JP3808347B2 - マスタスレーブ式xy位置決め制御装置及び電子部品搭載装置 - Google Patents

マスタスレーブ式xy位置決め制御装置及び電子部品搭載装置 Download PDF

Info

Publication number
JP3808347B2
JP3808347B2 JP2001340864A JP2001340864A JP3808347B2 JP 3808347 B2 JP3808347 B2 JP 3808347B2 JP 2001340864 A JP2001340864 A JP 2001340864A JP 2001340864 A JP2001340864 A JP 2001340864A JP 3808347 B2 JP3808347 B2 JP 3808347B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
command
axis
speed
output
master
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2001340864A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2003140751A (ja
Inventor
明彦 中村
一郎 岡本
洋 安西
直幸 八幡
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Juki Corp
Original Assignee
Juki Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Juki Corp filed Critical Juki Corp
Priority to JP2001340864A priority Critical patent/JP3808347B2/ja
Publication of JP2003140751A publication Critical patent/JP2003140751A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3808347B2 publication Critical patent/JP3808347B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/10Greenhouse gas [GHG] capture, material saving, heat recovery or other energy efficient measures, e.g. motor control, characterised by manufacturing processes, e.g. for rolling metal or metal working

Landscapes

  • Numerical Control (AREA)
  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
  • Control Of Position Or Direction (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、マスタスレーブ式位置決め制御方式で搬送対象物をXY位置移動自在に位置決めするマスタスレーブ式XY位置決め制御装置及び電子部品を搭載する電子部品搭載装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来から、電子部品の搭載を行なうヘッドや、部材を切削加工等するための工具を、XY平面の所定位置に正確に位置決めするXY位置決め制御装置を備えた、電子部品を回路基板に搭載するための電子部品搭載装置や、各種工作機械等があった。
【0003】
ここで、図5を参照して、従来の電子部品搭載装置を説明する。電子部品搭載装置は、XY平面の所定位置に位置決め制御するガントリ型(門形移動型)のXY位置決め制御装置30と、電子部品を供給する図示しない部品供給体と、回路基板を搬送するための図示しない基板搬送装置とからなる。
【0004】
XY位置決め制御装置30は、基板搬送装置に対して直角に、かつ、基板搬送装置を跨ぐようにして設けられる二本の支持梁31A,31Bと、Y軸方向へ移動自在となるように二本の支持梁31A,31B間に架け渡されるビーム32と、ビーム32の長手方向に移動自在に取付けられるヘッド33と、ヘッド33に搭載され部品供給体から電子部品を吸着して回路基板上の所定位置に装着する吸着ノズル34と、ビーム32の各端で支持梁31A,31Bそれぞれの長手方向の移動の駆動力を供給するY軸回転モータ35A,35Bと、Y軸回転モータ35A,35Bから供給された駆動力をビーム32にそれぞれ伝えるY軸タイミングベルト36A,36Bと、ヘッド33に対してビーム32の長手方向の移動の駆動力を供給するX軸回転モータ37と、X軸回転モータ37から供給された駆動力をヘッド33に伝えるX軸タイミングベルト38とを有する。
