CN114188268A - 晶圆夹持装置及晶圆转移系统 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种晶圆夹持装置及晶圆转移系统，其中晶圆夹持装置包括一对第一夹持件、一对第二夹持件及开合驱动机构，开合驱动机构选择性驱动一对第一夹持件及一对第二夹持件中的至少一者合拢或张开，各第一夹持件的第一夹持部具有交替设置的第一夹槽和第一避让槽，各第二夹持件的第二夹持部具有交替设置的第二夹槽和第二避让槽，第一夹槽和第二夹槽用于夹持晶圆，两个第一夹持部与两个第二夹持部分别对应设置，在相对应的第一夹持部和第二夹持部中，各第一避让槽对应于一个第二夹槽以用于避让该第二夹槽夹持的晶圆，各第二避让槽对应于一个第一夹槽以用于避让该第一夹槽夹持的晶圆。上述装置实现一次夹持两组晶圆，以缩短工作节拍，提高工作效率。

Description

晶圆夹持装置及晶圆转移系统

技术领域

本发明涉及半导体加工技术领域，具体地，涉及一种晶圆夹持装置及晶圆转移系统。

背景技术

随着电子信息技术产业的不断发展，芯片作为整个产业的基础，其需求量与日俱增。因此，如何在满足对芯片的品质要求的前提下积极有效地提高其生产效率已成为现如今亟待解决的重要问题。

目前，对于晶圆的加工处理工序为芯片生产过程中的重要一环。在晶圆的某些工序进行过程中，往往需要将晶圆由一个工位转移至另一个工位。例如，在晶圆进行氧化工艺时，需要将晶圆由平常存储用的晶圆盒(Cassette)中取出，并转移且存放在采用石英等耐高温材料制成的晶舟(Canoe)中，以便进行晶圆外层的氧化处理。

在进行上述操作时，一般先通过晶圆夹持装置对晶圆进行夹持，再控制晶圆夹持装置整体在晶圆盒所处工位与晶舟所处工位之间进行移动。然而，现有的晶圆夹持装置一次夹持晶圆的数量有限，通常一次只能夹持一组晶圆(例如单个晶圆盒中承载的25片晶圆)，待这一组晶圆完成转移后，晶圆夹持装置再由晶舟所处工位返回至晶圆盒所处工位进行下一组晶圆的转移操作，工作节拍较长，工作效率较低，难以实现高效运转，从而影响晶圆的生产效率。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种晶圆夹持装置及晶圆转移系统。

第一方面，本发明提供一种晶圆夹持装置，包括基板和设置在基板上的一对第一夹持件、一对第二夹持件以及开合驱动机构，一对第一夹持件和一对第二夹持件分别用于夹持两组晶圆，开合驱动机构能够选择性地驱动一对第一夹持件以及一对第二夹持件中的至少一者沿第一方向合拢或张开，其中，各第一夹持件均包括沿第二方向延伸的第一夹持部，第二方向垂直于第一方向，第一夹持部具有沿第二方向交替设置的多个第一夹槽和多个第一避让槽，当一对第一夹持件合拢时，两个第一夹持部上相对的第一夹槽共同用于夹持相应晶圆的边缘，各第二夹持件均包括沿第二方向延伸的第二夹持部，第二夹持部具有沿第二方向交替设置的多个第二夹槽和多个第二避让槽，当一对第二夹持件合拢时，两个第二夹持部上相对的第二夹槽共同用于夹持相应晶圆的边缘，两个第一夹持部与两个第二夹持部分别对应设置，在相对应的第一夹持部和第二夹持部中，各第一避让槽对应于一个第二夹槽以用于避让该第二夹槽夹持的晶圆，各第二避让槽对应于一个第一夹槽以用于避让该第一夹槽夹持的晶圆。

进一步地，相对应的第一夹持部与第二夹持部沿第三方向依次布置，其中，所述第三方向垂直于所述第一方向与所述第二方向所在的平面，当一对第一夹持件和一对第二夹持件均合拢时，两个第一夹持部夹持的晶圆与两个第二夹持部夹持的晶圆在第二方向上重合。

进一步地，各第一夹持件还包括第一支撑部，第一支撑部的一端与开合驱动机构驱动连接，另一端与第一夹持部呈角度连接，各第二夹持件还包括第二支撑部，第二支撑部的一端与开合驱动机构驱动连接，另一端与第二夹持部呈角度连接，其中，在第一方向上，第一支撑部位于第二支撑部的外侧，且在第三方向上，第二夹持部位于第一夹持部背离第一支撑部的一侧。

进一步地，第一夹槽和第二夹槽均包括夹持槽部和导向槽部，导向槽部与夹持槽部连通，且导向槽部背离夹持槽部的一侧具有开口，其中，夹持槽部包括两个相向倾斜的夹持槽壁，导向槽部包括两个相向倾斜的导向槽壁，两个夹持槽壁之间形成的夹角小于两个导向槽壁之间形成的夹角，以使由开口进入的晶圆在通过导向槽部导向后，能够进入并被夹持在夹持槽部内；和/或，第一避让槽的横截面和第二避让槽的横截面呈矩形、梯形、三角形中的一种。

进一步地，开合驱动机构包括第一开合驱动机构和第二开合驱动机构，其中，第一开合驱动机构包括第一旋转电机和第一传动结构，第一传动结构连接在第一旋转电机与第一夹持件之间，且能够将第一旋转电机输出的转动运动转换为第一夹持件沿第一方向的直线移动；第二开合驱动机构包括第二旋转电机和第二传动结构，第二传动结构连接在第二旋转电机与第二夹持件之间，且能够将第二旋转电机输出的转动运动转换为第二夹持件沿第一方向的直线移动。

进一步地，第一开合驱动机构能够驱动一对第一夹持件同步进行相向或相背移动；第二开合驱动机构能够驱动一对第二夹持件同步进行相向或相背移动。

进一步地，第一传动结构包括两个第一丝杠和分别套设在两个第一丝杠上的两个第一丝母，两个第一丝杠相互连接且与第一旋转电机驱动连接，两个第一丝母分别与一对第一夹持件连接，两个第一丝杠上的螺纹方向相反，以使第一旋转电机带动两个第一丝杠转动时能够驱动两个第一丝母及其对应的第一夹持件同步进行相向或相背移动；第二传动结构包括两个第二丝杠和分别套设在两个第二丝杠上的两个第二丝母，两个第二丝杠相互连接且与第二旋转电机驱动连接，两个第二丝母分别与一对第二夹持件连接，两个第二丝杠上的螺纹方向相反，以使第二旋转电机带动两个第二丝杠转动时能够驱动两个第二丝母及其对应的第二夹持件同步进行相向或相背移动。

