JPH0353195Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0353195Y2 JPH0353195Y2 JP9330384U JP9330384U JPH0353195Y2 JP H0353195 Y2 JPH0353195 Y2 JP H0353195Y2 JP 9330384 U JP9330384 U JP 9330384U JP 9330384 U JP9330384 U JP 9330384U JP H0353195 Y2 JPH0353195 Y2 JP H0353195Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- moving
- block
- movement
- guide
- moving block
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 9
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 6
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 5
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この考案は電子ビーム測長機等における試料移
動装置、特にXY方向に試料を位置決めするため
の試料移動装置に関するものである。
動装置、特にXY方向に試料を位置決めするため
の試料移動装置に関するものである。
〔従来の技術〕
電子ビーム測長機においては、半導体等の試料
をXY方向に移動させて位置決めするために試料
移動装置が使用されている。
をXY方向に移動させて位置決めするために試料
移動装置が使用されている。
第４図は従来の試料移動装置を示す正面図であ
り、ベース３１上にＸ移動ガイド３２およびＸ送
りねじ３３が取付けられており、Ｘ送りねじ３３
によつて駆動されるＸ移動ブロツク３４がＸ移動
ガイド３２に沿つてＸ方向に移動する。Ｘ移動ブ
ロツク３４上にＹ移動ベース３５が固定され、こ
のＹ移動ベース３５上にＹ移動ガイド３６および
Ｙ送りねじ３７が取付けられており、Ｙ送りねじ
３７によつて駆動されるＹ移動ブロツク３８がＹ
移動ガイド３６に沿つてＹ方向に移動する。
り、ベース３１上にＸ移動ガイド３２およびＸ送
りねじ３３が取付けられており、Ｘ送りねじ３３
によつて駆動されるＸ移動ブロツク３４がＸ移動
ガイド３２に沿つてＸ方向に移動する。Ｘ移動ブ
ロツク３４上にＹ移動ベース３５が固定され、こ
のＹ移動ベース３５上にＹ移動ガイド３６および
Ｙ送りねじ３７が取付けられており、Ｙ送りねじ
３７によつて駆動されるＹ移動ブロツク３８がＹ
移動ガイド３６に沿つてＹ方向に移動する。
第５図は他の従来の試料移動装置を示す断面
図、第６図はそのＣ−Ｃ断面図であり、ベース３
１上にＸ移動ガイド３２およびＸ送りねじ３３な
らびにＹ移動ガイド３６およびＹ送りねじ３７が
それぞれ直角方向に異なる高さで設けられてい
る。Ｘ移動ブロツク３４およびＹ移動ブロツク３
８は井桁状に直交して配置され、それぞれ独立し
てＸ送りねじ３３およびＹ送りねじ３７により、
Ｘ移動ガイド３２およびＹ移動ガイド３６に沿つ
て移動する。Ｘ移動ブロツク３４およびＹ移動ブ
ロツク３８の交差部分を囲むようにXY移動ブロ
ツク３９がボール４０によつてベース３１上を移
動するように設けられており、その内側には直交
する方向にＸ方向ガイド４１およびＹ方向ガイド
４２が設けられて、それぞれＹ移動ブロツク３８
およびＸ移動ブロツク３４に摺動し、XY移動ブ
ロツク３９をXY方向に移動させる。
図、第６図はそのＣ−Ｃ断面図であり、ベース３
