JP2952166B2

JP2952166B2 - 門型駆動装置

Info

Publication number: JP2952166B2
Application number: JP24675294A
Authority: JP
Inventors: 隆之矢沢
Original assignee: Nidec Sankyo Corp
Current assignee: Nidec Sankyo Corp
Priority date: 1994-09-16
Filing date: 1994-09-16
Publication date: 1999-09-20
Anticipated expiration: 2014-09-20
Also published as: JPH0885026A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、基板に電子部品を実装
する実装装置およびその他の一般の産業用ロボットなど
の駆動装置として好適な門型駆動装置に関する。更に詳
述すると、本発明は、電子部品を吸着・実装するマウン
タヘッドを少なくとも搭載する基台をＸＹ方向に平面的
に移動させる門型駆動装置のスライド構造の改良に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】門型駆動装置は、従来、図９に示すよう
に、電子部品を吸着・実装するマウンタヘッド９１ａを
搭載する基台９１を門型の送り機構によってＸＹ方向に
移動させるようにしている。門型の送り機構は、ベルト
からなるＹ軸方向の送り手段９３と２本のＸ軸送り手段
９５，９５とから成り、２本のＸ軸送り手段９５，９５
の間にＹ軸送り手段９３が支持されて門型を構成してい
る。Ｙ軸送り手段９３は、モータ９３ａとベルト９２及
びこれに支持される基台９１とで構成される。モータ９
３ａの駆動により往復動するベルト９２によって基台９
１に搭載されたマウンタヘッド９１ａを直線駆動（Ｙ軸
駆動）している。更に、Ｙ軸送り手段９３は、Ｙ軸ビー
ム９４により支持されている。また、Ｙ軸ビーム９４
は、その両端で二つのＸ軸送り手段９５，９５で支持さ
れると共に両部材９５，９５により、Ｙ軸と直交する方
向に直線駆動（Ｘ軸駆動）される。

【０００３】ここで、Ｘ軸送り手段９５，９５は、両者
同一形状とされ、台部９５ａ，９５ａに直線状のガイド
９５ｂ，９５ｂが形成され、Ｙ軸ビーム９４の嵌合部９
４ａ，９４ａにスライド可能に嵌合している。更に、Ｘ
軸送り手段９５，９５は、Ｙ軸ビーム９４と連結したベ
ルト９５ｃ，９５ｃを駆動するＡＣサーボモータ９５
ｄ，９５ｄを有している。

【０００４】この門型駆動装置は、二つのＡＣサーボモ
ータ９５ｄ，９５ｄを図示しない回路で制御し、ベルト
９５ｃ，９５ｃを介してＹ軸ビーム９４をＸ軸方向に駆
動する。そして、ベルト９２をモータ９３ａにより駆動
し、基台９１をＹ軸方向に駆動する。

【０００５】このように二つのＡＣサーボモータ９５
ｄ，９５ｄでＹ軸ビーム９４を駆動する両側駆動タイプ
は、片側駆動タイプに比べ、Ｙ軸ビーム９４を高速、高
精度に駆動・制御できる。これは片側駆動タイプ、即
ち、Ｘ軸送り手段９５，９５の一方のみに置かれる一つ
のモータでＹ軸ビーム９４を駆動するタイプでは、Ｙ軸
ビーム９４の重心と離れた位置で力を作用させるため、
モーメントが発生し、振動が生ずるため高速制御ができ
ないのに対し、両側駆動タイプは、両側の二つのモータ
９５ｄ，９５ｄでＹ軸ビーム９４を駆動するため、その
ような問題が生ぜず、高速、高精度にＹ軸ビーム９４を
駆動、制御できるのである。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この従
来の両側駆動タイプでも、両側の二つのモータ９５ｄ，
９５ｄの間に駆動ずれが発生すると、Ｙ軸ビーム９４の
両側の駆動が干渉し、片側駆動の場合よりも一層Ｙ軸ビ
ーム９４がうまく動作しないことが生ずる。

