JPH02223844A - 物体ホルダ - Google Patents
物体ホルダInfo
- Publication number
- JPH02223844A JPH02223844A JP1327498A JP32749889A JPH02223844A JP H02223844 A JPH02223844 A JP H02223844A JP 1327498 A JP1327498 A JP 1327498A JP 32749889 A JP32749889 A JP 32749889A JP H02223844 A JPH02223844 A JP H02223844A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- support plate
- support
- transfer device
- object holder
- face
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 13
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 5
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 abstract description 6
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 abstract description 4
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/24—Base structure
- G02B21/26—Stages; Adjusting means therefor
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/003—Alignment of optical elements
- G02B7/004—Manual alignment, e.g. micromanipulators
-
- G—PHYSICS
- G12—INSTRUMENT DETAILS
- G12B—CONSTRUCTIONAL DETAILS OF INSTRUMENTS, OR COMPARABLE DETAILS OF OTHER APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G12B5/00—Adjusting position or attitude, e.g. level, of instruments or other apparatus, or of parts thereof; Compensating for the effects of tilting or acceleration, e.g. for optical apparatus
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、物体を放射線ビームに位置決めするためＸ−
Ｙ並進機構を具える物体ホルダに関するものである。
Ｙ並進機構を具える物体ホルダに関するものである。
既知の物体ホルダにおいては、Ｘ−Ｙ並進機構は、Ｘ方
向の並進を得るためのＸ移送装置にキャリッジを担持し
、このキャリッジをＸ移送装置にわたりＹ方向に並進移
動自在にし、Ｘ移送装置をＸ移送装置のための基準支持
面として作用させ、またその逆にＸ移送装置をＸ移送装
置のための基準支持面として作用させる。
向の並進を得るためのＸ移送装置にキャリッジを担持し
、このキャリッジをＸ移送装置にわたりＹ方向に並進移
動自在にし、Ｘ移送装置をＸ移送装置のための基準支持
面として作用させ、またその逆にＸ移送装置をＸ移送装
置のための基準支持面として作用させる。
この結果従来の物体ホルダは、相当複雑な並進機構とな
り、二次移送における誤差が両方向の移送系において累
積し、また最終的な並進移動中に好ましくない回転およ
び傾動が生じやすくなる。
り、二次移送における誤差が両方向の移送系において累
積し、また最終的な並進移動中に好ましくない回転およ
び傾動が生じやすくなる。
このことは、好ましくない低摩擦運動を考慮すると、各
ガイドに対する所定の遊びを回避するのは困難であるこ
とからもわかる。しかし、物体の角度指向が行うべき測
定の精度を左右する物体ホルダには好ましいものではな
い。
ガイドに対する所定の遊びを回避するのは困難であるこ
とからもわかる。しかし、物体の角度指向が行うべき測
定の精度を左右する物体ホルダには好ましいものではな
い。
従って、本発明の目的は、これらの欠点を解決する物体
ホルダを得るにある。
ホルダを得るにある。
上述の目的を達成するため、本発明物体ホルダは前記並
進機構は、接触圧力の下に支持プレートにわたり並進移
動することができるＸ移送装置を案内するため平坦な支
持プレートに連結したＸガイドと、Ｘ移送装置に連結す
る接触圧力の下にやはり支持テーブルにわたり並進移動
することができる物体テーブルを案内ひるＹガイドとを
有するものとして構成したことを特徴とする。
進機構は、接触圧力の下に支持プレートにわたり並進移
動することができるＸ移送装置を案内するため平坦な支
持プレートに連結したＸガイドと、Ｘ移送装置に連結す
る接触圧力の下にやはり支持テーブルにわたり並進移動
することができる物体テーブルを案内ひるＹガイドとを
有するものとして構成したことを特徴とする。
〔作 用］
本発明物体ホルダによれば、２個の並進移動の各々は、
それぞれ本発明による並進機構の支持プレートの支持面
を直接基準面とするため、ばね力連結により極めて正確
