JPH0526618B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0526618B2 JPH0526618B2 JP60237220A JP23722085A JPH0526618B2 JP H0526618 B2 JPH0526618 B2 JP H0526618B2 JP 60237220 A JP60237220 A JP 60237220A JP 23722085 A JP23722085 A JP 23722085A JP H0526618 B2 JPH0526618 B2 JP H0526618B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stage
- horizontal plane
- base
- axis
- rotation
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
Links
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 53
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 9
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims description 8
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000026058 directional locomotion Effects 0.000 description 1
- 239000012776 electronic material Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000009347 mechanical transmission Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/48—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs and rotating pairs
- B23Q1/4804—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs and rotating pairs a single rotating pair followed perpendicularly by a single sliding pair
- B23Q1/4809—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs and rotating pairs a single rotating pair followed perpendicularly by a single sliding pair followed perpendicularly by a single rotating pair
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は半導体製造装置に用いる位置決めステ
ージに係り、特にステツプアンドリピート焼付装
置に好適な水平面内の微可動をも可能にした位置
決めステージに関する。
ージに係り、特にステツプアンドリピート焼付装
置に好適な水平面内の微可動をも可能にした位置
決めステージに関する。
焼付装置において半導体ウエハの位置を所定の
位置に位置決めする位置決めステージはウエハ表
面に平行な面内において３自由度の位置決め、す
なわち、面内で直交する２方向の100mmないし300
mm程度の平行移動（これをＸ方向及びＹ方向とす
る）及び面に垂直な軸まわりの2/100ラジアン程
度の回転移動（これをシータ方向とする）を行な
う。従来この位置決めステージは１自由度の移動
機構を積み重ねた構造となつていた。
位置に位置決めする位置決めステージはウエハ表
面に平行な面内において３自由度の位置決め、す
なわち、面内で直交する２方向の100mmないし300
mm程度の平行移動（これをＸ方向及びＹ方向とす
る）及び面に垂直な軸まわりの2/100ラジアン程
度の回転移動（これをシータ方向とする）を行な
う。従来この位置決めステージは１自由度の移動
機構を積み重ねた構造となつていた。
たとえば第４図に示す様に、Ｘ方向の直線案内
機構１及びその駆動装置２はベース３に固定し、
Ｙ方向の直線案内機構４及びその駆動装置５は前
記Ｘ方向の直線案内機構１に固定し、シータ方向
の回転案内機構６及びその駆動装置７は前記Ｙ方
向の直線案内機構４に固定し、位置決めするウエ
ハ８はシータ方向の回転案内機構６に固定してあ
る。
機構１及びその駆動装置２はベース３に固定し、
Ｙ方向の直線案内機構４及びその駆動装置５は前
記Ｘ方向の直線案内機構１に固定し、シータ方向