【0005】
また、XY位置決め制御装置30は、ビーム32のY軸位置を検出するための位置検出手段であり、支持梁31A,31Bにそれぞれ設けられたY軸リニアエンコーダ39と、ヘッド33のX軸位置を検出するための図示しない位置検出手段であるX軸リニアエンコーダと、CPU41(Central Processing Unit)を含みビーム32をY軸方向に位置決め制御するY軸位置決め制御部40を備え、またヘッド33をX軸方向に位置決め制御する制御手段とを有する。図5に示すように、ビーム32の長手方向をX軸方向、支持梁31A、31Bそれぞれの長手方向をY1軸方向、Y2軸方向とする。
【0006】
電子部品搭載装置は、CPU41が出力する位置指令(ビーム32及びヘッド33の位置、回路基板上への電子部品の搭載位置、部品供給体上の電子部品の吸着位置等に関する情報)に基づいて、Y軸位置決め制御部40を含める制御手段が、各駆動手段の駆動を制御することで、ヘッド33を部品供給体上の所定位置に移動させ、ヘッド33が備える吸着ノズル34により電子部品を吸着する。そして、ヘッド33を、回路基板搬送装置で搬送された回路基板上の所定位置に移動させ、電子部品を回路基板に装着する構造となっている。
【0007】
XY位置決め制御装置30の位置決め制御方式としては、X軸、Y1軸及びY2軸それぞれの軸にリニアエンコーダを配置し、位置決め制御を行う全軸式位置決め制御方式と、Y1軸、Y2軸の片方とX軸にリニアエンコーダを配置し、位置決め制御を行うマスタスレーブ式位置決め制御方式とがあった。
【0008】
ここで、図6を参照して、マスタスレーブ式位置決め制御方式を説明する。マスタスレーブ式位置決め制御方式は、マスタ側であるY1軸側のY軸回転モータ35Aにおいて位置検出してトルク制御し、スレーブ側であるY2軸側のY軸回転モータ35BにおいてY1側のトルク指令(電流指令)を用いてトルク制御し、ビーム32を位置制御する。Y軸位置決め制御部40は、CPU41、位置偏差比例増幅器42、速度偏差PI演算部43、低域フィルタ44、速度演算部45とを設ける。
【0009】
先ず、CPU41から目標位置の信号である位置指令を出力し、位置偏差比例増幅器42で当該位置指令と、Y軸リニアエンコーダ39からの位置フィードバック信号との偏差を比例演算して、目標位置に対応する速度の信号である速度指令を出力し、速度偏差PI演算部43で、位置偏差比例増幅器42からの速度指令と速度演算部45からの速度フィードバック信号との偏差を積分演算して、当該偏差と積分値との和を比例演算して、速度に対応する電流の信号であるトルク指令(電流指令)を出力し、低域フィルタ44で当該トルク指令の低域ノイズを除去して出力し、当該トルク指令を電流アンプ46Aで増幅してY軸リニアモータ35Aに入力する。
【0010】
Y2軸側では、低域フィルタ44から出力されたトルク指令を電流アンプ46Bで増幅してY軸回転モータ35Bに入力してトルク制御し、ビーム32の位置決め制御を行う。
【0011】
マスタスレーブ式位置決め制御方式は、全軸式位置決め制御方式に比べて、Y2軸側に、位置偏差比例増幅器、速度偏差PI演算部、低域フィルタ、速度演算部及びY軸リニアエンコーダを設置する必要がないので、XY位置決め制御装置の製造コストを低く抑えることができるという利点があった。
【0012】
また、ここでは、X軸回転モータ37、X軸タイミングベルト38、Y軸回転モータ35A,35B、タイミングベルト36A,36Bを駆動手段として用いたが、リニアモータ等の駆動手段も用いられている。また、マスタスレーブ式位置決め制御方式でY1軸側をスレーブ側、Y2軸側をマスタ側とする構成でもよい。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来のマスタスレーブ式位置決め制御方式では、マスタ側であるY1軸側の駆動手段であるY軸回転モータ35Aと、スレーブ側であるY2軸側の駆動手段であるY軸回転モータ35Bとの駆動時、Y1軸側の、支持梁31A、ビーム32、Y軸回転モータ35A、Y軸タイミングベルト36Aの間の摩擦係数と、Y2軸側の、支持梁31B、ビーム32、Y軸回転モータ35B、Y軸タイミングベルト36Bの間の摩擦係数との差や、外乱等の外的要因により、Y1軸側とY2軸側それぞれで位置決め制御されたビーム32の位置にずれが生ずる場合があった。
【0014】
外乱とは、位置決め制御におけるビーム32の異常な動きであり、例えば、X軸におけるヘッド33の移動や、外部からの衝撃等で起こる。ビーム32の各軸側での位置にずれが生ずる場合には、一方の軸側が他方の軸側にそれぞれ干渉する外力をビーム32に与えあうこととなっていた。
【0015】