【０００７】本発明は、Ｙ軸ビームの両側間に位置ずれ
が発生しても、Ｙ軸ビームの両側の駆動が干渉したりせ
ず、またＹ軸ビーム等に機械歪みが発生しない門型駆動
装置を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
め、請求項１の発明は、門型形状の門型駆動装置におい
て、少なくとも一方のＸ軸送り手段側にＹ軸ビームの平
面回転を許容するベアリングを配置し、一方のＸ軸送り
手段側にＹ軸ビームがＹ軸方向にスライドできるリニア
ガイドを配置し、このベアリングとリニアガイドを介し
てＹ軸ビームを支持している。また、請求項２の発明
は、更に、ベアリングを二つのＸ軸送り手段に配置し、
一方のベアリングとＹ軸ビームとの間にＹ軸ビームがＹ
軸方向にスライドできるリニアガイドを配置している。
更に、請求項３の発明は、リニアガイドをＸ軸送り手段
の直線状のガイドと兼用している。また、請求項４の発
明では、Ｙ軸ビームをボールネジと長尺状フレームで構
成し、一方のＸ軸送り手段でフレームをＹ軸方向摺動自
在に支持してリニアガイドとしている。更に、請求項５
の発明では、リニアガイドが配置されない側のベアリン
グにＹ軸ビームを固定している。加えて、請求項６の発
明では、Ｘ軸送り手段とＹ軸ビームとに、Ｘ軸送り手段
に対するＹ軸ビームの回動角度を検出するセンサを配し
ている。

【０００９】

【作用】したがって、Ｙ軸ビームが両側のＸ軸送り手段
でＸ軸方向に駆動される際、駆動ずれ等によりＹ軸ビー
ムの両側間に位置ずれが発生し、干渉が発生しそうにな
っても、ベアリングによりＹ軸ビームを平面回転させ、
干渉を防止する。また、干渉が発生しそうになった時、
リニアガイドにより、Ｙ軸ビームをＹ軸方向にスライド
させ、Ｙ軸ビームの動きを干渉させないようにしてい
る。更には、Ｘ軸送り手段とＹ軸ビームとに配されたセ
ンサで、Ｘ軸送り手段に対するＹ軸ビームの回動角度を
検出し、Ｙ軸ビームの動きを監視している。

【００１０】

【実施例】以下、本発明の構成を図面に示す実施例に基
づいて詳細に説明する。

【００１１】図１に本発明の基本概念を示す。この門型
駆動装置は、従来と同様に、全体が門型形状とされ、電
子部品を吸着・実装するマウンタヘッド１を少なくとも
搭載する基台２が門の上側頂上に配置される構成となっ
ている。そして、Ｙ軸送り手段３により、基台２を直線
駆動（Ｙ軸駆動）している。更に、Ｙ軸送り手段３は、
Ｙ軸ビーム４により支持されている。また、Ｙ軸ビーム
４は、その両端で二つのＸ軸送り手段５，５で支持され
ると共に両部材５，５により、Ｙ軸と直交する方向に直
線駆動（Ｘ軸駆動）される。そして、Ｘ軸送り手段５，
５にＹ軸ビーム４の平面回転を許容するベアリング６，
６を配置し、一方のＸ軸送り手段５側に、Ｙ軸ビーム４
がＹ軸方向にスライドできるリニアガイド７を配置して
いる。

【００１２】このように構成される門型駆動装置は、両
Ｘ軸送り手段５，５によりＹ軸ビーム４がＸ軸方向に駆
動され、Ｙ軸送り手段３により基台２がＹ軸方向に駆動
され、基板１が全体としてＸＹ両方向に移動可能とされ
ている。そして、Ｙ軸ビーム４が両側のＸ軸送り手段
５，５でＸ軸方向に駆動される際、駆動ずれ等によりＹ
軸ビーム４の両側間に位置ずれが発生し、干渉が発生し
そうになっても、ベアリング６，６によりＹ軸ビーム４
を平面回転させ、干渉を防止する。また、干渉が発生し
そうになった時、リニアガイド７により、Ｙ軸ビーム４
をＹ軸方向にスライドさせ、Ｙ軸ビーム４を干渉させな
いようにしている。