の回転案内機構６及びその駆動装置７は前記Ｙ方
向の直線案内機構４に固定し、位置決めするウエ
ハ８はシータ方向の回転案内機構６に固定してあ
る。
この構造によると最下位のＸ方向の駆動装置２
は、その上のＹ方向及びシータ方向の案内機構及
び駆動装置を全て駆動する必要があり負荷の重量
が大きいため位置決め速度が遅く、精度も低下し
やすい。
は、その上のＹ方向及びシータ方向の案内機構及
び駆動装置を全て駆動する必要があり負荷の重量
が大きいため位置決め速度が遅く、精度も低下し
やすい。
このため上位のＹ方向、シータ方向の駆動モー
タの重量が制限され、高性能を得にくいことがあ
つた。
タの重量が制限され、高性能を得にくいことがあ
つた。
またＹ方向及びシータ方向の駆動装置用の配線
等はＸ方向の案内機構の防げとならない様に柔軟
な構造で接続せねばならず、Ｘ方向位置決め精度
低下の原因となる恐れがあつた。また冷却用配管
等の接続が不自由であつた。
等はＸ方向の案内機構の防げとならない様に柔軟
な構造で接続せねばならず、Ｘ方向位置決め精度
低下の原因となる恐れがあつた。また冷却用配管
等の接続が不自由であつた。
Ｙ方向の駆動装置５についても、その上にシー
タ方向の装置を乗せているため、上記Ｘ方向と同
様の問題点があつた。
タ方向の装置を乗せているため、上記Ｘ方向と同
様の問題点があつた。
上記問題点を解決するために第５図に示す様に
平面内でシータ方向のみを固定したXY案内機構
９をベース３に固定し、これを共にベース３に固
定したＸ方向駆動装置２及びＹ方向駆動装置５に
より位置決めできる様にしたXY位置決めステー
ジが開発されているが、シータ方向の位置決めの
ためにはさらにシータ方向の回転案内機構６及び
その駆動装置７をXY位置決めステージの上に積
み重ねる必要があり、上記第３図の場合と同様の
問題点が残つた。なお上記第５図の装置の例とし
ては日経メカニカル誌の1983年４月11日号の45ペ
ージに示されており、これに乗せるシータステー
ジの例としては電子材料誌の1983年３月号の81ペ
ージに示されている。
平面内でシータ方向のみを固定したXY案内機構
９をベース３に固定し、これを共にベース３に固
定したＸ方向駆動装置２及びＹ方向駆動装置５に
より位置決めできる様にしたXY位置決めステー
ジが開発されているが、シータ方向の位置決めの
ためにはさらにシータ方向の回転案内機構６及び
その駆動装置７をXY位置決めステージの上に積
み重ねる必要があり、上記第３図の場合と同様の
問題点が残つた。なお上記第５図の装置の例とし
ては日経メカニカル誌の1983年４月11日号の45ペ
ージに示されており、これに乗せるシータステー
ジの例としては電子材料誌の1983年３月号の81ペ
ージに示されている。
本発明の目的は、上記従来技術の問題点を解決
すべく、回転駆動源を全てベース上に設置してス
テージの軽量化をはかつて慣性力を低減してステ
ージを高速で、且つ高精度で位置決めすることが
でき、しかも該ステージの水平面内での回転を、
ベース上に設けられた回転駆動源の回転出力で機
械的な伝達機構を介して行わせるようにして比較
的を大きな回転量を得ると共にＹ軸およびＹ軸方
向へも比較的大きなストロークを取れるように
し、更に前記ステージへの配管等の接続を容易に
した位置決めステージを提供することにある。
すべく、回転駆動源を全てベース上に設置してス
テージの軽量化をはかつて慣性力を低減してステ
ージを高速で、且つ高精度で位置決めすることが
でき、しかも該ステージの水平面内での回転を、
ベース上に設けられた回転駆動源の回転出力で機
械的な伝達機構を介して行わせるようにして比較
的を大きな回転量を得ると共にＹ軸およびＹ軸方
向へも比較的大きなストロークを取れるように
し、更に前記ステージへの配管等の接続を容易に
した位置決めステージを提供することにある。
本発明は、上記目的を達成するために、ベース
と、該ベース上の水平なる平滑面によりＸ軸方向
およびＹ軸方向移動可能で、且つ水平面内におい
て回転可能に案内されるステージと、Ｘ軸方向移
動出力を、Ｙ軸方向に摺動できると共に水平面内
で回動できるように前記ステージに結合させて前
記ステージを水平面内のＸ軸方向に移動させる前
記ベース上に設けられた回転駆動源を有するＸ方
向駆動機構と、Ｙ軸方向移動出力を、Ｘ軸方向に
摺動できると共に水平面内で回動できるように前
記ステージに結合させて前記ステージを水平面内
のＹ軸方向に移動させる前記ベース上に設けられ
た回転駆動源を有するＹ方向駆動機構と、前記ス
テージの裏側の前記ベース上において水平面内で
回転できるように揺動自在に支持され、且つ前記
ベース上に設けられた回転駆動源の回転出力とカ
ム機構を介して接続されて該回転駆動源の回転出
力によつて揺動される揺動部材と、該揺動部材と
前記ステージの裏面部との間を、互いに直交する
２つの直線摺動案内機構を積重ねて接続して前記
揺動部材の水平面内の回転を前記ステージに伝達
する２軸方向摺動可能な回転伝達機構とを備え、
