CN117283509A - 一种跨尺度全向精密定位系统 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种跨尺度全向精密定位系统，包括：工作台；承载台，设于工作台上，承载台具有光滑工作面；载物台，设于光滑工作面上；X向滑动组件，设于工作台上且位于承载台的第一侧；第一粘滑运动平台，连接于X向滑动组件上，第一粘滑运动平台通过第一连接件与载物台相连接且驱动载物台沿Y向运动；Y向滑动组件，设于工作台上且位于承载台的第二侧；第二粘滑运动平台，连接于Y向滑动组件上，第二粘滑运动平台通过第二连接件与载物台相连接且驱动载物台沿X向运动；旋转运动平台，设于载物台上。本发明实现大行程超高精密运动定位，在X和Y两个方向上同时实现直线位移大于100mm，分辨率达到1nm，在Z向上的跳动小于20nm，且能够实现绕Z轴的旋转。

Description

一种跨尺度全向精密定位系统

技术领域

本发明涉及微装配技术领域，尤其涉及一种跨尺度全向精密定位系统。

背景技术

微装配作为微制造、机器人操作等制造领域的前沿技术，近年来得到了越来越广泛的应用，其在促进武器装备小型化、智能化进程及提升民用高科技产品性能方面发挥着重要的作用。精密装配与微纳操作是激光核聚变装置、半导体电子制造、量子精密传感器研制等国防军事与重大科技战略领域的重要支撑技术，随着装配对象的微型化集成化发展趋势，微对象性能和功能不断提升，对其制造技术提出了高精度、柔性、智能化的新要求。近几十年来，工业装配领域对微操作的需求增加了，这是由于技术进步到微尺度组件装配的本质。微操作是对1～100μm大小的微物体进行定位的研究，而且定位精度到了纳米级要求。也就是说微装配其中一项的装配难点在于微小对象或者器件的精确定位，尤其是大行程、超高精度的定位。

为了提高微装配和微操作精度以及产品的质量，各国正研究使用自动化微装配机器人来支持微操作设备。微纳定位平台系统作为微操作和微装配机器人的关键组成部分，通常被设计来保证定位的准确性和可控性，由于这些特性，微纳定位平台系统被广泛应用，特别是在先进制造、电子、光学和生物医学等领域。

目前现有微纳定位技术主要实现单向的精密定位，为了实现XY方向的全向定位，普遍采用堆叠的方式，但是在Z方向上的跳动误差非常大，达不到几十纳米的控制要求，即使加了Z向的检测反馈，也很难达到XY平面运动过程中的平面度，而且系统复杂性大大增加，控制难度增加，可靠性降低。

发明内容

针对现有技术不足，本发明的目的在于提供一种跨尺度全向精密定位系统。

为了实现上述目的，本发明一实施例提供的技术方案如下：

一种跨尺度全向精密定位系统，包括：

工作台；

承载台，设于所述工作台上，所述承载台具有光滑工作面；

载物台，设于所述光滑工作面上；

X向滑动组件，设于所述工作台上且位于所述承载台的第一侧；

第一粘滑运动平台，连接于所述X向滑动组件上，所述第一粘滑运动平台通过第一连接件与所述载物台相连接且驱动所述载物台沿Y向运动；

Y向滑动组件，设于所述工作台上且位于所述承载台的第二侧；

第二粘滑运动平台，连接于所述Y向滑动组件上，所述第二粘滑运动平台通过第二连接件与所述载物台相连接且驱动所述载物台沿X向运动；

旋转运动平台，设于所述载物台上。

作为本发明的进一步改进，所述第一粘滑运动平台、第二粘滑运动平台均包括粘滑座、第一位移放大机构、第一压电叠堆陶瓷、第一接触端和动子，所述第一位移放大机构连接于所述粘滑座，第一压电叠堆陶瓷安装于所述第一位移放大机构内，所述第一接触端的下端与所述第一位移放大机构相连接，上端连接于所述动子的下表面。

