JP3344900B2 - 直角座標型ロボット - Google Patents

直角座標型ロボット

Info

Publication number
JP3344900B2
JP3344900B2 JP24676496A JP24676496A JP3344900B2 JP 3344900 B2 JP3344900 B2 JP 3344900B2 JP 24676496 A JP24676496 A JP 24676496A JP 24676496 A JP24676496 A JP 24676496A JP 3344900 B2 JP3344900 B2 JP 3344900B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
moving body
axis
plate
axis table
moving
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP24676496A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH1086082A (ja
Inventor
尚之 北村
守 井上
朗 壁下
健 武田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Corp
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Panasonic Corp
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Panasonic Corp, Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Panasonic Corp
Priority to JP24676496A priority Critical patent/JP3344900B2/ja
Priority to CN97198065A priority patent/CN1067623C/zh
Priority to PCT/JP1997/003256 priority patent/WO1998012024A1/ja
Priority to EP97940387A priority patent/EP0940229B1/en
Priority to US09/269,059 priority patent/US6124695A/en
Priority to DE69717663T priority patent/DE69717663T2/de
Publication of JPH1086082A publication Critical patent/JPH1086082A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3344900B2 publication Critical patent/JP3344900B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
    • F16C29/008—Systems with a plurality of bearings, e.g. four carriages supporting a slide on two parallel rails
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/02—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
    • B25J9/023—Cartesian coordinate type
    • B25J9/026—Gantry-type
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
    • F16C29/001—Bearings for parts moving only linearly adjustable for alignment or positioning
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
    • H05K13/04—Mounting of components, e.g. of leadless components
    • H05K13/0404—Pick-and-place heads or apparatus, e.g. with jaws
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
    • H05K13/08—Monitoring manufacture of assemblages
    • H05K13/089—Calibration, teaching or correction of mechanical systems, e.g. of the mounting head