その場合、マスタ側では、位置フィードバック信号及び速度フィードバックを用いた位置決めのサーボ制御を行っているため、ビーム32は、基本的に位置指令にほぼ正確に追随する。一方、スレーブ側では、位置フィードバック信号及び速度フィードバックを用いた位置決めのサーボ制御がなされておらず、マスタ側のトルク信号が与えられているだけであるから、位置指令と、実際のスレーブ側のビーム32の動きは異なっていた。
【0016】
このスレーブ側の動きは、マスタ側に対しては外乱として働き、マスタ側では、当該外乱を補正しようとするための位置決め制御を行うため、位置指令に対応するトルク指令に不連続な部分が発生し、実駆動時の衝撃や異音となって現れることがあった。
【0017】
よって、マスタ側とスレーブ側でビーム32の位置のずれが起こり、その結果、スレーブ側からマスタ側へ外乱が伝わり、トルク指令の急激(断続的)な出力方向(加速方向又は減速方向)の変化の発生により、実駆動時の衝撃や異音が発生するという問題や、高精度なビーム32の位置及び速度の制御、静かで滑らかな位置決め制御を行おうとしても、実現できないという問題があった。
【0018】
上記の問題は、ビーム32の剛性を高くすればするほど顕著となる。しかし、剛性を低くすると制御ゲインを上げることができず、位置決め目標への整定時間(目標位置へ位置決め終了するまでの時間)が遅くなるという問題が起こっていた。
【0019】
本発明の課題は、マスタスレーブ式位置決め制御方式において、外乱等が起きた異常状態の場合のトルク指令の急激な出力方向の変化を抑制することである。
【0020】
【課題を解決するための手段】
請求項1記載の発明は、X軸方向に沿って延在し、X軸方向に直交するY軸方向に沿って移動自在にさせると共に、搬送対象物(例えば、図1に示すヘッド3)をX軸方向に移動自在に支持する移動体(例えば、図1に示すビーム2)と、当該移動体の両端部をそれぞれ第1及び第2のY軸方向に沿って案内する第1及び第2のガイド部材(例えば、図1に示す支持梁1A,1B)と、前記移動体の一端部の第1のY軸方向の位置を検出する位置検出手段(例えば、図2に示すY軸リニアエンコーダ7)と、第1及び第2のY軸それぞれに沿って前記移動体を移動させる第1及び第2の駆動手段(例えば、図2に示すY軸リニアモータ5A,5B)と、前記位置検出手段から出力された位置情報を用いて第1及び第2の駆動手段に、前記移動体をY軸方向の任意の位置へ位置決め制御する制御手段(例えば、図3に示すY軸位置決め制御部10を含める制御手段)とを備えるマスタスレーブ式XY位置決め制御装置であって、前記制御手段は、目標位置の信号である位置指令と、前記位置検出手段から出力された位置フィードバック情報とを用いて、速度指令を算出する速度指令算出手段(例えば、図3に示す位置偏差比例増幅器12)と、前記位置検出手段から出力された位置フィードバック情報から、速度フィードバック情報を算出する速度演算手段(例えば、図3に示す速度演算部16)と、前記速度指令算出手段から出力された速度指令と、前記速度演算手段から出力された速度フィードバック情報とを用いて、前記第1及び第2の駆動手段の駆動の信号であるトルク指令を算出するトルク指令算出手段(例えば、図3に示す速度偏差PI演算部13)と、前記速度指令算出手段から出力された速度指令を用いて、加速度指令を算出する加速度指令算出手段(例えば、図3に示す加速度指令演算部17)と、当該加速度指令算出手段から出力された加速度指令が加速方向又は減速方向のどちらであるかを検出し、当該検出した加速度指令の加速方向又は減速方向に比較して、前記トルク指令算出手段から出力されたトルク指令の出力方向が逆転し、かつ、前記トルク指令の変化幅が任意に設定された設定値よりも大きい、異常状態であるかを判別する異常判別手段(例えば、図3に示す異常判別部18)と、当該異常判別手段で異常状態であると判別した場合、前記トルク指令の変化幅を前記設定値以下に制限するトルク指令制限手段(例えば、図3に示すトルクリミッタ14)と、を具備するマスタスレーブ式XY位置決め制御装置であることを特徴とする。
【0021】
請求項1記載の発明によれば、製造コストの低いマスタスレーブ式XY位置決め制御装置において、第1及び第2の駆動手段へ入力するトルク指令の出力方向が、加速度指令の方向と逆転し、かつ、トルク指令の変化幅がある設定値よりも大きい、外乱等が起こった異常状態の場合に、トルク指令の変化幅をある設定値以下に制限する。
【0022】
従って、請求項1記載の発明によれば、移動体への外力の干渉を抑え、衝撃や異音、移動体の破損、第1及び第2の駆動手段の温度の上昇、並びに、余分な電力の消費を避けることができ、また、移動体の剛性を高くすることができるので、制御ゲインを高め、高速な位置決め制御を行うことができる。
【0023】
請求項2に記載の発明は、請求項1の特徴の第1及び第2の駆動手段が、リニアモータである、マスタスレーブ式XY位置決め制御装置であることを特徴とする。
【0024】