１上にＸ移動ガイド３２およびＸ送りねじ３３な
らびにＹ移動ガイド３６およびＹ送りねじ３７が
それぞれ直角方向に異なる高さで設けられてい
る。Ｘ移動ブロツク３４およびＹ移動ブロツク３
８は井桁状に直交して配置され、それぞれ独立し
てＸ送りねじ３３およびＹ送りねじ３７により、
Ｘ移動ガイド３２およびＹ移動ガイド３６に沿つ
て移動する。Ｘ移動ブロツク３４およびＹ移動ブ
ロツク３８の交差部分を囲むようにXY移動ブロ
ツク３９がボール４０によつてベース３１上を移
動するように設けられており、その内側には直交
する方向にＸ方向ガイド４１およびＹ方向ガイド
４２が設けられて、それぞれＹ移動ブロツク３８
およびＸ移動ブロツク３４に摺動し、XY移動ブ
ロツク３９をXY方向に移動させる。
第４図の装置では、Ｘ移動ブロツク３４上にＹ
移動ベース３５を重ねているため、Ｙ送りねじ３
７がＸ移動ブロツク３４とともに移動し、このた
め駆動側との連結機構が複雑になるという問題点
があつた。
移動ベース３５を重ねているため、Ｙ送りねじ３
７がＸ移動ブロツク３４とともに移動し、このた
め駆動側との連結機構が複雑になるという問題点
があつた。
第５図および第６図の装置では、Ｘ送りねじ３
３およびＹ送りねじ３７が共通のベース３１に固
定され、これらによつて移動するＸ移動ブロツク
３４およびＹ移動ブロツク３８とは独立したXY
移動ブロツク３９を設けているため、それぞれの
ガイドを正確に平行または直角に配置するのは困
難であり、高精度の移動、位置決めができないと
いう問題点があつた。
３およびＹ送りねじ３７が共通のベース３１に固
定され、これらによつて移動するＸ移動ブロツク
３４およびＹ移動ブロツク３８とは独立したXY
移動ブロツク３９を設けているため、それぞれの
ガイドを正確に平行または直角に配置するのは困
難であり、高精度の移動、位置決めができないと
いう問題点があつた。
この考案は上記問題点を解決するためのもの
で、Ｘ送りねじおよびＹ送りねじを固定し、これ
らによつて移動するＸ移動ブロツクおよびＹ移動
ブロツクの一方にXY移動ブロツクを取付けるこ
とにより、簡単に直交度が調整でき、高精度で試
料を移動させることができる試料移動装置を提供
することを目的としている。
で、Ｘ送りねじおよびＹ送りねじを固定し、これ
らによつて移動するＸ移動ブロツクおよびＹ移動
ブロツクの一方にXY移動ブロツクを取付けるこ
とにより、簡単に直交度が調整でき、高精度で試
料を移動させることができる試料移動装置を提供
することを目的としている。
この考案は、共通のベースに直角方向に設けら
れたＸ移動ガイドおよびＹ移動ガイドと、これら
のＸ移動ガイドおよびＹ移動ガイドに沿つてそれ
ぞれ直角方向に移動するＸ移動ブロツクおよびＹ
移動ブロツクと、Ｘ移動ブロツクに取付けられる
移動ベースにＹ移動ガイドと平行に設けられたＹ
方向ガイドと、このＹ方向ガイドに沿つてＹ方向
に移動するXY移動ブロツクに設けられたＸ方向
に伸びるＹ伝達ブロツクと、このＹ伝達ブロツク
とＹ方向に係合しかつ伝達ブロツクのＸ方向の移
動を許容するようにＹ移動ブロツクに設けられた
Ｘ方向ガイドとを備えたことを特徴とする試料移
動装置である。
れたＸ移動ガイドおよびＹ移動ガイドと、これら
のＸ移動ガイドおよびＹ移動ガイドに沿つてそれ
ぞれ直角方向に移動するＸ移動ブロツクおよびＹ
移動ブロツクと、Ｘ移動ブロツクに取付けられる
移動ベースにＹ移動ガイドと平行に設けられたＹ
方向ガイドと、このＹ方向ガイドに沿つてＹ方向
に移動するXY移動ブロツクに設けられたＸ方向
に伸びるＹ伝達ブロツクと、このＹ伝達ブロツク
とＹ方向に係合しかつ伝達ブロツクのＸ方向の移
動を許容するようにＹ移動ブロツクに設けられた
Ｘ方向ガイドとを備えたことを特徴とする試料移
動装置である。