に位置決めをすることができる構成簡単で安価な移動機
構を得ることができ、好ましくない回転、傾動を減少す
ることができる。
それぞれ本発明による並進機構の支持プレートの支持面
を直接基準面とするため、ばね力連結により極めて正確
に位置決めをすることができる構成簡単で安価な移動機
構を得ることができ、好ましくない回転、傾動を減少す
ることができる。
本発明の好適な実施例においては、ばね力または支持プ
レートに向って作用する圧力を磁気吸着力、特に永久磁
石により実現し、これら磁石をＸ移送装置および物体テ
ーブルの支持体に連結し、好適には若干変形可能な中間
スペーサを介して支持プレートの支持面に磁石を支持す
る。この構成によれば、滑らかな摺動接触の他に、好ま
しい空気ギャップも得られる。
レートに向って作用する圧力を磁気吸着力、特に永久磁
石により実現し、これら磁石をＸ移送装置および物体テ
ーブルの支持体に連結し、好適には若干変形可能な中間
スペーサを介して支持プレートの支持面に磁石を支持す
る。この構成によれば、滑らかな摺動接触の他に、好ま
しい空気ギャップも得られる。
更に本発明の他の好適な実現例においては、物体テーブ
ルは回転をＸ−Ｙ並進に加える。このことは支持プレー
トの支持面に交差する軸線の周りに回転自在に支持プレ
ートを取付けることによって比較的簡単に達成すること
ができる。この回転駆動はモータ駆動回転機構を支持プ
レートの後面（物体テーブルに関して）に取付け、回転
軸線をほぼ円形の支持プレートの中心線上に延在させる
ことによって実現することができる。
ルは回転をＸ−Ｙ並進に加える。このことは支持プレー
トの支持面に交差する軸線の周りに回転自在に支持プレ
ートを取付けることによって比較的簡単に達成すること
ができる。この回転駆動はモータ駆動回転機構を支持プ
レートの後面（物体テーブルに関して）に取付け、回転
軸線をほぼ円形の支持プレートの中心線上に延在させる
ことによって実現することができる。
更に、支持プレートに、支持プレートの支持面を傾動さ
せる傾動機構を付加することもできる。
せる傾動機構を付加することもできる。
それほど大きくない例えばせいぜい約プラス、マイナス
１０’の傾動角度の場合、横方向に部分的に開放する円
筒形ブツシュの形式のシャフトを使用することができ、
この開放領域によれば支持プレートに平行な放射線ビー
ムを自由に通過させることができる。
１０’の傾動角度の場合、横方向に部分的に開放する円
筒形ブツシュの形式のシャフトを使用することができ、
この開放領域によれば支持プレートに平行な放射線ビー
ムを自由に通過させることができる。
次に、図面につき本発明の好適な実施例を説明する。
図示の物体ホルダは、支持プレート２を有し、この支持
プレート２にＸガイド６を好適にはこのＸガイド６の後
部に連結したブラケット４により取付ける。Ｘ移送装置
８を、例えばローラ９により既知の方法で、例えば５０
ｍｍまたはそれ以上にも達する距離にわたりＸガイドに
沿って移動自在にする。Ｘ移送装置８をモータ１０によ
りトランスミッション１２を介して駆動する。空間を節
約するためモータ１０をＸガイドに平行に配置するが、
この構成は本発明には無関係である。Ｘ移送装置の支持
プレート２に対向する側の側面に、好適には３個の磁石
１６（運動学的理由から）を設け、中間スペーサ１８を
介在させてこれら磁石を支持プレートに支持し、磁石の
磁力によりこの支持プレートに圧着させる。このように
してＸ移送装置が支持面１４に常に正確に平行に移動す
ることがきるようになる。支持プレート２の支持面の領
域の平坦度が移動の精度を決定する。磁気的プレス力を
得るため磁気材料により形成したプレートは、極めて正
確にかつ比較的に安価に平坦に加工することができる。
プレート２にＸガイド６を好適にはこのＸガイド６の後
部に連結したブラケット４により取付ける。Ｘ移送装置
８を、例えばローラ９により既知の方法で、例えば５０
ｍｍまたはそれ以上にも達する距離にわたりＸガイドに
沿って移動自在にする。Ｘ移送装置８をモータ１０によ
りトランスミッション１２を介して駆動する。空間を節
約するためモータ１０をＸガイドに平行に配置するが、
この構成は本発明には無関係である。Ｘ移送装置の支持
プレート２に対向する側の側面に、好適には３個の磁石
１６（運動学的理由から）を設け、中間スペーサ１８を
介在させてこれら磁石を支持プレートに支持し、磁石の
磁力によりこの支持プレートに圧着させる。このように
してＸ移送装置が支持面１４に常に正確に平行に移動す
ることがきるようになる。支持プレート２の支持面の領
域の平坦度が移動の精度を決定する。磁気的プレス力を
得るため磁気材料により形成したプレートは、極めて正
確にかつ比較的に安価に平坦に加工することができる。
特に、支持面には部分的に耐食層を設けることができる
。所要に応じ、調整自在のプレス力を得るため、コイル
によって磁化できる磁石を使用し、移送装置が支持プレ
ートからゆるまないようにするため最小の磁化を維持す
るようにする。
。所要に応じ、調整自在のプレス力を得るため、コイル
によって磁化できる磁石を使用し、移送装置が支持プレ
ートからゆるまないようにするため最小の磁化を維持す
るようにする。
このことはサブの永久磁石によって得るようにすること
もできる。Ｘ移送装置には、Ｙ移送装置２２を案内する
Ｙガイド２０を支持し、このＹ移送装置２２はＸ移送装
置と全く同じようにホイール（図示せず）を介してＹガ
イドに沿って移動自在にする。
もできる。Ｘ移送装置には、Ｙ移送装置２２を案内する
Ｙガイド２０を支持し、このＹ移送装置２２はＸ移送装
置と全く同じようにホイール（図示せず）を介してＹガ
イドに沿って移動自在にする。
Ｙ移送装置もやはり磁石１６およびスペーサ１８（それ
ぞれ図示せず）により支持プレート２の支持面１４に圧
