JP2803880B2 - 直角座標型ロボット - Google Patents
直角座標型ロボットInfo
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- JP2803880B2 JP2803880B2 JP2017241A JP1724190A JP2803880B2 JP 2803880 B2 JP2803880 B2 JP 2803880B2 JP 2017241 A JP2017241 A JP 2017241A JP 1724190 A JP1724190 A JP 1724190A JP 2803880 B2 JP2803880 B2 JP 2803880B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- axis
- tables
- work
- axis table
- moving body
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
- F16C29/001—Bearings for parts moving only linearly adjustable for alignment or positioning
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
- F16C29/008—Systems with a plurality of bearings, e.g. four carriages supporting a slide on two parallel rails
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は直角座標型ロボットに関するものである。
従来の技術 近年、電子部品実装などに用いられるロボットには、
高速、高精度化とともに長ストローク化が要求されてい
る。
高速、高精度化とともに長ストローク化が要求されてい
る。
従来、たとえば基板などのワークに対して高い位置精
度で各種作業を行うロボットとしては、第５図および第
６図に示すように、Ｙ軸テーブル51と、このＹ軸テーブ
ル51に片持ち梁式に支持されてＹ方向の任意位置に位置
決めが可能なＸ軸テーブル52と、このＸテーブル52にて
Ｘ方向の任意位置に位置決めが可能な作業ヘッド部53と
を備え、かつこの作業ヘッド部53にＸ方向に所定間隔Ｄ
を設けてワークＷの位置認識手段54と作業手段55とを設
けたものが知られている。
度で各種作業を行うロボットとしては、第５図および第
６図に示すように、Ｙ軸テーブル51と、このＹ軸テーブ
ル51に片持ち梁式に支持されてＹ方向の任意位置に位置
決めが可能なＸ軸テーブル52と、このＸテーブル52にて
Ｘ方向の任意位置に位置決めが可能な作業ヘッド部53と
を備え、かつこの作業ヘッド部53にＸ方向に所定間隔Ｄ
を設けてワークＷの位置認識手段54と作業手段55とを設
けたものが知られている。
上記構成においては、Ｙ軸テーブル51とＸ軸テーブル
52により、作業ヘッド部53をワークＷの作業位置上に移
動させることによって、ワークＷの作業位置上に位置認
識手段54を移動させ、この位置認識手段54によりその作
業位置を高精度に認識し、そしてこの認識した作業位置
と作業手段55との間隔Ｄに基づいて、Ｙ軸テーブル51ま
たはＸ軸テーブル52により作業ヘッド部53を移動させ
て、作業手段55を作業位置に導いて作業が行われてい
た。
52により、作業ヘッド部53をワークＷの作業位置上に移
動させることによって、ワークＷの作業位置上に位置認
識手段54を移動させ、この位置認識手段54によりその作
業位置を高精度に認識し、そしてこの認識した作業位置
と作業手段55との間隔Ｄに基づいて、Ｙ軸テーブル51ま
たはＸ軸テーブル52により作業ヘッド部53を移動させ
て、作業手段55を作業位置に導いて作業が行われてい
た。
発明が解決しようとする課題 ところで、上記ロボットの構成によると、Ｘ軸テーブ
ル52はＹ軸テーブル51に対して片持ち梁式に支持されて
いるため、基板などのワークに対応してＸ軸テーブル52
を長ストローク化すると、振動が生じ易くなったり、高
速動作・停止時に作業ヘッド部53の位置決めに時間を要
するという問題があり、またＹ軸テーブル51とＸ軸テー