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Operations Research (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は直角座標型ロボット
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、電子部品の実装などに用いられる
ロボットには、高速、高精度化とともに長ストローク化
が要求されている。
【０００３】従来、たとえば基板などのワークに対して
高い位置精度で各種作業を行うロボットとしては、図１
１と図１２に示すものがある。これは、Ｙ軸テーブル５
１に片持ち梁式に支持されたＸ軸テーブル５２が設けら
れている。Ｘ軸テーブル５２はＹ方向の任意位置に位置
決めが可能である。Ｘ軸テーブル５２には、Ｘ方向の任
意位置に位置決めが可能な作業ヘッド部５３が取り付け
られている。作業ヘッド部５３には、図１２に示すよう
にＸ方向に所定間隔Ｄを設けてワークＷの位置認識手段
５４と作業手段５５とが取り付けられている。
【０００４】このロボットでは、Ｙ軸テーブル５１とＸ
軸テーブル５２により作業ヘッド部５３をワークＷの作
業位置の上に移動させることによって、位置認識手段５
４によりその作業位置を高精度に認識し、そして認識し
た作業位置と前記の間隔Ｄに基づいて、Ｙ軸テーブル５
１またはＸ軸テーブル５２により作業ヘッド部５３を移
動させて、作業手段５５を作業位置に導いて作業が行わ
れている。
【０００５】ところで、Ｘ軸テーブル５２はＹ軸テーブ
ル５１に対して片持ち梁式に支持されているため、ワー
クＷに対応してＸ軸テーブル５２を長ストローク化する
と振動が生じ易くなったり、高速動作の停止時に作業ヘ
ッド部５３の位置決めに時間を要するという問題があ
る。また、Ｙ軸テーブル５１とＸ軸テーブル５２との締
結用ボルトの緩みも生じ易くなる。さらに、Ｙ軸テーブ
ル５１のヨーイングやローリングにより、作業ヘッド部
５３の位置決め精度が著しく低下するという問題があ
る。
【０００６】上記課題を解決するために我々が既に提案
した直角座標型ロボット〔特開平３−２２１３８５号公
報〕は、図１３と図１４に示すように構成されている。
一対のＹ軸テーブル１，２を互いに平行に配置するとと
もに、Ｙ軸テーブル１，２には、それぞれＹ軸テーブル
１，２に沿って案内移動される第１移動体４，５を設け
られている。
【０００７】Ｙ軸テーブル１，２の間には、Ｙ軸テーブ
ル１，２と直交するＸ軸テーブル３が設けられている。
Ｘ軸テーブル３には、Ｘ軸テーブル３に沿って案内移動
される第２移動体２１が設けられている。
【０００８】Ｘ軸テーブル３の一端部と一方のＹ軸テー
ブル１の側の第１移動体４とは、Ｙ軸，Ｘ軸テーブルに
直交する軸心回りで回動可能に係合している。Ｘ軸テー
ブル３の他端部と他方のＹ軸テーブル２の側の第１移動
体５とは、Ｙ軸，Ｘ軸テーブルに直交する軸心回りで回
動可能に、かつＸ軸テーブル３の軸心方向でスライド可
能に係合支持している。
【０００９】第２移動体２１には、ワークの位置認識手
段２５と作業手段２６が設けられている。さらに詳しく
は、Ｙ軸テーブル１，２の内部には、ねじ軸体（たとえ
ば、ボールネジが使用される）６，７およびこのねじ軸
体６，７を回転させる電動機８，９が設けられている。
第１移動体４，５はナット体（図示せず）を介してそれ
ぞれのねじ軸体６，７に螺合している。
【００１０】Ｘ軸テーブル３は、Ｙ軸テーブル１，２の
側の第１移動体４，５に回動可能にかつＸ軸テーブル３
の軸心方向でスライド可能に係合支持されている。すな
わち、Ｙ軸テーブル１，２の側の第１移動体４，５の中
央部には、図１５に示すように鉛直方向（Ｙ軸テーブル
およびＸ軸テーブルの両方に直交する方向）で係合用軸
体１１，１２がそれぞれ突設して設けられている。
【００１１】Ｘ軸テーブル３の一端部には、第１移動体
４の係合用軸体１１に軸受１３を介して回動自在に係合
された連結部材１４が固定されている。Ｘ軸テーブル３
の他端部には、図１６に示すようにスライドブロック１
５の固定部１５ａが固定されるとともに、このスライド
ブロック１５の固定部１５ａ間でスライド自在にされた
可動部１５ｂが、第１移動体５の係合用軸体１２に軸受
１６を介して回動自在に係合されている。
【００１２】したがって、電動機８，９を同調して駆動
させることによって、第１移動体４，５を介してＸ軸テ
ーブル３をＹ軸テーブル１，２に沿って任意の位置に移
動させることができる。
【００１３】Ｘ軸テーブル３に設けられた第２移動体２
１は、図１３に示すようにＸ軸テーブル３の内部に配置
されたねじ軸体（たとえば、ボールネジが使用される）
２２と、このねじ軸体２２を回転させる電動機２３が設
