JP2002168317A - ボールねじ駆動装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ねじ軸の共振を抑えた上でその動作性能を向
上させ、生産性を上げる。 【解決手段】 基端側軸受部材１８および先端側軸受部
材１９に軸支されたボールねじ軸１２に螺着され、ボー
ルねじ軸１２の正逆回転で正逆移動するスライダーとし
てのヘッドユニット５が所定の動作を行うように構成さ
れたボールねじ駆動装置２０であり、このボールねじ駆
動装置２０は、ボールねじ軸１２を回転駆動するＸ軸サ
ーボモータ１４と、ヘッドユニット５のボールねじ軸１
２上の位置を検出する位置センサとしてのロータリーエ
ンコーダ２１と、このロータリーエンコーダ２１の検出
値に基づきＸ軸サーボモータ１４に向けてボールねじ軸
１２が共振しない回転数になる制御信号を出力する制御
装置３０とから構成されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、モータで駆動され
るボールねじ軸の回転によってスライダーを移動させる
ボールねじ駆動装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種のボールねじ駆動装置は、
単軸ロボットにおいて知られている。単軸ロボットは、
ケーシングと、このケーシングに軸受部材を介して取り
付けられるねじ軸と、このねじ軸に螺合される操作腕と
してのスライダーと、上記ねじ軸を軸心回りに正逆回転
させるモータと、このモータの駆動を制御する制御装置
とからなる基本構成を有している。

【０００３】上記軸受部材はねじ軸の基端側と先端側と
に設けられ、これら一対の軸受部材によってねじ軸は安
定的に軸支された状態になっている。また、ケーシング
には、スライダーを案内するガイドが設けられ、スライ
ダーはこのガイドに案内されることにより軸心回りに姿
勢変化することなくねじ軸の回転で円滑に正逆移動する
ようになっている。

【０００４】そして、上記スライダーには、例えばワー
クに対する着脱手段が設けられ、制御装置からの制御信
号に基づいたモータの駆動によるねじ軸の回転でワーク
供給位置に送り出されたワークに向けて移動し、着脱手
段によってワークをピックアップした後、再度ねじ軸の
回転で所定の位置まで移動し、ここでピックアップした
ワークを離して所定の部材に装着するようになってい
る。

【０００５】なお、このようなボールねじ駆動装置は、
部品実装ヘッドが部品供給部から部品をピックアップし
てプリント基板上に装着する表面実装機において、ヘッ
ドのＸ軸方向、Ｙ軸方向等の駆動手段としても従来から
採用されている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のよう
なボールねじ駆動装置においては、ねじ軸が自軸心回り
の回転で振動し得る状況になるが、特にねじ軸が高速回
転されて回転数がねじ軸の固有振動数に対応したときに
は、いわゆる共振現象が生じ、これによってねじ軸が強
く振動する。かかる共振現象が起こると、軸受部材に無
理な力が作用して軸受部材およびボールねじ軸の破損に
つながるという問題点が存在する。

【０００７】かかる問題点を解消するために、ねじ軸の
回転数と振動数との関係を予め把握しておき、同回転数
を固有振動数に対応する共振回転数に到達しない範囲に
抑えることが考えられるが、ねじ軸の固有振動数は、ボ
ールねじ軸のみならずこれに螺合しているスライダーの
位置によっても異なってくるため、一元的にスライダー
をも含めたねじ軸の固有振動数を得ることができない。
従って、従来、固有振動数が最も低くなる状況下での共
振回転数よりも低い回転数で回転させることが行われて
いたため、単軸ロボット等の動作性能が劣ったものにな
り、生産性が向上しないという問題点を有していた。

【０００８】本発明は、上記のような問題点を解消する
ためになされたものであり、ねじ軸の共振を抑えた上で
動作性能を向上させることが可能であり、これによって
生産性を上げることができるボールねじ駆動装置を提供
することを目的としている。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、両端部が軸受
部材に軸支されたボールねじ軸と、このボールねじ軸に
螺合するナット部を有してガイド部に支持されたスライ
ダーと、上記ボールねじ軸を回転駆動するモータとを備
え、ねじ軸の正逆回転に応じて上記スライダーが正逆移
動するように構成されたボールねじ駆動装置において、
上記スライダーのねじ軸上の位置を検出する位置センサ
と、この位置センサの検出値に基づきモータの最高回転
数をボールねじ軸が共振しない範囲でボールねじ軸上の
スライダーの位置に応じて変更し、その最高回転数を越
えないようにモータを制御する制御装置とが設けられて
いることを特徴とするものである。