ブル52との締結用ボルトの緩みも生じ易くなる。さら
に、Ｙ軸テーブル51のヨーイングやローリングにより、
作業ヘッド部53の位置決め精度が著しく低下するという
問題もあった。
ル52はＹ軸テーブル51に対して片持ち梁式に支持されて
いるため、基板などのワークに対応してＸ軸テーブル52
を長ストローク化すると、振動が生じ易くなったり、高
速動作・停止時に作業ヘッド部53の位置決めに時間を要
するという問題があり、またＹ軸テーブル51とＸ軸テー
ブル52との締結用ボルトの緩みも生じ易くなる。さら
に、Ｙ軸テーブル51のヨーイングやローリングにより、
作業ヘッド部53の位置決め精度が著しく低下するという
問題もあった。
そこで、本発明は上記課題を解消し得る直角座標型ロ
ボットを提供することを目的とする。
ボットを提供することを目的とする。
課題を解決するための手段 上記課題を解決するため、本発明の直角座標型ロボッ
トは、一対の第１テーブルを互いに平行に配置するとと
もにこれら各テーブルに沿って案内移動される第１移動
体を設け、上記両第１テーブルと直交する第２テーブル
を配置するとともにこの第１テーブルに沿って案内移動
される第２移動体を設け、上記第２テーブルの一端部と
上記一方の第１テーブル側に設けられた第１移動体とを
第１および第２テーブルに直交する軸心回りで回動可能
に係合し、上記第２テーブルの他端部と上記他方の第１
テーブル側に設けられた第１移動体とを第１および第２
テーブルに直交する軸心回りで回動可能にかつ第２テー
ブルの軸心方向でスライド可能に係合支持させ、上記第
２移動体にワークの位置認識手段および作業手段を設け
たものである。
トは、一対の第１テーブルを互いに平行に配置するとと
もにこれら各テーブルに沿って案内移動される第１移動
体を設け、上記両第１テーブルと直交する第２テーブル
を配置するとともにこの第１テーブルに沿って案内移動
される第２移動体を設け、上記第２テーブルの一端部と
上記一方の第１テーブル側に設けられた第１移動体とを
第１および第２テーブルに直交する軸心回りで回動可能
に係合し、上記第２テーブルの他端部と上記他方の第１
テーブル側に設けられた第１移動体とを第１および第２
テーブルに直交する軸心回りで回動可能にかつ第２テー
ブルの軸心方向でスライド可能に係合支持させ、上記第
２移動体にワークの位置認識手段および作業手段を設け
たものである。
作 用 上記構成において、第２テーブルの両端部が一対の第
１テーブルの第１移動体上に支持されて移動するため、
第２テーブルが長くなった場合でも、第２テーブル自体
が安定するとともに、その高速移動および停止を迅速に
行うことができ、また第１テーブルが一対設けられてい
るため、第１テーブルのヨーイングやローリングの発生
を最小に抑えることができ、したがって位置認識手段お
よび作業手順を高精度でもって所定位置に導くことがで
きる。
１テーブルの第１移動体上に支持されて移動するため、
第２テーブルが長くなった場合でも、第２テーブル自体
が安定するとともに、その高速移動および停止を迅速に
行うことができ、また第１テーブルが一対設けられてい
るため、第１テーブルのヨーイングやローリングの発生
を最小に抑えることができ、したがって位置認識手段お
よび作業手順を高精度でもって所定位置に導くことがで
きる。
さらに、第２テーブルの一端部と一方の第１移動体と
は回動可能に係合されるとともに、第２テーブルの他端
部と他方の第１移動体とは回動可能にかつ互いにスライ
ド可能に係合支持されているため、万一、一対の第１テ
ーブルの平行度または一対の第１移動体の移動速度に誤
差が生じた場合でも、これらの誤差は容易に吸収され
る。
は回動可能に係合されるとともに、第２テーブルの他端
部と他方の第１移動体とは回動可能にかつ互いにスライ
ド可能に係合支持されているため、万一、一対の第１テ
ーブルの平行度または一対の第１移動体の移動速度に誤
差が生じた場合でも、これらの誤差は容易に吸収され
る。
実施例 以下、本発明の一実施例を第１図〜第４図に基づき説
明する。
明する。
第１図〜第４図において、１および２は互いに平行に
並列して配置された一対のＹ軸テーブル（第１テーブ
ル）で、これら各Ｙ軸テーブル1,2上には、その軸心方
向と直交するＸ軸テーブル（第２テーブル）３がＹ軸テ
ーブル1,2に沿って移動自在に設けられている。すなわ