进一步地，还包括移动辅助机构，移动辅助机构包括导向部和两对滑动部，导向部沿第一方向延伸且固定于基板上，两对滑动部均可滑动地设置在导向部上，两对滑动部中的一对分别与一对第一夹持件固定连接，两对滑动部中的另一对分别与一对第二夹持件固定连接。

进一步地，移动辅助机构为多个，多个移动辅助机构沿垂直于第一方向的方向间隔设置，其中，多个移动辅助机构中的至少两个相互对称地设置在开合驱动机构的两侧。

第二方面，本发明还提供一种晶圆转移系统，包括晶圆夹持装置和转移驱动机构，晶圆夹持装置为上述的晶圆夹持装置，转移驱动机构用于驱动晶圆夹持装置在第一工位与第二工位之间进行运动。

本发明具有以下有益效果：

本发明提供的上述开合驱动机构可独立驱动一对第一夹持件和一对第二夹持件进行合拢或张开，这为一对第一夹持件和一对第二夹持件分别夹持两组晶圆提供了有利条件。基于此，当驱动一对第一夹持件进行合拢时，通过两个第一夹持部上的第一夹槽共同夹持第一组晶圆；当驱动一对第二夹持件进行合拢时，通过两个第二夹持部上的第二夹槽共同夹持第二组晶圆。此外，为了减小两组晶圆被夹持后整体所占空间，将被夹持后的两组晶圆排布方式设计为交替排布，即第二组晶圆中各个晶圆穿插在第一组晶圆中相邻的晶圆之间。为了实现此种排布方式，在第一夹持部和第二夹持部上分别设置第一避让槽和第二避让槽，第一避让槽用于避让相对应的第二夹槽夹持的晶圆，使该晶圆能够在第一避让槽处通过；第二避让槽用于避让相对应的第一夹槽夹持的晶圆，使该晶圆能够在第二避让槽处通过。

因此，上述晶圆夹持装置能够实现一次夹持两组晶圆，有效地提高一次夹持晶圆的数量，实现同时完成两组晶圆的转移(例如由晶圆盒转移至晶舟内)，从而有效地缩短工作节拍，提高工作效率，有利于实现高效运转，进而提高晶圆的生产效率。

附图说明

图1为现有的晶圆夹持装置的第一夹杆和第二夹杆处于张开状态时的结构示意图；

图2为图1的晶圆夹持装置的第一夹杆和第二夹杆处于合拢状态时的结构示意图；

图3为根据本发明的一个实施例的晶圆夹持装置的结构示意图；

图4为图3的晶圆夹持装置的侧视示意图；

图5为图3的晶圆夹持装置的俯视示意图；

图6为图3的晶圆夹持装置的第一夹持部和第二夹持部的立体结构示意图；

图7为图6的晶圆夹持装置的第一夹持部和第二夹持部的局部剖视示意图；

图8为图6的第一夹持部的第一夹槽、第一避让槽与第二夹持部的第二夹槽、第二避让槽的结构示意图；

图9为图8的第一夹槽、第一避让槽、第二夹槽及第二避让槽的位置关系示意图；

图10为图3的晶圆夹持装置的第一夹持件和第二夹持件的结构示意图；

图11为图3的晶圆夹持装置的第一开合驱动机构的结构示意图；

图12为图3的晶圆夹持装置的移动辅助机构的结构示意图；

图13为图3的晶圆夹持装置的一对第一夹持件和一对第二夹持件均合拢时的结构示意图；

图14为图13的晶圆夹持装置的第一夹持部、第二夹持部以及晶圆的立体结构示意图；

图15为图14的晶圆夹持装置的第一夹持部和第二夹持部的局部剖视示意图；

图16为图3的晶圆夹持装置的一对第一夹持件合拢且一对第二夹持件张开时的结构示意图；

图17为图16的晶圆夹持装置的第一夹持部、第二夹持部以及晶圆的立体结构示意图；

图18为图17的晶圆夹持装置的第一夹持部和第二夹持部的局部剖视示意图；

图19为图3的晶圆夹持装置的一对第一夹持件张开且一对第二夹持件合拢时的结构示意图；

图20为图19的晶圆夹持装置的第一夹持部、第二夹持部以及晶圆的立体结构示意图；

图21为图20的晶圆夹持装置的第一夹持部和第二夹持部的局部剖视示意图。

具体实施方式

为使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图来对现有的晶圆夹持装置和本发明提供的晶圆夹持装置及晶圆转移系统进行详细描述。

如图1和图2所示，现有的晶圆夹持装置包括基板1、第一夹杆2-1、第二夹杆2-2、第一连杆3-1、第二连杆3-2、驱动气缸4以及气缸连接头5。驱动气缸4通过安装板7固定连接在基板1上，驱动气缸4的伸出端与气缸连接头5固定连接。

第一夹杆2-1在A点处与基板1进行连接，且第一夹杆2-1能够以A点为中心相对于基板1进行转动。第一夹杆2-1的顶端安装有第一齿形板6-1，第一夹杆2-1的底端与第一连杆3-1的一端在C点处进行转动连接，即第一连杆3-1能够以C点为中心相对于第一夹杆2-1进行转动。第一连杆3-1的另一端与气缸连接头5上的长槽孔相配合，具体地，第一连杆3-1的上述端部具有一凸出部，该凸出部插入至长槽孔中，并能够沿长槽孔的延伸方向进行滑动。

第二夹杆2-2在B点处与基板1进行连接，且第二夹杆2-2能够以B点为中心相对于基板1进行转动。第二夹杆2-2的顶端安装有第二齿形板6-2，第二夹杆2-2的底端与第二连杆3-2的一端在E点处进行转动连接，即第二连杆3-2能够以E点为中心相对于第二夹杆2-2进行转动。第二连杆3-2的另一端与气缸连接头5上的长槽孔相配合，具体地，第二连杆3-2的上述端部具有一凸出部，该凸出部插入至长槽孔中，并能够沿长槽孔的延伸方向进行滑动。