【００１０】この発明によれば、ねじ軸の共振による軸
受部材の損傷等が確実に回避される。しかも、ボールね
じ軸上のスライダーの位置に応じてモータの最高回転数
を変更することによって、共振が生じない範囲で駆動速
度を速くすることが可能になる。

【００１１】特に、後述するように、スライダーがボー
ルねじ軸上の中間位置にあるときは、端部にあるときよ
り固有振動数が高くなるので、最高回転数を、スライダ
ーがボールねじ軸の中間部にあるときに、端部にあると
きよりも高く設定すること（請求項２）が効果的であ
る。

【００１２】また、本発明は、所定の部品供給部に供給
された部品を上記スライダーに付設された部品実装ヘッ
ドでピックアップし、この部品をスライダーの移動で所
定の基板上の所定の位置に移して装着するように構成さ
れた表面実装機に適用されるものである。

【００１３】かかる適用により、基板を対象とした表面
実装機による部品の実装効率が向上する。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明を基板の表面実装機
に適用した例に基づいて詳細に説明する。図１は、本発
明に係るボールねじ駆動装置が適用された表面実装機の
一実施形態を概略的に示す平面図であり、図２はそのそ
の側面図である。図１および図２において、基台１上に
は基板搬送用のコンベア２が配置され、このコンベア２
上をプリント基板３（二点鎖線で示す）が搬送されて所
定の実装位置で停止するようになっている。

【００１５】上記コンベア２の側方には、部品供給部４
が配置されている。この部品供給部４は、例えば多数列
のテープフィーダー４ａを備えている。

【００１６】上記基台１の上方には、部品装着用のヘッ
ドユニット（スライダー）５が装備され、このヘッドユ
ニット５は、部品供給部４から部品をピックアップして
プリント基板３上に装着し得るように、Ｘ軸方向（コン
ベア２の延びる方向）およびＹ軸方向（水平面上でＸ軸
と直交する方向）に移動可能となっている。

【００１７】詳しくは、上記基台１上にＹ軸方向に延び
る一対のガイドレール６が設けられ、このガイドレール
６上にヘッドユニット支持部材７が架設されている。ヘ
ッドユニット支持部材７は、ナット部８を介してＹ軸方
向のボールねじ軸９と螺合しており、このボールねじ軸
９は、Ｙ軸サーボモータ１０の回転軸に接続されてい
る。

【００１８】また、ヘッドユニット支持部材７は、Ｘ軸
方向に延びるガイド部材１１およびＸ軸方向のボールね
じ軸１２を有し、ヘッドユニット５が上記ガイド部材１
１（図２）に移動可能に支持されるとともに、ヘッドユ
ニット５に設けられたナット部１３がボールねじ軸１２
に螺合している。このボールねじ軸１２は、図２におけ
るガイド部材１１の右端部に設けられた基端側軸受部材
１８と、同左端部に設けられた先端側軸受部材１９とに
よって軸支され、Ｘ軸サーボモータ１４の回転軸に連結
されることによりＸ軸サーボモータ１４の駆動で軸心回
りに回転するようになっている。

【００１９】こうしてＹ軸サーボモータ１０によりボー
ルねじ軸９を介してヘッドユニット支持部材７のＹ軸方
向の駆動が行われるとともに、Ｘ軸サーボモータ１４に
よりボールねじ軸１２を介してヘッドユニット５のＸ軸
方向の駆動が行われるようになっている。

【００２０】そして、上記ヘッドユニット５には部品を
吸着するための部品実装ヘッド１５が搭載されており、
この部品実装ヘッド１５は、Ｚ軸サーボモータ１６（図
２）を駆動源とする昇降機構により上下方向（Ｚ軸方
向）に駆動されるとともに、Ｒ軸サーボモータ１７を駆
動源とする回転駆動機構により回転方向（Ｒ軸方向）に
駆動されるようになっている。