けられており、第２移動体２１はナット体２４を介して
ねじ軸体２２に螺合されている。
【００１４】第２移動体２１の側面には、作業部材取付
板２７がＸ軸テーブル３の軸心方向で移動自在に設けら
れている。第２移動体２１には、ねじ軸体（たとえば、
ボールネジが使用される）２９とこのねじ軸体２９を回
転させる電動機３０が設けられており、作業部材取付板
２７の背面に取り付けられたナット体２８がねじ軸体２
９に螺合している。
【００１５】作業部材取付板２７には、ワークの位置認
識用カメラ２５とワークの作業用ツール２６が取り付け
られている。３１，３２は動力および制御信号を伝送す
るケーブルユニットである。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図１３
〜図１６に示す直角座標型ロボットでは、Ｙ1 軸とＹ2
軸のＹ軸方向に位置決めする際、回転部などのガタによ
る精度劣化および位置決め整定時に時間がかかる問題が
ある。
【００１７】また、スペース上の問題から回転およびス
ライド機構の付加荷重を十分とることができなかった。
さらに、位置決め精度については、近年、部品大きさや
部品リードピッチが小さく（０．３ｍｍピッチ）なって
おり装着精度は±２５μｍを要求されているが、従来方
式では位置決め時の振動が最大振幅で３０μｍ程度あ
り、かつ整定時間（±５μｍ範囲に入るまでの時間）が
約４００ｍｓｅｃかかっているのが現状である。
【００１８】本発明は、Ｘ軸テーブル３をＹ1 軸，Ｙ2
軸のＹ軸方向の移動させるときに、、剛性を落とすこと
なく位置決め動作を行うことができる直角座標型ロボッ
トを提供することを目的とする。
【００１９】
【課題を解決するための手段】本発明の直角座標型ロボ
ットは、間隔をおいて並置された第１テーブルに、第１
テーブルに沿って案内移動される第１移動体をそれぞれ
設け、第２テーブルの一端が一方の第１テーブルに設け
られた第１移動体に連結され、他端が他方の第１テーブ
ルに設けられた第１移動体に連結した直角座標型ロボッ
トであって、第２テーブルの端部と第１移動体とを、第
１移動体の移動方向には剛性を有し第２テーブルに沿う
方向にバネ性を有する連結手段で連結したことを特徴と
する。
【００２０】この本発明によると、第２テーブルをＹ軸
方向の移動させるときに、剛性を落とすことなく位置決
め動作を行うことができる直角座標型ロボットが得られ
る。
【００２１】
【発明の実施の形態】請求項１記載の直角座標型ロボッ
トは、一対の第１テーブルを間隔をおいて並置するとと
もに、各第１テーブルには第１テーブルに沿って案内移
動される第１移動体をそれぞれ設け、一端が一方の第１
テーブルに設けられた第１移動体に連結され、他端が他
方の第１テーブルに設けられた第１移動体に連結された
第２テーブルを設け、第２テーブルに沿って案内移動さ
れる第２移動体を設け、第２移動体に作業手段を設けた
直角座標型ロボットであって、第２テーブルの一端と第
１移動体との連結部と第２テーブルの他端と第１移動体
との連結部のうちの少なくとも一方の連結部は、第１移
動体の移動方向には剛性を有し第２テーブルに沿う方向
にバネ性を有する連結手段で連結したことを特徴とす
る。
【００２２】この構成によると、Ｘ軸方向のＹ1 ，Ｙ2
軸の誤差に対する駆動時の負荷を、連結手段のバネ性に
より軽減して無理なく移動でき、かつ連結手段はＹ1 ，
Ｙ2軸方向には剛性を持っているため、位置決め時の整
定時間を短縮できかつ位置決め精度も劣化させることな
く動作可能となる。
【００２３】請求項２記載の直角座標型ロボットは、一
対の第１テーブルを間隔をおいて並置するとともに、各
第１テーブルには第１テーブルに沿って案内移動される
第１移動体をそれぞれ設け、一端が一方の第１テーブル
に設けられた第１移動体に連結され、他端が他方の第１
テーブルに設けられた第１移動体に連結された第２テー
ブルを設け、第２テーブルに沿って案内移動される第２
移動体を設け、第２移動体に作業手段を設けた直角座標
型ロボットであって、第２テーブルの一端を第１移動体
に固定し、第２テーブルの他端と第１移動体との連結部
は、第１移動体の移動方向には剛性を有し第２テーブル
に沿う方向にバネ性を有する連結手段で連結したことを
特徴とする。
【００２４】請求項３記載の直角座標型ロボットは、請
求項１または請求項２において、連結部は、板状ブロッ
クの中央部を第１移動体の側に固定する固定側とし、前
記の板状ブロックの外周部を第２テーブルの側に固定す
る可動側とし、板状ブロックの前記固定側と可動側と
を、薄肉部で連結するように前記の板状ブロックに貫通
孔を穿設したことを特徴とする。
【００２５】請求項４記載の直角座標型ロボットは、請
求項３において、板状ブロックの固定側と可動側とを薄