以下、この考案を図面の実施例について説明す
る。第１図はこの考案の一実施例による電子ビー
ム測長機の試料移動装置を示す平面図、第２図は
そのＡ−Ａ断面図、第３図はＢ−Ｂ断面図であ
る。
る。第１図はこの考案の一実施例による電子ビー
ム測長機の試料移動装置を示す平面図、第２図は
そのＡ−Ａ断面図、第３図はＢ−Ｂ断面図であ
る。
図において、１は共通のベースで、このベース
１に異なる高さで直角方向にＸ移動ガイド２およ
びＹ移動ガイド３が設けられている。摺動子４に
よりＸ移動ガイド２に沿つて移動するＸ移動ブロ
ツク５にはＸ継手６が設けられ、Ｘ送りねじ７に
かみ合つている。Ｘ送りねじ７はベース１上に固
定されたＸ送りねじベース８に取付けられた軸受
９に支持されている。
１に異なる高さで直角方向にＸ移動ガイド２およ
びＹ移動ガイド３が設けられている。摺動子４に
よりＸ移動ガイド２に沿つて移動するＸ移動ブロ
ツク５にはＸ継手６が設けられ、Ｘ送りねじ７に
かみ合つている。Ｘ送りねじ７はベース１上に固
定されたＸ送りねじベース８に取付けられた軸受
９に支持されている。
摺動子１０によりＹ移動ガイド３に沿つてＸ移
動ブロツク５の下側を移動するＹ移動ブロツク１
１にはＹ継手１２が設けられ、Ｙ送りねじ１３に
かみ合つている。Ｙ送りねじ１３はベース上に固
定されたＹ送りねじベース１４に取付けられた軸
受１５に支持されている。
動ブロツク５の下側を移動するＹ移動ブロツク１
１にはＹ継手１２が設けられ、Ｙ送りねじ１３に
かみ合つている。Ｙ送りねじ１３はベース上に固
定されたＹ送りねじベース１４に取付けられた軸
受１５に支持されている。
Ｘ移動ブロツク５には移動ベース１６がピン１
７を支点として直交度を調整できるように取付け
られており、移動ベース１６にはＹ方向ガイド１
８がＹ移動ガイド３と平行に設けられている。摺
動子１９によりＹ方向ガイド１８に沿つてＸ移動
ブロツク５上をＹ方向に移動するXY移動ブロツ
ク２０の下側には、Ｘ方向に伸びるＹ伝達ブロツ
ク２１が設けられている。Ｙ移動ブロツク１１に
は、ローラ２２を介してＹ伝達ブロツク２１とＹ
方向に係合し、かつＹ伝達ブロツク２１のＸ方向
への移動を許容するＸ方向ガイド２３が設けられ
ている。電子ビーム測長機により検査される試料
はXY移動ブロツク２０に装着されるようになつ
ているが、図示は省略されている。
７を支点として直交度を調整できるように取付け
られており、移動ベース１６にはＹ方向ガイド１
８がＹ移動ガイド３と平行に設けられている。摺
動子１９によりＹ方向ガイド１８に沿つてＸ移動
ブロツク５上をＹ方向に移動するXY移動ブロツ
ク２０の下側には、Ｘ方向に伸びるＹ伝達ブロツ
ク２１が設けられている。Ｙ移動ブロツク１１に
は、ローラ２２を介してＹ伝達ブロツク２１とＹ
方向に係合し、かつＹ伝達ブロツク２１のＸ方向
への移動を許容するＸ方向ガイド２３が設けられ
ている。電子ビーム測長機により検査される試料
はXY移動ブロツク２０に装着されるようになつ
ているが、図示は省略されている。
以上の構成において、ベース１上にＸ移動ガイ
ド２およびＹ移動ガイド３を、Ｙ移動ブロツク１
１上にＸ方向ガイド２３を、また移動ベース１６
上にＹ方向ガイド１８をそれぞれ精度よく取付け
た後、Ｘ移動ブロツク５と移動ベース１６の間で
ピン１７を支点として直交度を調整し、ねじ等に
より固定する。この状態では、各部材間の取付誤
差は最終的に調整され、XY方向の取付精度は高
くなる。
ド２およびＹ移動ガイド３を、Ｙ移動ブロツク１
１上にＸ方向ガイド２３を、また移動ベース１６
上にＹ方向ガイド１８をそれぞれ精度よく取付け
た後、Ｘ移動ブロツク５と移動ベース１６の間で
ピン１７を支点として直交度を調整し、ねじ等に
より固定する。この状態では、各部材間の取付誤
