直動軸受でガイドして
いるだけであるのでいわば片持構造となっているため、
モータ１７によるＹ方向への特に駆動時及び停止時に振
動を発生しやすく、また、その振動を収束するための振
動収束時間（ダンピング時間）が長くなる。一般にチッ
プマウンタは基板を高速度で生産する必要があるため、
ヘッドを出来る限りＸ及びＹ方向に高速度で移動させる
必要がある。
【０００３】その一方で、近年、装着するＩＣチップ部
品の形状は小型化しており、基板に対するチップ搭載時
の精度は数１０ミクロン以内であることが要求されてい
る。図１の装置でヘッド１０をＹ方向へ高速移動する
と、副軸１２にかかる加速度が大きくなり、固有振動を
発生する。Ｙ方向への移動を停止後、直ちにチップ部品
を装着した場合、ヘッドが振動しているため、所望の精
度で搭載することは出来ない。もし、振動の収束を待つ
こととすると、折角支持体を高速度で駆動した意味が無
くなる。また振動防止のため副軸１２の剛性を増せば、
固有振動数は大きくなり、収束は速まるが剛性の増加は
重量の増加を伴い、サーボモータ１７の出力増加を必要
とする。一般にはサーボモータの出力が増加するとサー
ボモータのロータ直径が大きくなり、角慣性モーメント
が増加し、結局は高加速度駆動には不利となる。
品の形状は小型化しており、基板に対するチップ搭載時
の精度は数１０ミクロン以内であることが要求されてい
る。図１の装置でヘッド１０をＹ方向へ高速移動する
と、副軸１２にかかる加速度が大きくなり、固有振動を
発生する。Ｙ方向への移動を停止後、直ちにチップ部品
を装着した場合、ヘッドが振動しているため、所望の精
度で搭載することは出来ない。もし、振動の収束を待つ
こととすると、折角支持体を高速度で駆動した意味が無
くなる。また振動防止のため副軸１２の剛性を増せば、
固有振動数は大きくなり、収束は速まるが剛性の増加は
重量の増加を伴い、サーボモータ１７の出力増加を必要
とする。一般にはサーボモータの出力が増加するとサー
ボモータのロータ直径が大きくなり、角慣性モーメント
が増加し、結局は高加速度駆動には不利となる。
【０００４】このような問題を解消するため、一方の主
軸ベース部に固定したサーボモータ及びロータリーエン
コーダからベルトや固定回転軸例えばボールねじ等を使
って他方の主軸ベース部に駆動力を伝達し、これにより
副軸の両端を同時に駆動する装置が発表されている。し
かしこのような装置では伝達装置におけるピッチ誤差や
伝達遅れが発生するため、高精度の位置制御や高速作動
が困難である。
軸ベース部に固定したサーボモータ及びロータリーエン
コーダからベルトや固定回転軸例えばボールねじ等を使
って他方の主軸ベース部に駆動力を伝達し、これにより
副軸の両端を同時に駆動する装置が発表されている。し
かしこのような装置では伝達装置におけるピッチ誤差や
伝達遅れが発生するため、高精度の位置制御や高速作動
が困難である。
【０００５】これらの問題を解消するため更に図２に示
すような装置も発表されている。図２の実施例が図１の
実施例と異なるところは、図１ではＹ方向駆動のための
主軸駆動サーボモータ１７及びロータリエンコーダ１８
を、副軸１２の片側のみを駆動するために一方の主軸ベ
ース部１９にのみ用いていたが、図２の実施例では副軸
１２の両側を同時に駆動するためベルト１６′、サーボ
モータ１７′及びロータリエンコーダ１８’を他方の主
軸ベース部１９’にも設けたことである。これによっ
て、Ｙ方向におけるヘッド１０の移動ブレを少なくした
ものである。
すような装置も発表されている。図２の実施例が図１の
実施例と異なるところは、図１ではＹ方向駆動のための
主軸駆動サーボモータ１７及びロータリエンコーダ１８
を、副軸１２の片側のみを駆動するために一方の主軸ベ
ース部１９にのみ用いていたが、図２の実施例では副軸
１２の両側を同時に駆動するためベルト１６′、サーボ
モータ１７′及びロータリエンコーダ１８’を他方の主
軸ベース部１９’にも設けたことである。これによっ
て、Ｙ方向におけるヘッド１０の移動ブレを少なくした
ものである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら図２に示
す公知の装置においては以下のような種々の解決すべき