ち、上記各Ｙ軸テーブル1,2には、その軸心方向に沿っ
て移動案内される第１移動体4,5がそれぞれ設けられ、
またこれら各第１移動体4,5は各Ｙ軸テーブル1,2の内部
に配置されたねじ軸体（たとえば、ボールネジが使用さ
れる）6,7およびこのねじ軸体6,7を回転させる電動機8,
9が配置され、さらに上記各第１移動体4,5はナット体
（図示せず）を介して各ねじ軸体6,7に螺合されてい
る。そして、上記Ｘ軸テーブル３は、上記両Ｙ軸テーブ
ル1,2側の第１移動体4,5に回動可能にかつＸ軸テーブル
３の軸心方向でスライド可能に係合支持されている。す
なわち、各Ｙ軸テーブル1,2側の各第１移動体4,5の中央
部には、鉛直方向（Ｙ軸テーブルおよびＸ軸テーブルの
両方に直交する方向）で係合用軸体11,12がそれぞれ突
設して設けられている。そして、Ｘ軸テーブル３の一端
部には、上記第１移動体４の係合用軸体11に軸受13を介
して回動自在に係合された連結部材14が固定され、また
Ｘ軸テーブル３の他端部にはスライドブロック15の固定
部15aが固定されるとともに、このスライドブロック15
の固定部15a間でスライド自在にされた可動部15bが、第
１移動体５の係合用軸体12に軸受16を介して回動自在に
係合されている。したがって、両電動機8,9を同調して
駆動させることによって、両第１移動体4,5を介してＸ
軸テーブル３をＹ軸テーブル1,2に沿って任意の位置に
移動させることができ、またＸ軸テーブル３と一方のＹ
軸テーブル１とが回動可能に係合されているとともに、
Ｘ軸テーブル３と他方のＹ軸テーブル２とは互いに回動
可能にかつＸ軸テーブル３の軸心に沿ってスライド可能
に係合されていることになる。
並列して配置された一対のＹ軸テーブル（第１テーブ
ル）で、これら各Ｙ軸テーブル1,2上には、その軸心方
向と直交するＸ軸テーブル（第２テーブル）３がＹ軸テ
ーブル1,2に沿って移動自在に設けられている。すなわ
ち、上記各Ｙ軸テーブル1,2には、その軸心方向に沿っ
て移動案内される第１移動体4,5がそれぞれ設けられ、
またこれら各第１移動体4,5は各Ｙ軸テーブル1,2の内部
に配置されたねじ軸体（たとえば、ボールネジが使用さ
れる）6,7およびこのねじ軸体6,7を回転させる電動機8,
9が配置され、さらに上記各第１移動体4,5はナット体
（図示せず）を介して各ねじ軸体6,7に螺合されてい
る。そして、上記Ｘ軸テーブル３は、上記両Ｙ軸テーブ
ル1,2側の第１移動体4,5に回動可能にかつＸ軸テーブル
３の軸心方向でスライド可能に係合支持されている。す
なわち、各Ｙ軸テーブル1,2側の各第１移動体4,5の中央
部には、鉛直方向（Ｙ軸テーブルおよびＸ軸テーブルの
両方に直交する方向）で係合用軸体11,12がそれぞれ突
設して設けられている。そして、Ｘ軸テーブル３の一端
部には、上記第１移動体４の係合用軸体11に軸受13を介
して回動自在に係合された連結部材14が固定され、また
Ｘ軸テーブル３の他端部にはスライドブロック15の固定
部15aが固定されるとともに、このスライドブロック15
の固定部15a間でスライド自在にされた可動部15bが、第
１移動体５の係合用軸体12に軸受16を介して回動自在に
係合されている。したがって、両電動機8,9を同調して
駆動させることによって、両第１移動体4,5を介してＸ
軸テーブル３をＹ軸テーブル1,2に沿って任意の位置に
移動させることができ、またＸ軸テーブル３と一方のＹ
軸テーブル１とが回動可能に係合されているとともに、
Ｘ軸テーブル３と他方のＹ軸テーブル２とは互いに回動
可能にかつＸ軸テーブル３の軸心に沿ってスライド可能
に係合されていることになる。
そして、上記Ｘ軸テーブル３にも、上記Ｙ軸テーブル
1,2と同様に、その軸心方向に沿って案内移動される第
２移動体21が設けられている。すなわち、この第２移動
体21はやはりＸ軸テーブル３の内部に配置されたねじ軸
体（たとえば、ボールネジが使用される）22およびこの
ねじ軸体22を回転させる電動機23が配置されるととも
に、上記第２移動体21はナット体24を介してねじ軸体22
に螺合されている。さらに、上記第２移動体21には、ワ
ークの位置認識用カメラ（位置認識手段）25およびワー
クの作業用ツール（作業手段）26が取り付けられた作業
部材取付板27が第２移動体21の側面にかつＸ軸テーブル
