JPS6299038A - 位置決めステ−ジ - Google Patents
位置決めステ−ジInfo
- Publication number
- JPS6299038A JPS6299038A JP60237220A JP23722085A JPS6299038A JP S6299038 A JPS6299038 A JP S6299038A JP 60237220 A JP60237220 A JP 60237220A JP 23722085 A JP23722085 A JP 23722085A JP S6299038 A JPS6299038 A JP S6299038A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stage
- base
- theta
- fixed
- positioning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/48—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs and rotating pairs
- B23Q1/4804—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs and rotating pairs a single rotating pair followed perpendicularly by a single sliding pair
- B23Q1/4809—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs and rotating pairs a single rotating pair followed perpendicularly by a single sliding pair followed perpendicularly by a single rotating pair
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は半導体製造装置に用いる位置決めステージに係
り、特にステップアンドリピート焼付装置に好適な位置
決めステージに関する。
り、特にステップアンドリピート焼付装置に好適な位置
決めステージに関する。
焼付装置において半導体ウェハの位置を所定の位置に位
置決めする位置決めステージはウニ八表面に平行な面内
において３自由度の位１道決め、すなわち、面内で直交
する２方向の１０〇−ないし３００−程度の平行移動（
これをＸ方向及びＹ方向とする）及び面に垂直な軸まわ
りの一クジアンｉ［の回転移動（これをシータ方向とす
る）を行なう。従来この位は決めステージは１自由度の
移動機、溝を積み重ねた構造となっていた。
置決めする位置決めステージはウニ八表面に平行な面内
において３自由度の位１道決め、すなわち、面内で直交
する２方向の１０〇−ないし３００−程度の平行移動（
これをＸ方向及びＹ方向とする）及び面に垂直な軸まわ
りの一クジアンｉ［の回転移動（これをシータ方向とす
る）を行なう。従来この位は決めステージは１自由度の
移動機、溝を積み重ねた構造となっていた。
ことえば第４図に示す様に、Ｘ方向の直線案内機構１及
びその駆動装置２はベース６に固定し、Ｙ方向の直線案
内機構４及び七の駆動装置５は前記Ｘ方間の直線案内４
１Ａ構１に固定し、シータ方向の回転案内機構６及びそ
の駆動装置７は前記Ｙ方向の直線案内、哉構４に固定し
、位置決めするウェハ８はシータ方向の回転案内機構６
に固にし°Ｃある。
びその駆動装置２はベース６に固定し、Ｙ方向の直線案
内機構４及び七の駆動装置５は前記Ｘ方間の直線案内４
１Ａ構１に固定し、シータ方向の回転案内機構６及びそ
の駆動装置７は前記Ｙ方向の直線案内、哉構４に固定し
、位置決めするウェハ８はシータ方向の回転案内機構６
に固にし°Ｃある。
この構造によると最下位のＸ方向の駆動装置２は、−ｆ
：の上のＹ方向及びシータ方向の案内機構及び駆動装置
を全て駆動する必要があり負荷の重量が大きいため位置
決め速麓が遅く、梢度も低下しやすい。
：の上のＹ方向及びシータ方向の案内機構及び駆動装置
を全て駆動する必要があり負荷の重量が大きいため位置
決め速麓が遅く、梢度も低下しやすい。
このため上位のＹ方向、シータ方向の駆動モータの重量
が制限され、高性能を得にくいことがあった。
が制限され、高性能を得にくいことがあった。
またＹ方向及び・／−夕方向の、駆動装置用の配線等は
Ｘ方向の案内機構の防げとならない様に柔軟な構造で接
続せねばならず、Ｘ方向位置決めｎ度低下の原因となる
恐れがあった。また冷却用配管等の接続が不自由であっ
た。
Ｘ方向の案内機構の防げとならない様に柔軟な構造で接
続せねばならず、Ｘ方向位置決めｎ度低下の原因となる
恐れがあった。また冷却用配管等の接続が不自由であっ
た。
Ｙ方向の駆動装置５についても、その上にシータ方向の
装置を乗せているため、上記Ｘ方向と同様の問題点があ
った。
装置を乗せているため、上記Ｘ方向と同様の問題点があ
った。
上記問題点を解決するために第５図に示す様に平面内で
シータ方向のみを固定したＸＹ案内機構９をベース６に
固定し、これを共にベース３に固定したＸ方向駆動装置
