JPS62152632A - テ−ブル装置 - Google Patents
テ−ブル装置Info
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- JPS62152632A JPS62152632A JP29196185A JP29196185A JPS62152632A JP S62152632 A JPS62152632 A JP S62152632A JP 29196185 A JP29196185 A JP 29196185A JP 29196185 A JP29196185 A JP 29196185A JP S62152632 A JPS62152632 A JP S62152632A
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- Japan
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- cam
- adjustment
- focus
- height
- inclination
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- Pending
Links
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- 238000005096 rolling process Methods 0.000 abstract description 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 17
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
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- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/34—Relative movement obtained by use of deformable elements, e.g. piezoelectric, magnetostrictive, elastic or thermally-dilatable elements
- B23Q1/36—Springs
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q35/00—Control systems or devices for copying directly from a pattern or a master model; Devices for use in copying manually
- B23Q35/04—Control systems or devices for copying directly from a pattern or a master model; Devices for use in copying manually using a feeler or the like travelling along the outline of the pattern, model or drawing; Feelers, patterns, or models therefor
- B23Q35/08—Means for transforming movement of the feeler or the like into feed movement of tool or work
- B23Q35/10—Means for transforming movement of the feeler or the like into feed movement of tool or work mechanically only
- B23Q35/101—Means for transforming movement of the feeler or the like into feed movement of tool or work mechanically only with a pattern composed of one or more lines used simultaneously for one tool
- B23Q35/108—Means for transforming movement of the feeler or the like into feed movement of tool or work mechanically only with a pattern composed of one or more lines used simultaneously for one tool of three or more lines
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