着させる。従って、Ｙ移送装置も支持面１４に常に平行
に移動し、回転または傾動誤差は加わらない。支持プレ
ートに交差する軸線の周りの回転はガイドの直線度の関
数として決定される。このような直線度は比較的簡単に
実現することができる。Ｙ移送装置はモータ２４により
駆動し、このモータ２４はトランスミッション２６を介
してスピンドル２８を駆動する。Ｙ移送装置は物体テー
ブル３０を支持し、この物体テーブルに物体例えばウェ
ハを、例えば支持点３２に取付けることができる。
ぞれ図示せず）により支持プレート２の支持面１４に圧
着させる。従って、Ｙ移送装置も支持面１４に常に平行
に移動し、回転または傾動誤差は加わらない。支持プレ
ートに交差する軸線の周りの回転はガイドの直線度の関
数として決定される。このような直線度は比較的簡単に
実現することができる。Ｙ移送装置はモータ２４により
駆動し、このモータ２４はトランスミッション２６を介
してスピンドル２８を駆動する。Ｙ移送装置は物体テー
ブル３０を支持し、この物体テーブルに物体例えばウェ
ハを、例えば支持点３２に取付けることができる。
図示の実施例において、物体テーブル３０は支持面１４
に交差する軸線の周りに回転することができる。このた
め、支持プレートに歯車３８を支持し、この歯車３８を
モータ４０によりスピンドル４２を介して駆動し、この
スピンドル４２はホルダ４４により支持し、例えば３６
０°にわたる回転を実現する。この構成により、物体テ
ーブルに配置した物体は放射線ビーム経路における任意
のＸ−Ｙ位置に回転して進入させることができる。この
目的のため支持プレートの回転軸３４を物体ホルダの支
持体４６に連結する。この支持体を関して物体ホルダを
本体装置例えばＸ線分析装置、ウェハ点検装置等に取付
けることができる。物体テーブルを図示のように支持面
に平行な軸線４８の周りに傾動自在にするとき、回転軸
３４をブラケット５０を介して連結する。
に交差する軸線の周りに回転することができる。このた
め、支持プレートに歯車３８を支持し、この歯車３８を
モータ４０によりスピンドル４２を介して駆動し、この
スピンドル４２はホルダ４４により支持し、例えば３６
０°にわたる回転を実現する。この構成により、物体テ
ーブルに配置した物体は放射線ビーム経路における任意
のＸ−Ｙ位置に回転して進入させることができる。この
目的のため支持プレートの回転軸３４を物体ホルダの支
持体４６に連結する。この支持体を関して物体ホルダを
本体装置例えばＸ線分析装置、ウェハ点検装置等に取付
けることができる。物体テーブルを図示のように支持面
に平行な軸線４８の周りに傾動自在にするとき、回転軸
３４をブラケット５０を介して連結する。
図示しない駆動モータを使用してブラケット５０を支持
テーブルおよびＸ−Ｙ並進機構とともに支持７°レート
の垂直方向にゼロ位置に対して例えばプラス、マイナス
１０°の角度にわたり（頃動自在にする。放射線ビーム
が自由に通過できるようにするため、傾動用のブツシュ
５２に側方開孔を設ける。
テーブルおよびＸ−Ｙ並進機構とともに支持７°レート
の垂直方向にゼロ位置に対して例えばプラス、マイナス
１０°の角度にわたり（頃動自在にする。放射線ビーム
が自由に通過できるようにするため、傾動用のブツシュ
５２に側方開孔を設ける。
本発明による物体ホルダはＸ線分析装置、ウェハ点検装
置等に存効に使用することができ、この場合上述の物体
ホルダはこのような装置に支持体４６により取付けるこ
とができる。このとき検査すべき物体は抽気すべき空間
に収容することもできる。
置等に存効に使用することができ、この場合上述の物体
ホルダはこのような装置に支持体４６により取付けるこ
とができる。このとき検査すべき物体は抽気すべき空間
に収容することもできる。
第１図は、本発明による物体ホルダの線図的斜視図、
第１Ａ図は第１図の物体ホルダの一部の部分縦断面図で
ある。 ２・・・支持プレート ４・・・ブラケット６・・
・Ｘガイド ８・・・Ｘ移送装置９・・・ロー
ラ １０．２４．４０・・・モータ１２、２
６・・・トランスミッション １４・・・支持面 １６・・・磁石１８・・
・中間スペーサ ２０・・・Ｙガイド２２・・・Ｙ
移送装置 ２８．４２・・・スピンドル３０・・
・物体テーブル ３２・・・支持点３Ｂ・・・歯車
４４・・・ホルダ４６・・・支持体
５０・・・ブラケット５２・・・プッシュ
ある。 ２・・・支持プレート ４・・・ブラケット６・・
・Ｘガイド ８・・・Ｘ移送装置９・・・ロー
ラ １０．２４．４０・・・モータ１２、２
６・・・トランスミッション １４・・・支持面 １６・・・磁石１８・・
・中間スペーサ ２０・・・Ｙガイド２２・・・Ｙ
移送装置 ２８．４２・・・スピンドル３０・・
・物体テーブル ３２・・・支持点３Ｂ・・・歯車
４４・・・ホルダ４６・・・支持体
５０・・・ブラケット５２・・・プッシュ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、物体を放射線ビームに位置決めするためＸ−Ｙ並進
機構を具える物体ホルダにおいて前記並進機構は、接触
圧力の下に支持プレートにわたり並進移動することがで
きるＸ移送装置を案内するため平坦な支持プレートに連
結したＸガイドと、Ｘ移送装置に連結する接触圧力の下
にやはり支持テーブルにわたり並進移動することができ
る物体テーブルを案内するＹガイドとを有するものとし
て構成したことを特徴とする物体ホルダ。 ２、Ｘ移送装置と物体テーブルとの接触圧力または物体
テーブルを担持するＹ移送装置と支持プレートの支持面
との接触圧力として吸着磁力を利用した請求項１記載の
物体ホルダ。 ３、Ｘ移送装置よび物体テーブルに取付け、摺動中間部
材を介して支持プレートの支持面に支持した永久磁石に
