JPS6025637A - Ｘｙ軸位置決め装置 - Google Patents
Ｘｙ軸位置決め装置Info
- Publication number
- JPS6025637A JPS6025637A JP12930983A JP12930983A JPS6025637A JP S6025637 A JPS6025637 A JP S6025637A JP 12930983 A JP12930983 A JP 12930983A JP 12930983 A JP12930983 A JP 12930983A JP S6025637 A JPS6025637 A JP S6025637A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- axis
- guide
- axes
- base
- ball screw
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/60—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/62—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides
- B23Q1/621—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides a single sliding pair followed perpendicularly by a single sliding pair
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は平面上でのＸＹ軸位置決め装置に関するもので
ある。
ある。
従来のＸＹＹ置決め装置は、第１図に示す如く位置決め
ベース１、Ｘ軸駆動用モータ３によりボールネジ４を介
してＸ軸方向ガイド５上を矢印Ｘ方向へ移動するＸ軸（
作業）テーブル２と、Ｙ軸駆動用モークツによｐボール
ネジ８を介してＸ軸方向ガイド９上を矢印Ｙ方向へ移動
するＹ軸（作業）テーブル６などから構成されておシ、
前記各テーブル２，６はそれぞれガイド５．９に支持さ
れる二次元位置決め機構となっている。
ベース１、Ｘ軸駆動用モータ３によりボールネジ４を介
してＸ軸方向ガイド５上を矢印Ｘ方向へ移動するＸ軸（
作業）テーブル２と、Ｙ軸駆動用モークツによｐボール
ネジ８を介してＸ軸方向ガイド９上を矢印Ｙ方向へ移動
するＹ軸（作業）テーブル６などから構成されておシ、
前記各テーブル２，６はそれぞれガイド５．９に支持さ
れる二次元位置決め機構となっている。
しかし、この種の位置決め装置は、Ｘ軸デープル２、Ｙ
軸テーブル６が２段重ね構造になっているため、各ガイ
ド５，９の組立精度が装置の位置決め精度に大きく影響
する。
軸テーブル６が２段重ね構造になっているため、各ガイ
ド５，９の組立精度が装置の位置決め精度に大きく影響
する。
また、構造上、可動部重量が可搬重量に比較し−Ｃ大き
くなるため、軽量化が困難であり、駆動機の小形化にも
制限がある。
くなるため、軽量化が困難であり、駆動機の小形化にも
制限がある。
さらに２段重ね構造では、部品加工誤差、組立誤差から
作業テーブル２．６の位置決めベース１に対するピッチ
ングおよびローリングは除去し得ないことにより位置精
度向上に限界がある。
作業テーブル２．６の位置決めベース１に対するピッチ
ングおよびローリングは除去し得ないことにより位置精
度向上に限界がある。
本発明の目的は、装置構成要素の簡素化によシ、装置位
置決め精度の向上、装置の小形化、軽量化及び駆動機の
小容量化を図るようにしたＸＹ位置決め装置を提供する
ことにある。
置決め精度の向上、装置の小形化、軽量化及び駆動機の
小容量化を図るようにしたＸＹ位置決め装置を提供する
ことにある。
従来は、別々に構成されていたＸ軸方向ガイドとＹ軸方
向ガイドとを単体のＸＹ画軸方向ガイドで形成すること
によシ、また各軸方向への移動の為の動力をこのＸＹ両
軸方向ガイドを媒体として作業テーブルに作用させる事
によシ、Ｘ軸方向及びＹ軸方向移動時の作業テーブル支
持面を共用化する。この支持面の共用化は、従来Ｘ、Ｙ
テーブルの２段重ね構造となっていたものを、１段重構
造とする事を特徴とする。
向ガイドとを単体のＸＹ画軸方向ガイドで形成すること
によシ、また各軸方向への移動の為の動力をこのＸＹ両
軸方向ガイドを媒体として作業テーブルに作用させる事
によシ、Ｘ軸方向及びＹ軸方向移動時の作業テーブル支
持面を共用化する。この支持面の共用化は、従来Ｘ、Ｙ
テーブルの２段重ね構造となっていたものを、１段重構
造とする事を特徴とする。
以下、本発明の一実施例を第２図、第３図および第４図
によシ説明する。
によシ説明する。
本実施例のＸＹ位置決め装置において、第１図と相違す
