JPH0631563A - 移動テーブル - Google Patents

移動テーブル

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Publication number
JPH0631563A
JPH0631563A JP18924992A JP18924992A JPH0631563A JP H0631563 A JPH0631563 A JP H0631563A JP 18924992 A JP18924992 A JP 18924992A JP 18924992 A JP18924992 A JP 18924992A JP H0631563 A JPH0631563 A JP H0631563A
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JP
Japan
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joint
driving
driving device
drive device
drive
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Pending
Application number
JP18924992A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroshi Matsumoto
央 松本
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NTN Corp
Original Assignee
NTN Corp
NTN Toyo Bearing Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by NTN Corp, NTN Toyo Bearing Co Ltd filed Critical NTN Corp
Priority to JP18924992A priority Critical patent/JPH0631563A/ja
Publication of JPH0631563A publication Critical patent/JPH0631563A/ja
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  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
  • Machine Tool Units (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は、コンパクトな形状で直線移動と回
転の動きを可能にする移動テーブルを提供する。 【構成】 第1テーブルAを、スラスト軸受1を介して
第2テーブルB上に支持し、第2テーブルBを、直線ガ
イド5、5を介して第3テーブルCに取付ける。第1テ
ーブルAの側辺7aと第1駆動装置10の間に、第1テ
ーブルAに対する回転と第2テーブルBに対するスライ
ドを許容する複合継手9を設け、第1テーブルAの側辺
7bに、スライド継手20と回動継手21を介して第2
駆動装置22を連結する。第3テーブルCの側辺には、
第1テーブルと第2テーブルを直線ガイド5に沿って駆
動する第3駆動装置30を連結する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、印刷機や液晶の製造
装置、プリント基板の部品実装装置などのアライメント
と部品搬送を必要とする作業テーブルに用いられる移動
テーブルに関するものである。
【0002】
【従来の技術及びその課題】この種のアライメントと搬
送を行なう移動テーブルには、直線方向の移動と任意の
角度にテーブルを回動できる機能とが求められるが、こ
の2つの機能をテーブルにもたせるには、通常、直動式
のテーブルと回動式のテーブルとを組合せて行なわれ
る。
【0003】ところが、従来のこのような移動テーブル
は、送りねじ機構やテーブルの案内機構等を内蔵した直
動式テーブルと、カップリング等を内蔵した回動式テー
ブルとを上下に重ね合せて形成されているため、テーブ
ルの高さが大きくなり、装置全体の形状が大型化する問
題がある。
【0004】特に、X軸テーブルとY軸テーブルと回転
テーブルとを組合せて平面上のあらゆる動きを可能とし
た移動テーブルでは、テーブルが3段重ねの状態になる
ために、装置の高さが著しく大きくなる欠点があった。
【0005】そこで、この発明は、コンパクトな形状で
直線方向の移動と回転の動きを共に可能とした移動テー
ブルを提供することを目的としている。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、この発明の第1の手段は、第1テーブルを第2テー
ブル上にスラスト軸受を介して移動自在に支持し、その
第1テーブルに、第1テーブルに対して回動し第2テー
ブルに対してスライドする複合継手を介して第1駆動装
置を連結し、かつ上記第1テーブルに、上記複合継手の
スライド方向に駆動する第2駆動装置を回動継手及びス
ライド継手を介して連結したのである。
【0007】また、この発明の第2の手段は、上記第2
テーブルを、第3テーブル上に上記第1及び第2駆動装
置の駆動方向とは直交する方向に移動可能に設け、その
第2テーブルに、上記移動方向に第2テーブルを駆動す
る第3駆動装置を連結した構造を採用したのである。
【0008】
【作用】上記第1の手段では、第2駆動装置を駆動させ
ると、複合継手とスライドの動きを許容された回動継手
が第1テーブルに対して回動し、第1テーブルが第2テ
ーブルに対して回転する。また、第1駆動装置と第2駆
動装置を共に駆動させると、複合継手が第2テーブルに
対してスライドし、第1テーブルが直線移動する。
【0009】一方、第2の手段では、第3駆動装置を駆
動させると、第1テーブルと第2テーブルを第1及び第
2駆動装置の駆動方向とは直交する方向に直線移動させ
ることができる。このため、3つの各駆動装置を組合せ
て駆動させることにより、第1テーブルに平面上のあら
ゆる方向への移動と回転を行なわせることができる。
【0010】上記の構造では、第1テーブルと第2テー
ブルをスラスト軸受を介して重ね合せ、また、テーブル
に直接継手を介して駆動装置を連結して、各テーブルの
内部に駆動機構や案内機構を組込まないので、移動テー
ブルの全体の高さをコンパクトに形成することができ
る。
【0011】
【実施例】以下、この発明の実施例を添付図面に基づい
て説明する。図1乃至図3に示すように、実施例の移動
テーブルは、第1テーブルAと第2テーブルBと第3テ
ーブルCを上下に重ね合せて構成される。
【0012】上記第1テーブルAと第2テーブルBの間
には、スラスト軸受1が組込まれ、そのスラスト軸受1
により第1テーブルAが第2テーブルBの上面に移動自
在に支持されている。このスラスト軸受1は、図3に示
すように平板状の保持器2に多数の孔3を設け、その各
孔3にボール4を転動自在に組込んで形成されており、
この各ボール4の転がりによって第1テーブルAが第2
テーブルB上面に対してあらゆる方向へ自由に移動でき
るようになっている。