？発明の技ｊｆｉ分野〕
本発明は、たとえば半導体ウェハのパターンを顕微鏡で
検査する場合、その半導体ウェハの厚み誤差などによっ
て起こる画像のぼけを解消するため、その半導体ウェハ
をｌｉｔするテーブルの高さや傾きを調整するときなど
に使用するテーブル装置に関する。
検査する場合、その半導体ウェハの厚み誤差などによっ
て起こる画像のぼけを解消するため、その半導体ウェハ
をｌｉｔするテーブルの高さや傾きを調整するときなど
に使用するテーブル装置に関する。
たとえば半導体ウェハのパターンを顕微鏡で検査する場
合、その半導体ウェハの厚み誤差などによって起こる画
像のぼけを解消するためにその半導体ウェハを設置する
テーブルの高さや傾きを調整する必要があるが、このと
き使用するテーブル装置は、そのテーブルの傾きを調整
するは構と。
合、その半導体ウェハの厚み誤差などによって起こる画
像のぼけを解消するためにその半導体ウェハを設置する
テーブルの高さや傾きを調整する必要があるが、このと
き使用するテーブル装置は、そのテーブルの傾きを調整
するは構と。
テーブルの高さを調整する償構とが独立的に紺み込まれ
ている。そして、ｌｌｉきを調整するＰ３１ＰＳとして
は、第４図で示すようにテーブル１を球座２で支持する
ものが一般的である。また、この傾き調整機構による調
整方法としては、ウェハ面を基・１（平面３に押付ける
ものや、基準面の３点以上に空気噴き出しノズルを設け
、これらのノズルからの空気圧で間接的にウェハ面を基
準平面になられすものなどがある。
ている。そして、ｌｌｉきを調整するＰ３１ＰＳとして
は、第４図で示すようにテーブル１を球座２で支持する
ものが一般的である。また、この傾き調整機構による調
整方法としては、ウェハ面を基・１（平面３に押付ける
ものや、基準面の３点以上に空気噴き出しノズルを設け
、これらのノズルからの空気圧で間接的にウェハ面を基
準平面になられすものなどがある。
また、高さを調整する侭構としては、上記した傾きを調
整する闘構とは全く独立して構成される。
整する闘構とは全く独立して構成される。
フサごを用いて高さ方向に平行にスライドするものが知
られている。
られている。
上記従来におけるテーブルの傾き調整は構による調整方
法は、ウェハ面を基準平面に押し付けたり、基準面の３
点以上の部位に設けた空気噴出し用ノズルからの空気圧
で間接的にウェハ面を基準平面になられすものであるた
め、そのウェハ面を（＃イ」けたり、ごみを付着させた
りするなどの欠点がある。
法は、ウェハ面を基準平面に押し付けたり、基準面の３
点以上の部位に設けた空気噴出し用ノズルからの空気圧
で間接的にウェハ面を基準平面になられすものであるた
め、そのウェハ面を（＃イ」けたり、ごみを付着させた
りするなどの欠点がある。
また、高さを調整する機構としては、クサビを用いて高
さ方向に平行にスライドするものであるが、この高さ調
整機構によると、上記高さ調整機構の調整動作との関連
性がないだけにこれらの調整！４惰によると、複雑な調
整動作となる。さらに。
さ方向に平行にスライドするものであるが、この高さ調
整機構によると、上記高さ調整機構の調整動作との関連
性がないだけにこれらの調整！４惰によると、複雑な調
整動作となる。さらに。
この高さ調整備構は、上記傾き１１整閤構とは全く独立
して構成されるため装置の大形化をきたすとともに、そ
れらの構成が全体的に複雑化する欠点がある。
して構成されるため装置の大形化をきたすとともに、そ
れらの構成が全体的に複雑化する欠点がある。
本発明は、上記事情に着目してなされたもので。
その目的とするところは、構成の簡略化と小形化が図れ
るとともに、１度のよい調整ができるテーブル装置を提
供することにある。
るとともに、１度のよい調整ができるテーブル装置を提
供することにある。
上記問題点を解決するために本発明は、ベースと、この
ベースに対し移動自在に設けられた第１の可動体と、こ
の第１の可動体を移動操作する第１の駆動装置と、上記
第１の可動体にそれぞれ移動自在に設けられた２つの第
２の可動体と、この各第２の可動体をそれぞれ個別に移
動操作する第２の駆動装置と、上記第１の可動体および
各第２の可動体にそれぞれ個別的に取り付けられ３角形
の各頂点にそれぞれ位置して配置された３つの調整用カ
ムと、この各調整用カムのカム面に対してそれぞれ個別
的に接合する３つのカムフォロアと。
ベースに対し移動自在に設けられた第１の可動体と、こ
の第１の可動体を移動操作する第１の駆動装置と、上記
第１の可動体にそれぞれ移動自在に設けられた２つの第
２の可動体と、この各第２の可動体をそれぞれ個別に移
動操作する第２の駆動装置と、上記第１の可動体および
各第２の可動体にそれぞれ個別的に取り付けられ３角形
の各頂点にそれぞれ位置して配置された３つの調整用カ
ムと、この各調整用カムのカム面に対してそれぞれ個別
的に接合する３つのカムフォロアと。
この各カムフォロアを介して支持されそのカムフォロア
に追従して傾きおよび上下自在な作業用テーブルとから