差は最終的に調整され、XY方向の取付精度は高
くなる。
この状態でＸ送りねじ７を回転させると、これ
にかみ合つているＸ継手６を介してＸ移動ブロツ
ク５がＸ移動ガイド２に沿つて移動する。このと
きＹ伝達ブロツク２１はローラ２２を介してＸ方
向ガイド２３に沿つて移動するので、移動ベース
１６を介してＸ移動ブロツク５に固定されたXY
移動ブロツク２０もＸ方向に移動する。
にかみ合つているＸ継手６を介してＸ移動ブロツ
ク５がＸ移動ガイド２に沿つて移動する。このと
きＹ伝達ブロツク２１はローラ２２を介してＸ方
向ガイド２３に沿つて移動するので、移動ベース
１６を介してＸ移動ブロツク５に固定されたXY
移動ブロツク２０もＸ方向に移動する。
またＹ送りねじ１３を回転させると、これにか
み合つているＹ継手１２を介してＹ移動ブロツク
１１がＹ移動ガイド３に沿つて移動する。このと
きＹ移動ブロツク１１に設けられたＸ方向ガイド
２３がＹ伝達ブロツク２１とＹ方向に係合してい
るので、Ｙ伝達ブロツク２１を介してXY移動ブ
ロツク２０にＹ方向に移動する力が伝達され、
XY移動ブロツク２０はＹ方向ガイド１８に沿つ
てＹ方向に移動する。こうしてXY移動ブロツク
２０に装着された試料をXY方向に任意の距離だ
け精度よく移動させることができる。
み合つているＹ継手１２を介してＹ移動ブロツク
１１がＹ移動ガイド３に沿つて移動する。このと
きＹ移動ブロツク１１に設けられたＸ方向ガイド
２３がＹ伝達ブロツク２１とＹ方向に係合してい
るので、Ｙ伝達ブロツク２１を介してXY移動ブ
ロツク２０にＹ方向に移動する力が伝達され、
XY移動ブロツク２０はＹ方向ガイド１８に沿つ
てＹ方向に移動する。こうしてXY移動ブロツク
２０に装着された試料をXY方向に任意の距離だ
け精度よく移動させることができる。
なお、以上の説明において、それぞれの駆動機
構、動力伝達機構、取付機構等は変更可能であ
り、ブロツク、ガイド等の構造も図示のものに限
定されない。またこの考案において、XYは直角
方向の二方向を示すものであり、上記説明のXY
は相互に入替可能である。さらにこの考案は電子
ビーム測長機に限らず、試料のXY方向への移動
が要求される他の装置の試料移動機構にも適用可
能である。
構、動力伝達機構、取付機構等は変更可能であ
り、ブロツク、ガイド等の構造も図示のものに限
定されない。またこの考案において、XYは直角
方向の二方向を示すものであり、上記説明のXY
は相互に入替可能である。さらにこの考案は電子
ビーム測長機に限らず、試料のXY方向への移動
が要求される他の装置の試料移動機構にも適用可
能である。
この考案によれば、Ｘ送りねじおよびＹ送りね
じを固定し、これらによつて移動するＸ移動ブロ
ツクおよびＹ移動ブロツクの一方にXY移動ブロ
ツクを取付けることにより、簡単に直交度が調整
でき、高精度で試料を移動させることできるとと
もに、真空外からの動力の導入が容易であり、熱
の発生源である軸受を試料から離すことができる
などの効果がある。
じを固定し、これらによつて移動するＸ移動ブロ
ツクおよびＹ移動ブロツクの一方にXY移動ブロ
ツクを取付けることにより、簡単に直交度が調整
でき、高精度で試料を移動させることできるとと
もに、真空外からの動力の導入が容易であり、熱
の発生源である軸受を試料から離すことができる
などの効果がある。
第１図はこの考案の一実施例による電子ビーム
測長機の試料移動装置を示す平面図、第２図はそ
のＡ−Ａ断面図、第３図はＢ−Ｂ断面図、第４図
は従来の試料移動装置を示す正面図、第５図は他
の従来の試料移動装置を示す断面図、第６図はそ
のＣ−Ｃ断面図である。 各図中、同一符号は同一または相当部分を示
し、１はベース、２はＸ移動ガイド、３はＹ移動
ガイド、５はＸ移動ブロツク、７はＸ送りねじ、