在图1示出的晶圆夹持装置中，第一夹杆2-1和第二夹杆2-2处于相对张开的张开状态。此时，可控制驱动气缸4的伸出端伸出，以驱动第一夹杆2-1和第二夹杆2-2进行合拢。具体地，如图2所示，驱动气缸4的伸出端伸出，从而带动气缸连接头5按照①号箭头方向移动，在此过程中，气缸连接头5通过长槽孔与第一连杆3-1、第二连杆3-2的配合带动两者分别移动。随后，第一连杆3-1在C点处推动第一夹杆2-1的底端按照②号箭头方向移动，且基于杠杆原理，第一夹杆2-1以A点为支点进行移动，从而实现第一夹杆2-1顶端的第一齿形板6-1按照④号箭头方向移动；第二连杆3-2在E点处推动第二夹杆2-2的底端按照③号箭头方向移动，且基于杠杆原理，第二夹杆2-2以B点为支点进行移动，从而实现第二夹杆2-2顶端的第二齿形板6-2按照⑤号箭头方向移动。此时，第一夹杆2-1和第二夹杆2-2进行合拢(即处于合拢状态)，从而实现对晶圆的共同支撑，进而最终实现对晶圆的夹持。上述晶圆夹持装置带动晶圆转移至所需工位(例如晶舟所处工位)后应松开晶圆，该松开晶圆的过程为夹持晶圆的逆过程，在此不再赘述。

上述现有的晶圆夹持装置仅具有一组夹杆(即第一夹杆2-1和第二夹杆2-2)，一次夹持晶圆的数量有限，通常一次只能夹持一组晶圆(例如，单个晶圆盒中承载的25片晶圆)，待这一组晶圆完成转移后，晶圆夹持装置再返回至原始工位(例如，将一组晶圆由晶圆盒中取出并转移且存放在晶舟中，此后晶圆夹持装置再由晶舟所处工位返回至晶圆盒所处工位)进行下一组晶圆的转移操作，工作节拍较长，工作效率较低，难以实现高效运转，从而影响晶圆的生产效率。

此外，上述现有的晶圆夹持装置还存在以下缺点：

第一夹杆2-1和第二夹杆2-2采用的驱动方式为通过驱动气缸4驱动，当驱动气缸4动作时容易发生震动，从而导致对晶圆进行夹持或松开时第一夹杆2-1和第二夹杆2-2容易发生震动，进而导致夹持晶圆不稳；

第一夹杆2-1和第二夹杆2-2的尺寸较长，但是第一夹杆2-1和第二夹杆2-2分别仅在A点和B点处与基板1进行直接连接，这样容易导致第一夹杆2-1和第二夹杆2-2在移动时发生晃动，从而导致夹持晶圆不稳；

气缸连接头5通过长槽孔对第一连杆3-1和第二连杆3-2进行约束，第一连杆3-1和第二连杆3-2与长槽孔配合位置之间不是锁死的，均具有一定晃动量。因此，当夹持晶圆后，第一夹杆2-1和第二夹杆2-2在晶圆200重力作用下容易分开一定角度，从而导致晶圆出现下移，晶圆的夹持位置不准确，不利于后续晶圆的存放操作，并且会带来晶圆坠落的风险。

无论夹持晶圆不稳还是晶圆的夹持位置不准确，均容易导致晶圆表面发生磕碰、划痕等损坏，晶圆存在坠落风险甚至会导致晶圆严重损坏，这些都无法保证晶圆的良品率。

另外，采用连杆(即第一连杆3-1和第二连杆3-2)及杠杆(即第一夹杆2-1和第二夹杆2-2)的传动形式，占用空间大，传动部件多且相互之间缝隙较大，传动效率较低。

为了至少解决现有的晶圆夹持装置存在的上述问题之一，本发明提供了一种晶圆夹持装置，该晶圆夹持装置用于对晶圆进行夹持，其应用场景并不作限定，可以为任何需要对晶圆进行夹持的场景。例如，在晶圆进行氧化工艺时，通过上述晶圆夹持装置将晶圆由平常存储用的晶圆盒中取出，并转移且存放在采用石英等耐高温材料制成的晶舟中，以便进行晶圆外层的氧化处理。

如图3至图9以及图13至图21所示，在一些实施例中，晶圆夹持装置包括基板10和设置在基板10上的一对第一夹持件20、一对第二夹持件30以及开合驱动机构。一对第一夹持件20和一对第二夹持件30分别用于夹持两组晶圆200(例如一对第一夹持件20用于夹持第一组晶圆200a，一对第二夹持件30用于夹持第二组晶圆200b)。为了便于对于对晶圆200的夹持操作和装置的使用灵活性，将开合驱动机构设计为能够选择性地驱动一对第一夹持件20以及一对第二夹持件30中的至少一者沿第一方向合拢或张开，从而实现对两组晶圆200的夹持或松开。其中，“第一方向”可看作是待夹持的晶圆200的径向方向，即图6中示出的直角坐标系中X轴延伸方向。

在图3至图7示出的晶圆夹持装置中，一对第一夹持件20和一对第二夹持件30均沿第一方向张开，图中晶圆200与第一夹持件20和第二夹持件30并未接触，仅为了示出待夹持的晶圆200与第一夹持件20、第二夹持件30之间的位置关系。在图13至图15示出的晶圆夹持装置中，一对第一夹持件20和一对第二夹持件30均沿第一方向合拢且夹持在相应的晶圆200的边缘。在图16至图18示出的晶圆夹持装置中，一对第一夹持件20沿第一方向合拢且夹持在相应的晶圆200的边缘，一对第二夹持件30沿第一方向张开。在图19至图21示出的晶圆夹持装置中，一对第一夹持件20沿第一方向张开，一对第二夹持件30沿第一方向合拢且夹持在相应的晶圆200的边缘。

进一步地，各第一夹持件20均包括沿第二方向延伸的第一夹持部21，第二方向垂直于第一方向。其中，“第二方向”可看作是每组待夹持的晶圆200的排布方向，即图6中示出的直角坐标系中Y轴延伸方向。如图8和图9所示，第一夹持部21具有沿其延伸方向(即第二方向)交替设置的多个第一夹槽211和多个第一避让槽212。其中，“交替设置”指的是：多个第一夹槽211和多个第一避让槽212均沿同一方向间隔设置，且每相邻的第一夹槽211之间均设有一个第一避让槽212、每相邻的第一避让槽212之间均设有一个第一夹槽211。

第一夹槽211用于在一对第一夹持件20合拢时与待夹持的晶圆200的边缘接触配合。也就是说，当一对第一夹持件20合拢时，两个第一夹持部21上相对的第一夹槽211共同用于夹持相应晶圆200的边缘。多个第一夹槽211中，相邻的第一夹槽211之间的间距L1应与待夹持的第一组晶圆200a中相邻的晶圆200a之间的间距相同。