従って、請求項2記載の発明によれば、第1及び第2の駆動手段にリニアモータを用いるので、移動体の高精度な位置決め制御を行うことができる。
【0025】
請求項3に記載の発明は、請求項1又は2何れかの特徴のマスタスレーブ式XY位置決め制御装置を具備する電子部品搭載装置であって、前記搬送対象物は、XY位置移動自在に電子部品を回路基板上に搭載する電子部品搭載ヘッドである、電子部品搭載装置であることを特徴とする。
【0026】
従って、請求項3の発明によれば、請求項1又は2記載の効果を得ると共に、移動体への外力の干渉を抑えて、電子部品を回路基板上の所定位置に搭載することができる。
【0027】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。先ず、装置的特長を図1〜図3を参照して説明する。なお、図面は発明が理解できる程度に概略的に示してあるにすぎず、従って発明を図示例に限定するものではない。
【0028】
図1〜図3に示すように、電子部品搭載装置Cは、ヘッドをX軸及びY軸移動自在に位置決めするガントリ型のマスタスレーブ式XY位置決め制御装置Dと、電子部品21を供給する部品供給体23と、電子部品21を搭載するための回路基板22を搬送するための基板搬送装置24とからなる。
【0029】
マスタスレーブ式XY位置決め制御装置Dは、基板搬送装置24に対して直角に、かつ、基板搬送装置24を跨ぐようにして設けられる二本の支持梁1A,1Bと、Y軸方向へ移動自在となるように二本の支持梁1A,1B間に架け渡されるビーム2と、ビーム2の長手方向に移動自在に取付けられるヘッド3と、ヘッド3に搭載され部品供給体23から電子部品21を吸着して回路基板22上の所定位置に装着する吸着ノズル4と、ビーム2の各端で支持梁1A,1Bそれぞれの長手方向の移動の駆動力を供給するY軸リニアモータ5A,5Bと、ヘッド3のビーム2の長手方向の移動の駆動力を供給するX軸リニアモータ6とを有する。
【0030】
また、マスタスレーブ式XY位置決め制御装置Dは、ビーム2のY1軸位置を検出するための位置検出手段であり支持梁1Aにそれぞれ設けられたY軸リニアエンコーダ7と、ヘッド3のX軸位置を検出するための位置検出手段であるX軸リニアエンコーダ8と、CPU11を含みビーム2をY軸方向に位置決め制御するY軸位置決め制御部10を備えまたヘッド3をX軸方向に位置決め制御する制御手段とを有する。図1に示すように、ビーム2の長手方向をX軸方向、支持梁1A,1Bそれぞれの長手方向をY1軸方向、Y2軸方向とする。
【0031】
電子部品搭載装置Cは、CPU11から出力される位置指令(ビーム2及びヘッド3の位置、回路基板22上への電子部品21の搭載位置、部品供給体23上の電子部品21の吸着位置等に関する情報)に基づいて、Y軸位置決め制御部10を含む制御手段でX軸リニアモータ6及びY軸リニアモータ5A,5Bの駆動を制御することで、ヘッド3を部品供給体23上の所定位置に移動させ、ヘッド3が備える吸着ノズル4により電子部品21を吸着する。そして、ヘッド3を、基板搬送装置24で搬送された回路基板22上の所定位置に移動させ、電子部品21を回路基板22に装着する構造となっている。
【0032】
Y軸位置決め制御部10は、各部を中央制御するCPU11と、Y1軸側に、位置偏差比例増幅器12、速度偏差PI演算部13、トルク指令を制限するトルクリミッタ14、低域フィルタ15、速度演算部16、速度指令から加速度指令を演算する加速度指令演算部17、加速度指令及びトルク指令から異常であるかを判別する異常判別部18とを設け、電流アンプ19A,19Bを介してY軸リニアモータ5A,5Bに接続され、また、Y軸リニアエンコーダ7とも接続する。
【0033】
マスタスレーブ式XY位置決め制御装置Dは、マスタスレーブ式位置決め制御方式によりY軸方向の位置制御を行い、マスタ側であるY1軸のY軸リニアモータ5Aに対してビーム2の位置決めのサーボ制御を行い、スレーブ側であるY2軸のY軸リニアモータ5Bに対して、マスタ側のトルク指令を用いてビーム2の位置決め制御を行う構成である。
【0034】
ここで、Y1軸のY軸リニアモータ5Aについての位置決め制御を説明する。先ず、CPU11から目標位置の信号である位置指令を出力し、位置偏差比例増幅器12で当該位置指令と、Y軸リニアエンコーダ7から出力された位置フィードバック信号との偏差を比例演算して、目標位置に対応する速度の信号である速度指令を出力し、速度偏差PI演算部13で、位置偏差比例増幅器12からの速度指令と速度演算部16から出力された速度フィードバック信号との偏差を積分演算して、当該偏差と積分値との和を比例演算して、速度に対応する電流の信号であるトルク指令を出力し、トルクリミッタ14で、当該トルク指令の急激な(断続的な)加速方向又は減速方向への出力方向の逆転部分を制限し、低域フィルタ15で当該トルク指令の低域ノイズを除去して出力し、出力された当該トルク指令を電流アンプ19Aで増幅してY軸リニアモータ5Aに入力し、Y軸リニアモータ5Aを当該トルク指令に対応して駆動させ、ビーム2を位置指令に対応した位置へ移動させて、位置決め制御する。