２及びＹ方向駆動装置５により位置決めできる様にした
ＸＹ位置決めステージが開発されているが、シータ方向
の位置決めのためにはさらにシータ方向の回転案内機構
６及びその駆動装置７をＸＹ位置決めステージの上に積
み重ねる必要があり、上記第３図の場合と同様の問題点
が残った。なお上記第５図の装置の例としては日経メカ
ニカル誌の１９８３年４月１１日号の４５ページに示さ
れており、これに乗せるシータステージの例としては電
子材料誌の１９８５年３月号の８１ページに示されてい
る。
シータ方向のみを固定したＸＹ案内機構９をベース６に
固定し、これを共にベース３に固定したＸ方向駆動装置
２及びＹ方向駆動装置５により位置決めできる様にした
ＸＹ位置決めステージが開発されているが、シータ方向
の位置決めのためにはさらにシータ方向の回転案内機構
６及びその駆動装置７をＸＹ位置決めステージの上に積
み重ねる必要があり、上記第３図の場合と同様の問題点
が残った。なお上記第５図の装置の例としては日経メカ
ニカル誌の１９８３年４月１１日号の４５ページに示さ
れており、これに乗せるシータステージの例としては電
子材料誌の１９８５年３月号の８１ページに示されてい
る。
本発明の目的は上記問題点を解決し、高速で高精度の位
置決めステージを提供することにある。
置決めステージを提供することにある。
不発明の別の目的は駆動モータ等への配線配管を容易に
した位置決めステージを提供することにある。
した位置決めステージを提供することにある。
このため１本発明においてＨｘ方Ｎｂ Ｙ方向に加えて
シータ方向においてもｇ動装置をベース上に固定する構
造としたものである。
シータ方向においてもｇ動装置をベース上に固定する構
造としたものである。
以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。ステ
ージ１０はベース乙の平滑面１１に接触してしゆう動し
、面１１内で３自由度の移動が可能である。ステージ１
ｏは角度伝達機構１２を介してベース６に固定したシー
タ駆動機構７と接続している。角度伝達機構は２１−の
直線案内機構１６．１４により構成され、七の案内方向
は面１１円でほぼ直角に交わる２方向である。
ージ１０はベース乙の平滑面１１に接触してしゆう動し
、面１１内で３自由度の移動が可能である。ステージ１
ｏは角度伝達機構１２を介してベース６に固定したシー
タ駆動機構７と接続している。角度伝達機構は２１−の
直線案内機構１６．１４により構成され、七の案内方向
は面１１円でほぼ直角に交わる２方向である。
ステージ１０は第５図と同位にベース３に固定したＸ方
向駆動装置２及びベース５に固定したＹ方向駆動装［１
５と接続している。これによりステージ１０に乗せたウ
ェハ８τ任意の位置に位置決めすることができる。
向駆動装置２及びベース５に固定したＹ方向駆動装［１
５と接続している。これによりステージ１０に乗せたウ
ェハ８τ任意の位置に位置決めすることができる。
ｇ２図に第１図のシータ駆動機構７と直線案内機構１６
の例を示す。よう動ブロック１５はベースに固定したビ
ン１６を回転中心とし、回転カム１）に押付けたカムフ
ォロア１８によりよう動じこのよう動角度かシ・−メ＆
動角度となる。長方形ブロック１９が、その直線基準面
２０とよう動フ゛ロック１５にローラ７！１によりｊ甲
骨けられて、しゆう動し、これが次の直線案内機構１４
（図示セス）に接続されている。
の例を示す。よう動ブロック１５はベースに固定したビ
ン１６を回転中心とし、回転カム１）に押付けたカムフ
ォロア１８によりよう動じこのよう動角度かシ・−メ＆
動角度となる。長方形ブロック１９が、その直線基準面
２０とよう動フ゛ロック１５にローラ７！１によりｊ甲
骨けられて、しゆう動し、これが次の直線案内機構１４
（図示セス）に接続されている。
第３図にステージ１０とＸ方向駆動装置２及びＹ方向駆
動装置との接続例を第１図に矢印２２の方向より見た図
により示す。モータ２６に接続したボールネジ２４によ
り直線ガイド２５に接続したナツト２６をｍ動し、これ
に接続したガイドバー２７を平行に移動させる。なおガ
イドバーの長手方向は、その移動方向に対して直角にな
っている。ステージ１ｏに固定した２個のローラ２８に
よりガイドバーをはさんでガイドバー２７の移動をステ
ージ１０に伝える。
動装置との接続例を第１図に矢印２２の方向より見た図
により示す。モータ２６に接続したボールネジ２４によ
り直線ガイド２５に接続したナツト２６をｍ動し、これ
に接続したガイドバー２７を平行に移動させる。なおガ
イドバーの長手方向は、その移動方向に対して直角にな
っている。ステージ１ｏに固定した２個のローラ２８に
よりガイドバーをはさんでガイドバー２７の移動をステ
ージ１０に伝える。
同様の構成が、上記と直角方向にも配置されている。こ
の構成によるとステージ１ｏがシータ駆動機構（図示せ
ず）により角度が変化してもＸ方向とＸ方向の干渉は生
じない。又、シータ方向の回転中心は常にステージ１ｏ
に対してほぼ一定の位置にあり（図に点６ｏにて示す。
の構成によるとステージ１ｏがシータ駆動機構（図示せ
ず）により角度が変化してもＸ方向とＸ方向の干渉は生
じない。又、シータ方向の回転中心は常にステージ１ｏ
に対してほぼ一定の位置にあり（図に点６ｏにて示す。