作为本发明的进一步改进，所述第一位移放大机构包括底块、相对设置的两个侧块、相对设置的两个端块以及第一柔性臂，两个所述端块均位于所述底块的上方，所述底块的两端分别与两个所述侧块的下部、所述端块与所述侧块之间均连接有第一柔性铰链，所述第一压电叠堆陶瓷预紧于两个所述端块之间，所述第一柔性臂的两端分别与两个所述侧块的上部相连接，所述第一柔性臂呈V形，所述第一柔性臂的中心部靠近所述第一压电叠堆陶瓷且与所述第一接触端的下端相连接。

作为本发明的进一步改进，所述旋转运动平台包括底座、固定端、轴承定子、动平台、两个第二位移放大机构以及两个第二压电叠堆陶瓷，所述固定端、轴承定子均固定于所述底座上，所述动平台能够在所述轴承定子内转动，两个所述第二压电叠堆陶瓷分别安装于两个所述第二位移放大机构内，每个所述第二位移放大机构的一端与所述固定端相连接，每个所述第二位移放大机构通过第二接触端与所述动平台相接触。

作为本发明的进一步改进，所述第二位移放大机构包括第一水平块、相对设置的两个第二水平块、相对设置的两个第三水平块以及两个第二柔性臂，所述第一水平块的两端分别与两个所述第二水平块、所述第三水平块与所述第二水平块之间均连接有第二柔性铰链，所述第二压电叠堆陶瓷预紧于两个所述第三水平块之间，两个所述第二柔性臂分别与两个所述第二水平块相连接，两个所述第二柔性臂组成V形，所述第二水平块与所述固定端之间连接有第三柔性铰链。

作为本发明的进一步改进，还设置有连接框，所述连接框套设于所述动平台外，所述第二接触端设置于所述连接框的内壁，所述连接框的外壁对称设置有两个过渡框，每个所述过渡框分别通过两个第四柔性铰链与两个所述第二柔性臂相连接。

作为本发明的进一步改进，所述连接框内设置有圆形孔，所述第二接触端设置于所述圆形孔的孔壁且沿轴向延伸，所述第二接触端的横截面呈圆弧状。

作为本发明的进一步改进，所述X向滑动组件包括X向滑动导轨、第一卡爪、X向滑块和第一滚珠螺丝，所述第一卡爪套设于所述X向滑动导轨外，所述X向滑块、第一滚珠螺丝均设置于所述第一卡爪上且分别与所述X向滑动导轨的两个相对侧面相接触，所述Y向滑动组件包括Y向滑动导轨、第二卡爪、Y向滑块和第二滚珠螺丝，所述第二卡爪套设于所述Y向滑动导轨外，所述Y向滑块、第二滚珠螺丝均设置于所述第二卡爪上且分别与所述Y向滑动导轨的两个相对侧面相接触。

作为本发明的进一步改进，所述X向滑动导轨朝向所述载物台的一侧面、Y向滑动导轨朝向所述载物台的一侧面的加工粗糙度均小于10nm。

作为本发明的进一步改进，所述光滑工作面采用微晶玻璃材料加工制成，所述光滑工作面的加工平面度小于10nm。

本发明的有益效果是：

(1)本发明基于压电驱动的全向精密定位系统，直线运动的驱动结构采用粘滑方式，结合惯性步进原理产生纳-微-宏跨尺度精密运动，实现大行程超高精密运动定位，在X和Y两个相互正交的方向上同时实现直线位移大于100mm，直线运动分辨率达到1nm，并且平面度小于20nm，即在Z向上的跳动小于20nm，同时能够实现绕Z轴的旋转。

(2)结合微晶材料设计与加工，通过全接触摩擦方式，更好地实现了跨尺度定位运动过程中的Z向跳动误差保持在纳米级。

(3)系统结构紧凑，并集成了旋转自由度，可以实现多自由度运动定位。

(4)旋转运动的驱动结构采用两只压电叠堆陶瓷驱动，结构简便，同时实现高精度旋转定位。

(5)为保证载物台与光滑工作面相对两个光滑平面之间的顺畅滑动，通过对载物台和光滑工作面施加正电压，结合表面静电场润滑控制实现平面内大行程纳米级精度定位。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明的优选实施例的结构示意图；