る点は主にＸＹ両軸ガイド１０およびＸＹ軸（作業）テ
ーブル１１を設けた点にアリ、その他は第１図と同一符
号で示すようにほぼ同一構造になっている。位置決め装
置ベース１には、ボールねじ４およびＸ軸駆動用モータ
３が取シ付けられている。前記ボールねじ４はｉｔベー
ス１に設けられた溝部に設置されておシ、この溝部のれ
ている。
る点は主にＸＹ両軸ガイド１０およびＸＹ軸（作業）テ
ーブル１１を設けた点にアリ、その他は第１図と同一符
号で示すようにほぼ同一構造になっている。位置決め装
置ベース１には、ボールねじ４およびＸ軸駆動用モータ
３が取シ付けられている。前記ボールねじ４はｉｔベー
ス１に設けられた溝部に設置されておシ、この溝部のれ
ている。
また、ＸＹ両軸ガイド１０は、Ｘ軸方向ガイド１０ａ、
Ｘ軸方向ガイド面１０ｂおよびボールねじ４の推力を受
けるボールねじ用ナツト部１３とから成るブロックと、
Ｙ軸方向ガイド１０ｂＳＹ軸方向ガイド面１０ｄおよび
ボールねじ１４の推力を受けるだめのボールねじ用ナツ
ト１５などから成っている。
Ｘ軸方向ガイド面１０ｂおよびボールねじ４の推力を受
けるボールねじ用ナツト部１３とから成るブロックと、
Ｙ軸方向ガイド１０ｂＳＹ軸方向ガイド面１０ｄおよび
ボールねじ１４の推力を受けるだめのボールねじ用ナツ
ト１５などから成っている。
さらにＸＹ軸テーブル１１は、ボールねじ１４オヨヒ駆
動モータ７が取付けられている。ボールねじ１４はＸＹ
軸テーブル１１に形成された溝部に設けられておシ、こ
の溝部の下部に、かつボールねじ用ナツト部１６と干渉
しない位置にＹ軸方向ガイド１０ｂのガイド面１０ｄが
設けられている。そしてＸＹ軸テーブル１１は装置ベー
スｌ上によシ、テーブル１１の下面に設けられた空気軸
受（図示せず）を介して支持されている。
動モータ７が取付けられている。ボールねじ１４はＸＹ
軸テーブル１１に形成された溝部に設けられておシ、こ
の溝部の下部に、かつボールねじ用ナツト部１６と干渉
しない位置にＹ軸方向ガイド１０ｂのガイド面１０ｄが
設けられている。そしてＸＹ軸テーブル１１は装置ベー
スｌ上によシ、テーブル１１の下面に設けられた空気軸
受（図示せず）を介して支持されている。
次に本発明装置の作動を説明する。
Ｘ軸方向用のボールねじ４をＸ軸駆動用モータ３によっ
て回転させると、ナツト１３およびガイド面１０Ｃを介
して推力がＸＹ軸テーブル１１に伝わるため、ＸＹ軸テ
ーブル１１は図示矢印Ｘ方向へ移動する。このとき、Ｘ
Ｙ軸テーブル１１はＸＹ両軸ガイド１０のＸ軸方向ガイ
ド１０ａにより精度よく位置決めされる。このＸ軸方向
の移動量はセンサーなどによシ検出されると共にＤＣＣ
サーボモルへのフィードバック制御などによシ精度よく
位置決めすることができる。
て回転させると、ナツト１３およびガイド面１０Ｃを介
して推力がＸＹ軸テーブル１１に伝わるため、ＸＹ軸テ
ーブル１１は図示矢印Ｘ方向へ移動する。このとき、Ｘ
Ｙ軸テーブル１１はＸＹ両軸ガイド１０のＸ軸方向ガイ
ド１０ａにより精度よく位置決めされる。このＸ軸方向
の移動量はセンサーなどによシ検出されると共にＤＣＣ
サーボモルへのフィードバック制御などによシ精度よく
位置決めすることができる。
また、Ｙ軸方向用のボールねじ１４をＸ軸駆動用モータ
７によって回転させると、ナツト１５およびガイド面１
０ｄを介して推力がＸＹ軸テーブル１１に伝わるだめ、
ＸＹ軸テーブル１１は図示矢印Ｙ方向へ移動する。この
とき、ＸＹ軸テーブル１１は、ＸＹ両軸ガイド１０のＹ
軸ガイド１０ｂにより前記Ｘ軸と同様に精度よく位置決
めされる９本実施例によれば、ＸＹ両軸ガイド１０が１
体構造であること及び、ＸＹ軸テーブル１１が１段の装
置ベース支持面１によシ支持されていることによシ、テ
ーブル１１の移動によシ発生するピッチング、ヨーイン
グ、ローリングはすべて部品の機械加工精度によシ決ま
シ、組立誤差による要因を除く事ができる。
７によって回転させると、ナツト１５およびガイド面１
０ｄを介して推力がＸＹ軸テーブル１１に伝わるだめ、
ＸＹ軸テーブル１１は図示矢印Ｙ方向へ移動する。この
とき、ＸＹ軸テーブル１１は、ＸＹ両軸ガイド１０のＹ
軸ガイド１０ｂにより前記Ｘ軸と同様に精度よく位置決
めされる９本実施例によれば、ＸＹ両軸ガイド１０が１
体構造であること及び、ＸＹ軸テーブル１１が１段の装
置ベース支持面１によシ支持されていることによシ、テ
ーブル１１の移動によシ発生するピッチング、ヨーイン
グ、ローリングはすべて部品の機械加工精度によシ決ま
シ、組立誤差による要因を除く事ができる。
しかも１段重ね構造であるため可動部重量が、２段重ね
構造に比較して軽量化が計られ、モータも小形化出来る
。さらに、ピッチング、ヨーイング、ローリング等によ
る誤差を小さくし、高精度な位置決めが可能となる。
構造に比較して軽量化が計られ、モータも小形化出来る