各第二夹持件30均包括沿第二方向延伸的第二夹持部31。如图8和图9所示，第二夹持部31具有沿其延伸方向(即第二方向)交替设置的多个第二夹槽311和多个第二避让槽312。其中，“交替设置”指的是：多个第二夹槽311和多个第二避让槽312均沿同一方向间隔设置，且每相邻的第二夹槽311之间均设有一个第二避让槽312、每相邻的第二避让槽312之间均设有一个第二夹槽311。

第二夹槽311用于在一对第二夹持件30合拢时与待夹持的晶圆200的边缘接触配合。也就是说，当一对第二夹持件30合拢时，两个第二夹持部31上相对的第二夹槽311共同用于夹持相应晶圆200的边缘。多个第二夹槽311中，相邻的第二夹槽311之间的间距L2应与待夹持的第二组晶圆200b中相邻的晶圆200b之间的间距相同。

两个第一夹持部21与两个第二夹持部31分别对应设置。如果在两个第一夹持部21之间设一中心基准线，一个第一夹持部21与一个第二夹持部31位于该中心基准线的一侧，另一个第一夹持部21与另一个第二夹持部31位于该中心基准线的另一侧。如图8和图9所示，在相对应的第一夹持部21和第二夹持部31(即位于同一侧的第一夹持部21和第二夹持部31)中，各第一避让槽212均对应于一个第二夹槽311以用于避让该第二夹槽311夹持的晶圆200b，使该晶圆200b能够在第一避让槽212处通过；各第二避让槽312对应于一个第一夹槽211以用于避让该第一夹槽211夹持的晶圆200a，使该晶圆200a能够在第二避让槽312处通过。

上述开合驱动机构可独立驱动一对第一夹持件20和一对第二夹持件30进行合拢或张开，这为一对第一夹持件20和一对第二夹持件30分别夹持两组晶圆200提供了有利条件。基于此，当驱动一对第一夹持件20进行合拢时，通过两个第一夹持部21上的第一夹槽211共同夹持第一组晶圆200a；当驱动一对第二夹持件30进行合拢时，通过两个第二夹持部31上的第二夹槽311共同夹持第二组晶圆200b。此外，为了减小两组晶圆200被夹持后整体所占空间，将被夹持后的两组晶圆200排布方式设计为交替排布，即第二组晶圆200b中各个晶圆200b穿插在第一组晶圆200a中相邻的晶圆200a之间。为了实现此种排布方式，在第一夹持部21和第二夹持部31上分别设置第一避让槽212和第二避让槽312，第一避让槽212用于避让相对应的第二夹槽311夹持的晶圆200b，使该晶圆200b能够在第一避让槽212处通过；第二避让槽312用于避让相对应的第一夹槽211夹持的晶圆200a，使该晶圆200a能够在第二避让槽312处通过。

因此，上述晶圆夹持装置能够实现一次夹持两组晶圆200，有效地提高一次夹持晶圆200的数量，实现同时完成两组晶圆200的转移(例如由晶圆盒转移至晶舟内)，从而有效地缩短工作节拍，提高工作效率，有利于实现高效运转，进而提高晶圆的生产效率。

需要说明的是，一般情况下，在未被夹持之前，第一组晶圆200a和第二组晶圆200b之间相互不干涉，例如第一组晶圆200a和第二组晶圆200b分别被储存在不同的晶圆盒中。此时，上述晶圆夹持装置夹持第一组晶圆200a和第二组晶圆200b时是分步进行的。例如，晶圆夹持装置先移动至储存第一组晶圆200a的晶圆盒所处工位，开合驱动机构驱动一对第一夹持件20进行合拢以夹持第一组晶圆200a。此后，晶圆夹持装置再移动至储存第二组晶圆200b的晶圆盒所处工位，开合驱动机构驱动一对第二夹持件30进行合拢以夹持第二组晶圆200b。最后，再将同时夹持有第一组晶圆200a和第二组晶圆200b的晶圆夹持装置移动至晶舟所处工位进行存放。

在向晶舟内存放第一组晶圆200a和第二组晶圆200b的过程中，同样地，如果晶舟中承载第一组晶圆200a和第二组晶圆200b的区域相互不干涉，例如最为常见的情况：晶舟能够承载50片晶圆，每个晶圆盒中储存25片晶圆，将两个晶圆盒中的两组25片晶圆存放在同一个晶舟内，则上述晶圆夹持装置松开第一组晶圆200a和第二组晶圆200b时也是分步进行的。例如，晶圆夹持装置先移动至晶舟上存放第一组晶圆200a的区域，开合驱动机构驱动一对第一夹持件20进行张开以松开第一组晶圆200a。此后，晶圆夹持装置再移动至晶舟上存放第二组晶圆200b的区域，开合驱动机构驱动一对第二夹持件30进行张开以松开第二组晶圆200b。

当然，仍然不排除一些特殊情况，例如，在未被夹持之前，第一组晶圆200a和第二组晶圆200b之间是交替排布的，即第二组晶圆200b中各个晶圆200b穿插在第一组晶圆200a中相邻的晶圆200a之间。此时，上述晶圆夹持装置夹持第一组晶圆200a和第二组晶圆200b时可以是同步进行的，即通过开合驱动机构同时驱动一对第一夹持件20和一对第二夹持件30进行合拢以同步夹持相应的晶圆。同样地，如果晶舟中承载第一组晶圆200a和第二组晶圆200b的各个晶圆的承载槽也是相互交替的，上述晶圆夹持装置松开第一组晶圆200a和第二组晶圆200b时也可以是同步进行的，即通过开合驱动机构同时驱动一对第一夹持件20和一对第二夹持件30进行张开以同步松开相应的晶圆。

如图3、图4、图6至图10以及图13至图21所示，在一些实施例中，相对应的第一夹持部21与第二夹持部31沿第三方向依次布置，第三方向垂直于第一方向与第二方向所在的平面。其中，“第三方向”为图6中示出的直角坐标系中Z轴延伸方向。此时，第一夹持部21与第二夹持部31之间不会相互干渉，第一夹持部21上的各第一避让槽212与一个第二夹槽311在第三方向上对齐，第二夹持部31上的各第二避让槽312与一个第一夹槽211在第三方向上对齐(见图8和图9)。此外，如图13至图15所示，当一对第一夹持件20和一对第二夹持件30均合拢时，两个第一夹持部21夹持的晶圆200a与两个第二夹持部31夹持的晶圆200b在第二方向上重合。具体地，晶圆200a与晶圆200b的尺寸相同，第一夹槽211与晶圆200a的边缘接触位置是晶圆200a的边缘相对偏下的位置，第二夹槽311与晶圆200b的边缘接触位置是晶圆200b的边缘相对偏上的位置，经过对上述接触位置的合理设计便能够实现一对第一夹持件20和一对第二夹持件30同时夹持第一组晶圆200a和第二组晶圆200b时，保证所有晶圆排布一致性，例如保证所有晶圆高度的一致性，从而便于后续的存放等操作，且能够避免排布与其它晶圆不一致的晶圆(例如该晶圆沿径向凸出于其它晶圆)遭到磕碰而发生损坏。