【００１３】次に、図１の要部を具体化した本発明の第
一の実施例の基本構成を図２及び図３に示す。マウンタ
ヘッドを搭載する基台２が門の上側頂上に配置され、Ｙ
軸送り手段３により、基台２をＹ軸方向に直線駆動して
いる。Ｙ軸送り手段３は、Ｙ軸モータ３ａとカップリン
グ３ｂとこのカップリング３ｂを介してモータ３ａの駆
動を基台２に伝えるボールネジ３ｃとＹ軸ビーム４上に
形成される直線状のガイド３ｄ，３ｄとから構成されて
いる。そして、基台２の中央の貫通孔２ａにネジを切
り、その貫通孔２ａにボールネジ３ｃを貫通させてい
る。また、基台２の両端に凹部を設け、直線状のガイド
３ｄ，３ｄに嵌合させＹ軸方向にスライド可能としてい
る。

【００１４】Ｙ軸送り手段３は、Ｙ軸ビーム４により支
持されており、一方、Ｙ軸ビーム４は、その両端で二つ
のＸ軸送り手段５，５で支持されると共に両部材５，５
により、Ｙ軸と直交する方向に直線駆動（Ｘ軸駆動）さ
れる。そして、Ｘ軸送り手段５，５は、両者同一形状と
され、台部５ａに二本の直線状のガイド５ｂ，５ｂが形
成され、Ｙ軸ビーム４を支持する支持部材８１の嵌合部
８１ａ，８１ａにＸ軸方向にスライド可能に嵌合してい
る。更に、Ｘ軸送り手段５，５は、支持部材８１の貫通
孔に挿入されるボールネジ５ｃとこのボールネジ５ｃを
駆動するＸ軸モータ５ｄとこのモータ５ｄの回転をボー
ルネジ５ｃに伝えるタイミングプーリ５ｅとを有してい
る。そして、支持部材８１の中央の貫通孔にネジを切
り、その貫通孔にボールネジ５ｃを貫通させている。更
に、Ｘ軸送り手段５，５にはＹ軸ビーム４の平面回転を
許容するベアリング６，６を配し、両ベアリング６，６
とＹ軸ビーム４の間に、一方のＸ軸送り手段５側にはＹ
軸ビーム４がＹ軸方向にスライドできるリニアガイド７
を、他方のＸ軸送り手段５側にはスペーサ８２をそれぞ
れ介在させている。

【００１５】このように構成される門型駆動装置は、Ｘ
軸モータ５ｄの回転をタイミングプーリ５ｅでボールネ
ジ５ｃに伝え、その回転を、ボールネジ５ｃが挿入され
る支持部材８１の中央の貫通孔のネジが受け、二本の直
線状のガイド５ｂ，５ｂにより、支持部材８１と一体化
されているＹ軸ビーム４をＸ軸方向にスライドさせる。
一方、Ｙ軸ビーム４上の基台２は、Ｙ軸モータ３ａによ
りＹ軸方向に駆動される。即ち、Ｙ軸モータ３ａの回転
をカップリング３ｂでボールネジ３ｃに伝え、基台２の
中央の貫通孔２ａ内のネジを介し、かつ基台２の両端の
凹部が嵌合している直線状のガイド３ｄ，３ｄと協働さ
せ、基台２をＹ軸方向にスライドさせている。なお、Ｘ
軸モータ５ｄ，５ｄは図示しない回路で同じタイミング
で制御される。