【００２１】図３は、上記のような表面実装機に適用さ
れるボールねじ駆動装置の一実施形態を示す説明図であ
る。図３に示すように、ボールねじ駆動装置２０は、上
記Ｘ軸サーボモータ１４と、このＸ軸サーボモータ１４
の駆動によって回転する、一対の軸受部材１８，１９に
軸支された上記ボールねじ軸１２と、このボールねじ軸
１２に螺着されてガイド部材１１に案内されつつボール
ねじ軸１２の回転で正逆移動するヘッドユニット（スラ
イダー）５と、ヘッドユニット５の位置を検出するため
にＸ軸サーボモータ１４に付設されたロータリーエンコ
ーダ（位置検出センサ）２１と、ロータリーエンコーダ
２１からの検出信号に基づいてＸ軸サーボモータ１４に
向けて制御信号を出力する制御装置３０とからなってい
る。

【００２２】上記制御装置３０は、いわゆるマイクロコ
ンピュータであり、表面実装機の全体的な制御を行うＣ
ＰＵ（中央演算処理装置）３１と、このＣＰＵ３１に付
設された主記憶装置３２と、Ｘ軸サーボモータ１４の駆
動制御を行うサーボコントローラ３３と、このサーボコ
ントローラ３３に付設されたサーボコントローラ３３専
用の記憶装置３４とを備えて構成されている。

【００２３】上記主記憶装置３２には、Ｘ軸サーボモー
タ１４の駆動を制御するプログラムが記憶されていると
ともに、後述するヘッドユニット５の位置と、最高回転
数との関係についてのデータ等を記憶するようになって
いる。

【００２４】上記ＣＰＵ３１は、ボールねじ駆動装置２
０の稼働が開始されると主記憶装置３２が記憶している
プログラムを取り込んで制御可能状態となる。そして、
ロータリーエンコーダ２１から入力された情報に基づい
てＸ軸サーボモータ１４上のヘッドユニット５の位置を
決め、これを基に上記プログラムが実行され、Ｘ軸サー
ボモータ１４の回転数が演算される。この演算結果は、
制御信号として一旦サーボコントローラ３３の記憶装置
３４に記憶された後、サーボコントローラ３３からはこ
の制御信号に基づく駆動信号がＸ軸サーボモータ１４に
向けて出力され、これによるＸ軸サーボモータ１４の駆
動でボールねじ軸１２は駆動信号で示される回転数で回
転し、ヘッドユニット５はこの回転数に対応した速度で
移動することになる。

【００２５】そして、本発明においては、予め制御装置
３０の主記憶装置３２にＸ軸サーボモータ１４の最高回
転数を決めるためのデータが記憶されている。以下、図
４を基にＸ軸サーボモータ１４の最高回転数の設定につ
いて説明する。図４は、ボールねじ軸１２のＸ軸方向の
位置とＸ軸サーボモータ１４の回転数（すなわちボール
ねじ軸１２の回転数）との関係の一例を示すグラフであ
る。このグラフにおいて、横軸にはヘッドユニット５の
先端側軸受部材１９からの距離が設定されているととも
に、縦軸にはＸ軸サーボモータ１４の回転数が設定され
ている。

【００２６】また、このグラフには、実線で危険速度カ
ーブが示されているとともに、一点鎖線で実際に適用さ
れるＸ軸サーボモータ１４の回転数（設定最高回転数）
が示されている。危険速度カーブは、ヘッドユニット５
の位置に対応してボールねじ軸１２が共振する回転数で
ある。ところで、ガイド部材１１がなければ質量をもつ
ヘッドユニット５と弾性軸であるボールねじ軸１２とか
ら振動系が構成されるのであるが、ガイド部材１１が存
在するため、ヘッドユニット５がガイド部材で前後方向
（Ｙ軸方向）および上下方向（Ｚ軸方向）に支持された
状態になっており、これによって中央支持の３点支持は
り状態の、弾性軸であるボールねじ軸１２からなる振動
系となっている。

【００２７】ヘッドユニット５とガイド部材１１との間
のがたは、極小（例えば数μｍ〜十数μｍ）とされ、ヘ
ッドユニット５の振れを規制する。また、たとえがたが
数百μｍであっても、Ｘ軸サーボモータ１４でボールネ
ジ軸１２を回転駆動しているときには、ヘッドユニット
５は、反回転方向の反力（前後方向の力）をガイド部材
１１から受けており、ヘッドユニット５が上下方向に振
れようとするとき、この反力に基づく摩擦力が作用して
振れが規制される。すなわち、ヘッドユニット５とガイ
ド部材１１のがたに拘わらず、ボールねじ軸１２は、両
端の軸受部材１８，１９と中央部のヘッドユニット５と
で支持される３点支持はり状態となる。