３の軸心方向で移動自在に配置されている。すなわち、
この作業部材取付板27の移動機構も上記と同様に、作業
部材取付板27の背面に取り付けられたナット体28に螺合
するねじ軸体（たとえば、ボールネジが使用される）29
とこのねじ軸体29を回転させる電動機30が上記第２移動
体21側に設けられている。なお、31および32は動力およ
び制御信号を伝送するためのケーブルユニットである。
また、上記各電動機およびねじ軸体としてのボールネジ
は、精密用のものが使用される。
1,2と同様に、その軸心方向に沿って案内移動される第
２移動体21が設けられている。すなわち、この第２移動
体21はやはりＸ軸テーブル３の内部に配置されたねじ軸
体（たとえば、ボールネジが使用される）22およびこの
ねじ軸体22を回転させる電動機23が配置されるととも
に、上記第２移動体21はナット体24を介してねじ軸体22
に螺合されている。さらに、上記第２移動体21には、ワ
ークの位置認識用カメラ（位置認識手段）25およびワー
クの作業用ツール（作業手段）26が取り付けられた作業
部材取付板27が第２移動体21の側面にかつＸ軸テーブル
３の軸心方向で移動自在に配置されている。すなわち、
この作業部材取付板27の移動機構も上記と同様に、作業
部材取付板27の背面に取り付けられたナット体28に螺合
するねじ軸体（たとえば、ボールネジが使用される）29
とこのねじ軸体29を回転させる電動機30が上記第２移動
体21側に設けられている。なお、31および32は動力およ
び制御信号を伝送するためのケーブルユニットである。
また、上記各電動機およびねじ軸体としてのボールネジ
は、精密用のものが使用される。
上記構成において、基板などのワークに対して作業を
行う場合、まず両電動機8,9を駆動してＹ軸テーブル1,2
上の各第１移動体4,5を介してＹ軸テーブル３を、Ｙ軸
テーブル1,2に沿って移動させるとともに、電動機23を
駆動してＸ軸テーブル３上の第２移動体21をワーク上に
移動させる。そして、さらにこの第２移動体21側に設け
られた電動機30を介して作業部材取付板27をＸ軸テーブ
ル３に沿って移動させて、位置認識用カメラ25でワーク
の位置を認識し、そしてこの位置認識用カメラ25と作業
用ツール26との間隔Ｄを考慮して作業用ツール26を正確
な位置に導いて作業を行う。
行う場合、まず両電動機8,9を駆動してＹ軸テーブル1,2
上の各第１移動体4,5を介してＹ軸テーブル３を、Ｙ軸
テーブル1,2に沿って移動させるとともに、電動機23を
駆動してＸ軸テーブル３上の第２移動体21をワーク上に
移動させる。そして、さらにこの第２移動体21側に設け
られた電動機30を介して作業部材取付板27をＸ軸テーブ
ル３に沿って移動させて、位置認識用カメラ25でワーク
の位置を認識し、そしてこの位置認識用カメラ25と作業
用ツール26との間隔Ｄを考慮して作業用ツール26を正確
な位置に導いて作業を行う。
このように、Ｘ軸テーブル３の両端部が一対のＹ軸テ
ーブル1,2の第１移動体4,5上に支持されているため、Ｘ
軸テーブル３が長くなった場合でも、Ｘ軸テーブル３自
体が安定するとともに、その高速移動および停止を迅速
に行うことができ、またＹ軸テーブル1,2が一対設けら
れているため、Ｙ軸テーブル１のヨーイングやローリン
グの発生を最小に抑えることができ、したがって位置認
識用カメラ25および作業用ツール26を高精度でもって所
定位置に導くことができる。
ーブル1,2の第１移動体4,5上に支持されているため、Ｘ
軸テーブル３が長くなった場合でも、Ｘ軸テーブル３自
体が安定するとともに、その高速移動および停止を迅速
に行うことができ、またＹ軸テーブル1,2が一対設けら
れているため、Ｙ軸テーブル１のヨーイングやローリン
グの発生を最小に抑えることができ、したがって位置認
識用カメラ25および作業用ツール26を高精度でもって所
定位置に導くことができる。
また、Ｘ軸テーブル３の一端部と一方の第１移動体４
とは回転自在に係合されるとともに、Ｘ軸テーブル３の
他端部と他方の第１移動体５とは回動自在にかつ互いに
スライド自在にすなわち相対移動自在に係合支持されて
いるため、万一、両Ｙ軸テーブル1,2の平行度または両
第１移動体4,5の移動速度に誤差が生じた場合でも、こ
れらの誤差は容易に吸収される。
とは回転自在に係合されるとともに、Ｘ軸テーブル３の