課題があった。即ち、副軸１２の両端が同時駆動される
ため、固有振動数が大幅に上昇し、図１の欠点の大部分
が解決されており、また、副軸１２を高速移動するため
通常サーボモータモータ１７、１７′を使用している。
しかしこれらのサーボモータを駆動装置に組み合わせた
場合、個々のモータのサーボ特性は、通常、モータの慣
性負荷や粘性負荷の差等により異なり、同一の指令パル
スレートで両サーボモータ１７、１７′に指令を与えて
も、指令パルスとエンコーダ１８、１８’からのフィー
ドバックパルスの差即ちたまりパルスは必ずしも一致す
るものではなく、副軸の一端を他端よりも先行して進ま
せてしまうことがある。その結果双方のモータが互いに
干渉しあって激しい振動を発生し、スムースな移動が得
られないことがある。
す公知の装置においては以下のような種々の解決すべき
課題があった。即ち、副軸１２の両端が同時駆動される
ため、固有振動数が大幅に上昇し、図１の欠点の大部分
が解決されており、また、副軸１２を高速移動するため
通常サーボモータモータ１７、１７′を使用している。
しかしこれらのサーボモータを駆動装置に組み合わせた
場合、個々のモータのサーボ特性は、通常、モータの慣
性負荷や粘性負荷の差等により異なり、同一の指令パル
スレートで両サーボモータ１７、１７′に指令を与えて
も、指令パルスとエンコーダ１８、１８’からのフィー
ドバックパルスの差即ちたまりパルスは必ずしも一致す
るものではなく、副軸の一端を他端よりも先行して進ま
せてしまうことがある。その結果双方のモータが互いに
干渉しあって激しい振動を発生し、スムースな移動が得
られないことがある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明はかかる課題、特
に図２に示した実施例における課題を解決するため、副
軸の両端をＹ方向に同時に同量だけ駆動するように、両
主軸ベース部にリニアエンコーダを取付け、このリニア
エンコーダとＹ方向駆動源としてのサーボモータとをフ
ルクローズループによって制御しながら２本のベルトに
よって副軸両端を同時駆動する。
に図２に示した実施例における課題を解決するため、副
軸の両端をＹ方向に同時に同量だけ駆動するように、両
主軸ベース部にリニアエンコーダを取付け、このリニア
エンコーダとＹ方向駆動源としてのサーボモータとをフ
ルクローズループによって制御しながら２本のベルトに
よって副軸両端を同時駆動する。
【０００８】
【作用】副軸の両端をそれぞれ支持している一対の主軸
ベース部にそれぞれ取付けたリニアエンコーダが、副軸
の両端をそれぞれ駆動している主軸駆動サーボモータ及
び駆動ベルトによる副軸端部の駆動速度、送りピッチ等
を検知し、又はリニアエンコーダが該副軸の位置を更に
別に配置したロータリエンコーダが駆動速度を検知し、
かつこれらの値が左右両側において常に同じになるよう
に該サーボモータを制御している。
ベース部にそれぞれ取付けたリニアエンコーダが、副軸
の両端をそれぞれ駆動している主軸駆動サーボモータ及
び駆動ベルトによる副軸端部の駆動速度、送りピッチ等
を検知し、又はリニアエンコーダが該副軸の位置を更に
別に配置したロータリエンコーダが駆動速度を検知し、
かつこれらの値が左右両側において常に同じになるよう
に該サーボモータを制御している。
【０００９】
【実施例】本発明は図２に示す実施例の改良であり、図
３及び図４にその具体例を示している。図３において符
号２０は下端にチップ部品（図示なし）を吸引しＸ及び
Ｙ方向に移動した後、これを基板（図示なし）上に装着
するチップ部品吸引装着ヘッドである。このヘッド２０
は、副軸ユニット２２上に取付けられた直動軸受レール
（図示なし）上に摺動自在に取り付けられている。また
このユニット２２の１側には副軸駆動モータ２４が載置
されている。このモータ２４によって駆動されるベルト
駆動プーリにはベルト２５がかけてあり、このベルト２
５はユニット２２の他側に取付けた別のベルト駆動プー
リ２６との間を運動している。このベルト２５には前記
ヘッド２０が固定されており、モータ２４の回転によっ
てヘッド２０がＸ方向に迅速に移動出来るようになって
いる。