【００１６】そして、Ｙ軸ビーム４が両側のＸ軸送り手
段５，５でＸ軸方向に駆動される際、駆動ずれ等により
Ｙ軸ビーム４の両側間に位置ずれが発生し、干渉が発生
しそうになっても、ベアリング６，６によりＹ軸ビーム
４を平面回転させ、干渉を防止する。また、干渉が発生
しそうになった時、リニアガイド７により、Ｙ軸ビーム
４をＹ軸方向にスライドさせ、Ｙ軸ビーム４を干渉させ
ないようにしている。

【００１７】次に、基本概念を具体化した第二の実施例
を図４から図７に示す。この実施例の主たる構成は、図
２及び図３と同一で、マウンタヘッド等を搭載する基台
２が門の上側頂上に配置され、Ｙ軸送り手段３により、
基台２をＹ軸方向に直線駆動している。Ｙ軸送り手段３
は、Ｙ軸モータ３ａとカップリング３ｂとこのカップリ
ング３ｂを介してモータ３ａの駆動を基台２に伝えるボ
ールネジ３ｃとＹ軸ビーム兼直線状のガイドとなるフレ
ーム４ａとから構成されている。そして、基台２の中央
の貫通孔２ａにネジを切り、その貫通孔にボールネジ３
ｃを貫通させている。また、直線状のガイドとなるフレ
ーム４ａは、ボールネジ３ｃと平行に配され、その中央
は軽量化のため肉ぬきされ、中空４ｂとされている。基
台２の下端は、図６に示されるように、下向きの凹形に
され、両凸部２ｂ，２ｂの内側にガイドナット２ｃ，２
ｃが固定されている。そして、両ガイドナット２ｃ，２
ｃの三角形凹部２ｄ，２ｄにフレーム４ａの側面全長に
亙って形成される三角形突起４ｃ，４ｃが挟まれる形で
嵌合し、基台２をＹ軸方向にスライド可能としている。

【００１８】Ｙ軸送り手段３は、Ｙ軸ビーム兼直線状の
ガイドとなるフレーム４ａにより支持されており、一
方、フレーム４ａは、その両端で二つのＸ軸送り手段
５，５で支持されると共に両部材５，５により、Ｙ軸と
直交する方向に直線駆動（Ｘ軸駆動）される。Ｙ軸ビー
ム兼直線状のガイドとなるフレーム４ａの一方の端（図
４での左端）は、フレーム４ａを支持固定するスライダ
８３に固定され、そのスライダ８３は水平方向の回転を
許容するベアリング６の回動部６１に固定されている。
一方、ベアリング６の固定部６２は、環座８５に支持固
定されると共に支持部材８１に固定される。そして、こ
の支持部材８１が、Ｘ軸送り手段５の台部５ａ上に形成
された凹形の直線状のガイド５ｂの凹部にＸ軸方向にス
ライド可能に嵌合している。更に、Ｘ軸送り手段５，５
は、支持部材８１のネジを切られた貫通孔に挿入される
ボールネジ５ｃとこのボールネジ５ｃを駆動するＸ軸モ
ータ５ｄとを有している。

【００１９】一方、Ｙ軸ビーム兼直線状のガイドとなる
フレーム４ａの他方の端（図４での右端）は、フレーム
４ａのＹ方向へのスライドを許容しかつフレーム４ａを
支持するスライダ８４に摺動可能に嵌合している。即
ち、図７に示されるように、スライダ８４は上向きの凹
形にされ、両凸部８４ａ，８４ａの内側にガイドナット
８４ｂ，８４ｂが固定されている。そして、両ガイドナ
ット８４ｂ，８４ｂの三角形凹部８４ｃ，８４ｃにフレ
ーム４ａの側面全長に亙って形成される三角形突起４
ｃ，４ｃが嵌合し、フレーム４ａをＹ軸方向にスライド
可能としている。更に、そのスライダ８４は水平方向の
回転を許容するベアリング６の回動部６１に固定されて
いる。一方、ベアリング６の固定部６２は、環座８５に
支持固定されると共に支持部材８１に固定される。