他端部と他方の第１移動体５とは回動自在にかつ互いに
スライド自在にすなわち相対移動自在に係合支持されて
いるため、万一、両Ｙ軸テーブル1,2の平行度または両
第１移動体4,5の移動速度に誤差が生じた場合でも、こ
れらの誤差は容易に吸収される。
さらに、Ｙ軸テーブル1,2に対するＸ軸テーブル３の
直角度も、Ｙ軸テーブル1,2側の第１移動体4,5の初期位
置を設定し直すだけで、従来におけるような測定しなが
らＸ軸テーブルをＹ軸テーブル側に固定しなければなら
ないものに比べて、極めて容易かつ高精度に調整するこ
とができる。
直角度も、Ｙ軸テーブル1,2側の第１移動体4,5の初期位
置を設定し直すだけで、従来におけるような測定しなが
らＸ軸テーブルをＹ軸テーブル側に固定しなければなら
ないものに比べて、極めて容易かつ高精度に調整するこ
とができる。
発明の効果 以上のように本発明の構成によると、第２テーブルの
両端部が一対の第１テーブルの第１移動体上に支持され
ているため、第２テーブルが長くなった場合でも、第２
テーブル自体が安定するとともに、その高速移動および
停止を迅速に行うことができ、また第１テーブルが一対
設けられているため、第１テーブルのヨーイングやロー
リングの発生を最小に抑えることができ、したがって位
置認識手段および作業手段を高精度でもって所定位置に
導くことができる。
両端部が一対の第１テーブルの第１移動体上に支持され
ているため、第２テーブルが長くなった場合でも、第２
テーブル自体が安定するとともに、その高速移動および
停止を迅速に行うことができ、また第１テーブルが一対
設けられているため、第１テーブルのヨーイングやロー
リングの発生を最小に抑えることができ、したがって位
置認識手段および作業手段を高精度でもって所定位置に
導くことができる。
また、第２テーブルの一端部と一方の第１移動体とは
回動可能に係合されるとともに、第２テーブルの他端部
と他方の第１移動体とは回動可能にかつ互いにスライド
可能に係合支持されているため、万一、一対の第１テー
ブルの平行度または一対の第１移動体の移動速度に誤差
が生じた場合でも、これらの誤差は容易に吸収され、さ
らに第１テーブルに対する第２テーブルの直角度も、第
１テーブル側の第１移動体の初期位置を設定し直すだけ
で、従来におけるような測定しながらＸ軸テーブルをＹ
軸テーブル側に固定しなければならないものに比べて、
極めて容易かつ高精度に調整することができる。
回動可能に係合されるとともに、第２テーブルの他端部
と他方の第１移動体とは回動可能にかつ互いにスライド
可能に係合支持されているため、万一、一対の第１テー
ブルの平行度または一対の第１移動体の移動速度に誤差
が生じた場合でも、これらの誤差は容易に吸収され、さ
らに第１テーブルに対する第２テーブルの直角度も、第
１テーブル側の第１移動体の初期位置を設定し直すだけ
で、従来におけるような測定しながらＸ軸テーブルをＹ
軸テーブル側に固定しなければならないものに比べて、
極めて容易かつ高精度に調整することができる。
第１図〜第４図は本発明の一実施例を示すもので、第１
図は全体斜視図、第２図は全体平面図、第３図は第１テ
ーブルと第２テーブルとの係合部の要部斜視図、第４図
は第３図のＩ−Ｉ断面図、第５図および第６図は従来例
を示すもので、第５図は全体斜視図、第６図は全体平面
図である。 1,2……Ｙ軸テーブル、３……Ｘ軸テーブル、4,5……第
１移動体、11,12……係合用軸体、13,16……軸受、14…
…連結部材、15……スライドブロック、15a……固定
部、15b……可動部、21……第２移動体、25……位置認
識用カメラ、26……作業用ツール。
図は全体斜視図、第２図は全体平面図、第３図は第１テ
ーブルと第２テーブルとの係合部の要部斜視図、第４図
は第３図のＩ−Ｉ断面図、第５図および第６図は従来例
を示すもので、第５図は全体斜視図、第６図は全体平面
図である。 1,2……Ｙ軸テーブル、３……Ｘ軸テーブル、4,5……第
１移動体、11,12……係合用軸体、13,16……軸受、14…
…連結部材、15……スライドブロック、15a……固定
部、15b……可動部、21……第２移動体、25……位置認