图2为本发明的优选实施例的X向滑动组件的结构示意图；

图3为本发明的优选实施例的第一粘滑运动平台未设置粘滑座的立体图；

图4为本发明的优选实施例的第一粘滑运动平台未设置粘滑座的另一角度的立体图；

图5为图4的主视图；

图6为图4的侧视图；

图7为图4的俯视图；

图8为本发明的优选实施例的旋转运动平台的结构示意图；

图中：1、工作台，2、承载台，21、光滑工作面，3、承载台，41、X向滑动组件，411、X向滑动导轨，412、第一卡爪，413、X向滑块，414、第一滚珠螺丝，43、第一粘滑运动平台，44、第一连接件，51、Y向滑动组件，511、Y向滑动导轨，512、第二卡爪，513、Y向滑块，53、第二粘滑运动平台，54、第二连接件，6、旋转运动平台，61、底座，62、固定端，63、轴承定子，64、动平台，65、第二位移放大机构，651、第一水平块，652、第二水平块，653、第三水平块，654、第二柔性臂，655、第二柔性铰链，656、第三柔性铰链，657、连接框，658、过渡框，659、第四柔性铰链，66、第二压电叠堆陶瓷，67、第二接触端，68、固定螺钉，70、粘滑座，71、第一位移放大机构，711、底块，712、侧块，713、端块，714、第一柔性臂，715、第一柔性铰链，716、固定孔，72、第一压电叠堆陶瓷，73、第一接触端，74、动子，75、精密导轨。

具体实施方式

为了使本技术领域的人员更好地理解本发明中的技术方案，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本发明保护的范围。

请参阅图1，本申请实施例公开了一种跨尺度全向精密定位系统，包括：工作台1；承载台2，设于工作台1上，承载台2具有光滑工作面21；载物台3，设于光滑工作面21上；X向滑动组件41，设于工作台1上且位于承载台2的第一侧；第一粘滑运动平台43，连接于X向滑动组件41上，第一粘滑运动平台43通过第一连接件44与载物台3相连接且驱动载物台3沿Y向运动；Y向滑动组件51，设于工作台1上且位于承载台2的第二侧；第二粘滑运动平台53，连接于Y向滑动组件51上，第二粘滑运动平台53通过第二连接件54与载物台3相连接且驱动载物台3沿X向运动；旋转运动平台6，设于载物台3上。其中，X向滑动组件41的滑动方向沿X向，Y向滑动组件的滑动方向沿Y向。

优选地，第一连接件44、第二连接件54均为薄壁梁。一方面载物台3可以通过自身重力作用与光滑工作面21在相对运动过程中良好接触，另外可以实现载物台3驱动方向的有效推动，并在垂直方向上不会发生偏移。

优选地，光滑工作面21采用微晶玻璃材料加工制成，光滑工作面21的加工平面度在10nm以下。微晶玻璃材料的特性为：1.超低膨胀。这种材料在很宽的温度范围内几乎没有热膨胀，并且具有优异的抗热震性。2.优异的机械性能。这种材料大约70％的组分是陶瓷，这使其机械特性，如杨氏模量、刚度、弯曲强度和硬度等，优于普通非晶玻璃。3.优异的可加工性。这种特性使材料能够以高精度加工成各种形状，易于加工并提高成品率。4.优良的化学性能。这种材料具有很高的化学耐久性，在各种清洁和薄膜涂层工艺中非常稳定。同时，载物台3在光滑工作面21上进行纯摩擦运动，可以保证在垂直于XY平面的Z向台面跳动误差小于20nm，满足了高精度的Z向定位要求。