【００２８】ボールねじ軸１２は、基本的に基端側軸受
部材１８、先端側軸受部材１９およびガイド部材１１に
保持されたヘッドユニット５によって３点で支持されて
いるが、通常、支持点間の距離が短くなる程固有振動数
が高くなり、つまり共振が生じるボールねじ軸１２の回
転数は高くなるという性質を有している。

【００２９】従って、ヘッドユニット５が先端側軸受部
材１９に隣接している図４のＡ点では、ボールねじ軸１
２はヘッドユニット５と基端側軸受部材１８とによって
２点で支持された状態になっており、支持点間の距離が
最大になっているため共振が生じ易い状態になってい
る。ついで、ヘッドユニット５を先端側軸受部材１９か
ら離間させていくと、ボールねじ軸１２の支持点間の距
離は漸減するため、これに応じてボールねじ軸１２は共
振し難くなり、共振点は先上がりのカーブを描いて上昇
していく。なお、ヘッドユニット５の左側のボールねじ
軸１２の長さは、ヘッドユニット５がボールねじ軸１２
の中間点に到達するまで同右側の長さより短いため、こ
の部分の共振点は右側よりも高くなる。

【００３０】そして、ヘッドユニット５がボールねじ軸
１２の中央部（図４のＢ点）に位置したときは、ボール
ねじ軸１２はその両端と中央部とが３点で支持されて最
も支持剛性が高い状態になっているため、共振は最も起
こり難くなっている。ついでヘッドユニット５がＢ点か
らさらに右方に向かって移動すると、今度はヘッドユニ
ット５と先端側軸受部材１９との間の距離が漸増してい
き、これによって共振点は漸減していく。かかる危険速
度カーブは、Ｂ点を含む垂直線に対して左右対称になっ
ており、ヘッドユニット５が基端側軸受部材１８に隣接
した位置に到達したとき（図４のＣ点）は、ボールねじ
軸１２の危険速度の回転数は、上記Ａ点におけるものと
同一になっている。

【００３１】このような危険速度カーブは、構造力学的
に計算で取得することが可能であるし、計算が困難なと
きは予め実験的に求めておくことができる。

【００３２】そして、本実施形態においては、設定最高
回転数をボールねじ軸１２の回転数が危険速度カーブの
下位になるように２段階で設定している。具体的には、
ヘッドユニット５が先端側軸受部材１９に隣接している
状態のＤ点では、上記Ａ点における回転数より低い低回
転数ω１が設定最高回転数として採用され、この低回転
数ω１がＥ点まで継続される。

【００３３】Ｅ点としては、危険速度カーブが急に立ち
上がる位置が選択されている。このＥ点を通過したＦ点
からは、低回転数ω１より高速であって、危険速度カー
ブより低位の高回転数ω２が設定最高回転数として採用
され、この高回転数ω２がＦ点と線対称位置にあるＧ点
まで継続される。その後のＥ点と線対称位置にあるＨ点
と、Ｄ点と線対称位置にあるＩ点との間は低回転数ω１
が設定される。そして、図４におけるＤ点とＥ点との
間、およびＨ点とＩ点との間がボールねじ軸１２の低速
指定範囲であり、Ｅ点とＧ点との間がボールねじ軸１２
の高速指定範囲である。

【００３４】このような設定最高回転数が上記主記憶装
置３２に記憶されており、ＣＰＵ３１は、ロータリーエ
ンコーダ２１からの検出信号に基づいてＸ軸サーボモー
タ１４を低速指定範囲の回転数に設定するか、あるいは
高速指定範囲の回転数に設定するかを判別し、いずれか
の回転数になる制御信号をサーボコントローラ３３に向
けて出力することになる。

【００３５】以下、図５を基に制御装置３０による制御
についてさらに説明する。図５は、制御装置３０による
制御の一実施形態を示すフローチャートである。まず、
制御がスタートすると、ロータリーエンコーダ２１から
のヘッドユニット５の位置信号が制御装置３０のＣＰＵ
３１に入力される（Ｓ１）。

【００３６】ついで、この位置が低速指定範囲内である
のか否かが判別され（Ｓ２）、低速指定範囲内のとき
（Ｓ２でＹＥＳ）は、ステップＳ３が実行されてＣＰＵ
３１からサーボコントローラ３３にＸ軸サーボモータ１
４の回転数が低回転数ω１になる制御信号が出力され、
引き続きサーボコントローラ３３からＸ軸サーボモータ
１４に駆動信号が出力される（Ｓ５）ことにより、Ｘ軸
サーボモータ１４が低回転数ω１を越えない範囲で駆動
され、ヘッドユニット５は低速移動を行う。