肉部で連結するように板状ブロックに穿設した貫通孔
を、スリット溝としたことを特徴とする。
【００２６】以下、本発明の直角座標型ロボットを図１
〜図１０に基づいて説明する。 〔第１の実施の形態〕図１〜図６は第１の実施の形態を
示す。
【００２７】図１は本発明の直角座標型ロボットＡを搭
載した部品実装装置を示す。直角座標型ロボットＡの基
本的な構造は図１２と図１３に示した従来例と同様に、
互いに平行に配置された一対のＹ軸テーブル１０３，１
０４と、Ｙ軸テーブル１０３，１０４の間にＸ軸テーブ
ル１０２が設けられている。Ｙ軸テーブル１０３，１０
４とＸ軸テーブル１０２との連結部の具体的な構成が、
上記の従来例とは異なっている。
【００２８】先ず、部品実装装置の全体構成を説明す
る。真空圧などを利用した吸着ノズルを搭載したヘッド
部１０１は、Ｘ軸テーブル１０２にこのＸ軸テーブル１
０２に沿う方向（Ｘ軸方向）に移動自在に取り付けられ
ている。Ｘ軸テーブル１０２にはヘッド部１０１をＸ軸
方向に移動する手段が内蔵されている。
【００２９】Ｙ軸テーブル１０３，１０４には、Ｘ軸テ
ーブル１０２をＹ軸テーブル１０３に沿うＹ1 軸のＹ軸
方向とＹ軸テーブル１０４に沿うＹ2 軸のＹ軸方向に移
動する手段が内蔵されている。
【００３０】Ｙ軸テーブル１０３とＸ軸テーブル１０２
の一端は、第１連結部１０５で連結されている。Ｙ軸テ
ーブル１０４とＸ軸テーブル１０２の他端は、第２連結
部１０６で連結されている。
【００３１】１０７はテープ状の電子部品を供給する電
子部品供給装置、１０８は認識装置で、ヘッド部１０１
に搭載された吸着ノズルが吸着した電子部品の吸着姿勢
などを認識し、このデータに基づいて補正動作を行うよ
う構成されている。
【００３２】１０９はワークである基板を上流から下流
側に移動する搬送部、１１０は部品がセットされた供給
トレイを取り出すトレイリフターである。図２はＹ軸テ
ーブル１０３，１０４とＸ軸テーブル１０２と第１，第
２連結部１０５，１０６の関係を示している。
【００３３】第１連結部１０５は図３に示すように構成
されている。第１連結部１０５は、Ｙ軸テーブル１０３
に沿って駆動される第１移動体１１１と、ブラケット１
１２と、固定板１１３と、連結板１１４とで構成されて
いる。具体的には、固定板１１３の穿設された孔１１３
ａにボルト１１３ｂを挿入して第１移動体１１１の上面
に固定板１１３を取り付け、連結板１１４の中央に穿設
された孔１１４ａ（図５を参照）から固定板１１３の中
央に形成されたねじ穴１１３ｃにボルト（図示せず）を
挿入して固定板１１３の上面に連結板１１４を取り付
け、ブラケット１１２に穿設された孔１１２ａから連結
板１１４の外周部に形成されたねじ穴１１４ｂにボルト
（図示せず）を挿入して連結板１１４の上面にブラケッ
ト１１２を取り付け、ブラケット１１２にＸ軸テーブル
１０２の一端が取り付けられている。
【００３４】第２連結部１０６は図４に示すように構成
されている。第２連結部１０６は、Ｙ軸テーブル１０４
に沿って駆動される第１移動体１１５と、ブラケット１
１６と、固定板１１７と、連結板１１８とで構成されて
いる。具体的には、固定板１１７の穿設された孔１１７
ａにボルト１１７ｂを挿入して第１移動体１１５の上面
に固定板１１７を取り付け、連結板１１８の中央に穿設
された孔１１８ａ（図６を参照）から固定板１１７の中
央に形成されたねじ穴１１７ｃにボルト（図示せず）を
挿入して固定板１１７の上面に連結板１１８を取り付
け、ブラケット１１６に穿設された孔１１６ａから連結
板１１８の外周部に形成されたねじ穴１１８ｂにボルト
（図示せず）を挿入して連結板１１８の上面にブラケッ
ト１１６を取り付け、ブラケット１１６にＸ軸テーブル
１０２の他端が取り付けられている。
【００３５】なお、連結板１１８には図６にも示すよう
に、孔１１８ａが穿設されている中央部１１８ｃの周囲
に一部を残して半円状の孔１１８ｄ，１１８ｅを穿設し
て薄肉の連結部１１８ｆ，１１８ｇが形成されている。
具体的には、連結板１１８としては板厚が１２ｍｍの工
具鋼ＳＫ７を焼き入れ処理して使用した。
【００３６】このように構成したため、Ｙ軸テーブル１
０３，１０４の取り付けに、図７に示す模式図のように
Ｙ軸テーブル１０４がＹ軸テーブル１０３との平行位置
（仮想線位置）から誤差Δｘだけ傾いて取り付けられて
いる場合、連結板１１８の連結部１１８ｆ，１１８ｇが
自身のバネ性により変形し、駆動時の負荷を軽減してＸ
軸テーブル１０２がＹ1 ，Ｙ2 軸方向に無理なく移動で
きる。
【００３７】さらに、連結部１１８ｆ，１１８ｇはＹ
1 ，Ｙ2 軸方向には剛性を持っているため、位置決め時
の整定時間を短縮でき、位置決め精度も劣化させること
なく動作可能となる。
【００３８】〔第２の実施の形態〕図８は〔第２の実施