优选载物台3和光滑工作面21分别加正电压，形成静电斥力，抵消载物台3与光滑工作面21相接触的两个光滑平面间的粘连效果，保证载物台3在光滑工作面21上的顺畅滑动。

请参阅图1、图2，X向滑动组件41包括X向滑动导轨411、与第一卡爪412、X向滑块413和第一滚珠螺丝414，第一卡爪412套设于X向滑动导轨411外，X向滑块413、第一滚珠螺丝414均设置于第一卡爪412上且分别与X向滑动导轨411的两个相对侧面相接触，Y向滑动组件51包括Y向滑动导轨511、第二卡爪512、Y向滑块513和第二滚珠螺丝(图中未示出)，第二卡爪512套设于Y向滑动导轨511外，Y向滑块513、第二滚珠螺丝均设置于第二卡爪512上且分别与Y向滑动导轨511的两个相对侧面相接触。X向滑动导轨411沿X向延伸，Y向滑动导轨511沿Y向延伸，X向滑动导轨411与Y向滑动导轨511均固定于工作台1上且垂直设置。

X向滑动导轨411与Y向滑动导轨511均由微晶材料加工制成。优选X向滑动导轨411朝向载物台3的一面、Y向滑动导轨511朝向载物台3的一面的加工粗糙度均小于10nm。优选X向滑块413、Y向滑块513均由微晶材料加工制成，X向滑块413与X向滑动导轨411、Y向滑块513与Y向滑动导轨511保持全接触，保证滑动过程中的直线性。

请参阅图1、图3-图7，第一粘滑运动平台43、第二粘滑运动平台53均包括粘滑座70、第一位移放大机构71、第一压电叠堆陶瓷72、第一接触端73和动子74，第一位移放大机构71连接于粘滑座70，第一压电叠堆陶瓷72安装于第一位移放大机构71内，第一接触端73的下端与第一位移放大机构71相连接，上端连接于动子74的下表面。具体地，第一粘滑运动平台43的粘滑座70固定于第一卡爪412，第一粘滑运动平台43的动子74沿Y向延伸设置，当动子74运动时，动子74沿Y向运动，第一粘滑运动平台43的动子74的上表面与第一连接件44的一端相连接，第二粘滑运动平台53的粘滑座70固定于第二卡爪512，第二粘滑运动平台53的动子74沿X向延伸设置，当动子74运动时，动子沿X向运动，第二粘滑运动平台53的动子74的上表面与第二连接件54的一端相连接。第一压电叠堆陶瓷72通过预紧力安装于第一位移放大机构71内。第一接触端73通过预紧力连接到动子74的下表面。动子74两边缘侧面分别安装两对精密导轨75，精密导轨75固定于粘滑座70，实现动子74沿精密导轨75的精密直线运动。

优选地，第一位移放大机构71包括底块711、相对设置的两个侧块712、相对设置的两个端块713以及第一柔性臂714，两个端块713均位于底块711的上方，底块711的两端分别与两个侧块712的下部、端块713与侧块712之间均连接有第一柔性铰链715，第一压电叠堆陶瓷72预紧于两个端块713之间，第一柔性臂714的两端分别与两个侧块712的上部相连接，第一柔性臂714呈V形，第一柔性臂714的中心部靠近第一压电叠堆陶瓷72且与第一接触端73的下端相连接。底块711与其中一个侧块712均开设有固定孔716，通过固定孔716实现与粘滑座70的固定连接，同时，基于粘滑驱动原理，第一压电叠堆陶瓷72在电压作用下产生微运动，底块711及其中一个侧块712被限位住，而第一柔性臂714及另一个侧块712处于自由状态，从而通过第一接触端73产生输出运动以及寄生运动，推动动子74产生步进运动，利用惯性步进原理产生纳-微-宏跨尺度精密运动。电压可以是锯齿波电压。

请参阅图1、图8，旋转运动平台6包括底座61、固定端62、轴承定子63、动平台64、两个第二位移放大机构65以及两个第二压电叠堆陶瓷66，固定端62、轴承定子63均固定于底座61上，动平台64能够在轴承定子63内转动，两个第二压电叠堆陶瓷66分别安装于两个第二位移放大机构65内，每个第二位移放大机构65的一端与固定端62相连接，每个第二位移放大机构65通过第二接触端67与动平台64相接触。