テーブル装置を構成したものである。
に追従して傾きおよび上下自在な作業用テーブルとから
テーブル装置を構成したものである。
そして２作業用テーブルに載置した被加工物などの高さ
や傾きに応じて上記第１および各第２の駆動に首を国別
的に駆動し、３つの調整カムをそれぞれ移動操作するこ
とによりその各調整用カムのカム面に対してそれぞれ個
別的に接合する３つのカムフォロアを介して支持された
作業用テーブルの傾きおよび高さを調整する。
や傾きに応じて上記第１および各第２の駆動に首を国別
的に駆動し、３つの調整カムをそれぞれ移動操作するこ
とによりその各調整用カムのカム面に対してそれぞれ個
別的に接合する３つのカムフォロアを介して支持された
作業用テーブルの傾きおよび高さを調整する。
〔実施例）
第１図ないし第３図は本発明の一実廠例を示すものであ
る。
る。
この各図において、１１はベースであり、このベース１
１上には、第１の可動体としてのＺ軸テーブル１２が、
リニアガイド１３．１３を介して水平方向へ直線的に往
復自在に設けられている。
１上には、第１の可動体としてのＺ軸テーブル１２が、
リニアガイド１３．１３を介して水平方向へ直線的に往
復自在に設けられている。
また、このＺ軸テーブル１２の中央部分には開孔１４が
穿設されている。
穿設されている。
そして、この開孔１４内ｌこ１ヒ首して配置されるよう
に上記ベース１１上にはＺ軸モータ１５および送りねじ
支持軸受１６が固定的に設置されており、送りねじ支持
軸受１６に回転自在に軸支された送りねじ１７は、ｈツ
ブリング１８を介して上記２軸モータ１５の回転軸に連
結されている。また、この送りねじ１７のねじ部１９は
、上記２軸テーブル１２に固定的に取着したナツト２１
に対して螺挿されている。また、送りねじ１７の軸方向
は、２軸テーブル１２の移動方向に沿って配置されてい
る。しかして、Ｚ軸モータ１５を作動させれば、その送
りねじ１７を回転し、この回転方向に応じてそのねじ部
１つに螺合するナツト２１を移動し、このナツト２１と
一体的な上記Ｚ軸テーブル１２を前後方向に移動させる
ことがでさるようになっている。さらに、Ｚ軸テーブル
１２と上記ベース１１との間には付勢用コイルスプリン
グ２２が架設されていて、このコイルスプリング２２に
より上記Ｚ軸テーブル１２を移動方向の一方に付勢し、
送りねじ１７とそのねじ部１９に螺合するナラ１〜２１
との間のバックラッシュを除去するようになっている。
に上記ベース１１上にはＺ軸モータ１５および送りねじ
支持軸受１６が固定的に設置されており、送りねじ支持
軸受１６に回転自在に軸支された送りねじ１７は、ｈツ
ブリング１８を介して上記２軸モータ１５の回転軸に連
結されている。また、この送りねじ１７のねじ部１９は
、上記２軸テーブル１２に固定的に取着したナツト２１
に対して螺挿されている。また、送りねじ１７の軸方向
は、２軸テーブル１２の移動方向に沿って配置されてい
る。しかして、Ｚ軸モータ１５を作動させれば、その送
りねじ１７を回転し、この回転方向に応じてそのねじ部
１つに螺合するナツト２１を移動し、このナツト２１と
一体的な上記Ｚ軸テーブル１２を前後方向に移動させる
ことがでさるようになっている。さらに、Ｚ軸テーブル
１２と上記ベース１１との間には付勢用コイルスプリン
グ２２が架設されていて、このコイルスプリング２２に
より上記Ｚ軸テーブル１２を移動方向の一方に付勢し、
送りねじ１７とそのねじ部１９に螺合するナラ１〜２１
との間のバックラッシュを除去するようになっている。
一方、このように前後方向に移ｅされる２軸テーブル１
２には、その送りねじ１７の軸線上に位置して第１の調
整カム２３が固定的に取着されている。この第１の調整
カム２３はその上端面をカム面２４とし、このカム面２
３は送りねじ１７の軸線に沿う方向に勾配をもつ平面か
らなっている。
２には、その送りねじ１７の軸線上に位置して第１の調
整カム２３が固定的に取着されている。この第１の調整
カム２３はその上端面をカム面２４とし、このカム面２
３は送りねじ１７の軸線に沿う方向に勾配をもつ平面か
らなっている。
さらに、２軸テーブル１２には、上記第１の調整カム２
３とは異なる位置で、しかも、左右対称に離れた位置に
配置された第２の可動体としての一対のリニアテーブル
２５．２６が設置されている。このリニアテーブル２５
．２６は上記Ｚ軸テーブル１２に対し、リニアガイド２
７．２８をそれぞれ介して２軸テーブル１２の移動方向
と同じ方向に、水平方向へ直線的に往復自在に支持され
ている。そして、２軸テーブル１２には、上記各リニア
テーブル２５．２６に″それぞれ個別的に対応するティ
ルト用モータ２９．３０．および送りねじ３１．３２を
回転自在に支持する送りねじ支持軸受３３．３４が固定
的に設置されており、送りねじ支持軸受３３．３４に回
転自在に軸支された送りねじ３１．３２は、カップリン
グ３５゜３６を介して上記ティルト用モータ２９，３０
の回転軸に対してそれぞれ連結されている。また。
３とは異なる位置で、しかも、左右対称に離れた位置に