【００３７】これに対し、ステップＳ３でヘッドユニッ
ト５の位置が低速指定範囲外のとき（すなわち高速指定
範囲内のとき）には（ステップＳ２でＮＯ）、ステップ
Ｓ４が実行されてＸ軸サーボモータ１４の回転が高回転
数ω２まで許容され、ヘッドユニット５は高速で移動す
ることになる。

【００３８】本発明は、以上の実施形態のボールねじ装
置２０で説明したように、ボールねじ軸１２を回転駆動
するＸ軸サーボモータ１４と、ヘッドユニット５のボー
ルねじ軸１２上の位置を検出する位置センサとしてのロ
ータリーエンコーダ２１と、このロータリーエンコーダ
２１の検出値に基づきモータの最高回転数をボールねじ
軸が共振しない範囲でボールねじ軸上のスライダーの位
置に応じて変更し、その最高回転数を越えないようにモ
ータを制御する制御装置３０とで構成されているため、
制御装置３０からＸ軸サーボモータ１４に向けてロータ
リーエンコーダ２１の検出値に基づいたボールねじ軸１
２が共振しない回転数になるようにＸ軸サーボモータ１
４が制御され、ボールねじ軸１２は、たとえヘッドユニ
ット５がどの位置にあってもその位置に応じた回転数で
回転して共振することはない。従って、ボールねじ軸１
２の強い共振で各軸受部材１８，１９が損傷するような
不都合を確実に防止することができる。

【００３９】しかも、主記憶装置３２にヘッドユニット
５の位置に応じたボールねじ軸１２が共振しない回転数
であって、安全を見込んだ最大の値を２段階で記憶させ
ておくことにより、制御システムを簡単な構成にした上
で、ボールねじ軸１２をヘッドユニット５の位置に応じ
て常にその位置における共振しない適切な回転数で回転
させるようにすることができるため、従来の常に一定の
回転数でボールねじ軸１２を回転させる方式に比べて動
作性能が格段に改善され、その分生産性を向上すること
ができる。

【００４０】本発明は、上記の実施形態に限定されるも
のではなく、以下の内容をも包含するものである。

【００４１】（１）上記の実施形態においては、ヘッド
ユニット５のＸ軸方向の変位をロータリーエンコーダ２
１によって検出するようにしているが、本発明は、ヘッ
ドユニット５のＸ軸方向の変位をロータリーエンコーダ
２１で検出することに限定されるものではなく、Ｘ軸に
沿って（具体的にはガイド部材１１に沿って）リニアス
ケールを付設し、このリニアスケールに基づいてヘッド
ユニット５の変位を検出するようにしてもよい。

【００４２】（２）上記の実施形態においては、図４に
おける危険速度カーブに対して実際に適用されるボール
ねじ軸１２の回転数が危険速度カーブより低位になる階
段状の実設定直線で規定されるようにしているが、本発
明は、実際に適用されるＸ軸サーボモータ１４の回転数
が階段状の直線で設定されることに限定されるものでは
なく、危険速度カーブの下位でこのカーブに沿うような
実設定カーブを採用してもよい。この場合には、予め主
記憶装置３２に実設定カーブの演算式（ヘッドユニット
５の位置（先端側軸受部材１９からの距離）を（ｘ）と
し、Ｘ軸サーボモータ１４の回転数を（ω）とした場
合、ω＝ｆ（ｘ））を記憶させておき、この演算式に基
づいて常にＣＰＵ３１に（ω）の値を演算させ、この値
に基づいてサーボコントローラ３３からＸ軸サーボモー
タ１４に向けて駆動信号を出力させるようにしてもよ
い。こうすることによって、ヘッドユニット５は共振を
確実に防止した上でさらに迅速な動作を行うことができ
る。

【００４３】（３）上記の実施形態においては、ボール
ねじ駆動装置２０として表面実装機のＸ軸方向に移動す
るヘッドユニット５を対象としたものについて説明し
た。すなわち、Ｘ軸サーボモータ１４の上記の回転数制
御により、ヘッドユニット５のＸ軸方向の移動速度を高
めることができ、部品供給部４で部品を図略のノズルで
吸着したのちプリント基板３上までヘッドユニット５が
移動する時間、およびノズルで部品をプリント基板３上
に装着したのちに部品供給部４まで移動する時間の双方
を短くすることができるため、部品装着の生産性を高め
ることができる。さらにヘッドユニット５が停止した状
態で、部品をプリント基板３上に装着するとき、ボール
ねじ軸１２の振動減衰機能が充分でなくても、共振振動
そのものがないので、精度の高い部品装着が可能とな
る。