の形態〕の連結板１１８を示し、その他は〔第１の実施
の形態〕と同じである。〔第１の実施の形態〕の連結板
１１８では、薄肉の連結部１１８ｆ，１１８ｇを形成す
るために半円状の孔１１８ｄ，１１８ｅを穿設したが、
この〔第２の実施の形態〕の連結板１１８は薄肉の連結
部を形成するために穿設する孔の形状や取付穴の個数が
〔第１の実施の形態〕とは異なっている。
【００３９】〔第３の実施の形態〕図９は〔第３の実施
の形態〕の連結板１１８を示し、その他は〔第１の実施
の形態〕と同じである。〔第１の実施の形態〕の連結板
１１８では、中央部１１８ｃが薄肉の連結部１１８ｆ，
１１８ｇで支持されていたが、この〔第３の実施の形
態〕の連結板１１８では、薄肉の連結部１１８ｆ1 ，１
１８ｇ1 で支持された固定部１１８ｃ1 と薄肉の連結部
１１８ｆ2 ，１１８ｇ2 で支持された固定部１１８ｃ2
とが第１移動体１１５に固定される。
【００４０】〔第４の実施の形態〕図１０は〔第４の実
施の形態〕の連結板１１８を示し、その他は〔第１の実
施の形態〕と同じである。〔第１の実施の形態〕の連結
板１１８では、中央部１１８ｃが薄肉の連結部１１８
ｆ，１１８ｇで支持されるように半円状の孔１１８ｄ，
１１８ｅを穿設したが、この〔第４の実施の形態〕の連
結板１１８では、板状ブロックの固定側と可動側とを薄
肉部で連結するように板状ブロックに幅０．２ｍｍ程度
の貫通したスリット溝１１９をレーザー光で形成して薄
肉の連結部１１８ｆ，１１８ｇが形成されている。
【００４１】なお、上記の各実施の形態では、第１，第
２の連結部１０５，１０６のうちの第２の連結部１０６
の方にだけＹ軸テーブルの方向には剛性を有しＸ軸テー
ブル１０２に沿う方向にバネ性を持たせたが、第１，第
２の連結部１０５，１０６の両方をＹ軸テーブルの方向
には剛性を有しＸ軸テーブル１０２に沿う方向にバネ性
を持たせることもできる。この場合には、連結板１１８
の方に曲げ応力９８２ｋｇｆ／ｃｍ2 、たわみ量０．２
ｍｍのものを使用し、連結板１１４の代わりに連結板１
１８と同様の構成で１９６９ｋｇｆ／ｃｍ2 ，たわみ量
０．０５ｍｍのものを使用すると云ったように、バネ性
の異なる強さのものを使用することもできる。
【００４２】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、第１テー
ブルと第２テーブルを接続する連結手段は、第１テーブ
ルに沿って移動可能な第１移動体の移動方向には剛性を
有し第２テーブルに沿う方向にバネ性を有しているた
め、この連結手段は、第１テーブルに対する第２テーブ
ルの移動方向には剛体となり、精度劣化や整定時間を長
くすることはなくかつ、一対の第１テーブルの間の取り
付けや加工精度による第２のテーブルに沿う方向のずれ
に対して弾性変形して摺動抵抗などを大きくすることな
く第２のテーブルの移動および位置決め動作が実現でき
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の直角座標型ロボットを搭載した部品実
装装置の構成図
【図２】第１の実施の形態の直角座標型ロボットの正面
図
【図３】第１の実施の形態の第１の連結部を示す分解斜
視図
【図４】第１の実施の形態の第２の連結部を示す分解斜
視図
【図５】第１の実施の形態の第１の連結部に使用する連
結板の平面図
【図６】第１の実施の形態の第２の連結部に使用する連
結板の平面図
【図７】第１の実施の形態の効果を説明する模式図
【図８】第２の実施の形態の第２の連結部に使用する連
結板の平面図
【図９】第３の実施の形態の第２の連結部に使用する連
結板の平面図
【図１０】第４の実施の形態の第２の連結部に使用する
連結板の平面図
【図１１】従来例の直角座標型ロボットの斜視図
【図１２】同従来例の平面図
【図１３】他の従来例の直角座標型ロボットの斜視図
【図１４】同従来例の平面図
【図１５】同従来例の連結部の構造を示す斜視図
【図１６】同従来例の連結部の構造を示す断面図
【符号の説明】
Ａ 直角座標型ロボット １０３，１０４ Ｙ軸テーブル １０２ Ｘ軸テーブル １０５ Ｘ軸テーブルと一方のＹ軸テーブルとを
接続する第１連結部 １０６ Ｘ軸テーブルと他方のＹ軸テーブルとを
接続する第２連結部 １１８ 連結板 １１８ｆ，１１８ｇ 連結部 １１１，１１５ 第１移動体 １１８ｄ，１１８ｅ 孔 １１９ スリット溝
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 武田 健 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (56)参考文献 特開 平３−221385（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B25J 9/02