【００２０】そして、この支持部材８１が、Ｘ軸送り手
段５の台部５ａ上に形成された凹形の直線状のガイド５
ｂの凹部にＸ軸方向にスライド可能に嵌合している。更
に、Ｘ軸送り手段５，５は、支持部材８１のネジを切ら
れた貫通孔に挿入されるボールネジ５ｃとこのボールネ
ジ５ｃを駆動するＸ軸モータ５ｄとを有している。

【００２１】なお、図４で左端側のベアリング６の固定
部６２を支持固定している環座８５にはスリット板８６
が設けられ、フレーム４ａにはこのスリット板８６に対
応する位置にフォトセンサ８７が設けられ、Ｙ軸ビーム
兼直線状のガイドとなるフレーム４ａのＸ軸送り手段５
に対する回転量が許容値を越えると信号を出すようにさ
れている。この信号は動作異常時に出るので（許容値を
こえて）、装置の非常停止信号となる。またこの許容値
は、求められる精度により異なるが、通常０．５度から
数度に設定される。また、スリット板８６とフォトセン
サ８７とをエンコーダのような構成にし、角度信号を検
出し、両Ｘ軸送り手段５，５のＸ軸モータ５ｄ，５ｄの
制御を行い、フレーム４ａのＸ軸に対する直角度を補正
し、基台２の位置を補正するようにすることもできる。
即ち、座標値の修正を行わせることもできる。

【００２２】このように構成される門型駆動装置は、Ｘ
軸モータ５ｄ，５ｄの回転がボールネジ５ｃ，５ｃに伝
えられ、その回転を、ボールネジ５ｃ，５ｃが挿入され
る支持部材８１，８１の中央の貫通孔のネジが受け、凹
形の直線状のガイド５ｂ，５ｂにより、支持部材８１と
連結されているＹ軸ビーム兼直線状のガイドとなるフレ
ーム４ａをＸ軸方向にスライドさせる。一方、フレーム
４ａ上の基台２は、Ｙ軸モータ３ａによりＹ軸方向に駆
動される。即ち、Ｙ軸モータ３ａの回転をカップリング
３ｂでボールネジ３ｃに伝え、基台２の中央の貫通孔２
ａ内のネジを介し、かつ基台２の下端の凸部２ｂ，２ｂ
の内側に嵌合しているフレーム４ａと協働させ、基台２
をＹ軸方向にスライドさせている。なお、Ｘ軸モータ５
ｄ，５ｄは図示しない回路で同じタイミングで制御され
る。

【００２３】通常、Ｙ軸ビーム兼直線状のガイドとなる
フレーム４ａは、Ｘ軸送り手段５，５に対し直角度を保
って駆動されるが、両側の二つのモータ５ｄ，５ｄの間
に駆動ずれが発生すると、フレーム４ａの両側の駆動が
干渉しそうになる。しかし、両ベアリング６，６の回動
動作及びフレーム４ａのＹ軸方向スライド動作が組み合
わされて干渉が防止される。また、Ｙ軸ビーム兼直線状
のガイドとなるフレーム４ａのＸ軸送り手段５に対する
回転量が予め決められた許容値を越えると、信号がフォ
トセンサ８７から発生する。このようにして、Ｙ軸ビー
ム兼直線状のガイドとなるフレーム４ａは干渉が生ずる
ことなく、Ｘ軸送り手段５，５によりＸ方向に駆動され
る。