需要说明的是，相对应的第一夹持部21与第二夹持部31之间的设置方式不限于此，在图中未示出的其它实施例中，第一夹持部21与第二夹持部31也可以位于同一平面内，此时第一夹槽211与晶圆200a的边缘接触位置与第二夹槽311与晶圆200b的边缘接触位置基本相同。虽然上述第一夹持部21与第二夹持部31的设置方式理论上能够实现，但是由于第一夹持部21和第二夹持部31处于同一平面内，为了防止两者在移动时发生干涉，需要将第一夹持部21和第二夹持部31的结构进行特殊设计，例如将第一夹持部21上设有第一夹槽211的部位形成的齿部穿插在第二夹持部31的第二避让槽312中，第二夹持部31上设有第二夹槽311的部位形成的齿部穿插在第一夹持部21的第一避让槽212中；也可看作是将图8中示出的第二夹槽311及其周围形成的齿部下移至穿插入第一避让槽212。很显然，此种结构较为复杂。

与之相比，图中示出的实施例中，第一夹持部21与第二夹持部31沿第三方向依次布置，此时第一夹持部21、第二夹持部31在不同的平面内进行合拢或张开，能够有效地避免两者之间发生干涉，且结构更为简单。

如图3至图7、图10以及图13至图21所示，在一些实施例中，各第一夹持件20还包括第一支撑部22，第一支撑部22的一端与开合驱动机构驱动连接，另一端与第一夹持部21呈角度连接。各第二夹持件30还包括第二支撑部32，第二支撑部32的一端与开合驱动机构驱动连接，另一端与第二夹持部31呈角度连接。优选地，第一支撑部22与第一夹持部21之间相互垂直，第二支撑部32与第二夹持部31之间相互垂直，第一支撑部22、第二支撑部32、第一夹持部21、第二夹持部31均呈杆状。两个第一夹持部21围成的空间用于容置晶圆200a，两个第二夹持部31围成的空间用于容置晶圆200b，这两个空间相互重合。

进一步地，针对相对应的第一夹持部21与第二夹持部31，在第一方向上，第一支撑部22位于第二支撑部32的外侧，且在第三方向上，第二夹持部31位于第一夹持部21背离第一支撑部22的一侧。当然，可以理解地，在第一方向上第一支撑部22与第二支撑部32之间的位置关系、在第三方向上第二夹持部31与第一夹持部21之间的位置关系并不限于此。在图中未示出的其它实施例中，在第一方向上，第一支撑部22也可以位于第二支撑部32的内侧；第三方向上，第二夹持部31也可以位于第一夹持部21朝向第一支撑部22的一侧。需要注意的是，无论第一夹持部21、第二夹持部31、第一支撑部22、第二支撑部32如何进行设置，只要能够保证移动时相互之间不发生干涉且最终能够实现对晶圆的夹持和松开功能即可。

如图8和图9所示，在一些实施例中，第一夹槽211和第二夹槽311均包括夹持槽部和导向槽部，导向槽部与夹持槽部连通，且导向槽部背离夹持槽部的一侧具有开口。以第一夹槽211为例，夹持槽部包括两个相向倾斜的夹持槽壁2111，导向槽部包括两个相向倾斜的导向槽壁2112，两个夹持槽壁2111之间形成的夹角小于两个导向槽壁2112之间形成的夹角，以使由开口进入的晶圆200a在通过导向槽部导向后能够顺利地进入并被夹持在夹持槽部内，从而有利于对晶圆200a的夹持操作。优选地，两个夹持槽壁2111与晶圆200a的边缘之间为线接触，从而使对晶圆200a的夹持更为稳定。第二夹槽311中夹持槽部和导向槽部的具体结构与第一夹槽211相同，在此不再赘述。另外，在一些实施例中，第一避让槽212的横截面和第二避让槽312的横截面可呈矩形、梯形、三角形等便于加工制造的形状。优选地，第一避让槽212的横截面和第二避让槽312的横截面呈矩形。

如图3、图11、图13、图16以及图19所示，在一些实施例中，开合驱动机构包括第一开合驱动机构41和第二开合驱动机构42，通过第一开合驱动机构41和第二开合驱动机构42分别驱动一对第一夹持件20和一对第二夹持件30进行移动以实现合拢或张开。

其中，第一开合驱动机构41包括第一旋转电机411和第一传动结构，第一传动结构连接在第一旋转电机411与第一夹持件20之间，且能够将第一旋转电机411输出的转动运动转换为第一夹持件20沿第一方向的直线移动。第二开合驱动机构42包括第二旋转电机421和第二传动结构，第二传动结构连接在第二旋转电机421与第二夹持件30之间，且能够将第二旋转电机421输出的转动运动转换为第二夹持件30沿第一方向的直线移动。

相比于现有的晶圆夹持装置采用气缸驱动的驱动方式，采用第一旋转电机411和第二旋转电机421作为驱动源，更加平稳可靠，能够有效地避免在对晶圆200a和晶圆200b进行夹持或松开时发生震动，从而提高夹持稳定性，进而避免晶圆表面发生磕碰、划痕等损坏，保证晶圆的良品率。

进一步地，在一些实施例中，第一开合驱动机构41能够驱动一对第一夹持件20同步进行相向或相背移动；第二开合驱动机构42能够驱动一对第二夹持件30同步进行相向或相背移动。上述驱动一对第一夹持件20同步进行移动以实现合拢或张开、驱动一对第二夹持件30同步进行移动以实现合拢或张开的方式，这样能够保证一对第一夹持件20/一对第二夹持件30能够同时与晶圆的边缘接触或分离，更加便于夹持或松开操作，另外，一对第一夹持件20/一对第二夹持件30合拢时最终的停止位置更容易确定，从而有利于夹持晶圆的准确性。当然，可以理解地，在图中未示出的其它实施例中，一对第一夹持件20和/或一对第二夹持件30也可以不同步进行移动，此时对于合拢时最终的停止位置可以根据实际需要(例如待夹持晶圆的具体位置)进行确定，使用更为灵活。