具体地，通过第一粘滑运动平台43以及第二粘滑运动平台53实现载物台3在XY平面的运动，旋转运动平台6刚性安装于载物台3上，共同形成三自由度精密运动。底座61固定连接于载物台3。固定端62通过固定螺钉68与底座61刚性连接。动平台64安装于轴承定子63中间，轴承定子63为动平台64提供支撑约束作用，第二接触端67通过预紧力与动平台64保持接触状态。第二压电叠堆陶瓷66通过预紧力方式安装于第二位移放大机构65内部。利用第二位移放大机构65将第二压电叠堆陶瓷66的微位移进行放大，实现更大的步进运动。旋转运动平台6由两个第二压电叠堆陶瓷66输入时序波形驱动，在时序电压作用下产生“推-拉”寄生运动，进而通过第二接触端67拨动动平台64产生步进微动，实现全周旋转运动。时序波形可以是两个三角波，当其中一个第二压电叠堆陶瓷66的电压处于上升或下降状态时，则另一个第二压电叠堆陶瓷66的电压处于下降或上升状态。

具体地，第二位移放大机构65包括第一水平块651、相对设置的两个第二水平块652、相对设置的两个第三水平块653以及两个第二柔性臂654，第一水平块651的两端分别与两个第二水平块652、第三水平块653与第二水平块652之间均连接有第二柔性铰链655，第二压电叠堆陶瓷66预紧于两个第三水平块653之间，两个第二柔性臂654分别与两个第二水平块652相连接，两个第二柔性臂654组成V形，第二水平块652与固定端62之间连接有第三柔性铰链656。

还设置有连接框657，连接框657套设于动平台64外，第二接触端67设置于连接框657的内壁，连接框657的外壁对称设置有两个过渡框658，每个过渡框658分别通过两个第四柔性铰链659与两个第二柔性臂659相连接。连接框657内设置有圆形孔6571，第二接触端67设置于圆形孔6571的孔壁且沿轴向延伸，第二接触端67的横截面呈圆弧状，能够更好地推动动平台64进行旋转。

本发明在使用时，对第一粘滑运动平台43的第一压电叠堆陶瓷72通电，基于粘滑驱动原理，第一压电叠堆陶瓷72在电压作用下产生微运动，底块711及其中一个侧块712被限位住，而第一柔性臂714及另一个侧块712能够自由运动，第一柔性臂714的中心部朝远离第一压电叠堆陶瓷72的方向运动，传递给第一接触端73使其产生输出运动以及寄生运动，推动动子74产生沿Y方向的步进运动，动子74通过第一连接件44带动载物台3上的微物体进行沿Y方向的精密运动，同时第二粘滑运动平台53整体通过第二连接件54跟随载物台3沿Y方向滑动。对第二粘滑运动平台53的第一压电叠堆陶瓷72通电，基于粘滑驱动原理，第一压电叠堆陶瓷72在电压作用下产生微运动，底块711及其中一个侧块712被限位住，而第一柔性臂714及另一个侧块712能够自由运动，第一柔性臂714的中心部朝远离第一压电叠堆陶瓷72的方向运动，传递给第一接触端73使其产生输出运动以及寄生运动，推动动子74产生沿X方向的步进运动，同时动子74通过第二连接件44带动载物台3上的微物体进行沿X方向的精密运动，同时第一粘滑运动平台43整体通过第一连接件44跟随载物台3沿X方向滑动。当需要绕Z向旋转时，给两个第二压电叠堆陶瓷66输入时序波形，在时序电压作用下，产生“推-拉”寄生运动，进而通过第二接触端67拨动动平台64产生步进微动，实现全周旋转运动。

对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (10)

1.一种跨尺度全向精密定位系统，其特征在于，包括：

工作台；

承载台，设于所述工作台上，所述承载台具有光滑工作面；

载物台，设于所述光滑工作面上；

X向滑动组件，设于所述工作台上且位于所述承载台的第一侧；

第一粘滑运动平台，连接于所述X向滑动组件上，所述第一粘滑运动平台通过第一连接件与所述载物台相连接且驱动所述载物台沿Y向运动；

Y向滑动组件，设于所述工作台上且位于所述承载台的第二侧；

第二粘滑运动平台，连接于所述Y向滑动组件上，所述第二粘滑运动平台通过第二连接件与所述载物台相连接且驱动所述载物台沿X向运动；

旋转运动平台，设于所述载物台上。

2.根据权利要求1所述的一种跨尺度全向精密定位系统，其特征在于，所述第一粘滑运动平台、第二粘滑运动平台均包括粘滑座、第一位移放大机构、第一压电叠堆陶瓷、第一接触端和动子，所述第一位移放大机构连接于所述粘滑座，第一压电叠堆陶瓷安装于所述第一位移放大机构内，所述第一接触端的下端与所述第一位移放大机构相连接，上端连接于所述动子的下表面。

3.根据权利要求2所述的一种跨尺度全向精密定位系统，其特征在于，所述第一位移放大机构包括底块、相对设置的两个侧块、相对设置的两个端块以及第一柔性臂，两个所述端块均位于所述底块的上方，所述底块的两端分别与两个所述侧块的下部、所述端块与所述侧块之间均连接有第一柔性铰链，所述第一压电叠堆陶瓷预紧于两个所述端块之间，所述第一柔性臂的两端分别与两个所述侧块的上部相连接，所述第一柔性臂呈V形，所述第一柔性臂的中心部靠近所述第一压电叠堆陶瓷且与所述第一接触端的下端相连接。

4.根据权利要求1所述的一种跨尺度全向精密定位系统，其特征在于，所述旋转运动平台包括底座、固定端、轴承定子、动平台、两个第二位移放大机构以及两个第二压电叠堆陶瓷，所述固定端、轴承定子均固定于所述底座上，所述动平台能够在所述轴承定子内转动，两个所述第二压电叠堆陶瓷分别安装于两个所述第二位移放大机构内，每个所述第二位移放大机构的一端与所述固定端相连接，每个所述第二位移放大机构通过第二接触端与所述动平台相接触。

5.根据权利要求4所述的一种跨尺度全向精密定位系统，其特征在于，所述第二位移放大机构包括第一水平块、相对设置的两个第二水平块、相对设置的两个第三水平块以及两个第二柔性臂，所述第一水平块的两端分别与两个所述第二水平块、所述第三水平块与所述第二水平块之间均连接有第二柔性铰链，所述第二压电叠堆陶瓷预紧于两个所述第三水平块之间，两个所述第二柔性臂分别与两个所述第二水平块相连接，两个所述第二柔性臂组成V形，所述第二水平块与所述固定端之间连接有第三柔性铰链。

6.根据权利要求5所述的一种跨尺度全向精密定位系统，其特征在于，还设置有连接框，所述连接框套设于所述动平台外，所述第二接触端设置于所述连接框的内壁，所述连接框的外壁对称设置有两个过渡框，每个所述过渡框分别通过两个第四柔性铰链与两个所述第二柔性臂相连接。

7.根据权利要求6所述的一种跨尺度全向精密定位系统，其特征在于，所述连接框内设置有圆形孔，所述第二接触端设置于所述圆形孔的孔壁且沿轴向延伸，所述第二接触端的横截面呈圆弧状。

8.根据权利要求1所述的一种跨尺度全向精密定位系统，其特征在于，所述X向滑动组件包括X向滑动导轨、第一卡爪、X向滑块和第一滚珠螺丝，所述第一卡爪套设于所述X向滑动导轨外，所述X向滑块、第一滚珠螺丝均设置于所述第一卡爪上且分别与所述X向滑动导轨的两个相对侧面相接触，所述Y向滑动组件包括Y向滑动导轨、第二卡爪、Y向滑块和第二滚珠螺丝，所述第二卡爪套设于所述Y向滑动导轨外，所述Y向滑块、第二滚珠螺丝均设置于所述第二卡爪上且分别与所述Y向滑动导轨的两个相对侧面相接触。

9.根据权利要求1所述的一种跨尺度全向精密定位系统，其特征在于，所述X向滑动导轨朝向所述载物台的一侧面、Y向滑动导轨朝向所述载物台的一侧面的加工粗糙度均小于10nm。

10.根据权利要求1所述的一种跨尺度全向精密定位系统，其特征在于，所述光滑工作面采用微晶玻璃材料加工制成，所述光滑工作面的加工平面度小于10nm。