【００４４】（４）そして、本発明は、Ｘ軸方向を対象
とするものに限定されるものではなく、Ｙ軸方向にヘッ
ドユニット支持部材７を移動させるためのＹ軸サーボモ
ータ１０およびこのＹ軸サーボモータ１０の駆動で回転
するボールねじ軸９等からなるボールねじ駆動装置に適
用してもよい。この場合、左右のガイドレール６が本発
明のガイド部材となり、ヘッドユニット支持部材７のＹ
軸方向の移動を高速化することができるので、より生産
性を高めることができるとともに、ボールねじ軸９の共
振振動そのものがないようにすることができるため、ボ
ールねじ軸９の振動減衰機能が十分でなくてもよく、よ
り精度の高い部品装着が可能になる。また本発明を、汎
用タイプの単軸ロボットや、これを組み合わせた直交ロ
ボットに適用してもよい。

【００４５】

【発明の効果】本発明によれば、スライダーのねじ軸上
の位置を検出する位置センサと、この位置センサの検出
値に基づきモータの最高回転数をボールねじ軸が共振し
ない範囲でボールねじ軸上のスライダーの位置に応じて
変更し、その最高回転数を越えないようにモータを制御
する制御装置とを設けたため、共振が生じない範囲でス
ライダーの移動速度を速くすることが可能になり、ねじ
軸の共振による軸受部材等の損傷等を確実に防止した上
で、ボールねじ駆動装置を適用した装置の生産性を向上
させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るボールねじ駆動装置が適用された
表面実装機の一実施形態を概略的に示す平面図である。

【図２】図１の側面図である。

【図３】本発明に係るボールねじ駆動装置の一実施形態
を示す説明図である。

【図４】ボールねじ軸のＸ軸方向の位置とＸ軸サーボモ
ータの回転数との関係の一例を示すグラフである。

【図５】制御装置による制御の一実施形態を示すフロー
チャートである。

【符号の説明】

１ 基台 ２ コンベア ３ プリント基板 ４ａ テープフィーダー ４ 部品供給部 ５ ヘッドユニット（スライダー） ７ ヘッドユニット支持部材 ６ ガイドレール ８ ナット部 ９ 軸 １０ 軸サーボモータ １１ ガイド部材 １２ ボールねじ軸 １３ ナット部 １４ Ｘ軸サーボモータ １５ 部品実装ヘッド １６ Ｚ軸サーボモータ １７ Ｒ軸サーボモータ １８ 基端側軸受部材 １９ 先端側軸受部材 ２１ ロータリーエンコーダ ２０ ボールねじ駆動装
置 ３０ 制御装置 ３１ ＣＰＵ ３３ サーボコントローラ ３２ 主記憶装置 ３４ 記憶装置

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 両端部が軸受部材に軸支されたボールね
   じ軸と、このボールねじ軸に螺合するナット部を有して
   ガイド部に支持されたスライダーと、上記ボールねじ軸
   を回転駆動するモータとを備え、ねじ軸の正逆回転に応
   じて上記スライダーが正逆移動するように構成されたボ
   ールねじ駆動装置において、上記スライダーのねじ軸上
   の位置を検出する位置センサと、この位置センサの検出
   値に基づきモータの最高回転数をボールねじ軸が共振し
   ない範囲でボールねじ軸上のスライダーの位置に応じて
   変更し、その最高回転数を越えないようにモータを制御
   する制御装置とが設けられていることを特徴とするボー
   ルねじ駆動装置。
2. 【請求項２】 上記最高回転数を、スライダーがボール
   ねじ軸の中間部にあるときに、端部にあるときよりも高
   く設定したことを特徴とする請求項１記載のボールねじ
   駆動装置。
3. 【請求項３】 所定の部品供給部に供給された部品を上
   記スライダーに付設された部品実装ヘッドでピックアッ
   プし、この部品をスライダーの移動で所定の基板上の所
   定の位置に移して装着するように構成された表面実装機
   に適用されるものであることを特徴とする請求項１また
   は２記載のボールねじ駆動装置。