配置された第２の可動体としての一対のリニアテーブル
２５．２６が設置されている。このリニアテーブル２５
．２６は上記Ｚ軸テーブル１２に対し、リニアガイド２
７．２８をそれぞれ介して２軸テーブル１２の移動方向
と同じ方向に、水平方向へ直線的に往復自在に支持され
ている。そして、２軸テーブル１２には、上記各リニア
テーブル２５．２６に″それぞれ個別的に対応するティ
ルト用モータ２９．３０．および送りねじ３１．３２を
回転自在に支持する送りねじ支持軸受３３．３４が固定
的に設置されており、送りねじ支持軸受３３．３４に回
転自在に軸支された送りねじ３１．３２は、カップリン
グ３５゜３６を介して上記ティルト用モータ２９，３０
の回転軸に対してそれぞれ連結されている。また。
各送りねじ３１．３２のねじ部３７．３８は、上記各リ
ニアテーブル２５．２６にそれぞれ個別的に固定的に取
着したナツト３９．４０に対して螺挿されている。なお
、この各送りねじ３１．３２の軸方向は、２軸テーブル
１２の移動方向に沿って配置されている。しかして、上
記各ティルトモータ２９，３０をそれぞれ個別的に作動
させれば。
ニアテーブル２５．２６にそれぞれ個別的に固定的に取
着したナツト３９．４０に対して螺挿されている。なお
、この各送りねじ３１．３２の軸方向は、２軸テーブル
１２の移動方向に沿って配置されている。しかして、上
記各ティルトモータ２９，３０をそれぞれ個別的に作動
させれば。
それぞれの送りねじ３１．３２が回転し、この回転方向
に応じてそのねじ部３７．３８に螺合するナツト３９．
４０を移動し、このナツト３９゜４０と一体的な上記各
リニアテーブル２５．２６をそれぞれ個別的に前後方向
に移動させ゛ることができるようになっている。さらに
、各リニアテーブル２５．２６とベース１１との間には
付勢用コイルスプリング４２ａ、４２ｂが架設されてい
て。
に応じてそのねじ部３７．３８に螺合するナツト３９．
４０を移動し、このナツト３９゜４０と一体的な上記各
リニアテーブル２５．２６をそれぞれ個別的に前後方向
に移動させ゛ることができるようになっている。さらに
、各リニアテーブル２５．２６とベース１１との間には
付勢用コイルスプリング４２ａ、４２ｂが架設されてい
て。
このコイルスプリング４２ａ、４２ｔ）により上記各リ
ニアテーブル２５．２６をその移動方向の一方に付勢し
、送りねじ３１．３２とそのねじ部３７．３８に螺合す
るナツト３９．４０との間のバックラッシュを除去する
ようになっている。なお、このコイルスプリング４２ａ
、４２ｂを上記各リニアテーブル２５．２６とＺ軸テー
ブル１２との間に架設するようにしてもよい。このとき
。
ニアテーブル２５．２６をその移動方向の一方に付勢し
、送りねじ３１．３２とそのねじ部３７．３８に螺合す
るナツト３９．４０との間のバックラッシュを除去する
ようになっている。なお、このコイルスプリング４２ａ
、４２ｂを上記各リニアテーブル２５．２６とＺ軸テー
ブル１２との間に架設するようにしてもよい。このとき
。
このコイルスプリング４２ａ、４２ｂによる付勢方向を
上記各ティルトモータ２９．３０側に向けるようにすれ
ば、特に安定性が高まり望ましい。
上記各ティルトモータ２９．３０側に向けるようにすれ
ば、特に安定性が高まり望ましい。
また、このように前後方向に移動される各リニアテーブ
ル２５．２６には、それぞれ上記送りねじ３１．３２の
軸線上に位−して第２の調整カム４３と第３のｇＩ！整
カム４４が固定的に取着されている。そして、これらの
調整カム４３．４４は。
ル２５．２６には、それぞれ上記送りねじ３１．３２の
軸線上に位−して第２の調整カム４３と第３のｇＩ！整
カム４４が固定的に取着されている。そして、これらの
調整カム４３．４４は。
その上端面をカム面４５．４６としてなり、この各カム
面４５．４６はそれぞれ送りねじ３１゜３２の軸線に沿
う方向に勾配をもつ平面からなっている。
面４５．４６はそれぞれ送りねじ３１゜３２の軸線に沿
う方向に勾配をもつ平面からなっている。
上記各調整カム２３，４３．４４は、第１図で示すよう
に３角形の各頂点にそれぞれ位置して配置される。この
各調整カム２３，４３．４４のカム面２４，４５．４６
は同じ向きで同じ大きさの傾きに形成されている。そし
て、この各調整カム２３．４３．４４のカム面２４．４
５．４６には。
に３角形の各頂点にそれぞれ位置して配置される。この
各調整カム２３，４３．４４のカム面２４，４５．４６
は同じ向きで同じ大きさの傾きに形成されている。そし
て、この各調整カム２３．４３．４４のカム面２４．４
５．４６には。
円筒ローラ状のカムフォロア４７．４８．４９がそれぞ
れ個別的に転接載置されている。この各カムフォロア４
７．４８．４９は、自動調芯玉軸受５１．５２．５３を
それぞれ個別的に介して作業テーブル５４の下面に取着
されている。つまり。
れ個別的に転接載置されている。この各カムフォロア４
７．４８．４９は、自動調芯玉軸受５１．５２．５３を
それぞれ個別的に介して作業テーブル５４の下面に取着