より磁気プレス力を発生する請求項１記載の物体ホルダ
。 ４、支持面に交差する軸線の周りに支持プレートを回転
させる回転機構を設けた請求項１乃至３のうちのいずれ
か一項に記載の物体ホルダ。 ５、３６０゜にわたり回転できる構成とした請求項４記
載の物体ホルダ。 ６、支持面に平行な軸線の周りに支持プレートを傾動さ
せる傾動機構を設けた請求項１乃至５のうちのいずれか
一項に記載の物体ホルダ。 ７、前記傾動のためのブッシュに放射線ビームが通過で
きる切欠きを設けた請求項６記載の物体ホルダ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| NL8803101 | 1988-12-19 | ||
| NL8803101A NL8803101A (nl) | 1988-12-19 | 1988-12-19 | Objecthouder voor positionering van een object in een stralenbundel. |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02223844A true JPH02223844A (ja) | 1990-09-06 |
Family
ID=19853397
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1327498A Pending JPH02223844A (ja) | 1988-12-19 | 1989-12-19 | 物体ホルダ |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5001351A (ja) |
| EP (1) | EP0375033B1 (ja) |
| JP (1) | JPH02223844A (ja) |
| DE (1) | DE68916525T2 (ja) |
| NL (1) | NL8803101A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0543054U (ja) * | 1991-11-13 | 1993-06-11 | 理学電機株式会社 | Ｘ線回折装置の液晶試料取り付け装置 |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5986372A (en) * | 1990-06-04 | 1999-11-16 | Joffe; Benjamin | Advanced magnetically-stabilized couplings and bearings, for use in mechanical drives |
| US6093989A (en) * | 1990-06-04 | 2000-07-25 | Joffe; Benjamin | Advanced magnetically-stabilized couplings and bearings, for use in mechanical drives |
| US5331861A (en) | 1990-06-04 | 1994-07-26 | Benjamin Joffe | Rotating drive magnetically coupled for producing linear motion |
| US5220460A (en) * | 1991-09-24 | 1993-06-15 | Eastman Kodak Company | Adjustable mount for cylindrical lens with torque applied directly to lens |
| US5210648A (en) * | 1991-09-24 | 1993-05-11 | Eastman Kodak Company | Adjustable mount for cylindrical lens with independent rotational feature |
| US5337178A (en) * | 1992-12-23 | 1994-08-09 | International Business Machines Corporation | Titlable optical microscope stage |
| DE4325450A1 (de) * | 1993-07-29 | 1995-02-02 | Bacher Graphische Geraete Gmbh | Tischverstellvorrichtung |
| JPH07115056A (ja) * | 1993-10-15 | 1995-05-02 | Canon Inc | 縦型基板ステージ装置 |
| EP4012390A1 (en) * | 2020-12-11 | 2022-06-15 | Malvern Panalytical B.V. | Sample mounting system for an x-ray analysis apparatus |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US1876176A (en) * | 1930-12-16 | 1932-09-06 | Charles F Sulzner | Location finder for microscopes |
| DE1789019B1 (de) * | 1968-09-23 | 1972-04-27 | Siemens Ag | Verfahren zur erzeugung eines stereobildes mittels der elektronenstrahlmikroskopie |