３及び図４にその具体例を示している。図３において符
号２０は下端にチップ部品（図示なし）を吸引しＸ及び
Ｙ方向に移動した後、これを基板（図示なし）上に装着
するチップ部品吸引装着ヘッドである。このヘッド２０
は、副軸ユニット２２上に取付けられた直動軸受レール
（図示なし）上に摺動自在に取り付けられている。また
このユニット２２の１側には副軸駆動モータ２４が載置
されている。このモータ２４によって駆動されるベルト
駆動プーリにはベルト２５がかけてあり、このベルト２
５はユニット２２の他側に取付けた別のベルト駆動プー
リ２６との間を運動している。このベルト２５には前記
ヘッド２０が固定されており、モータ２４の回転によっ
てヘッド２０がＸ方向に迅速に移動出来るようになって
いる。
【００１０】副軸ユニット２２の両端は基板（図示な
し）の両側に配置されている主軸ベース部２７、２７’
の上面に取付けられた直動ガイドベアリング２８、２
８’に公知の手段によって該ガイドベアリング上を移動
可能に受け入れられている。更に該ユニット２２はその
両端から主軸ベース部に沿って垂下している一対の副軸
駆動連結板２９、２９’を有している。この連結板はＹ
方向に往復移動するベルト３０、３０’に対して固定さ
れている。またこれらのベルトはそれぞれ主軸ベース部
２７、２７’に固定されている主軸駆動サーボモータ３
１、３１’によって一対のベルト駆動プーリ３２、３３
及び３２’３３’間を駆動されている。
し）の両側に配置されている主軸ベース部２７、２７’
の上面に取付けられた直動ガイドベアリング２８、２
８’に公知の手段によって該ガイドベアリング上を移動
可能に受け入れられている。更に該ユニット２２はその
両端から主軸ベース部に沿って垂下している一対の副軸
駆動連結板２９、２９’を有している。この連結板はＹ
方向に往復移動するベルト３０、３０’に対して固定さ
れている。またこれらのベルトはそれぞれ主軸ベース部
２７、２７’に固定されている主軸駆動サーボモータ３
１、３１’によって一対のベルト駆動プーリ３２、３３
及び３２’３３’間を駆動されている。
【００１１】更に主軸ベース部の側部にはリニアエンコ
ーダ３５、３５’が取付けられている。このリニアエン
コーダは公知のように光学的エッチング又は磁気的処理
が施してあるスケールと、検出体と、から構成されてい
る。このリニアエンコーダは図４に示すように、主軸移
動距離及び主軸移動速度について、予め定めた設定値に
基づいて装置内のＣＰＵを介して所定の指令が発せられ
ると、その指令が同時に双方のモータドライバに送ら
れ、更にサーボモータ３１、３１’にその信号が入って
両ベルト３０、３０’を同時に回動し、副軸ユニット２
２の両端を同時に移動し始める。この際その副軸ユニッ
ト２２の主軸方向の移動距離及び移動速度をリニアエン
コーダ３５、３５’が前記連結板２９と同様の手段を介
して正確に感知し、次いで公知のサーボ機構を介して２
つの主軸側の駆動回路を図４に示すようにフルクローズ
ループとすることにより主軸サーボドライバへ信号を繰
り返しフィードバックする。これによりベルト３０、３
０’のピッチ誤差が解消し、該副軸ユニットの位置決め
精度が向上し、かつ図２の装置の場合のような双方モー
タの相互干渉を無くし、主軸の各モータにかかる負荷を
軽減して高速化を図ることが出来るのである。この結
果、２つの主軸の独立した２つのモータベルト等の位置
関係を同一にすることが出来、またベルトによるダンピ
ング特性を同等にすることにより、位置決め精度とタク
トの著しい向上が図れるのである。
ーダ３５、３５’が取付けられている。このリニアエン
コーダは公知のように光学的エッチング又は磁気的処理
が施してあるスケールと、検出体と、から構成されてい
る。このリニアエンコーダは図４に示すように、主軸移
動距離及び主軸移動速度について、予め定めた設定値に
基づいて装置内のＣＰＵを介して所定の指令が発せられ
ると、その指令が同時に双方のモータドライバに送ら
れ、更にサーボモータ３１、３１’にその信号が入って
両ベルト３０、３０’を同時に回動し、副軸ユニット２
２の両端を同時に移動し始める。この際その副軸ユニッ
ト２２の主軸方向の移動距離及び移動速度をリニアエン
コーダ３５、３５’が前記連結板２９と同様の手段を介