前記Ｘ方向およびＸ方向駆動機構によつて前記ス
テージをＸ軸およびＹ軸方向に移動する際、前記
２軸方向摺動可能な回転伝達機構によつて前記ス
テージをＸ軸およびＹ軸方向に移動することを可
能にすると共に前記回転駆動源の回転出力によつ
てカム機構を介して揺動される揺動部材の回転を
前記２軸方向摺動可能な回転伝達機構を介して前
記ステージに伝達するように構成したことを特徴
とする位置決めステージである。
と、該ベース上の水平なる平滑面によりＸ軸方向
およびＹ軸方向移動可能で、且つ水平面内におい
て回転可能に案内されるステージと、Ｘ軸方向移
動出力を、Ｙ軸方向に摺動できると共に水平面内
で回動できるように前記ステージに結合させて前
記ステージを水平面内のＸ軸方向に移動させる前
記ベース上に設けられた回転駆動源を有するＸ方
向駆動機構と、Ｙ軸方向移動出力を、Ｘ軸方向に
摺動できると共に水平面内で回動できるように前
記ステージに結合させて前記ステージを水平面内
のＹ軸方向に移動させる前記ベース上に設けられ
た回転駆動源を有するＹ方向駆動機構と、前記ス
テージの裏側の前記ベース上において水平面内で
回転できるように揺動自在に支持され、且つ前記
ベース上に設けられた回転駆動源の回転出力とカ
ム機構を介して接続されて該回転駆動源の回転出
力によつて揺動される揺動部材と、該揺動部材と
前記ステージの裏面部との間を、互いに直交する
２つの直線摺動案内機構を積重ねて接続して前記
揺動部材の水平面内の回転を前記ステージに伝達
する２軸方向摺動可能な回転伝達機構とを備え、
前記Ｘ方向およびＸ方向駆動機構によつて前記ス
テージをＸ軸およびＹ軸方向に移動する際、前記
２軸方向摺動可能な回転伝達機構によつて前記ス
テージをＸ軸およびＹ軸方向に移動することを可
能にすると共に前記回転駆動源の回転出力によつ
てカム機構を介して揺動される揺動部材の回転を
前記２軸方向摺動可能な回転伝達機構を介して前
記ステージに伝達するように構成したことを特徴
とする位置決めステージである。
以下、本発明の一実施例を第１図により説明す
る。ステージ１０はベース３の平滑面１１に接触
してしゆう動し、面１１内で３自由度の移動が可
能である。ステージ１０は角度伝達機構１２を介
してベース３に固定したシータ駆動機構７と接続
している。角度伝達機構は２個の直線案内機構１
３，１４により構成され、その案内方向は面１１
内でほぼ直角に交わる２方向である。
る。ステージ１０はベース３の平滑面１１に接触
してしゆう動し、面１１内で３自由度の移動が可
能である。ステージ１０は角度伝達機構１２を介
してベース３に固定したシータ駆動機構７と接続
している。角度伝達機構は２個の直線案内機構１
３，１４により構成され、その案内方向は面１１
内でほぼ直角に交わる２方向である。
ステージ１０は第５図と同様にベース３に固定
したＸ方向駆動装置２及びベース３に固定したＹ
方向駆動装置５と接続している。これによりステ
ージ１０に乗せたウエハ８を任意の位置に位置決
めすることができる。
したＸ方向駆動装置２及びベース３に固定したＹ
方向駆動装置５と接続している。これによりステ
ージ１０に乗せたウエハ８を任意の位置に位置決
めすることができる。
第２図は、第１図に示す如く、ステージ１の裏
側に配置されたシータ駆動機構７と直線案内機構
１３とを具体的に示す。揺動ブロツク（揺動部
材）１５はベースに固定したピン１６を回転中心
とし、回転カム１７に押付けたカムフオロア１８
により揺動し、この揺動角度がステージへのシー
タ駆動角度（回転角度）となる。長方形ブロツク
１９は、揺動ブロツク１５上に設けられた直線基
準面にローラ２１に押し付けられて矢印方向（ほ
ぼＹ軸方向）に摺動できるように構成され、第１
図に示す直線案内機構１３は、これら長方形ブロ
ツク１９と、揺動ブロツク１５上に設けられた直
線基準面およびローラ２１とによつて構成してい
る。更に第１図に示すごとく、上記直線案内機構
１３と同様な、前記矢印と直角方向（ほぼＸ軸方
向）に直線案内される直線案内機構１４が上記直
線案内機構１３の上に積重ねられて上記ステージ
１０に接続されている。即ち直線案内機構１４に
おいては、直線案内機構１３の揺動ブロツク１５
が長方形ブロツク１９に対応し、上記ステージ１
０の裏面に、直線案内機構１３の長方形ブロツク
１９に対応する長方形ブロツクが植設され、上記
長方形ブロツク１９上に設けられた直線基準面に
ローラに押し付けられてと直角方向（ほぼＸ軸方
向）に摺動できるように構成することになる。そ
してこれら直線案内機構１３と１４が揺動ブロツ
ク（揺動部材）１５とステージ１０の裏面部との
間に設けられ、これら直線案内機構１３と１４と
により２軸方向摺動可能な回転伝達機構を構成す
ることになることは明かである。
側に配置されたシータ駆動機構７と直線案内機構
１３とを具体的に示す。揺動ブロツク（揺動部
材）１５はベースに固定したピン１６を回転中心
とし、回転カム１７に押付けたカムフオロア１８