【００２４】次に、基本概念を具体化した第三の実施例
を図８に示す。この実施例の主たる構成も、図２及び図
３と同一で、マウンタヘッド等を搭載する基台２が門の
上側頂上に配置され、Ｙ軸送り手段３により、基台２を
Ｙ軸方向に直線駆動している。Ｙ軸送り手段３は、Ｙ軸
モータ３ａとカップリング３ｂとこのカップリング３ｂ
を介してモータ３ａの駆動を基台２に伝えるボールネジ
３ｃとＹ軸ビーム４上に形成される直線状のガイド３
ｄ，３ｄとから構成されている。そして、基台２の中央
の貫通孔にネジを切り、その貫通孔にボールネジ３ｃを
貫通させている。また、基台２の両端に凹部を設け、直
線状のガイド３ｄ，３ｄに嵌合させＹ軸方向にスライド
可能としている。

【００２５】Ｙ軸送り手段３は、Ｙ軸ビーム４により支
持されており、一方、Ｙ軸ビーム４は、その両端で二つ
のＸ軸送り手段５，５で支持されると共に両部材５，５
により、Ｙ軸と直交する方向に直線駆動（Ｘ軸駆動）さ
れる。そして、Ｘ軸送り手段５，５は、両者同一形状と
され、台部５ａに二本の直線状のガイド５ｂ，５ｂが形
成され、Ｙ軸ビーム４を支持する支持部材の嵌合部にＸ
軸方向にスライド可能に嵌合している。更に、Ｘ軸送り
手段５，５は、支持部材の貫通孔に挿入されるボールネ
ジ５ｃとこのボールネジ５ｃを駆動するＸ軸モータ（図
示省略）とこのモータの回転をボールネジ５ｃに伝える
タイミングプーリ（図示省略）とを有している。その他
の構成及び動作も図２及び図３と同様である。

【００２６】尚、上述の各実施例は本発明の好適な実施
の一例ではあるがこれに限定されるものではなく本発明
の要旨を逸脱しない範囲において種々変形実施可能であ
る。例えば、リニアガイド７が配置されている側のＸ軸
送り手段５のベアリング６をはずした形、即ち、一方の
Ｘ軸送り手段５側にはベアリング６のみとし、他方のＸ
軸送り手段５側にはリニアガイド７のみとする構造にし
ても良い。

【００２７】また、本発明は、電子部品実装の他、ＸＹ
両軸方向に物体等を動かす各種の門型駆動装置にも適用
できる。更に、両側駆動タイプではなく、片側駆動タイ
プの門型駆動装置にも適用できる。その際、従動側にＹ
軸ビーム４の平面回転を許容するベアリング６を配すれ
ば、従動側にリニアガイド７のみを配する場合と比べ、
駆動は一層スムーズになる。

【００２８】また、Ｙ軸送り手段やＸ軸送り手段の駆動
源として、モータとボールネジの組み合わせではなく、
従来例のようにモータとベルトの組み合わせでも良い
し、ラチェット等の他の駆動源を利用しても良い。

【００２９】

【発明の効果】以上の説明より明らかなように、本発明
の門型形状の門型駆動装置においては、少なくとも一方
のＸ軸送り手段側にＹ軸ビームの平面回転を許容するベ
アリングを配置し、一方のＸ軸送り手段側にＹ軸ビーム
がＹ軸方向にスライドできるリニアガイドを配置し、こ
のベアリングとリニアガイドを介してＹ軸ビームを支持
しているので、Ｙ軸ビームが両側のＸ軸送り手段でＸ軸
方向に駆動される際、駆動ずれ等によりＹ軸ビームの両
側間に位置ずれが発生し、干渉が発生しそうになって
も、ベアリングによりＹ軸ビームを平面回転させ、干渉
を防止する。また、干渉が発生しそうになった時、リニ
アガイドにより、Ｙ軸ビームをＹ軸方向にスライドさ
せ、Ｙ軸ビームの動きを干渉させないようにしている。

【００３０】この結果、バックラッシュの無い剛性の高
い機構を両側のＸ軸送り手段で駆動する装置とすること
ができ、高速度、高精度な駆動制御が行える門型駆動装
置を得ることができる。また、Ｙ軸ビーム等に機械歪み
が残りにくいため、高精度化が容易となる。更に、Ｘ軸
とＹ軸との間の直角性がくずれても、一方のＸ軸送り手
段を駆動させることで簡単に調整することができる。加
えて、Ｙ軸ビームに干渉によるモーメントが発生しない
ので高寿命となる。