Claims (4)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】一対の第１テーブルを間隔をおいて並置す
    るとともに、各第１テーブルには第１テーブルに沿って
    案内移動される第１移動体をそれぞれ設け、 一端が一方の第１テーブルに設けられた第１移動体に連
    結され、他端が他方の第１テーブルに設けられた第１移
    動体に連結された第２テーブルを設け、 第２テーブルに沿って案内移動される第２移動体を設
    け、 第２移動体に作業手段を設けた直角座標型ロボットであ
    って、第２テーブルの一端と第１移動体との連結部と第
    ２テーブルの他端と第１移動体との連結部のうちの少な
    くとも一方の連結部は、第１移動体の移動方向には剛性
    を有し第２テーブルに沿う方向にバネ性を有する連結手
    段で連結した直角座標型ロボット。
  2. 【請求項２】一対の第１テーブルを間隔をおいて並置す
    るとともに、各第１テーブルには第１テーブルに沿って
    案内移動される第１移動体をそれぞれ設け、 一端が一方の第１テーブルに設けられた第１移動体に連
    結され、他端が他方の第１テーブルに設けられた第１移
    動体に連結された第２テーブルを設け、 第２テーブルに沿って案内移動される第２移動体を設
    け、 第２移動体に作業手段を設けた直角座標型ロボットであ
    って、第２テーブルの一端を第１移動体に固定し、第２
    テーブルの他端と第１移動体との連結部は、第１移動体
    の移動方向には剛性を有し第２テーブルに沿う方向にバ
    ネ性を有する連結手段で連結した直角座標型ロボット。
  3. 【請求項３】連結部は、板状ブロックの中央部を第１移
    動体の側に固定する固定側とし、前記の板状ブロックの
    外周部を第２テーブルの側に固定する可動側とし、 板状ブロックの前記固定側と可動側とを、薄肉部で連結
    するように前記の板状ブロックに貫通孔を穿設した請求
    項１または請求項２記載の直角座標型ロボット。
  4. 【請求項４】板状ブロックの固定側と可動側とを薄肉部
    で連結するように板状ブロックに穿設した貫通孔を、ス
    リット溝とした請求項３記載の直角座標型ロボット。
JP24676496A 1996-09-19 1996-09-19 直角座標型ロボット Expired - Fee Related JP3344900B2 (ja)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP24676496A JP3344900B2 (ja) 1996-09-19 1996-09-19 直角座標型ロボット
CN97198065A CN1067623C (zh) 1996-09-19 1997-09-16 直角坐标型机器人
PCT/JP1997/003256 WO1998012024A1 (fr) 1996-09-19 1997-09-16 Robot a coordonnees cartesiennes
EP97940387A EP0940229B1 (en) 1996-09-19 1997-09-16 Cartesian coordinates robot
US09/269,059 US6124695A (en) 1996-09-19 1997-09-16 Cartesian coordinates robot
DE69717663T DE69717663T2 (de) 1996-09-19 1997-09-16 Roboter des cartesischen typs