【0035】
なお、Y軸リニアエンコーダ7は、Y1軸側のビーム2の位置を検出し、検出した位置を位置フィードバック信号として出力し、速度演算部16は、Y軸リニアエンコーダ7からの位置フィードバック信号を微分演算して、速度フィードバック信号を出力する。
【0036】
Y2軸側のY軸リニアモータ5Bについての位置決め制御は、低域フィルタ15から出力されたトルク指令を電流アンプ19Bで増幅し、増幅したトルク指令をY軸リニアモータ5Bに入力し、Y軸リニアモータ5Bを当該トルク指令に対応して駆動させ、ビーム2を位置指令に対応した位置へ移動させて、位置決め制御する。
【0037】
ここで、トルクリミッタ14におけるトルク指令当該トルク指令の急激な(断続的な)加速方向又は減速方向への出力方向の逆転部分を制限する制御について詳細に説明する。先ず、加速度指令演算部17は、位置偏差比例増幅部12から出力された速度指令を微分演算して、加速度指令を出力し、異常判別部18は、加速度演算部17から出力された加速度指令が加速方向か減速方向かを判別し、速度偏差PI演算部13からトルクリミッタ14及び低域フィルタ15を介して出力されたトルク指令の加速方向又は減速方向への出力方向と、前記加速度指令の方向(加速方向又は減速方向)を比較し、当該方向が異なる(逆転している)場合を判別する。
【0038】
異常判別部18は、トルク指令の出力方向と、前記加速度指令の方向とが同じである場合、異常状態ではないと判別し、トルク指令の出力方向と、前記加速度指令の方向とが異なると判別した場合、更に、トルク指令の信号の変化幅がある設定値以下であるかを判別する。
【0039】
異常状態とは、外乱等により、ビーム2に対してY1軸及びY2軸上で位置ずれが起こり、スレーブ側であるY2軸側からマスタ側のY1軸側に外力を与えて、トルク信号が急激(断続的)に出力方向を逆転した不連続部分が存在する状態である。トルク信号に不連続部分が存在する場合、ビーム2の位置決め制御時の衝撃や異音の原因となる。
【0040】
異常判別部18は、トルク指令の出力方向と加速度指令の方向とが異なると判別し、かつ、トルク指令の信号の変化幅がある設定値以下の場合、異常状態ではないと判別し、同じく、トルク指令の信号の変化幅がある設定値よりも大きい場合、異常状態であると判別し、トルクリミッタ14に稼動信号を入力し、トルクリミッタ14は、当該稼動信号に従ってONされ、トルク指令の信号の変化幅をある設定値以下に制限して抑制する。
【0041】
このトルク指令の信号の変化幅をある設定値以下に抑制する動作は、例えば、トルク指定信号Tr(n)(nは1以上の整数)とした場合、現在のトルク指定信号Tr(m)と、一つ前に出力されたトルク指定信号Tr(m−1)を用いて、|Tr(m−1)−Tr(m)|≧Tr_lmtの場合、現在のトルク信号Tr(m)をTr(m)=Tr(m−1)+ΔTrに制限する。但し、Tr_lmt及びΔTrは共に予め設定した設定値である。
【0042】
ここで、図4を参照して、異常判別部18における、異常状態の判別の具体例を説明する。(I)に示すように、時間に対して、位置偏差比例増幅器12から速度指令が出力され、(II)に示すように、(I)に対応し、時間に対して、加速度指令演算部17から加速度指令が出力され、(II)の実線に示すように、正常時では、時間に対する、速度偏差PI演算部13からトルクリミッタ14及び低域フィルタ15を介して加速度指令が出力される。
【0043】
▲1▼及び▲2▼の時間に異常が起こったとすると、Y軸リニアエンコーダ7にビーム2を介して外力が働く。しかし(I)及び(II)に示すように、位置フィードバック信号の影響しか受けない速度指令及び加速度指令は、ほとんど外力に影響されない。
【0044】
しかし、速度フィードバック信号の影響を受けるトルク指令は、(III)の一点鎖線に示すように、▲3▼において急激に加速方向へ向かう方向に出力される。(III)の一点鎖線は、トルク指令を補正しない場合を示す。
【0045】
異常判別部18では、加速度指令が▲2▼で減速方向にあり、トルク指令の出力方向が▲3▼で加速方向へ向かっているので、方向が異なり(逆転し)、かつトルク指令の変化幅がある設定値より大きいと判別するので、(III)の点線に示すように、トルクリミッタ14に稼動信号を送信してトルクリミッタをONにし、トルク指定の変化幅をある設定値以下となるよう補正する。
【0046】
よって、本実施の形態によれば、製造コストの低いマスタスレーブ式XY位置決め制御装置Dにおいて、Y軸リニアモータ5A,5Bへ入力するトルク指令の出力方向が、加速度指令の方向と逆転し、かつ、トルク指令の変化幅がある設定値よりも大きい、外乱等が起こった異常状態の場合にも、トルク指令の変化幅をある設定値以下に制限するので、ビーム2を介して、Y2軸側からY1軸側に働く外力の干渉による衝撃や異音を抑えることができる。