| DE1950320A1 (de) * | 1969-09-30 | 1971-04-01 | Siemens Ag | Verfahren zum Kennzeichnen von Stellungen eines in Vakuumraum eines Korpuskularstrahlgeraetes verstellbar angeordneten Teiles |
| GB1323300A (en) * | 1970-04-14 | 1973-07-11 | Heidenhain Johannes Dr | Device for the measurable displacement of an object |
| JPS55165628A (en) * | 1979-06-12 | 1980-12-24 | Fujitsu Ltd | Apparatus for electron-beam irradiation |
| JPS5961132A (ja) * | 1982-09-30 | 1984-04-07 | Fujitsu Ltd | 電子ビ−ム露光装置 |
| US4627009A (en) * | 1983-05-24 | 1986-12-02 | Nanometrics Inc. | Microscope stage assembly and control system |
-
1988
- 1988-12-19 NL NL8803101A patent/NL8803101A/nl not_active Application Discontinuation
-
1989
- 1989-12-07 US US07/447,964 patent/US5001351A/en not_active Expired - Fee Related
- 1989-12-13 EP EP89203173A patent/EP0375033B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1989-12-13 DE DE68916525T patent/DE68916525T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1989-12-19 JP JP1327498A patent/JPH02223844A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0543054U (ja) * | 1991-11-13 | 1993-06-11 | 理学電機株式会社 | Ｘ線回折装置の液晶試料取り付け装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE68916525D1 (de) | 1994-08-04 |
| US5001351A (en) | 1991-03-19 |
| EP0375033A1 (en) | 1990-06-27 |
| DE68916525T2 (de) | 1995-02-02 |
| NL8803101A (nl) | 1990-07-16 |
| EP0375033B1 (en) | 1994-06-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR930000292B1 (ko) | 얼라인먼트 테이블 장치 | |
| US5760564A (en) | Dual guide beam stage mechanism with yaw control | |
| JPH0719693Y2 (ja) | 移動テーブル | |
| EP0196711B1 (en) | A positioning device comprising pre-stressed contactless bearings | |
| US5263384A (en) | Moving stage | |
| JPH02223844A (ja) | 物体ホルダ | |
| JPH0620965Y2 (ja) | 三次元測定機 | |
| US3720849A (en) | Magnetic-kinematic precision stages | |
| JPH0134746B2 (ja) | ||
| EP1223471A1 (en) | Substrate positioning apparatus and exposure apparatus | |
| US6161294A (en) | Overhead scanning profiler | |
| JP2557316Y2 (ja) | 移動テーブル | |
| JPH02287206A (ja) | 位置決めテーブル | |
| JPH0558515A (ja) | 基板位置決め装置 | |
| US5152488A (en) | Microtranslator | |
| JPH09127427A (ja) | 顕微鏡テーブル | |
| JP2773783B2 (ja) | 回転並進ステージ装置 | |
| JP3098421B2 (ja) | 静圧空気軸受け式案内装置 | |
| US4528490A (en) | Two axis drive for stage | |
| CN213354663U (zh) | 移动平台及纠偏设备 | |
| JP2873483B2 (ja) | ウエハーの自動オリエンテーションフラットアライメント装置 | |
| CN218110504U (zh) | 定位装置 | |
| JPS6122740Y2 (ja) | ||
| JPH0524005Y2 (ja) | ||
| JPH0353195Y2 (ja) |