需要注意的是，上述第一传动结构和第二传动结构的具体形式并不作限定，可以为任何能够实现将转动转换为直线移动的传动结构。

具体地，如图3、图11、图13、图16以及图19所示，在一些实施例中，第一传动结构包括两个第一丝杠412和分别套设在两个第一丝杠412上的两个第一丝母413。两个第一丝杠412相互连接且与第一旋转电机411驱动连接。两个第一丝母413分别与一对第一夹持件20连接。两个第一丝杠412上的螺纹方向相反，以使第一旋转电机411带动两个第一丝杠412转动时能够驱动两个第一丝母413及其对应的第一夹持件20同步进行相向或相背移动。第二传动结构包括两个第二丝杠422和分别套设在两个第二丝杠422上的两个第二丝母423。两个第二丝杠422相互连接且与第二旋转电机421驱动连接，两个第二丝母423分别与一对第二夹持件30连接。两个第二丝杠422上的螺纹方向相反，以使第二旋转电机421带动两个第二丝杠422转动时能够驱动两个第二丝母423及其对应的第二夹持件30同步进行相向或相背移动。优选地，上述第一丝杠412和第一丝母413以及第二丝杠422和第二丝母423均采用滚珠丝杠结构。

相比于现有的晶圆夹持装置采用连杆和杠杆的传动形式，采用丝杠和丝母的传动方式，能够有效地减小摩擦，能够保持高精度传动，且传动效率更高，从而有利于进一步缩短工作节拍。另外，相比于连杆和杠杆的传动形式，采用丝杠和丝母带动两对夹持件移动的方式更加节省占用空间。

需要说明的是，在图中未示出的其它实施例中，第一传动结构和第二传动结构也可以采用其它能够实现转动转换为直线移动的结构，例如采用齿轮与齿条相配合，此时可采用两个驱动电机分别与两组齿轮齿条进行配合，以实现驱动一对夹持件进行同步移动。另外，在另一些实施例中，也可以直接采用直线电机驱动第一夹持件20和第二夹持件30进行移动，此时不需要设置中间传动结构，直线电机的具体数量可以根据第一夹持件20和第二夹持件30的驱动需要进行合理设计。

下面将以第一开合驱动机构41为例对具体结构进行详细说明。

如图3、图10以及图11所示，第一开合驱动机构41还包括两个固定端支撑座414和两个浮动端支撑座415，每个第一丝杠412的两端分别可转动地设置在其中一个固定端支撑座414和其中一个浮动端支撑座415上。固定端支撑座414内设有一对角接触轴承作为第一丝杠412端部的旋转支撑，使用轴向限位件(例如孔挡轴环和压环)固定这对角接触轴承，使其内圈与第一丝杠412的端部固定连接且防止角接触轴承相对于固定端支撑座414沿轴向发生窜动。浮动端支撑座415内设有一个深沟球轴承作为第一丝杠412的端部的旋转支撑，第一丝杠412的端部与深沟球轴承的内圈固定连接，而在深沟球轴承的两侧不进行轴向限位，从而使深沟球轴承可相对于浮动端支撑座415进行轴向位置调整，进而便于第一丝杠412的该端部沿轴向进行浮动。

两个第一丝杠412中的一个(图11中位于左侧的第一丝杠412)为特制的左旋丝杠。左旋丝杠的一端留有螺纹，用于把左旋丝杠锁紧在固定端支撑座414内角接触轴承的内圈上。左旋丝杠的另一端留有一段光轴，光轴上加工有轴挡卡槽，用于压紧浮动端支撑座415内深沟球轴承的内圈，从而使左旋丝杠与深沟球轴承的内圈固定，并且在轴挡卡槽后留有一定长度，用于安装轴间连接块。左旋丝杠上套设的第一丝母413为左旋丝母，左旋丝母与左旋丝杠配合使用。

两个第一丝杠412中的另一个(图11中位于右侧的第一丝杠412)为特制的右旋丝杠。右旋丝杠的一端留有螺纹，用于把右旋丝杠锁紧在固定端支撑座414内角接触轴承的内圈上。右旋丝杠的另一端留有一段光轴，光轴上加工有轴挡卡槽，用于压紧浮动端支撑座415内深沟球轴承的内圈，从而使右旋丝杠与深沟球轴承的内圈固定，并且在轴挡卡槽后留有一定长度，用于安装轴间连接块。右旋丝杠上套设的第一丝母413为右旋丝母，右旋丝母与右旋丝杠配合使用。

左旋丝杠与右旋丝杠通过轴间连接块连接并用螺钉锁紧，从而保证在高速转动时左旋丝杠与右旋丝杠之间没有相对转动，两者能够保持高效一致，从而更好地传递扭矩。另外，右旋丝杠与第一旋转电机411的输出轴之间通过驱动连接块进行连接并用螺钉锁紧，从而保证第一旋转电机411转动时能够有效带动右旋丝杠和左旋丝杠同步转动。由于左旋丝杠和右旋丝杠的螺旋旋转方向相反，这样就实现了在第一旋转电机411转动时，左旋丝母和右旋丝母同时相向移动或者同时相背移动。

如图3、图12、图13、图16以及图19所示，在一些实施例中，晶圆夹持装置还包括移动辅助机构50。移动辅助机构50包括导向部51和两对滑动部52，导向部51沿第一方向延伸且固定于基板10上，两对滑动部52均可滑动地设置在导向部51上。两对滑动部52中的一对分别与一对第一夹持件20固定连接，两对滑动部52中的另一对分别与一对第二夹持件30固定连接。

当通过开合驱动机构驱动一对第一夹持件20和/或一对第二夹持件30沿第一方向移动时，上述各个滑动部52会随着相应的第一夹持件20或第二夹持件30一同进行移动，且各个滑动部52在移动时会沿着各自的导向部51进行滑动，因此，各个滑动部52能够对相应的第一夹持件20或第二夹持件30起到移动过程中的辅助支撑限位作用及一定的移动导向作用，从而防止第一夹持件20、第二夹持件30在移动时发生晃动，提高第一夹持件20、第二夹持件30的移动稳定性，进而有利于提高晶圆的夹持稳定性，避免晶圆表面发生磕碰、划痕等损坏，保证晶圆的良品率。

需要说明的是，导向部51和滑动部52的具体形式并不作限定，可以为任何能够实现相对滑动的结构，例如，导向部51可以为固定设置在基板10上的直线导轨，滑动部52可以为可滑动地设置在直线导轨上的滑块；或者，导向部51可以为形成在基板10上的直线滑道，滑动部52可以包括固定板和设置在固定板朝向基板10一侧上的滑轮，滑轮嵌入至滑道内并可沿滑道进行滑动，固定板与第一夹持件20或第二夹持件30固定连接。