【0047】
また、外力の干渉による、ビーム2の破損、及びY軸リニアモータ5A,5Bの温度の上昇、並びに、余分な電力の消費を避けることができる。
【0048】
また、ビーム2の剛性を高くすることができるので、位置決め整定時間を短くすることができ、高速な位置決め制御を行うことができる。
【0049】
更に、Y1軸及びY2軸におけるビーム2の駆動手段として、ビーム2の剛性を低くすることなく、Y1軸及びY2軸それぞれでY軸リニアモータ5A,5Bを用いることができるので、ビーム2の高精度な位置決め制御を行うことができる。
【0050】
なお、上記各実施の形態では、位置偏差比例増幅器12から出力された速度指令を元に、加速度指令演算部17で加速度指令を演算しているが、CPU11から出力された位置指令及びY1軸リニアエンコーダ7から出力された位置フィードバック信号を元に、直接、加速度指令演算部で位置偏差の比例演算及び微分演算をして加速度指令を演算し、異常判別部18に入力する構成でもよい。
【0051】
また、上記各実施の形態では、Y1側をマスタ側とし、Y2軸側をスレーブ側としているが、Y2側をマスタ側としてY軸リニアエンコーダを設け、当該Y2軸側のY軸リニアエンコーダからの位置フィードバック信号を用いてY軸位置決め制御を行う。すなわち、Y1軸側をスレーブ側として、Y2軸側のトルク指令を用いてY1軸側のY軸リニアモータを駆動する構成でもよい。
【0052】
また、上記各実施の形態では、駆動手段としてY軸リニアモータ5A,5Bを使用したが、駆動手段としてタイミングベルト及び回転モータ等の他の駆動手段を使用してもよく、その場合にも、ビーム2の剛性を高くすることができ、制御ゲインを高め、高速の位置決め制御を行うことができる。
【0053】
更に、上記各実施の形態では、マスタスレーブ式XY位置決め制御装置Dを電子部品搭載装置に設けているが、X軸方向及びY軸方向移動自在に位置決め制御する他の一般的な装置に設けることもできる。例えば、各種工作機械、縫製機、プロッタプリンタ等である。
【0054】
以上、本発明の実施の形態につき説明したが、本発明は、必ずしも上述した手段及び手法にのみ限定されるものではなく、本発明にいう目的を達成し、本発明にいう効果を有する範囲内において適宜に変更実施が可能なものである。
【0055】
【発明の効果】
請求項1記載の発明によれば、製造コストの低いマスタスレーブ式XY位置決め制御装置において、第1及び第2の駆動手段へ入力するトルク指令の出力方向が、加速度指令の方向と逆転し、かつ、トルク指令の変化幅がある設定値よりも大きい、外乱等が起こった異常状態の場合に、トルク指令の変化幅をある設定値以下に制限するので、移動体を介して第2のY軸側から第1のY軸側に働く外力の干渉を抑え、衝撃や異音、移動体の破損、第1及び第2の駆動手段の温度の上昇、並びに、余分な電力の消費を避けることができ、また、移動体の剛性を高くすることができるので、制御ゲインを高め、高速な位置決め制御を行うことができる。
【0056】
請求項2記載の発明によれば、第1及び第2の駆動手段にリニアモータを用いるので、移動体の更に高精度な位置決め制御を行うことができる。
【0057】
請求項3記載の発明によれば、請求項1又は2の何れか記載の効果を得ると共に、移動体への外力の干渉を抑えて電子部品を回路基板上の所定位置に搭載することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態の電子部品搭載装置Cの斜視図である。
【図2】マスタスレーブ式XY位置決め制御装置Dの上面図である。
【図3】Y軸位置決め制御部10のブロック図である。
【図4】速度指令、加速度指令及びトルク指令を示すグラフである。
【図5】従来の電子部品搭載装置のXY位置決め制御装置30の斜視図である。
【図6】マスタスレーブ式位置決め制御方式を行う従来のY軸位置決め制御部40のブロック構成図である。
【符号の説明】
C…電子部品搭載装置
D…マスタスレーブ式XY位置決め制御装置
1A,1B,31A,31B…支持梁
2,32…ビーム
3,33…ヘッド
4,34…吸着ノズル
5A,5B…Y軸リニアモータ
6…X軸リニアモータ
7,39…Y軸リニアエンコーダ
8…X軸リニアエンコーダ
10,40…Y軸位置決め制御部
11,41…CPU
12,42…位置偏差比例増幅器
13,43…速度偏差PI演算部
14…トルクリミッタ
15,44…低域フィルタ
16,45…速度演算部
17…加速度指令演算部
18…異常判別部
19A,19B,46A,46B…電流アンプ
21…電子部品
22…回路基板
23…部品供給体
24…回路基板搬送装置
30…XY位置決め制御装置
35A,35B…Y軸回転モータ
36A,36B…Y軸タイミングベルト
37…X軸回転モータ
38…X軸タイミングベルト