識用カメラ、26……作業用ツール。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 平井 裕之 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (56)参考文献 特開 平３−43170（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B25J 9/02
Claims (1)
- 【請求項１】一対の第１テーブルを互いに平行に配置す
るとともにこれら各テーブルに沿って案内移動される第
１移動体を設け、上記両第１テーブルと直交する第２テ
ーブルを配置するとともにこの第１テーブルに沿って案
内移動される第２移動体を設け、上記第２テーブルの一
端部と上記一方の第１テーブル側に設けられた第１移動
体とを第１および第２テーブルに直交する軸心回りで回
動可能に係合し、上記第２テーブルの他端部と上記他方
の第１テーブル側に設けられた第１移動体とを第１およ
び第２テーブルに直交する軸心回りで回動可能にかつ第
２テーブルの軸心方向でスライド可能に係合支持させ、
上記第２移動体にワークの位置認識手段および作業手段
を設けたことを特徴とする直角座標型ロボット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2017241A JP2803880B2 (ja) | 1990-01-26 | 1990-01-26 | 直角座標型ロボット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2017241A JP2803880B2 (ja) | 1990-01-26 | 1990-01-26 | 直角座標型ロボット |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03221385A JPH03221385A (ja) | 1991-09-30 |
| JP2803880B2 true JP2803880B2 (ja) | 1998-09-24 |
Family
ID=11938452
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2017241A Expired - Fee Related JP2803880B2 (ja) | 1990-01-26 | 1990-01-26 | 直角座標型ロボット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2803880B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20190142958A (ko) * | 2018-06-19 | 2019-12-30 | 엠에스테크놀러지 주식회사 | 전체 기판어레이의 촬영이 가능한 라우팅 장치 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3344900B2 (ja) * | 1996-09-19 | 2002-11-18 | 松下電器産業株式会社 | 直角座標型ロボット |
| JP4490564B2 (ja) * | 2000-09-11 | 2010-06-30 | Ｊｕｋｉ株式会社 | 電子部品搭載機 |
| JP4503873B2 (ja) * | 2001-03-30 | 2010-07-14 | 株式会社日立ハイテクインスツルメンツ | 電子部品装着装置 |
-
1990
- 1990-01-26 JP JP2017241A patent/JP2803880B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20190142958A (ko) * | 2018-06-19 | 2019-12-30 | 엠에스테크놀러지 주식회사 | 전체 기판어레이의 촬영이 가능한 라우팅 장치 |
| KR102121031B1 (ko) | 2018-06-19 | 2020-06-10 | 엠에스테크놀러지 주식회사 | 전체 기판어레이의 촬영이 가능한 라우팅 장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03221385A (ja) | 1991-09-30 |
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