特别地，在一些实施例中，移动辅助机构50为多个，在基板10上，多个移动辅助机构50沿垂直于第一方向的方向间隔设置。每个第一夹持件20和每个第二夹持件30与多个移动辅助机构50中的相应的滑动部52均进行固定连接。通过多个移动辅助机构50对每个第一夹持件20和每个第二夹持件30进行移动过程中的辅助支撑限位，从而进一步地提高第一夹持件20、第二夹持件30的移动稳定性。另外，每个第一夹持件20同时与多个移动辅助机构50中相应的滑动部52、第一开合驱动机构41中的第一丝母413进行固定连接，每个第二夹持件30同时与多个移动辅助机构50中相应的滑动部52、第二开合驱动机构42中的第二丝母423进行固定连接，也就是说，每个第一夹持件20和每个第二夹持件30均与多个移动辅助机构50和相应的开合驱动机构紧密配合，这样能够进一步保证第一夹持件20、第二夹持件30在移动时不会发生晃动，提高第一夹持件20、第二夹持件30的移动稳定性；另外，当一对第一夹持件20和一对第二夹持件30夹持住相应的晶圆后，一对第一夹持件20之间和一对第二夹持件30之间的位置不会由于晶圆的重力影响而发生变化，从而有效地避免晶圆出现下移现象，晶圆的夹持位置较为准确，有利于后续晶圆的存放操作，并且不会存在晶圆坠落的风险，进而保证晶圆的良品率。

优选地，在多个移动辅助机构50中，存在至少两个相互对称地设置在开合驱动机构的两侧，例如，至少两个移动辅助机构50相互对称地设置在第一开合驱动机构41和第二开合驱动机构42整体的两侧，这样能够使移动辅助机构50为一对第一夹持件20和一对第二夹持件30提供的辅助支撑力更加均匀对称，从而确保支撑稳固，进一步提高一对第一夹持件20和一对第二夹持件30的移动稳定性。在图3、图13、图16以及图19示出的具体实施例中，移动辅助机构50为两个，两个移动辅助机构50相互对称地设置在第一开合驱动机构41和第二开合驱动机构42整体的两侧，这样可以在起到提供均匀的辅助支撑力的同时，更加节省占用空间。

当然，移动辅助机构50的数量不限于此，在图中未示出的其它实施例中，移动辅助机构50也可以设计为三个、四个等。当移动辅助机构50为三个时，其中两个移动辅助机构50相互对称地设置在第一开合驱动机构41和第二开合驱动机构42整体的两侧，另一个移动辅助机构50可以设置在第一开合驱动机构41和第二开合驱动机构42之间的正中央位置。当移动辅助机构50为四个时，其中两个移动辅助机构50设置在第一开合驱动机构41和第二开合驱动机构42整体的一侧，另外两个移动辅助机构50与之对称地设置在第一开合驱动机构41和第二开合驱动机构42整体的另一侧；或者，其中两个移动辅助机构50相互对称地设置在第一开合驱动机构41和第二开合驱动机构42整体的两侧，另外两个移动辅助机构50可以设置在第一开合驱动机构41和第二开合驱动机构42之间。

在图3、图10、图13、图16以及图19示出的具体实施例中，在一对第一夹持件20中，每个第一夹持件20的第一支撑部22上安装有一个第一丝母连接件221和位于该第一丝母连接件221两侧的两个第一滑块连接件222，每个第一夹持件20通过第一丝母连接件221与第一开合驱动机构41的相应的第一丝母413进行紧固连接；同时，每个第一夹持件20通过两个第一滑块连接件222分别与两个移动辅助机构50的相应的滑动部52进行紧固连接。

在一对第二夹持件30中，每个第二夹持件30的第二支撑部32上安装有一个第二丝母连接件321和位于该第二丝母连接件321两侧的两个第二滑块连接件322，每个第二夹持件30通过第二丝母连接件321与第二开合驱动机构42的相应的第二丝母423进行紧固连接；同时，每个第二夹持件30通过两个第二滑块连接件322分别与两个移动辅助机构50的相应的滑动部52进行紧固连接。

需要注意的是，当需要尽可能提高晶圆生产效率时，可以采用上述晶圆夹持装置实现一次夹持两组晶圆，从而有效地提高一次夹持晶圆200的数量。然而，在产能有限等情况下，也可以单独使用上述晶圆夹持装置的一对第一夹持件20或一对第二夹持件30，以实现一次夹持一组晶圆，这样能够充分利用晶圆夹持装置，以满足对多种夹持方式的需求。下面将以图中示出的具体实施方式为例进行详细说明。

如图13至图15所示，通过第一开合驱动机构41驱动一对第一夹持件20同时沿第一方向进行相向移动，即驱动一对第一夹持件20进行合拢，并最终使一对第一夹持件20的两个第一夹持部21夹持在第一组晶圆200a的边缘；并且，通过第二开合驱动机构42驱动一对第二夹持件30同时沿第一方向进行相向移动，即驱动一对第二夹持件30进行合拢，并最终使一对第二夹持件30的两个第二夹持部31夹持在第二组晶圆200b的边缘。此时，便可实现一次夹持两组晶圆，夹持状态如附图15所示。

如图16至图18所示，只需要通过第一开合驱动机构41驱动一对第一夹持件20同时沿第一方向进行相向移动，即驱动一对第一夹持件20进行合拢，并最终使一对第一夹持件20的两个第一夹持部21夹持在第一组晶圆200a的边缘；而第二开合驱动机构42不进行动作，从而将一对第二夹持件30保持在张开状态。此时，便可实现单独夹持第一组晶圆200a，夹持状态如附图18所示。

如图19至图21所示，只需要通过第二开合驱动机构42驱动一对第二夹持件30同时沿第一方向进行相向移动，即驱动一对第二夹持件30进行合拢，并最终使一对第二夹持件30的两个第二夹持部31夹持在第二组晶圆200b的边缘；而第一开合驱动机构41不进行动作，从而将一对第一夹持件20保持在张开状态。此时，便可实现单独夹持第二组晶圆200b，夹持状态如附图21所示。

本发明还提供了一种晶圆转移系统，该晶圆转移系统包括晶圆夹持装置和转移驱动机构，晶圆夹持装置为上述本发明实施例的晶圆夹持装置，转移驱动机构用于驱动晶圆夹持装置在第一工位与第二工位之间进行运动。其中，第一工位为晶圆在未被夹持之前所在工位，第二工位为夹持后的晶圆需要被转移到的具体工位。