されている。つまり。
この作業テーブル５４の傾きおよび高さは、各調整カム
２３．４３．４４のカム面２４，４５゜４６に対する各
カムフォロア４７．４８．４９の転接状態によって決定
する。
２３．４３．４４のカム面２４，４５゜４６に対する各
カムフォロア４７．４８．４９の転接状態によって決定
する。
また９作業テーブル５４は、上記ベース１１に対して弾
性的に引かれて保持されている。すなわち９作業テーブ
ル５４の下面には、支持ブロック５５、・・・を介して
リング状円板からなるばね体５６が取着され、支持ブロ
ック５５．・・・間に位置するこのばね体５６の部分に
は、上記ベース１１から立設した支柱５７．・・・の上
端が取着固定されている。そして、このとき、ばね体５
６の復元力を利用して上記作業テーブル５４を下方に引
き。
性的に引かれて保持されている。すなわち９作業テーブ
ル５４の下面には、支持ブロック５５、・・・を介して
リング状円板からなるばね体５６が取着され、支持ブロ
ック５５．・・・間に位置するこのばね体５６の部分に
は、上記ベース１１から立設した支柱５７．・・・の上
端が取着固定されている。そして、このとき、ばね体５
６の復元力を利用して上記作業テーブル５４を下方に引
き。
付勢するようになっている。
なお、上記作業テーブル５４の上面には、被処理物たる
たとえば半導体ウェハ５８を装着するチャック５つが設
けられている。
たとえば半導体ウェハ５８を装着するチャック５つが設
けられている。
次に、このテーブル装置の動作を説明する。まず最初に
１作業テーブル５４の上面にあるチャック５９に対して
被処理物たるたとえば半導体ウェハ５８を装着する。そ
して、この半導体ウェハ５８におけるパターンを顕微鏡
で覗く。このとき。
１作業テーブル５４の上面にあるチャック５９に対して
被処理物たるたとえば半導体ウェハ５８を装着する。そ
して、この半導体ウェハ５８におけるパターンを顕微鏡
で覗く。このとき。
画像のぼけがあるときには、このピント調整を行なう。
すなわら、Ｒ初に第１の調整カム２３の上方に対応して
位置する部位付近における半導体ウェハ５８上のパター
ンのピント調整を行なう。これは２軸モータ１５を作動
させて送りねじ１７を回転することによりナツト２１と
ともに２軸テーブル１２を一体的に前方または後方へ移
動し、すべての調整カム２３．４３．４４を同方向へ同
じ量だけ移動する。しかして、この各調整カム２３゜４
３．４４のカム面２４，４５．４６に転接するカムフォ
ロア４７．４８．４９を介して上記作業テーブル５４を
平行に上下させる。この調整が終了したところで、半導
体ウェハ５８上のパターンの他の部位に於けるピントが
まだ合っていないときには、さらに次のようにして傾き
調整を行なう。
位置する部位付近における半導体ウェハ５８上のパター
ンのピント調整を行なう。これは２軸モータ１５を作動
させて送りねじ１７を回転することによりナツト２１と
ともに２軸テーブル１２を一体的に前方または後方へ移
動し、すべての調整カム２３．４３．４４を同方向へ同
じ量だけ移動する。しかして、この各調整カム２３゜４
３．４４のカム面２４，４５．４６に転接するカムフォ
ロア４７．４８．４９を介して上記作業テーブル５４を
平行に上下させる。この調整が終了したところで、半導
体ウェハ５８上のパターンの他の部位に於けるピントが
まだ合っていないときには、さらに次のようにして傾き
調整を行なう。
すなわち、一方、たとえば第２の調整カム４３の上方に
位置するパターンのピントを合せるため。
位置するパターンのピントを合せるため。
これに対応したリニアテーブル２５を駆動するティルト
モータ２つのみを独立的に作動させれば。
モータ２つのみを独立的に作動させれば。
その送りねじ３１が回転し、この回転方向に応じてその
ねじ部３７に螺合するナツト３９とともに。
ねじ部３７に螺合するナツト３９とともに。
一体的な上記リニアテーブル２５を個別的に前後方向に
移動させる。これにより、この部位におけるピントを合
わすことができる。次に、最後に残る第３の調整カム４
４の上方に位置するパターンのピントを合せるため、こ
れに対応したリニアテーブル２６を駆動するティルトモ
ータ３０のみを独立的に作動させれば、その送りねじ３
２が回転し、この回転方向に応じてそのねじ部３８に螺
合するナツト４０とともに、一体的な上記リニアテーブ
ル２６を個別的に前後方向に移動させる。これにより、
この部位におけるピントも合わすことができる。
移動させる。これにより、この部位におけるピントを合
わすことができる。次に、最後に残る第３の調整カム４
４の上方に位置するパターンのピントを合せるため、こ
れに対応したリニアテーブル２６を駆動するティルトモ
ータ３０のみを独立的に作動させれば、その送りねじ３
２が回転し、この回転方向に応じてそのねじ部３８に螺
合するナツト４０とともに、一体的な上記リニアテーブ
ル２６を個別的に前後方向に移動させる。これにより、
この部位におけるピントも合わすことができる。
さらに、このような操作を何度か繰返すことにより半導