【0013】一方、第3テーブルCの上面の両側には、
平行な一対の直線ガイド5、5が設けられ、その直線ガ
イド5、5に、第2テーブルBの下面4隅に取付けた直
動軸受6が嵌合しており、この直動軸受6によって第2
テーブルBが直線ガイド5、5に沿って直進移動可能に
支持されている。なお、ここで、上記直線ガイド5、5
の延びる方向をY軸とし、それと直交する方向をX軸と
する。
【0014】上記第1テーブルAの側辺7aには、ブラ
ケット8が取付けられ、そのブラケット8に、複合継手
9を介して第1駆動装置10が連結されている。この複
合継手9は、図4に示すように、L字形部材11の下面
前後に直動軸受12を取付け、その直動軸受12を第2
テーブルBの上面に設けた直線ガイド13に移動自在に
取付けている。また、L字形部材11の屈曲部を、ブラ
ケット8に取付けた支点軸14にニードル軸受15を介
して回動自在に取付け、そのL字形部材11の端部に、
第1駆動装置10のロッド16を連結している。
【0015】上記第1駆動装置10は、内部にボールね
じ機構等を内蔵し、後端に取付けたモータ17の回転を
直線運動に変換してロッド16を伸縮させる構造となっ
ており、第2テーブルBの側面に支持板18を介して固
定される。 また、複合継手9が連結する側辺7aに対
向する第1テーブルAの側辺7bには、ブラケット19
が取付けられ、そのブラケット19に、スライド継手2
0と回動継手21を介して第2駆動装置22が連結され
ている。
【0016】この第2駆動装置22は、第1駆動装置1
0と同様に、モータ17の回転を直線運動に変換してロ
ッド23を伸縮させる構造のものが用いられ、支持板2
4を介して第2テーブルBの側辺に取付けられる。
【0017】上記回動継手21は、図1及び図5に示す
ように、継手本体25と第2駆動装置22のロッド23
の先端をピン26と軸受27により回動自在に連結して
成り、また、スライド継手20は、回動継手21の継手
本体25に取付けた直動軸受28と、その直動軸受28
と嵌合し第2駆動装置22のロッドの伸縮方向とは直交
する方向にブラケット19に設けた直線ガイド29とか
ら構成されている。
【0018】一方、上記第3テーブルCの側面には、上
記直線ガイド5の延びる方向(Y軸方向)に沿うように
第3駆動装置30が取付けられている。
【0019】この第3駆動装置30は、モータ31と、
そのモータ31の駆動によって回転するボールねじ軸3
2を備えており、そのボールねじ軸32に、第2テーブ
ルBの側面にホルダー33を介して固定されたボールね
じナット34が嵌合している。この構造では、第3駆動
装置30のボールねじ軸32が回転すると、ボールねじ
軸32とボールねじナット34の嵌合により、第2テー
ブルBと第1テーブルAが直線ガイド5、5に沿ってY
軸方向に移動する。
【0020】この実施例の移動テーブルは上記のような
構造であり、第1駆動装置10と第2駆動装置22を同
時に同量伸縮させると、複合継手9が第2テーブルBに
対してスライドし、第1テーブルAがX軸方向に移動す
る。
【0021】また、第3駆動装置30を駆動させると、
直線ガイド5と直動軸受6の案内により、第1テーブル
Aと第2テーブルBが共にY軸方向に移動する。
【0022】さらに、第1駆動装置10を停止したまま
第2駆動装置22を伸縮させると、第1テーブルAは複
合継手9の支点軸14を回動中心として回転する。
【0023】また、上記の第1、第2、第3駆動装置1
0、22、30をそれぞれ関連して駆動させることによ
り、第1テーブルAをXY軸方向の任意方向に直進移動
させたり、任意の角度へ回転運動させることができる。
【0024】上記の作動の例を、図6aに示す状態から
第1テーブルAをO点(テーブル中央点)を中心として
回転させる場合について説明する。
【0025】いま、図6aの状態から、第1駆動装置1
0を停止したままで第2駆動装置22を収縮させると、
第1テーブルAは図6bに示すように複合継手9の支点
軸14を中心に回転する。このとき、O点は、元の位置
からΔx、Δy離れた位置O’点に移動する。
【0026】次に、第1駆動装置10と第2駆動装置2
2を同時にΔxの量だけ伸長させると、O’点は、図6
cに示すようにX軸方向がO点と同じになるO''点に移
動する。
【0027】ついで、第3駆動装置30をΔyの量だけ
駆動させると、図6dに示すようにO''点は、O点と一
致する位置まで移動し、これにより第1テーブルAはO
点を中心に回転したことになる。
【0028】なお、上記作動において、予め図6dの各
駆動装置10、22、30の駆動位置を演算し、その演
算値に基づいて各駆動装置に指令を与えると、第1テー
ブルAを、図6のbとcの状態をとばしてaからdの状
態へ一度に移動させることができる。
【0029】また、途中の経路における各駆動装置1
0、22、30の動きを制御することにより、図6のa
の状態からdの状態に移動する間も回転中心のずれを生
じることなく第1テーブルAを回転させることができ
る。さらに、テーブルの回転だけでなく、回転と共にX
軸、Y軸方向の移動が含まれる場合も、各駆動装置1
0、22、30の動きを組合せることにより、上記と同
様の作動で行なうことができる。
【0030】なお、上記の実施例では、3つのテーブル
A、B、Cを組合せた例を示したが、第1テーブルAと
第2テーブルBだけを組合せても、第1テーブルAのX
軸方向の直進移動と回転の動きを共に行なわせることが
でき、ユーザーの搬送テーブルに取付けることによりア
ライメントと搬送を行なう移動テーブルを簡単に提供す
ることができる。
【0031】また、上記実施例では、第1テーブルAを
支持するスラスト軸受として多数のボール4を用いたも
のを示したが、これに代えて、すべりや転がりを利用し
た他のスラスト軸受や、エアーや磁気力等を用いたスラ
スト軸受を使用することもできる。
【0032】さらに、各駆動装置10、22、30は、
油圧又は空圧のシリンダ装置や他の駆動機構のものを用
いることもできる。
【0033】
【効果】以上のように、この発明の移動テーブルは、テ
ーブルの間にスラスト軸受を組込んでテーブルを支持す
ると共に、駆動装置を直接テーブルに連結したので、テ
ーブルの積み重ねた高さを小さくでき、装置全体をコン
パクトに形成することができる。
【0034】また、テーブルに、複合継手と、回動継手
及びスライド継手を介して駆動装置を連結し、テーブル
と駆動装置の間で直進移動と回転の動きの自由度を与え
たので、テーブルのXY軸方向の動きと回転の動きを最
小限の軸数である3つの駆動軸で行なうことができ、装
置のコンパクト化と構造の簡略化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例の移動テーブルを示す平面図
【図2】同上の側面図
【図3】図1の移動テーブルを示す一部縦断側面図
【図4】同上の複合継手の斜視図
【図5】同上の回動継手とスライド継手の断面図
【図6】a〜dは移動テーブルの作動を示す図
【符号の説明】
A 第1テーブル B 第2テーブル C 第3テーブル 1 スラスト軸受 5 直線ガイド 6 直動軸受 9 複合軸受 10 第1駆動装置 14 支点軸 20 スライド継手 21 回動継手 22 第2駆動装置 30 第3駆動装置