例如，在晶圆进行氧化工艺时，通过上述晶圆夹持装置将晶圆由平常存储用的晶圆盒中取出，并转移且存放在采用石英等耐高温材料制成的晶舟中，以便进行晶圆外层的氧化处理。此时，第一工位为晶圆盒所在工位，第二工位为晶舟所在工位。

另外，转移驱动机构驱动晶圆夹持装置进行的运动可以包括但不限于升降、平移、转动等，具体需要根据第一工位与第二工位之间的路径进行合理规划。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种晶圆夹持装置，其特征在于，包括基板和设置在所述基板上的一对第一夹持件、一对第二夹持件以及开合驱动机构，所述一对第一夹持件和所述一对第二夹持件分别用于夹持两组晶圆，所述开合驱动机构能够选择性地驱动一对所述第一夹持件以及一对所述第二夹持件中的至少一者沿第一方向合拢或张开，其中，

各所述第一夹持件均包括沿第二方向延伸的第一夹持部，所述第二方向垂直于所述第一方向，所述第一夹持部具有沿所述第二方向交替设置的多个第一夹槽和多个第一避让槽，当一对所述第一夹持件合拢时，两个所述第一夹持部上相对的所述第一夹槽共同用于夹持相应所述晶圆的边缘，

各所述第二夹持件均包括沿所述第二方向延伸的第二夹持部，所述第二夹持部具有沿所述第二方向交替设置的多个第二夹槽和多个第二避让槽，当一对所述第二夹持件合拢时，两个所述第二夹持部上相对的所述第二夹槽共同用于夹持相应所述晶圆的边缘，

两个所述第一夹持部与两个所述第二夹持部分别对应设置，在相对应的所述第一夹持部和所述第二夹持部中，各所述第一避让槽对应于一个所述第二夹槽以用于避让该第二夹槽夹持的所述晶圆，各所述第二避让槽对应于一个所述第一夹槽以用于避让该第一夹槽夹持的所述晶圆。

2.根据权利要求1所述的晶圆夹持装置，其特征在于，相对应的所述第一夹持部与所述第二夹持部沿第三方向依次布置，其中，所述第三方向垂直于所述第一方向与所述第二方向所在的平面，当一对所述第一夹持件和一对所述第二夹持件均合拢时，两个所述第一夹持部夹持的所述晶圆与两个所述第二夹持部夹持的所述晶圆在所述第二方向上重合。

3.根据权利要求2所述的晶圆夹持装置，其特征在于，各所述第一夹持件还包括第一支撑部，所述第一支撑部的一端与所述开合驱动机构驱动连接，另一端与所述第一夹持部呈角度连接，各所述第二夹持件还包括第二支撑部，所述第二支撑部的一端与所述开合驱动机构驱动连接，另一端与所述第二夹持部呈角度连接，其中，

在所述第一方向上，所述第一支撑部位于所述第二支撑部的外侧，且在所述第三方向上，所述第二夹持部位于所述第一夹持部背离所述第一支撑部的一侧。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的晶圆夹持装置，其特征在于，

所述第一夹槽和所述第二夹槽均包括夹持槽部和导向槽部，所述导向槽部与所述夹持槽部连通，且所述导向槽部背离所述夹持槽部的一侧具有开口，其中，所述夹持槽部包括两个相向倾斜的夹持槽壁，所述导向槽部包括两个相向倾斜的导向槽壁，两个所述夹持槽壁之间形成的夹角小于两个所述导向槽壁之间形成的夹角，以使由所述开口进入的所述晶圆在通过所述导向槽部导向后，能够进入并被夹持在所述夹持槽部内；和/或，

所述第一避让槽的横截面和所述第二避让槽的横截面呈矩形、梯形、三角形中的一种。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的晶圆夹持装置，其特征在于，所述开合驱动机构包括第一开合驱动机构和第二开合驱动机构，其中，

所述第一开合驱动机构包括第一旋转电机和第一传动结构，所述第一传动结构连接在所述第一旋转电机与所述第一夹持件之间，且能够将所述第一旋转电机输出的转动运动转换为所述第一夹持件沿所述第一方向的直线移动；

所述第二开合驱动机构包括第二旋转电机和第二传动结构，所述第二传动结构连接在所述第二旋转电机与所述第二夹持件之间，且能够将所述第二旋转电机输出的转动运动转换为所述第二夹持件沿所述第一方向的直线移动。

6.根据权利要求5所述的晶圆夹持装置，其特征在于，

所述第一开合驱动机构能够驱动一对所述第一夹持件同步进行相向或相背移动；

所述第二开合驱动机构能够驱动一对所述第二夹持件同步进行相向或相背移动。

7.根据权利要求6所述的晶圆夹持装置，其特征在于，

所述第一传动结构包括两个第一丝杠和分别套设在两个所述第一丝杠上的两个第一丝母，两个所述第一丝杠相互连接且与所述第一旋转电机驱动连接，两个所述第一丝母分别与一对所述第一夹持件连接，两个所述第一丝杠上的螺纹方向相反，以使所述第一旋转电机带动两个所述第一丝杠转动时能够驱动两个所述第一丝母及其对应的所述第一夹持件同步进行相向或相背移动；

所述第二传动结构包括两个第二丝杠和分别套设在两个所述第二丝杠上的两个第二丝母，两个所述第二丝杠相互连接且与所述第二旋转电机驱动连接，两个所述第二丝母分别与一对所述第二夹持件连接，两个所述第二丝杠上的螺纹方向相反，以使所述第二旋转电机带动两个所述第二丝杠转动时能够驱动两个所述第二丝母及其对应的所述第二夹持件同步进行相向或相背移动。

8.根据权利要求5所述的晶圆夹持装置，其特征在于，还包括移动辅助机构，所述移动辅助机构包括导向部和两对滑动部，所述导向部沿所述第一方向延伸且固定于所述基板上，两对所述滑动部均可滑动地设置在所述导向部上，两对所述滑动部中的一对分别与一对所述第一夹持件固定连接，两对所述滑动部中的另一对分别与一对所述第二夹持件固定连接。

9.根据权利要求8所述的晶圆夹持装置，其特征在于，所述移动辅助机构为多个，多个所述移动辅助机构沿垂直于所述第一方向的方向间隔设置，其中，多个所述移动辅助机构中的至少两个相互对称地设置在所述开合驱动机构的两侧。

10.一种晶圆转移系统，其特征在于，包括晶圆夹持装置和转移驱动机构，所述晶圆夹持装置为权利要求1至9中任一项所述的晶圆夹持装置，所述转移驱动机构用于驱动所述晶圆夹持装置在第一工位与第二工位之间进行运动。

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