１１はＹ移動ブロツク、１３はＹ送りねじ、１６
は移動ベース、１７はピン、１８はＹ方向ガイ
ド、２０はXY移動ブロツク、２１はＹ伝達ブロ
ツク、２３はＸ方向ガイドである。
測長機の試料移動装置を示す平面図、第２図はそ
のＡ−Ａ断面図、第３図はＢ−Ｂ断面図、第４図
は従来の試料移動装置を示す正面図、第５図は他
の従来の試料移動装置を示す断面図、第６図はそ
のＣ−Ｃ断面図である。 各図中、同一符号は同一または相当部分を示
し、１はベース、２はＸ移動ガイド、３はＹ移動
ガイド、５はＸ移動ブロツク、７はＸ送りねじ、
１１はＹ移動ブロツク、１３はＹ送りねじ、１６
は移動ベース、１７はピン、１８はＹ方向ガイ
ド、２０はXY移動ブロツク、２１はＹ伝達ブロ
ツク、２３はＸ方向ガイドである。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 共通のベースに直角方向に設けられたＸ移動
ガイドおよびＹ移動ガイドと、これらのＸ移動
ガイドおよびＹ移動ガイドに沿つてそれぞれ直
角方向に移動するＸ移動ブロツクおよびＹ移動
ブロツクと、Ｘ移動ブロツクに取付けられる移
動ベースにＹ移動ガイドと平行に設けられたＹ
方向ガイドと、このＹ方向ガイドに沿つてＹ方
向に移動するXY移動ブロツクに設けられたＸ
方向に伸びるＹ伝達ブロツクと、このＹ伝達ブ
ロツクとＹ方向に係合しかつＹ伝達ブロツクの
Ｘ方向の移動を許容するようにＹ移動ブロツク
に設けられたＸ方向ガイドとを備えたことを特
徴とする試料移動装置。 (2) Ｘ移動ブロツクおよびＹ移動ブロツクがそれ
ぞれ送りねじによつて移動するものである実用
新案登録請求の範囲第１項記載の試料移動装
置。 (3) 移動ベースがピンを支点として直交度を調整
できるようにＸ移動ブロツクに取付られた実用
新案登録請求の範囲第１項または第２項記載の
試料移動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9330384U JPS618893U (ja) | 1984-06-22 | 1984-06-22 | 試料移動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9330384U JPS618893U (ja) | 1984-06-22 | 1984-06-22 | 試料移動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS618893U JPS618893U (ja) | 1986-01-20 |
| JPH0353195Y2 true JPH0353195Y2 (ja) | 1991-11-20 |
Family
ID=30650860
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9330384U Granted JPS618893U (ja) | 1984-06-22 | 1984-06-22 | 試料移動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS618893U (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0411195Y2 (ja) * | 1986-05-10 | 1992-03-19 |
-
1984
- 1984-06-22 JP JP9330384U patent/JPS618893U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS618893U (ja) | 1986-01-20 |
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