により揺動し、この揺動角度がステージへのシー
タ駆動角度（回転角度）となる。長方形ブロツク
１９は、揺動ブロツク１５上に設けられた直線基
準面にローラ２１に押し付けられて矢印方向（ほ
ぼＹ軸方向）に摺動できるように構成され、第１
図に示す直線案内機構１３は、これら長方形ブロ
ツク１９と、揺動ブロツク１５上に設けられた直
線基準面およびローラ２１とによつて構成してい
る。更に第１図に示すごとく、上記直線案内機構
１３と同様な、前記矢印と直角方向（ほぼＸ軸方
向）に直線案内される直線案内機構１４が上記直
線案内機構１３の上に積重ねられて上記ステージ
１０に接続されている。即ち直線案内機構１４に
おいては、直線案内機構１３の揺動ブロツク１５
が長方形ブロツク１９に対応し、上記ステージ１
０の裏面に、直線案内機構１３の長方形ブロツク
１９に対応する長方形ブロツクが植設され、上記
長方形ブロツク１９上に設けられた直線基準面に
ローラに押し付けられてと直角方向（ほぼＸ軸方
向）に摺動できるように構成することになる。そ
してこれら直線案内機構１３と１４が揺動ブロツ
ク（揺動部材）１５とステージ１０の裏面部との
間に設けられ、これら直線案内機構１３と１４と
により２軸方向摺動可能な回転伝達機構を構成す
ることになることは明かである。
第３図にステージ１０とＸ方向駆動装置２及び
Ｙ方向駆動装置との接続例を第１図に矢印２２の
方向より見た図により示す。モータ２３に接続し
たボールネジ２４により直線ガイド２５に接続し
たナツト２６を駆動し、これに接続したガイドバ
ー２７を平行に移動させる。なおガイドバーの長
手方向は、その移動方向に対して直角になつてい
る。ステージ１０に固定した２個のローラ２８に
よりガイドバーをはさんでガイドバー２７の移動
をステージ１０に伝える。
Ｙ方向駆動装置との接続例を第１図に矢印２２の
方向より見た図により示す。モータ２３に接続し
たボールネジ２４により直線ガイド２５に接続し
たナツト２６を駆動し、これに接続したガイドバ
ー２７を平行に移動させる。なおガイドバーの長
手方向は、その移動方向に対して直角になつてい
る。ステージ１０に固定した２個のローラ２８に
よりガイドバーをはさんでガイドバー２７の移動
をステージ１０に伝える。
なお、ステージ１０が回転する関係で、２個の
ローラ２８の間をガイドバー２７が摺動できるよ
うに２個のローラ２８の間隔が微動できる必要が
あることは明かである。
ローラ２８の間をガイドバー２７が摺動できるよ
うに２個のローラ２８の間隔が微動できる必要が
あることは明かである。
同様の構成が、上記と直角方向にも配置されて
いる。該２軸方向に対応させて設けられた２個の
ローラおよびガイドバーの構成と上記直線案内機
構１３および１４の構成から、ステージ１０がシ
ータ駆動機構（図示せず）により角度が変化して
もＸ方向とＹ方向の干渉は生じない。又、シータ
方向の回転中心は常にステージ１０に対してほぼ
一定の位置にあり（図に点３０にて示す。）従来
と同様の方式でシータ方向の制御が可能である。
いる。該２軸方向に対応させて設けられた２個の
ローラおよびガイドバーの構成と上記直線案内機
構１３および１４の構成から、ステージ１０がシ
ータ駆動機構（図示せず）により角度が変化して
もＸ方向とＹ方向の干渉は生じない。又、シータ
方向の回転中心は常にステージ１０に対してほぼ
一定の位置にあり（図に点３０にて示す。）従来
と同様の方式でシータ方向の制御が可能である。
ステージ１０は４個のしゆう動部２９によりベ
ース３の平滑面に乗つており、面に垂直な方向に
は特に高い案内精度を得ることができる。
ース３の平滑面に乗つており、面に垂直な方向に
は特に高い案内精度を得ることができる。
本発明によれば、ステージを位置決めするＸ軸
およびＹ軸方向の回転駆動源並びにステージを水
平面内で回転させる回転駆動源を全てベース上に
載置することができるので、ステージを軽量化し
て慣性力を低減してステージを高速で、且つ高精
度で位置決めすることができ、しかも該ステージ
の水平面内での回転を、ベース上に設けられた回
転駆動源の回転出力でステージの裏側に設けられ
た揺動部材と２軸方向摺動可能な回転伝達機構を
介して行わせるようにして比較的を大きな回転量
を得ると共にＸ軸およびＹ軸方向へも比較的大き
なストロークを取れるようにし、更に前記ステー
ジへの配管等の接続を容易にすろことができる効
果を奏する。
およびＹ軸方向の回転駆動源並びにステージを水
平面内で回転させる回転駆動源を全てベース上に
載置することができるので、ステージを軽量化し
て慣性力を低減してステージを高速で、且つ高精
度で位置決めすることができ、しかも該ステージ
の水平面内での回転を、ベース上に設けられた回
転駆動源の回転出力でステージの裏側に設けられ
た揺動部材と２軸方向摺動可能な回転伝達機構を
介して行わせるようにして比較的を大きな回転量
を得ると共にＸ軸およびＹ軸方向へも比較的大き
なストロークを取れるようにし、更に前記ステー
ジへの配管等の接続を容易にすろことができる効