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第1テーブルを第2テーブル上にスラス
    ト軸受を介して移動自在に支持し、その第1テーブル
    に、第1テーブルに対して回動し第2テーブルに対して
    スライドする複合継手を介して第1駆動装置を連結し、
    かつ上記第1テーブルに、上記複合継手のスライド方向
    に駆動する第2駆動装置を回動継手及びスライド継手を
    介して連結した移動テーブル。
  2. 【請求項2】 上記第2テーブルを、第3テーブル上に
    上記第1及び第2駆動装置の駆動方向とは直交する方向
    に移動可能に設け、その第2テーブルに、上記移動方向
    に第2テーブルを駆動する第3駆動装置を連結した請求
    項1に記載の移動テーブル。
JP18924992A 1992-07-16 1992-07-16 移動テーブル Pending JPH0631563A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18924992A JPH0631563A (ja) 1992-07-16 1992-07-16 移動テーブル

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18924992A JPH0631563A (ja) 1992-07-16 1992-07-16 移動テーブル

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0631563A true JPH0631563A (ja) 1994-02-08

Family

ID=16238132

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP18924992A Pending JPH0631563A (ja) 1992-07-16 1992-07-16 移動テーブル

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0631563A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6196138B1 (en) 1998-04-15 2001-03-06 Thk Co., Ltd Movable table unit
JP2016100531A (ja) * 2014-11-25 2016-05-30 日本精工株式会社 テーブル装置、位置決め装置、フラットパネルディスプレイ製造装置、及び精密機械

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6196138B1 (en) 1998-04-15 2001-03-06 Thk Co., Ltd Movable table unit
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