【００３１】加えて、請求項３及び４の発明では、リニ
アガイドをＸ軸送り手段の直線状のガイドと兼用した
り、Ｙ軸ビームをボールネジと長尺状フレームで構成
し、一方のＸ軸送り手段でフレームをＹ軸方向摺動自在
に支持してリニアガイドとしたりしているので、構成が
簡略化され組立容易な門型駆動装置を得ることができ
る。

【００３２】更に、請求項６の発明では、Ｘ軸送り手段
とＹ軸ビームとに、Ｘ軸送り手段に対するＹ軸ビームの
回動角度を検出するセンサを配しているので、Ｘ軸送り
手段に対するＹ軸ビームの回動角度の検出ができ、一層
干渉の防止が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の基本概念を示す図である。

【図２】図１の要部を具体化した本発明の第一の実施例
の基本構成を示す平面図である。

【図３】図１の要部を具体化した本発明の第一の実施例
の基本構成を示す側面図である。

【図４】本発明の基本概念を具体化した第二の実施例を
示す平面図である。

【図５】本発明の基本概念を具体化した第二の実施例の
主要部の正面図である。

【図６】図５のVI−VI断面図である。

【図７】図５のVII−VII断面図である。

【図８】本発明の基本概念を具体化した第三の実施例
で、Ｙ軸ビーム両端の側面図を一部に含む平面図であ
る。

【図９】従来の門型駆動装置の一例を示す斜視図であ
る。

【符号の説明】

１マウンタヘッド２基台３Ｙ軸送り手段４Ｙ軸ビーム５Ｘ軸送り手段６ベアリング７リニアガイド

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】電子部品を吸着・実装するためのマウン
タヘッドを少なくとも搭載する基台と、この基台を直線
駆動（Ｙ軸駆動）するＹ軸送り手段を支持するＹ軸ビー
ムと、このＹ軸ビームの両端を支持しこのＹ軸ビームを
前記直線と直交する方向に直線駆動（Ｘ軸駆動）する二
つのＸ軸送り手段を有する門型の送り機構を備える門型
駆動装置において、少なくとも一方の前記Ｘ軸送り手段
側に前記Ｙ軸ビームの平面回転を許容するベアリングを
配置し、一方の前記Ｘ軸送り手段側に前記Ｙ軸ビームが
Ｙ軸方向にスライドできるリニアガイドを配置し、この
ベアリングとリニアガイドを介して前記Ｙ軸ビームを支
持したことを特徴とする門型駆動装置。
【請求項２】前記ベアリングを前記二つのＸ軸送り手
段に配置し、一方のベアリングと前記Ｙ軸ビームとの間
に前記リニアガイドを配置したことを特徴とする請求項
１記載の門型駆動装置。
【請求項３】前記リニアガイドを、前記Ｙ軸送り手段
の直線状のガイドと兼用させたことを特徴とする請求項
１又は２記載の門型駆動装置。
【請求項４】前記Ｙ軸ビームをボールネジと長尺状フ
レームで構成し、前記一方のＸ軸送り手段で前記フレー
ムをＹ軸方向摺動自在に支持してリニアガイドとした請
求項３記載の門型駆動装置。
【請求項５】前記リニアガイドが配置されない側の前
記ベアリングに前記Ｙ軸ビームを固定したことを特徴と
する請求項２、３又は４のいずれかに記載の門型駆動装
置。
【請求項６】前記Ｘ軸送り手段と前記Ｙ軸ビームと
に、Ｘ軸送り手段に対するＹ軸ビームの回動角度を検出
するセンサを配したことを特徴とする請求項１から５の
いずれかに記載の門型駆動装置。