果を奏する。
第１図は本発明の一実施例の位置決めステージ
を示す構造図、第２図，第３図は第１図の部分詳
細図、第４図，第５図は従来の位置決めステージ
を示す構造図である。 ３……ベース、２……Ｘ方向駆動機構、５……
Ｙ方向駆動機構、７……回転方向駆動機構、１０
……ステージ。
を示す構造図、第２図，第３図は第１図の部分詳
細図、第４図，第５図は従来の位置決めステージ
を示す構造図である。 ３……ベース、２……Ｘ方向駆動機構、５……
Ｙ方向駆動機構、７……回転方向駆動機構、１０
……ステージ。
Claims (1)
- １ ベースと、該ベース上の水平なる平滑面によ
りＸ軸方向およびＹ軸方向移動可能で、且つ水平
面内において回転可能に案内されるステージと、
Ｘ軸方向移動出力を、Ｙ軸方向に摺動できると共
に水平面内で回動できるように前記ステージに結
合させて前記ステージを水平面内のＸ軸方向に移
動させる前記ベース上に設けられた回転駆動源を
有するＸ方向駆動機構と、Ｙ軸方向移動出力を、
Ｘ軸方向に摺動できると共に水平面内で回動でき
るように前記ステージに結合させて前記ステージ
を水平面内のＹ軸方向に移動させる前記ベース上
に設けられた回転駆動源を有するＹ方向駆動機構
と、前記ステージの裏側の前記ベース上において
水平面内で回転できるように揺動自在に支持さ
れ、且つ前記ベース上に設けられた回転駆動源の
回転出力とカム機構を介して接続されて該回転駆
動源の回転出力によつて揺動される揺動部材と、
該揺動部材と前記ステージの裏面部との間を、互
いに直交する２つの直線摺動案内機構を積重ねて
接続して前記揺動部材の水平面内の回転を前記ス
テージに伝達する２軸方向摺動可能な回転伝達機
構とを備え、前記Ｘ方向およびＸ方向駆動機構に
よつて前記ステージをＸ軸およびＹ軸方向に移動
する際、前記２軸方向摺動可能な回転伝達機構に
よつて前記ステージをＸ軸およびＹ軸方向に移動
することを可能にすると共に前記回転駆動源の回
転出力によつてカム機構を介して揺動される揺動
部材の回転を前記２軸方向摺動可能な回転伝達機
構を介して前記ステージに伝達するように構成し
たことを特徴とする位置決めステージ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60237220A JPS6299038A (ja) | 1985-10-25 | 1985-10-25 | 位置決めステ−ジ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60237220A JPS6299038A (ja) | 1985-10-25 | 1985-10-25 | 位置決めステ−ジ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6299038A JPS6299038A (ja) | 1987-05-08 |
| JPH0526618B2 true JPH0526618B2 (ja) | 1993-04-16 |
Family
ID=17012159
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60237220A Granted JPS6299038A (ja) | 1985-10-25 | 1985-10-25 | 位置決めステ−ジ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6299038A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0729632Y2 (ja) * | 1988-08-05 | 1995-07-05 | 株式会社カイジョー | ボンディング装置におけるｘｙテーブル |
| JPH0335950A (ja) * | 1989-06-30 | 1991-02-15 | Myotoku Kk | 移動テーブル装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59129636A (ja) * | 1983-01-10 | 1984-07-26 | Hitachi Ltd | ６自由度を有するステ−ジの制御装置 |
-
1985
- 1985-10-25 JP JP60237220A patent/JPS6299038A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59129636A (ja) * | 1983-01-10 | 1984-07-26 | Hitachi Ltd | ６自由度を有するステ−ジの制御装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6299038A (ja) | 1987-05-08 |
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