体ウェハ５８のパターン上すべてのピントを合わすこと
ができる。
体ウェハ５８のパターン上すべてのピントを合わすこと
ができる。
なお、この調整作業は２作業者が顕微鏡を見ながら行な
ってもよいし、また、コンピュータなどによる自動制御
で自動的に調整するものでもよい。
ってもよいし、また、コンピュータなどによる自動制御
で自動的に調整するものでもよい。
この実施例の構成において、高さと傾きの両調整をそれ
ぞれ調整カム２３．４３．４を使っているので、特に、
微調整が可能である。しかも、そのカム面２４．４５．
４６は、その移動方向に傾斜する平面であるため、２軸
モータ１５およびティルトモータ３０．３１による駆動
量との比例関係が得られ、調整が容易である。
ぞれ調整カム２３．４３．４を使っているので、特に、
微調整が可能である。しかも、そのカム面２４．４５．
４６は、その移動方向に傾斜する平面であるため、２軸
モータ１５およびティルトモータ３０．３１による駆動
量との比例関係が得られ、調整が容易である。
なお、上記ばね体５５の代りに上記作業テーブル５４と
ベース１１との間に架設するコイルばねなどであっても
よい。また、上記実施例では１円筒ローラ状のカムフォ
ロア４７．４８．４９を用い、これを自動調芯玉軸受５
１．５２．５３を介して支持するが、これに限らず、た
とえばその自動調芯玉軸受を介さずに支持してもよいし
、この場合、そのカムフォロア４７．４８．４９の転接
周面を尖らせていわゆるくさび状に形成して、これを各
調整カム２３．２４．４４のカム面２４゜２５．４６に
それぞれ線接触させる構成としてもよい。
ベース１１との間に架設するコイルばねなどであっても
よい。また、上記実施例では１円筒ローラ状のカムフォ
ロア４７．４８．４９を用い、これを自動調芯玉軸受５
１．５２．５３を介して支持するが、これに限らず、た
とえばその自動調芯玉軸受を介さずに支持してもよいし
、この場合、そのカムフォロア４７．４８．４９の転接
周面を尖らせていわゆるくさび状に形成して、これを各
調整カム２３．２４．４４のカム面２４゜２５．４６に
それぞれ線接触させる構成としてもよい。
〔発明の効果）
以上説明したように本発明によれば、ｊＭ成の簡略化と
小形化が図れる。また２作業テーブル上の被処理物など
に直接触れることなくその高さおよび傾きを調整できる
。したがって、その被処理物などを（見付けたりごみを
付着させたりしない。しかも、それらを高精度の調整が
容易にできるなどのすぐれた効果を奏する。
小形化が図れる。また２作業テーブル上の被処理物など
に直接触れることなくその高さおよび傾きを調整できる
。したがって、その被処理物などを（見付けたりごみを
付着させたりしない。しかも、それらを高精度の調整が
容易にできるなどのすぐれた効果を奏する。
第１図は本発明の一実施例におけるその平面図。
第２図は同じくその実施例におけるその正面図。
第３図は第１図中Ａ−Ａに沿う断面図、第４図は従来例
を示す側断面図である。 １１・・・ベース、１２・・・Ｚ軸テーブル、１５・・
・Ｚ軸モータ、１７・・・送りねじ、２１・・・ナツト
、２３・・・調整カム、２５．２６・・・リニアテーブ
ル、２９゜３０・・・ティルトモータ、３１．３２・・
・送りねじ。 ３９．４０・・・ナツト、４３．４４・・・調整カム。 ４７．４８．４９・・・カムフォロア、５１．５２゜５
３・・・自動調芯玉軸受、５４・・・作業テーブル。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第１図 第２図
を示す側断面図である。 １１・・・ベース、１２・・・Ｚ軸テーブル、１５・・
・Ｚ軸モータ、１７・・・送りねじ、２１・・・ナツト
、２３・・・調整カム、２５．２６・・・リニアテーブ
ル、２９゜３０・・・ティルトモータ、３１．３２・・
・送りねじ。 ３９．４０・・・ナツト、４３．４４・・・調整カム。 ４７．４８．４９・・・カムフォロア、５１．５２゜５
３・・・自動調芯玉軸受、５４・・・作業テーブル。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第１図 第２図
Claims (1)
- ベースと、このベースに対し移動自在に設けられた第１
の可動体と、この第１の可動体を移動操作する第１の駆
動装置と、上記第１の可動体にそれぞれ移動自在に設け
られた２つの第２の可動体と、この各第２の可動体をそ
れぞれ個別に移動操作する第２の駆動装置と、上記第１
の可動体および各第２の可動体にそれぞれ個別的に取り
付けられ３角形の各頂点にそれぞれ位置して配置された
３つの調整用カムと、この各調整用カムのカム面に対し
てそれぞれ個別的に接合する３つのカムフォロアと、こ
の各カムフォロアを介して支持されそのカムフォロアに
追従して傾きおよび上下自在な作業用テーブルとを具備