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP24676496A JP3344900B2 (ja) 1996-09-19 1996-09-19 直角座標型ロボット

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH1086082A JPH1086082A (ja) 1998-04-07
JP3344900B2 true JP3344900B2 (ja) 2002-11-18

Family

ID=17153325

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP24676496A Expired - Fee Related JP3344900B2 (ja) 1996-09-19 1996-09-19 直角座標型ロボット

Country Status (6)

Country Link
US (1) US6124695A (ja)
EP (1) EP0940229B1 (ja)
JP (1) JP3344900B2 (ja)
CN (1) CN1067623C (ja)
DE (1) DE69717663T2 (ja)
WO (1) WO1998012024A1 (ja)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
ATE535424T1 (de) 2004-11-04 2011-12-15 Autoliv Dev Seitenairbagvorrichtung für fahrzeug
DE102005004618B3 (de) * 2005-02-01 2006-04-20 Siemens Ag Positioniereinrichtung mit einer linear verschiebbaren Positioniereinheit
CN100368157C (zh) * 2005-05-20 2008-02-13 中国科学院自动化研究所 一种带力反馈的机械手
DE102006008746B3 (de) * 2006-02-24 2007-06-14 Siemens Ag Linear verschiebbarer Positionierarm
CN100389012C (zh) * 2006-07-20 2008-05-21 上海交通大学 电插头插拔机器人
CN101947781A (zh) * 2010-08-30 2011-01-19 苏州博实机器人技术有限公司 一种模块化多控制直角坐标机器人
CN103130111A (zh) * 2011-11-30 2013-06-05 五洲工程设计研究院 机器人套筒式提升机构
DE102012025425B4 (de) 2012-12-21 2017-12-14 Mimot Gmbh Vorichtung zum Bestücken von Substraten mit elektrischen Bauelementen
JP2016036880A (ja) * 2014-08-08 2016-03-22 村田機械株式会社 ワーク搬送装置及び工作機械
CN105690221A (zh) * 2016-03-11 2016-06-22 温州智元知识产权管理有限公司 便于排屑轴承座表面研磨设备
CN105751041A (zh) * 2016-03-11 2016-07-13 温州智元知识产权管理有限公司 智能轴承座表面研磨设备
CN105773393A (zh) * 2016-03-11 2016-07-20 温州智元知识产权管理有限公司 可暂离轴承座表面研磨设备

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4637738A (en) * 1985-07-31 1987-01-20 Vincent Barkley Alignment compensator for linear bearings
JP2803880B2 (ja) * 1990-01-26 1998-09-24 松下電器産業株式会社 直角座標型ロボット
US5761390A (en) * 1991-12-12 1998-06-02 Hitachi, Ltd. Robot for removing unnecessary portion on workpiece
CA2161126C (en) * 1993-04-22 2007-07-31 Waldean A. Schulz System for locating relative positions of objects

Also Published As

Publication number Publication date
EP0940229A1 (en) 1999-09-08
CN1067623C (zh) 2001-06-27
DE69717663T2 (de) 2003-09-18
DE69717663D1 (de) 2003-01-16
WO1998012024A1 (fr) 1998-03-26
US6124695A (en) 2000-09-26
EP0940229B1 (en) 2002-12-04
EP0940229A4 (en) 2000-04-12
CN1230913A (zh) 1999-10-06
JPH1086082A (ja) 1998-04-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3344900B2 (ja) 直角座標型ロボット
TWI310328B (en) Gantry positioning system
US8215199B2 (en) Parallel kinematic positioning system
US5339749A (en) Table positioning mechanism
JP4560235B2 (ja) 角度調整テーブル装置
US6677691B2 (en) Stage apparatus and method of using the same
CN115464626A (zh) 一种用于光学元器件多工位加工的七轴机器人及使用方法
CN1295058C (zh) 精密运动工作台中的使用了摩擦驱动器和挠性铰链的装置
JP4794087B2 (ja) 変位量の微調整装置
JP2803880B2 (ja) 直角座標型ロボット
KR20130071351A (ko) 직동 기구 및 직동 기구를 구비한 로봇
KR20030006756A (ko) 일렬로 배치되어 직선운동하는 두 이동부재를 이용한작업대 이동장치
JP2969981B2 (ja) ２軸出力モジュール及びこれを用いた駆動装置
JPH04322982A (ja) 直角座標型ロボット
JP3733808B2 (ja) ＸＹθ３軸移動テーブル
JP2952458B2 (ja) Ｘｙステージ装置
JP3803263B2 (ja) ＸＹθテーブル
JP2010279980A (ja) 加工装置
JPH04261789A (ja) 部品移載装置
JPH02106283A (ja) 直交型移載機
JPH02134443A (ja) ２次元運動機構
JPS59156697A (ja) 組立用ロボツトのリニアユニツト
JP2805093B2 (ja) ロボットハンド
CN117283509A (zh) 一种跨尺度全向精密定位系统
JP3200926B2 (ja) ヘッド保護装置を設けた直角座標型ロボット

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070830

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080830

Year of fee payment: 6

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees