JPS6025637A - Xy軸位置決め装置 - Google Patents

Xy軸位置決め装置

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Publication number
JPS6025637A
JPS6025637A JP12930983A JP12930983A JPS6025637A JP S6025637 A JPS6025637 A JP S6025637A JP 12930983 A JP12930983 A JP 12930983A JP 12930983 A JP12930983 A JP 12930983A JP S6025637 A JPS6025637 A JP S6025637A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
axis
guide
axes
base
ball screw
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP12930983A
Other languages
English (en)
Inventor
Shinjiro Kimura
木村 信二郎
Shigeru Toida
滋 戸井田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP12930983A priority Critical patent/JPS6025637A/ja
Publication of JPS6025637A publication Critical patent/JPS6025637A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/25Movable or adjustable work or tool supports
    • B23Q1/44Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
    • B23Q1/56Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
    • B23Q1/60Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
    • B23Q1/62Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides
    • B23Q1/621Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides a single sliding pair followed perpendicularly by a single sliding pair

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Machine Tool Units (AREA)
  • Control Of Position Or Direction (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は平面上でのXY軸位置決め装置に関するもので
ある。
〔発明の背景〕
従来のXYY置決め装置は、第1図に示す如く位置決め
ベース1、X軸駆動用モータ3によりボールネジ4を介
してX軸方向ガイド5上を矢印X方向へ移動するX軸(
作業)テーブル2と、Y軸駆動用モークツによpボール
ネジ8を介してX軸方向ガイド9上を矢印Y方向へ移動
するY軸(作業)テーブル6などから構成されておシ、
前記各テーブル2,6はそれぞれガイド5.9に支持さ
れる二次元位置決め機構となっている。
しかし、この種の位置決め装置は、X軸デープル2、Y
軸テーブル6が2段重ね構造になっているため、各ガイ
ド5,9の組立精度が装置の位置決め精度に大きく影響
する。
また、構造上、可動部重量が可搬重量に比較し−C大き
くなるため、軽量化が困難であり、駆動機の小形化にも
制限がある。
さらに2段重ね構造では、部品加工誤差、組立誤差から
作業テーブル2.6の位置決めベース1に対するピッチ
ングおよびローリングは除去し得ないことにより位置精
度向上に限界がある。
〔発明の目的〕
本発明の目的は、装置構成要素の簡素化によシ、装置位
置決め精度の向上、装置の小形化、軽量化及び駆動機の
小容量化を図るようにしたXY位置決め装置を提供する
ことにある。
〔発明の概要〕
従来は、別々に構成されていたX軸方向ガイドとY軸方
向ガイドとを単体のXY画軸方向ガイドで形成すること
によシ、また各軸方向への移動の為の動力をこのXY両
軸方向ガイドを媒体として作業テーブルに作用させる事
によシ、X軸方向及びY軸方向移動時の作業テーブル支
持面を共用化する。この支持面の共用化は、従来X、Y
テーブルの2段重ね構造となっていたものを、1段重構
造とする事を特徴とする。
〔発明の実施例〕
以下、本発明の一実施例を第2図、第3図および第4図
によシ説明する。
本実施例のXY位置決め装置において、第1図と相違す
る点は主にXY両軸ガイド10およびXY軸(作業)テ
ーブル11を設けた点にアリ、その他は第1図と同一符
号で示すようにほぼ同一構造になっている。位置決め装
置ベース1には、ボールねじ4およびX軸駆動用モータ
3が取シ付けられている。前記ボールねじ4はitベー
ス1に設けられた溝部に設置されておシ、この溝部のれ
ている。
また、XY両軸ガイド10は、X軸方向ガイド10a、
X軸方向ガイド面10bおよびボールねじ4の推力を受
けるボールねじ用ナツト部13とから成るブロックと、
Y軸方向ガイド10bSY軸方向ガイド面10dおよび
ボールねじ14の推力を受けるだめのボールねじ用ナツ
ト15などから成っている。
さらにXY軸テーブル11は、ボールねじ14オヨヒ駆
動モータ7が取付けられている。ボールねじ14はXY
軸テーブル11に形成された溝部に設けられておシ、こ
の溝部の下部に、かつボールねじ用ナツト部16と干渉
しない位置にY軸方向ガイド10bのガイド面10dが
設けられている。そしてXY軸テーブル11は装置ベー
スl上によシ、テーブル11の下面に設けられた空気軸
受(図示せず)を介して支持されている。
次に本発明装置の作動を説明する。
X軸方向用のボールねじ4をX軸駆動用モータ3によっ
て回転させると、ナツト13およびガイド面10Cを介
して推力がXY軸テーブル11に伝わるため、XY軸テ
ーブル11は図示矢印X方向へ移動する。このとき、X
Y軸テーブル11はXY両軸ガイド10のX軸方向ガイ
ド10aにより精度よく位置決めされる。このX軸方向
の移動量はセンサーなどによシ検出されると共にDCC
サーボモルへのフィードバック制御などによシ精度よく
位置決めすることができる。
また、Y軸方向用のボールねじ14をX軸駆動用モータ
7によって回転させると、ナツト15およびガイド面1
0dを介して推力がXY軸テーブル11に伝わるだめ、
XY軸テーブル11は図示矢印Y方向へ移動する。この
とき、XY軸テーブル11は、XY両軸ガイド10のY
軸ガイド10bにより前記X軸と同様に精度よく位置決
めされる9本実施例によれば、XY両軸ガイド10が1
体構造であること及び、XY軸テーブル11が1段の装
置ベース支持面1によシ支持されていることによシ、テ
ーブル11の移動によシ発生するピッチング、ヨーイン
グ、ローリングはすべて部品の機械加工精度によシ決ま
シ、組立誤差による要因を除く事ができる。
しかも1段重ね構造であるため可動部重量が、2段重ね
構造に比較して軽量化が計られ、モータも小形化出来る
。さらに、ピッチング、ヨーイング、ローリング等によ
る誤差を小さくし、高精度な位置決めが可能となる。
〔発明の効果〕
本発明によれば、従来の2段重ね構造を1段重ね構造と
する事ができ、さらに作業テーブルをXY両軸方向とも
同一支持面にて支持できるので、装置の位置決め精度向
上、構造簡略化による装置産量低減、コスト低減に大き
な効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来のXY軸位置決め装置の一例を示す外観図
、第2図は本発明のXY軸位置決め装置の外観図、第3
図は第2図の3−3線断面図1、第4図は本発明のXY
位置決め装置におけるXY両軸ガイドを説明するための
図である。 1・・・装置ベース、10・・・XY両軸ガイド、11
・・・XY軸テーブル。 代理人 弁理士 高橋明夫 X1図 第7図 第 3121 yfJ4図 15 +00L 10恭toct

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、作業テーブルが同一平面上にてXY軸方向に移動で
    きるよう、作業テーブルをXY軸軸周用支持面て支持し
    たことを特徴とするXY軸位置決め装置。 2、XY軸軸周用支持面持つベースと作業テーブルとの
    間に設置され、X軸方向ガイドとX軸方向ガイドとから
    なるXY画軸ガイドによシ位置決めされることを特徴と
    する特許請求の範囲第1項記載のXY軸位置決め装置。 3、XY軸軸周用支持面びXYY軸ガイドを使用し、X
    軸方向及びY軸方向駆動用動力を両軸ガイドを媒体とし
    て、作業テーブルに伝達するようにしたことを特徴とす
    る特許請求の範囲第1項又は第2項記載のXY軸位置決
    め装置。
JP12930983A 1983-07-18 1983-07-18 Xy軸位置決め装置 Pending JPS6025637A (ja)

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JP12930983A JPS6025637A (ja) 1983-07-18 1983-07-18 Xy軸位置決め装置

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JP12930983A JPS6025637A (ja) 1983-07-18 1983-07-18 Xy軸位置決め装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6025637A true JPS6025637A (ja) 1985-02-08

Family

ID=15006377

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Application Number Title Priority Date Filing Date
JP12930983A Pending JPS6025637A (ja) 1983-07-18 1983-07-18 Xy軸位置決め装置

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JP (1) JPS6025637A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02104938U (ja) * 1989-02-07 1990-08-21
KR100488305B1 (ko) * 2002-03-21 2005-05-11 주식회사 새 미 비접촉식 휴대용 표면거칠기 측정장치
KR100819936B1 (ko) 2006-12-04 2008-04-10 한월숙 복합 스테이지

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02104938U (ja) * 1989-02-07 1990-08-21
KR100488305B1 (ko) * 2002-03-21 2005-05-11 주식회사 새 미 비접촉식 휴대용 표면거칠기 측정장치
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