Claims (3)

  1. X軸方向に沿って延在し、X軸方向に直交するY軸方向に沿って移動自在にさせると共に、搬送対象物をX軸方向に移動自在に支持する移動体と、当該移動体の両端部をそれぞれ第1及び第2のY軸方向に沿って案内する第1及び第2のガイド部材と、前記移動体の一端部の第1のY軸方向の位置を検出する位置検出手段と、第1及び第2のY軸それぞれに沿って前記移動体を移動させる第1及び第2の駆動手段と、前記位置検出手段から出力された位置情報を用いて第1及び第2の駆動手段に前記移動体をY軸方向へ移動させ、前記搬送対象物をX軸方向に移動させて位置決め制御する制御手段とを備えるマスタスレーブ式XY位置決め制御装置であって、
    前記制御手段は、
    目標位置の信号である位置指令と、前記位置検出手段から出力された位置フィードバック情報とを用いて、速度指令を算出する速度指令算出手段と、
    前記位置検出手段から出力された位置フィードバック情報から、速度フィードバック情報を算出する速度演算手段と、
    前記速度指令算出手段から出力された速度指令と、前記速度演算手段から出力された速度フィードバック情報とを用いて、前記第1及び第2の駆動手段の駆動の信号であるトルク指令を算出するトルク指令算出手段と、
    前記速度指令算出手段から出力された速度指令を用いて、加速度指令を算出する加速度指令算出手段と、
    当該加速度指令算出手段から出力された加速度指令が加速方向又は減速方向のどちらであるかを検出し、当該検出した加速度指令の加速方向又は減速方向に比較して、前記トルク指令算出手段から出力されたトルク指令の出力方向が逆転し、かつ、前記トルク指令の変化幅が任意に設定された設定値よりも大きい、異常状態であるかを判別する異常判別手段と、
    当該異常判別手段で異常状態であると判別した場合、前記トルク指令の変化幅を前記設定値以下に制限するトルク指令制限手段と、を具備する、
    ことを特徴とするマスタスレーブ式XY位置決め制御装置。
  2. 前記第1及び第2の駆動手段は、
    リニアモータである、
    ことを特徴とする請求項1記載のマスタスレーブ式XY位置決め制御装置。
  3. 請求項1又は2の何れか記載のマスタスレーブ式XY位置決め制御装置を具備する電子部品搭載装置であって、
    前記搬送対象物は、XY位置移動自在に電子部品を回路基板上に搭載する電子部品搭載ヘッドである、
    ことを特徴とする電子部品搭載装置。
JP2001340864A 2001-11-06 2001-11-06 マスタスレーブ式xy位置決め制御装置及び電子部品搭載装置 Expired - Fee Related JP3808347B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001340864A JP3808347B2 (ja) 2001-11-06 2001-11-06 マスタスレーブ式xy位置決め制御装置及び電子部品搭載装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001340864A JP3808347B2 (ja) 2001-11-06 2001-11-06 マスタスレーブ式xy位置決め制御装置及び電子部品搭載装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2003140751A JP2003140751A (ja) 2003-05-16
JP3808347B2 true JP3808347B2 (ja) 2006-08-09