）従来と同様の方式でシータ方向の制御が可能である。
ステージ１０は４個の１．ゆう動部２９によりベース３
の平滑面に乗っており、面に垂直な方向には特に高い案
内精度を得ることができる。
の平滑面に乗っており、面に垂直な方向には特に高い案
内精度を得ることができる。
以上の構成によるとＸ方向、Ｙ方向及びシータ方向の駆
動機構を全てベースに固定した構造にできるのでステー
ジの移動部分の重量を小さくすることができるので高速
で高精度の位置決めを行なうことができる。ｆた駆動機
構のモータ等への配線等を固定することができるので配
線が容易で、金属配管による冷却等を行なうこともでき
、温度が安定して位置決め精度が向上する。
動機構を全てベースに固定した構造にできるのでステー
ジの移動部分の重量を小さくすることができるので高速
で高精度の位置決めを行なうことができる。ｆた駆動機
構のモータ等への配線等を固定することができるので配
線が容易で、金属配管による冷却等を行なうこともでき
、温度が安定して位置決め精度が向上する。
第１図は本発明の一実施例の位置決めステージを示す構
造図、第２図、第６図は第１図の部分詳細図、第４図、
第５図は従来の位置決めステージを示す構造図である。 ６・・・ベース ２・・・Ｘ方向駆動機構
５・・・Ｙ方向駆動機構 ７・・・回転方向駆動機構 １０・・・ステージ。 、７・−
造図、第２図、第６図は第１図の部分詳細図、第４図、
第５図は従来の位置決めステージを示す構造図である。 ６・・・ベース ２・・・Ｘ方向駆動機構
５・・・Ｙ方向駆動機構 ７・・・回転方向駆動機構 １０・・・ステージ。 、７・−
Claims (1)
- １、固定したベースとベースに設けた平面により案内さ
れたステージと、平面内の一方向にステージを駆動する
Ｘ方向駆動機構と、平面内でＸ方向と直角な方向にステ
ージを駆動するＹ方向駆動機構と、平面に垂直な方向の
軸を中心とする回転方向に駆動するシータ方向駆動機構
とよりなる位置決めステージにおいて、シータ方向駆動
機構がベースに固定され、ステージを角度伝達機構を介
して駆動することを特徴とする位置決めステージ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60237220A JPS6299038A (ja) | 1985-10-25 | 1985-10-25 | 位置決めステ−ジ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60237220A JPS6299038A (ja) | 1985-10-25 | 1985-10-25 | 位置決めステ−ジ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6299038A true JPS6299038A (ja) | 1987-05-08 |
| JPH0526618B2 JPH0526618B2 (ja) | 1993-04-16 |
Family
ID=17012159
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60237220A Granted JPS6299038A (ja) | 1985-10-25 | 1985-10-25 | 位置決めステ−ジ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6299038A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0226236U (ja) * | 1988-08-05 | 1990-02-21 | ||
| JPH0335950A (ja) * | 1989-06-30 | 1991-02-15 | Myotoku Kk | 移動テーブル装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59129636A (ja) * | 1983-01-10 | 1984-07-26 | Hitachi Ltd | ６自由度を有するステ−ジの制御装置 |
-
1985
- 1985-10-25 JP JP60237220A patent/JPS6299038A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59129636A (ja) * | 1983-01-10 | 1984-07-26 | Hitachi Ltd | ６自由度を有するステ−ジの制御装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0226236U (ja) * | 1988-08-05 | 1990-02-21 | ||
| JPH0335950A (ja) * | 1989-06-30 | 1991-02-15 | Myotoku Kk | 移動テーブル装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0526618B2 (ja) | 1993-04-16 |
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