して正確に感知し、次いで公知のサーボ機構を介して２
つの主軸側の駆動回路を図４に示すようにフルクローズ
ループとすることにより主軸サーボドライバへ信号を繰
り返しフィードバックする。これによりベルト３０、３
０’のピッチ誤差が解消し、該副軸ユニットの位置決め
精度が向上し、かつ図２の装置の場合のような双方モー
タの相互干渉を無くし、主軸の各モータにかかる負荷を
軽減して高速化を図ることが出来るのである。この結
果、２つの主軸の独立した２つのモータベルト等の位置
関係を同一にすることが出来、またベルトによるダンピ
ング特性を同等にすることにより、位置決め精度とタク
トの著しい向上が図れるのである。
【００１２】ここに述べた実施例ではリニアエンコーダ
３５、３５’が副軸ユニット２２の回転数（速度）と位
置とを共に感知する例について述べた。しかしながら、
リニアエンコーダ３５、３５’が副軸の位置のみを感知
し、一方図２に示すロータリエンコーダ１８、１８’と
同様のロータリエンコーダを図３のサーボモータ３１、
３１’に連動させるようにして取り付け、このロータリ
エンコーダによってサーボモータの回転数を感知し、こ
れらの信号をサーボモータに送り、互いにフィードバッ
ク制御することも出来る。
３５、３５’が副軸ユニット２２の回転数（速度）と位
置とを共に感知する例について述べた。しかしながら、
リニアエンコーダ３５、３５’が副軸の位置のみを感知
し、一方図２に示すロータリエンコーダ１８、１８’と
同様のロータリエンコーダを図３のサーボモータ３１、
３１’に連動させるようにして取り付け、このロータリ
エンコーダによってサーボモータの回転数を感知し、こ
れらの信号をサーボモータに送り、互いにフィードバッ
ク制御することも出来る。
【００１３】
【発明の効果】本発明によれば、一対のリニアエンコー
ダの使用により２つの主軸の独立した２つのモータベル
ト等の位置関係を同一にすることが出来、またベルトに
よるダンピング特性を同等にすることにより、位置決め
精度とタクトの著しい向上が図れる。なお上記実施例で
はチップマウンタについて説明したが本発明はＸＹ方向
にヘッドを移動するプロッタ等の他の装置にて実施する
ことによっても同様の効果を得ることが出来る。
ダの使用により２つの主軸の独立した２つのモータベル
ト等の位置関係を同一にすることが出来、またベルトに
よるダンピング特性を同等にすることにより、位置決め
精度とタクトの著しい向上が図れる。なお上記実施例で
はチップマウンタについて説明したが本発明はＸＹ方向
にヘッドを移動するプロッタ等の他の装置にて実施する
ことによっても同様の効果を得ることが出来る。
【図１】公知のヘッド部駆動機構を示す図である。
【図２】別の公知のヘッド部駆動機構を示す図である。
【図３】本発明のヘッド部駆動機構の概略構造を示す図
である。
である。
【図４】本発明のヘッド部駆動機構の作動ブロック図を
示す図である。
示す図である。
２０ チップ部品吸引装着ヘッド ２２ 副軸ユニット ２４ 副軸駆動モータ ２５ ベルト ２６ ベルト駆動プーリ ２７ 主軸ベース部 ２８ 直動ガイドベアリング ２９ 副軸駆動連結板 ３０ ベルト ３１ 主軸駆動サーボモータ ３２ ベルト駆動プーリ ３３ ベルト駆動プーリ ３５ リニアエンコーダ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０５Ｄ 3/00 Ｑ 9179−3Ｈ
Claims (2)
- 【請求項１】 Ｘ方向及びＹ方向に移動自在なヘッド部
を駆動する方法であって、ヘッド部を駆動するＸＹロボ
ットの主軸両端側をそれぞれサーボモータとリニアエン
コーダとを用いて該ヘッド部の位置及び速度の少なくと
も一方をフルクローズループによって制御し、２本のベ
ルトにて同期駆動を可能としたヘッド部駆動方法。 - 【請求項２】 ヘッド部を副軸方向に駆動する副軸方向
駆動機構と、ヘッド部を副軸方向と直交する主軸方向に
駆動する主軸方向駆動機構と、を備えて成るヘッド部駆
動機構であって、 副軸方向駆動機構が、ヘッド２０を支承する副軸ユニッ
ト２２と、ヘッド２０を該副軸ユニット２２の長手方向
に沿って駆動するモータ２４と、から成っており、 主軸方向駆動機構が、前記副軸ユニット２２の両端部を