してなることを特徴するテーブル装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29196185A JPS62152632A (ja) | 1985-12-26 | 1985-12-26 | テ−ブル装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29196185A JPS62152632A (ja) | 1985-12-26 | 1985-12-26 | テ−ブル装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62152632A true JPS62152632A (ja) | 1987-07-07 |
Family
ID=17775701
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29196185A Pending JPS62152632A (ja) | 1985-12-26 | 1985-12-26 | テ−ブル装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62152632A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6458441A (en) * | 1987-08-26 | 1989-03-06 | Toshiba Corp | Table device |
| JPS6440841U (ja) * | 1987-09-04 | 1989-03-10 | ||
| JPS6471640A (en) * | 1987-09-14 | 1989-03-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | One-stage six-degree of freedom accurate positioning table |
| JPH0199539U (ja) * | 1987-12-22 | 1989-07-04 | ||
| JPH02139146A (ja) * | 1988-11-15 | 1990-05-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 一段６自由度位置決めテーブル |
| JPH04283049A (ja) * | 1991-03-08 | 1992-10-08 | Mitsutoyo Corp | レベリング装置 |
| JPH04300148A (ja) * | 1991-03-27 | 1992-10-23 | Mitsutoyo Corp | レベリング装置 |
| KR20050005005A (ko) * | 2003-07-01 | 2005-01-13 | (주)지에스이테크놀러지 | 틸트 장치 |
| JPWO2019049233A1 (ja) * | 2017-09-06 | 2020-08-20 | ホリゾン・インターナショナル株式会社 | 断裁機 |
-
1985
- 1985-12-26 JP JP29196185A patent/JPS62152632A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6458441A (en) * | 1987-08-26 | 1989-03-06 | Toshiba Corp | Table device |
| JPS6440841U (ja) * | 1987-09-04 | 1989-03-10 | ||
| JPS6471640A (en) * | 1987-09-14 | 1989-03-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | One-stage six-degree of freedom accurate positioning table |
| JPH0199539U (ja) * | 1987-12-22 | 1989-07-04 | ||
| JPH02139146A (ja) * | 1988-11-15 | 1990-05-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 一段６自由度位置決めテーブル |
| JPH04283049A (ja) * | 1991-03-08 | 1992-10-08 | Mitsutoyo Corp | レベリング装置 |
| JPH04300148A (ja) * | 1991-03-27 | 1992-10-23 | Mitsutoyo Corp | レベリング装置 |
| KR20050005005A (ko) * | 2003-07-01 | 2005-01-13 | (주)지에스이테크놀러지 | 틸트 장치 |
| JPWO2019049233A1 (ja) * | 2017-09-06 | 2020-08-20 | ホリゾン・インターナショナル株式会社 | 断裁機 |
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