。さらに、ピッチング、ヨーイング、ローリング等によ
る誤差を小さくし、高精度な位置決めが可能となる。
本発明によれば、従来の２段重ね構造を１段重ね構造と
する事ができ、さらに作業テーブルをＸＹ両軸方向とも
同一支持面にて支持できるので、装置の位置決め精度向
上、構造簡略化による装置産量低減、コスト低減に大き
な効果がある。
する事ができ、さらに作業テーブルをＸＹ両軸方向とも
同一支持面にて支持できるので、装置の位置決め精度向
上、構造簡略化による装置産量低減、コスト低減に大き
な効果がある。
第１図は従来のＸＹ軸位置決め装置の一例を示す外観図
、第２図は本発明のＸＹ軸位置決め装置の外観図、第３
図は第２図の３−３線断面図１、第４図は本発明のＸＹ
位置決め装置におけるＸＹ両軸ガイドを説明するための
図である。 １・・・装置ベース、１０・・・ＸＹ両軸ガイド、１１
・・・ＸＹ軸テーブル。 代理人 弁理士 高橋明夫 Ｘ１図 第７図 第 ３１２１ ｙｆＪ４図 １５ ＋００Ｌ １０恭ｔｏｃｔ
、第２図は本発明のＸＹ軸位置決め装置の外観図、第３
図は第２図の３−３線断面図１、第４図は本発明のＸＹ
位置決め装置におけるＸＹ両軸ガイドを説明するための
図である。 １・・・装置ベース、１０・・・ＸＹ両軸ガイド、１１
・・・ＸＹ軸テーブル。 代理人 弁理士 高橋明夫 Ｘ１図 第７図 第 ３１２１ ｙｆＪ４図 １５ ＋００Ｌ １０恭ｔｏｃｔ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、作業テーブルが同一平面上にてＸＹ軸方向に移動で
きるよう、作業テーブルをＸＹ軸軸周用支持面て支持し
たことを特徴とするＸＹ軸位置決め装置。 ２、ＸＹ軸軸周用支持面持つベースと作業テーブルとの
間に設置され、Ｘ軸方向ガイドとＸ軸方向ガイドとから
なるＸＹ画軸ガイドによシ位置決めされることを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載のＸＹ軸位置決め装置。 ３、ＸＹ軸軸周用支持面びＸＹＹ軸ガイドを使用し、Ｘ
軸方向及びＹ軸方向駆動用動力を両軸ガイドを媒体とし
て、作業テーブルに伝達するようにしたことを特徴とす
る特許請求の範囲第１項又は第２項記載のＸＹ軸位置決
め装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12930983A JPS6025637A (ja) | 1983-07-18 | 1983-07-18 | Ｘｙ軸位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12930983A JPS6025637A (ja) | 1983-07-18 | 1983-07-18 | Ｘｙ軸位置決め装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6025637A true JPS6025637A (ja) | 1985-02-08 |
Family
ID=15006377
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12930983A Pending JPS6025637A (ja) | 1983-07-18 | 1983-07-18 | Ｘｙ軸位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6025637A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02104938U (ja) * | 1989-02-07 | 1990-08-21 | ||
| KR100488305B1 (ko) * | 2002-03-21 | 2005-05-11 | 주식회사 새 미 | 비접촉식 휴대용 표면거칠기 측정장치 |
| KR100819936B1 (ko) | 2006-12-04 | 2008-04-10 | 한월숙 | 복합 스테이지 |
-
1983
- 1983-07-18 JP JP12930983A patent/JPS6025637A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02104938U (ja) * | 1989-02-07 | 1990-08-21 | ||
| KR100488305B1 (ko) * | 2002-03-21 | 2005-05-11 | 주식회사 새 미 | 비접촉식 휴대용 표면거칠기 측정장치 |
| KR100819936B1 (ko) | 2006-12-04 | 2008-04-10 | 한월숙 | 복합 스테이지 |
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