独立して駆動する一対のベルト３０、３０’と、該ベル
トを個別的に駆動する一対の駆動サーボモータ３１と、
該副軸ユニット２２の両端の移動速度及び移動量の少な
くとも一方を検知するリニアエンコーダ３５、３５’
と、から成っており、 リニアエンコーダとサーボモータとがフルクローズルー
プにより制御されていることを特徴とするヘッド部駆動
機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30464191A JPH05138564A (ja) | 1991-11-20 | 1991-11-20 | ヘツド部駆動方法及び機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30464191A JPH05138564A (ja) | 1991-11-20 | 1991-11-20 | ヘツド部駆動方法及び機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05138564A true JPH05138564A (ja) | 1993-06-01 |
Family
ID=17935483
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30464191A Pending JPH05138564A (ja) | 1991-11-20 | 1991-11-20 | ヘツド部駆動方法及び機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05138564A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102990641A (zh) * | 2012-11-26 | 2013-03-27 | 哈尔滨工程大学 | 一种可移动物体定位取放装置 |
| CN104875200A (zh) * | 2015-06-02 | 2015-09-02 | 北京众驰伟业科技发展有限公司 | 一种xy轴自动滑轨机械臂 |
| KR20160056350A (ko) * | 2014-11-10 | 2016-05-20 | (주)금강오토텍 | 리니어 스케일 방식을 이용한 드롭 리프트 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59209777A (ja) * | 1983-05-12 | 1984-11-28 | 有限会社平井研究所 | 直角座標型ロボツト |
| JPS62241681A (ja) * | 1986-04-14 | 1987-10-22 | インタ−ナショナル ビジネス マシ−ンズ コ−ポレ−ション | ロボツト |
-
1991
- 1991-11-20 JP JP30464191A patent/JPH05138564A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59209777A (ja) * | 1983-05-12 | 1984-11-28 | 有限会社平井研究所 | 直角座標型ロボツト |
| JPS62241681A (ja) * | 1986-04-14 | 1987-10-22 | インタ−ナショナル ビジネス マシ−ンズ コ−ポレ−ション | ロボツト |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102990641A (zh) * | 2012-11-26 | 2013-03-27 | 哈尔滨工程大学 | 一种可移动物体定位取放装置 |
| KR20160056350A (ko) * | 2014-11-10 | 2016-05-20 | (주)금강오토텍 | 리니어 스케일 방식을 이용한 드롭 리프트 |
| CN104875200A (zh) * | 2015-06-02 | 2015-09-02 | 北京众驰伟业科技发展有限公司 | 一种xy轴自动滑轨机械臂 |
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