Family

ID=19155005

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001340864A Expired - Fee Related JP3808347B2 (ja) 2001-11-06 2001-11-06 マスタスレーブ式xy位置決め制御装置及び電子部品搭載装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3808347B2 (ja)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005078327A (ja) * 2003-08-29 2005-03-24 Seiko Epson Corp 状態フィードバック制御装置
JP2005183572A (ja) * 2003-12-18 2005-07-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd 電子部品装着装置、スクリーン印刷装置、リフロー装置および電子部品実装システム、並びに、電子部品装着方法、スクリーン印刷方法およびリフロー方法
JP2006287098A (ja) * 2005-04-04 2006-10-19 Nsk Ltd 位置決め装置
JP2007018439A (ja) * 2005-07-11 2007-01-25 Juki Corp ガントリ型xy位置決め装置
JP2011155167A (ja) * 2010-01-28 2011-08-11 Ntn Corp ガントリー型xyステージ
US8947036B2 (en) 2010-02-17 2015-02-03 Mitsubishi Electric Corporation Parallel drive system
JP5498363B2 (ja) * 2010-11-24 2014-05-21 株式会社日立産機システム 制御システムコントローラ
JP6433728B2 (ja) * 2014-09-02 2018-12-05 アイシン精機株式会社 車両制御装置
DE102016113817A1 (de) * 2016-07-27 2018-02-01 Jenaer Antriebstechnik Gmbh Linearmotoranordnung und Verfahren zum Betreiben einer Linearmotoranordnung
JP6862279B2 (ja) * 2017-05-25 2021-04-21 ヤマハ発動機株式会社 モーター動作決定方法、モーター動作決定プログラム、モーター動作決定装置
JP7031637B2 (ja) * 2019-04-04 2022-03-08 オムロン株式会社 制御装置、調整必要箇所特定方法、トルクバランス調整方法及びプログラム

Also Published As

Publication number Publication date
JP2003140751A (ja) 2003-05-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3808347B2 (ja) マスタスレーブ式xy位置決め制御装置及び電子部品搭載装置
US8849456B2 (en) Robot, carriage device, and control method using inertia sensor
JP3087305B2 (ja) ステージ装置
US6584367B1 (en) Stage position control method and stage position control apparatus capable of improving positioning precision
EP1684139B1 (en) Controller
US6690133B2 (en) Momentum-decoupled drive train
JP2019188508A (ja) 作業ロボットシステムおよび作業ロボット
JP2017010300A (ja) 作業装置及びその制御方法
JP3860014B2 (ja) Xy位置決め制御装置及び電子部品搭載装置
JP2019130646A (ja) 作業ロボットシステム
JP2007018439A (ja) ガントリ型xy位置決め装置
JP2000330642A (ja) ステージの位置制御装置及び速度制御装置
JP6826122B2 (ja) 実装装置
EP0982980B1 (en) Control device for and method of controlling a linear drive mechanism
JP2002190695A (ja) Xy移動装置及びxy移動装置を用いた電子部品装着装置
US5559413A (en) Screw shaft feed mechanism and positioning control method therefor
JP5155785B2 (ja) 作動制御方法および対回路基板作業装置
US20230083630A1 (en) Working table for reel-to-reel process
JP2000069782A (ja) 直線方向駆動装置
US20220081219A1 (en) Article Transport Facility
JP2010082711A (ja) 表面実装装置
JP2002073175A (ja) Xy移動装置及びその制御方法
JPWO2018092221A1 (ja) 工作機械の送り軸制御方法および送り軸制御装置
JP2000005977A (ja) 工作機械の制御装置
JP5174356B2 (ja) マウンタのタンデム駆動装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20041105

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20060426

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20060509

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20060517

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Ref document number: 3808347

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090526

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100526

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100526

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110526

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120526

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130526

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130526

Year of fee payment: 7

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees