JPH05251304A - 位置決め装置 - Google Patents
位置決め装置Info
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- JPH05251304A JPH05251304A JP4943992A JP4943992A JPH05251304A JP H05251304 A JPH05251304 A JP H05251304A JP 4943992 A JP4943992 A JP 4943992A JP 4943992 A JP4943992 A JP 4943992A JP H05251304 A JPH05251304 A JP H05251304A
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 簡単な構造で基準ピンを移し変えることな
く、矩形基板を縦横いずれの配置状態でも位置決め可能
とし、効率の良い基板配置での位置決め作業を容易に達
成可能な位置決め装置を提供する。 【構成】 載置台６上の所定位置に配設された第１当接
部材１１Ｘと；矩形基板５の１つの短辺が前記第１当接
部材に当接するように、他の短辺を押圧する第１押圧手
段１６Ｘと；前記１つの短辺が前記第１当接部材に当接
した際に基板長辺の位置を計測する第１の位置計測手段
１２Ｙと；前記基板を９０゜回転して前記載置台上に載
置した際に基板短辺が当接する第２当接部材１１Ｙと；
前記回転した基板の１つの短辺が前記第２当接部材に当
接するように、他の短辺を押圧する第２押圧手段１６Ｙ
と；前記１つの短辺が前記第２当接部材に当接した際
に、基板長辺の位置を計測する第２の位置計測手段１２
Ｘと；前記第１または第２押圧手段によって基板を押圧
後に、前記基板を載置台上に固定する固定手段とを有す
る。
く、矩形基板を縦横いずれの配置状態でも位置決め可能
とし、効率の良い基板配置での位置決め作業を容易に達
成可能な位置決め装置を提供する。 【構成】 載置台６上の所定位置に配設された第１当接
部材１１Ｘと；矩形基板５の１つの短辺が前記第１当接
部材に当接するように、他の短辺を押圧する第１押圧手
段１６Ｘと；前記１つの短辺が前記第１当接部材に当接
した際に基板長辺の位置を計測する第１の位置計測手段
１２Ｙと；前記基板を９０゜回転して前記載置台上に載
置した際に基板短辺が当接する第２当接部材１１Ｙと；
前記回転した基板の１つの短辺が前記第２当接部材に当
接するように、他の短辺を押圧する第２押圧手段１６Ｙ
と；前記１つの短辺が前記第２当接部材に当接した際
に、基板長辺の位置を計測する第２の位置計測手段１２
Ｘと；前記第１または第２押圧手段によって基板を押圧
後に、前記基板を載置台上に固定する固定手段とを有す
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、露光装置や座標測定装
置における基板の位置決め装置に関し、特に矩形基板の
位置決め装置に関するものである。
置における基板の位置決め装置に関し、特に矩形基板の
位置決め装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の位置決め装置の構成を図４に示
す。位置決めすべき基板５０は矩形であり、例えば縦位
置（図で短辺をＸ方向、長辺をＹ方向）でホルダ６０上
に搭載される。ホルダ６０には位置決めすべき所定の位
置に対応して、基準ピン７１、７２、７３が設けられ
る。基準ピン７１は基板５０の短辺が当接して位置決め
される当接部材であり、他の２つの基準ピン７２、７３
は長辺が当接して位置決めされる当接部材である。基板
５０は、押圧アーム６１Ｘおよび押圧ピン６２Ｘを含む
第１押圧機構６５Ｘにより、基準ピン７２、７３に対し
押圧され、同様に押圧アーム６１Ｙおよび押圧ピン６２
Ｙを含む第２押圧機構６５Ｙにより、基準ピン７１に対
し押圧される。
す。位置決めすべき基板５０は矩形であり、例えば縦位
置（図で短辺をＸ方向、長辺をＹ方向）でホルダ６０上
に搭載される。ホルダ６０には位置決めすべき所定の位
置に対応して、基準ピン７１、７２、７３が設けられ
る。基準ピン７１は基板５０の短辺が当接して位置決め
される当接部材であり、他の２つの基準ピン７２、７３
は長辺が当接して位置決めされる当接部材である。基板
５０は、押圧アーム６１Ｘおよび押圧ピン６２Ｘを含む
第１押圧機構６５Ｘにより、基準ピン７２、７３に対し
押圧され、同様に押圧アーム６１Ｙおよび押圧ピン６２
Ｙを含む第２押圧機構６５Ｙにより、基準ピン７１に対
し押圧される。
【０００３】基板５０は、破線で示すように、各基準ピ
ン７１、７２、７３からわずかに離れた状態でホルダ６
０上に載置された後、第１および第２押圧機構６５Ｘ、
６５Ｙにより基準ピン７１、７２、７３に対し押圧さ
れ、各基準ピンに当接した状態で位置決めされ（実線の
状態）、図示しない真空吸着手段等によりホルダ６０上
に固定される。
ン７１、７２、７３からわずかに離れた状態でホルダ６
０上に載置された後、第１および第２押圧機構６５Ｘ、
６５Ｙにより基準ピン７１、７２、７３に対し押圧さ
れ、各基準ピンに当接した状態で位置決めされ（実線の
状態）、図示しない真空吸着手段等によりホルダ６０上
に固定される。
【０００４】このように位置決めされた基板５０に対
し、例えばレチクルのパターンが露光転写される。通
常、図５に示すように、レチクル８０は搬入搬出時のハ
ンドリング等のための非パターンエリア８１を必要と
し、焼付けるべきパターンが形成された有効パターンエ
リア８２は矩形となる。一般的に基板５０上にパターン
像を形成する際には、図６（ａ）（ｂ）および図７
（ａ）（ｂ）に示すように、複数の異なるレチクルパタ
ーンＡ〜Ｇを基板５０上に適宜配列して転写する。例え
ば図６は、基板５０上の同一面積にパターンを形成する
ための転写回数を表したものであり、（ｂ）に示す横位
置の方が（ａ）に示す縦位置に比べて転写回数が少な
く、スループットの点で有利な場合を表している。一
方、図７は、（ａ）のような縦位置の方が、（ｂ）のよ
うな横位置の場合に比べて転写回数が少なく、スループ
ットの点で有利な場合を表している。このように、転写
すべきレチクルのパターン領域の寸法、形状、数等に応
じて、基板５０を縦位置または横位置のいずれに配置す
るかを選択することによって、基板へのパターンの転写
回数をできるだけ少なくして処理時間を短縮し、スルー
プットの向上を図る必要がある。
し、例えばレチクルのパターンが露光転写される。通
常、図５に示すように、レチクル８０は搬入搬出時のハ
ンドリング等のための非パターンエリア８１を必要と
し、焼付けるべきパターンが形成された有効パターンエ
リア８２は矩形となる。一般的に基板５０上にパターン
像を形成する際には、図６（ａ）（ｂ）および図７
（ａ）（ｂ）に示すように、複数の異なるレチクルパタ
ーンＡ〜Ｇを基板５０上に適宜配列して転写する。例え
ば図６は、基板５０上の同一面積にパターンを形成する
ための転写回数を表したものであり、（ｂ）に示す横位
置の方が（ａ）に示す縦位置に比べて転写回数が少な
く、スループットの点で有利な場合を表している。一
方、図７は、（ａ）のような縦位置の方が、（ｂ）のよ
うな横位置の場合に比べて転写回数が少なく、スループ
ットの点で有利な場合を表している。このように、転写
すべきレチクルのパターン領域の寸法、形状、数等に応
じて、基板５０を縦位置または横位置のいずれに配置す
るかを選択することによって、基板へのパターンの転写
回数をできるだけ少なくして処理時間を短縮し、スルー
プットの向上を図る必要がある。
【０００５】前述の図４に示した従来の位置決め装置の
構成においては、基板５０を９０゜回転して横位置（短
辺をＹ方向、長辺をＸ方向）とする場合には、各ピン７
１、７２、７３を基板が９０゜回転した位置に対応する
位置に移し変える必要があった。これは、例えば基準ピ
ン７１、７２、７３で決定される２辺を一致させるよう
に基板５０を回転する場合、押圧ピン６２Ｘ、６２Ｙ
は、必然的に基板５０の長辺と短辺との差以上のストロ
ークを持たなければならなくなり、スペースの制約上不
都合が生じることになる。これを避けるためには、押圧
ピン６２Ｘ、６２Ｙ側で基板５０の２辺を決定するよう
にすればよく、そのため基準ピン７１、７２、７３の位
置を移し変えることになる。
構成においては、基板５０を９０゜回転して横位置（短
辺をＹ方向、長辺をＸ方向）とする場合には、各ピン７
１、７２、７３を基板が９０゜回転した位置に対応する
位置に移し変える必要があった。これは、例えば基準ピ
ン７１、７２、７３で決定される２辺を一致させるよう
に基板５０を回転する場合、押圧ピン６２Ｘ、６２Ｙ
は、必然的に基板５０の長辺と短辺との差以上のストロ
ークを持たなければならなくなり、スペースの制約上不
都合が生じることになる。これを避けるためには、押圧
ピン６２Ｘ、６２Ｙ側で基板５０の２辺を決定するよう
にすればよく、そのため基準ピン７１、７２、７３の位
置を移し変えることになる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来技術においては、使用するレチクルに応じて基板の配
置状態を変えるごとに基準ピンの位置を変更する作業が
必要となり、位置決め作業が面倒なものとなっていた。
また、前述のように基準ピンを固定したまま基板の縦お
よび横位置の両方に兼用すれば、ストロークの非常に大
きな押圧機構を用いるかあるいは押圧機構の移動手段等
が必要になり、機構的に複雑で大型化するばかりでなく
スペース的にも制約されるなどの問題を生ずる。
来技術においては、使用するレチクルに応じて基板の配
置状態を変えるごとに基準ピンの位置を変更する作業が
必要となり、位置決め作業が面倒なものとなっていた。
また、前述のように基準ピンを固定したまま基板の縦お
よび横位置の両方に兼用すれば、ストロークの非常に大
きな押圧機構を用いるかあるいは押圧機構の移動手段等
が必要になり、機構的に複雑で大型化するばかりでなく
スペース的にも制約されるなどの問題を生ずる。
【０００７】本発明は、上記従来技術の欠点に鑑みなさ
れたものであって、簡単な構造で基準ピンの位置を変更
することなく、矩形基板を縦横いずれの配置状態でも位
置決め可能とし、効率の良い基板配置での位置決め作業
を容易に達成可能な位置決め装置の提供を目的とする。
れたものであって、簡単な構造で基準ピンの位置を変更
することなく、矩形基板を縦横いずれの配置状態でも位
置決め可能とし、効率の良い基板配置での位置決め作業
を容易に達成可能な位置決め装置の提供を目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明に係る位置決め装置は、対向する第１、及び
第２の短辺と対向する２つの長辺とを有する矩形基板
（５）を、少なくとも平面内で移動可能な載置台（６）
上の所定の位置に位置決めする位置決め装置において、
前記所定の位置に応じた前記載置台（６）上の位置に配
設された第１当接部材（１１Ｘ）と；前記第１の短辺が
前記第１当接部材（１１Ｘ）に当接するように、前記第
２の短辺を該短辺に交差する方向から押圧する第１押圧
手段（１６Ｘ）と；前記第１の短辺が前記第１当接部材
（１１Ｘ）に当接した際に、前記２つの長辺のうちの１
辺の位置を計測する第１の位置計測手段（１２Ｙ）と；
前記所定の位置に対してほぼ９０゜回転した位置に応じ
た前記載置台（６）上の位置に配設された第２当接部材
（１１Ｙ）と；前記回転した位置に応じて前記第１の短
辺が前記第２当接部材（１１Ｙ）に当接するように、前
記第２の短辺を該短辺に交差する方向から押圧する第２
押圧手段（１６Ｙ）と；前記第１の短辺が前記第２当接
部材（１１Ｙ）に当接した際に、前記２つの長辺のうち
の１辺の位置を計測する第２の位置計測手段（１２Ｘ）
と；前記第１または第２押圧手段によって前記第２の短
辺を押圧した後に、前記矩形基板を前記載置台上に固定
する固定手段（８）とを有する。
め、本発明に係る位置決め装置は、対向する第１、及び
第２の短辺と対向する２つの長辺とを有する矩形基板
（５）を、少なくとも平面内で移動可能な載置台（６）
上の所定の位置に位置決めする位置決め装置において、
前記所定の位置に応じた前記載置台（６）上の位置に配
設された第１当接部材（１１Ｘ）と；前記第１の短辺が
前記第１当接部材（１１Ｘ）に当接するように、前記第
２の短辺を該短辺に交差する方向から押圧する第１押圧
手段（１６Ｘ）と；前記第１の短辺が前記第１当接部材
（１１Ｘ）に当接した際に、前記２つの長辺のうちの１
辺の位置を計測する第１の位置計測手段（１２Ｙ）と；
前記所定の位置に対してほぼ９０゜回転した位置に応じ
た前記載置台（６）上の位置に配設された第２当接部材
（１１Ｙ）と；前記回転した位置に応じて前記第１の短
辺が前記第２当接部材（１１Ｙ）に当接するように、前
記第２の短辺を該短辺に交差する方向から押圧する第２
押圧手段（１６Ｙ）と；前記第１の短辺が前記第２当接
部材（１１Ｙ）に当接した際に、前記２つの長辺のうち
の１辺の位置を計測する第２の位置計測手段（１２Ｘ）
と；前記第１または第２押圧手段によって前記第２の短
辺を押圧した後に、前記矩形基板を前記載置台上に固定
する固定手段（８）とを有する。
【０００９】
【作用】本発明においては、基板の位置に応じて夫々専
用の当接部材を設けて基板の短辺を位置決めし、位置計
測手段で基板の長辺の位置を求めてこれを補正するよう
にしたため、基板の配置に応じて当接部材の位置を変更
する必要がなくなる。
用の当接部材を設けて基板の短辺を位置決めし、位置計
測手段で基板の長辺の位置を求めてこれを補正するよう
にしたため、基板の配置に応じて当接部材の位置を変更
する必要がなくなる。
【００１０】
【実施例】図１は本発明が適用される露光装置の構成図
であり、図２は本発明の実施例による位置決め装置の構
成を示す上面図である。露光光源１から射出した露光光
は、照明光学系２を介してレチクル３をほぼ均一に照明
する。レチクル３の投影像は投影光学系４を介して基板
５上に露光転写されパターン像が基板のフォトレジスト
上に焼付けられる。
であり、図２は本発明の実施例による位置決め装置の構
成を示す上面図である。露光光源１から射出した露光光
は、照明光学系２を介してレチクル３をほぼ均一に照明
する。レチクル３の投影像は投影光学系４を介して基板
５上に露光転写されパターン像が基板のフォトレジスト
上に焼付けられる。
【００１１】基板５は、後述のように、ホルダ６上に位
置決めされ、真空吸着装置８により固定されている。こ
の真空吸着装置８は、例えば真空装置を開閉する電磁弁
等の駆動手段（不図示）により動作する。ホルダ６は、
ＸＹ平面内で移動可能なＸＹテーブルおよびＸＹ平面に
直交する軸廻りに回転可能なθテーブルからなる移動テ
ーブル７上に搭載される。移動テーブル７は、Ｘ、Ｙ各
方向の駆動モータおよびθ回転モータからなる駆動手段
９により平面内の移動動作および回転動作を行なう。真
空吸着装置８および移動テーブル７の駆動装置９はそれ
ぞれ制御回路１３に接続され、所定のプログラムに従っ
て駆動制御される。
置決めされ、真空吸着装置８により固定されている。こ
の真空吸着装置８は、例えば真空装置を開閉する電磁弁
等の駆動手段（不図示）により動作する。ホルダ６は、
ＸＹ平面内で移動可能なＸＹテーブルおよびＸＹ平面に
直交する軸廻りに回転可能なθテーブルからなる移動テ
ーブル７上に搭載される。移動テーブル７は、Ｘ、Ｙ各
方向の駆動モータおよびθ回転モータからなる駆動手段
９により平面内の移動動作および回転動作を行なう。真
空吸着装置８および移動テーブル７の駆動装置９はそれ
ぞれ制御回路１３に接続され、所定のプログラムに従っ
て駆動制御される。
【００１２】図２には、基板５が縦位置でホルダ６上に
位置決めされた状態を実線で示してあり、この場合に基
板５の短辺５ａが当接する２個のＹ方向基準ピン１１Ｙ
は基板短辺より短い間隔でホルダ６上に設けられてい
る。同様に、縦位置に対して９０゜回転した横位置で基
板５を位置決めした状態を破線で示してあり、この場合
に基板５の短辺５ａが当接する２個のＸ方向基準ピン１
１Ｘは基板短辺より狭い間隔でホルダ６上に設けられて
いる。基板５は、縦位置では、押圧アーム１０Ｙおよび
押圧ピン１５ＹからなるＹ方向押圧機構１６Ｙにより、
基準ピン１１Ｙに対して押圧される。一方、横位置での
基板５は、押圧アーム１０Ｘおよび押圧ピン１５Ｘから
なるＸ方向押圧機構１６Ｘにより、基準ピン１１Ｘに対
して押圧される。各押圧アーム１０Ｘ、１０Ｙは図示し
ない流体圧シリンダまたは適当な押圧モータに連結され
図１に示す制御回路１３により駆動制御される。ＸＹ各
方向の押圧機構１６Ｘ、１６Ｙには押圧ピン１５Ｘ、１
５Ｙの移動量またはその位置を検出するための位置計測
器１２Ｘ、１２Ｙが備わる。これらの位置計測器１２
Ｘ、１２Ｙからの位置情報を制御回路１３に入力する。
制御回路１３はＣＰＵ１４に記憶された所定のプログラ
ムにしたがって基板５の位置決め制御を行なう。
位置決めされた状態を実線で示してあり、この場合に基
板５の短辺５ａが当接する２個のＹ方向基準ピン１１Ｙ
は基板短辺より短い間隔でホルダ６上に設けられてい
る。同様に、縦位置に対して９０゜回転した横位置で基
板５を位置決めした状態を破線で示してあり、この場合
に基板５の短辺５ａが当接する２個のＸ方向基準ピン１
１Ｘは基板短辺より狭い間隔でホルダ６上に設けられて
いる。基板５は、縦位置では、押圧アーム１０Ｙおよび
押圧ピン１５ＹからなるＹ方向押圧機構１６Ｙにより、
基準ピン１１Ｙに対して押圧される。一方、横位置での
基板５は、押圧アーム１０Ｘおよび押圧ピン１５Ｘから
なるＸ方向押圧機構１６Ｘにより、基準ピン１１Ｘに対
して押圧される。各押圧アーム１０Ｘ、１０Ｙは図示し
ない流体圧シリンダまたは適当な押圧モータに連結され
図１に示す制御回路１３により駆動制御される。ＸＹ各
方向の押圧機構１６Ｘ、１６Ｙには押圧ピン１５Ｘ、１
５Ｙの移動量またはその位置を検出するための位置計測
器１２Ｘ、１２Ｙが備わる。これらの位置計測器１２
Ｘ、１２Ｙからの位置情報を制御回路１３に入力する。
制御回路１３はＣＰＵ１４に記憶された所定のプログラ
ムにしたがって基板５の位置決め制御を行なう。
【００１３】次に、図３のフローチャートを参照して上
記構成の位置決め装置の動作について説明する。まず、
基板に焼き付けるレチクルのパターン領域の形状や寸法
および数等を考慮して基板の最適な配置方向（縦位置か
横位置か）を決定する。（ステップ２１）。ここでは例
として、図２の実線で示した縦位置に位置決めする場合
について説明する。基板５は縦位置で且つ所定の位置に
対して大まかに位置決めされた状態でホルダ６上に載置
する。ここでＹ方向押圧機構１６Ｙを駆動し押圧ピン１
５Ｙにより基板５を短辺５ｂ側から基準ピン１１Ｙに対
し押圧する（ステップ２２）。基板５が基準ピン１１Ｙ
に対し完全に押し付けられた状態で基板５をホルダ６に
真空吸着して固定する（ステップ２３）。
記構成の位置決め装置の動作について説明する。まず、
基板に焼き付けるレチクルのパターン領域の形状や寸法
および数等を考慮して基板の最適な配置方向（縦位置か
横位置か）を決定する。（ステップ２１）。ここでは例
として、図２の実線で示した縦位置に位置決めする場合
について説明する。基板５は縦位置で且つ所定の位置に
対して大まかに位置決めされた状態でホルダ６上に載置
する。ここでＹ方向押圧機構１６Ｙを駆動し押圧ピン１
５Ｙにより基板５を短辺５ｂ側から基準ピン１１Ｙに対
し押圧する（ステップ２２）。基板５が基準ピン１１Ｙ
に対し完全に押し付けられた状態で基板５をホルダ６に
真空吸着して固定する（ステップ２３）。
【００１４】次にＸ方向押圧機構１６Ｘを駆動して押圧
ピン１５Ｘが基板５の図の右側の長辺に当接するまで移
動させる。押圧ピン１５Ｘが基板長辺に当接した状態
（図示した状態）でこの押圧ピンの移動量を位置計測器
１２Ｘにより計測するなどして、長辺の位置（座標位
置）を検出する（ステップ２４）。このようにして検出
された長辺のＸ方向の位置を所定の座標位置と比較しそ
の差を補正すべき位置ずれ量として求める（ステップ２
５）。この位置ずれ量に基づいて移動テーブルを駆動し
て、基板を所定の位置に位置決めする。このような一連
の動作は、予め入力されたＣＰＵ１４のプログラムに従
って制御回路１３により制御される。
ピン１５Ｘが基板５の図の右側の長辺に当接するまで移
動させる。押圧ピン１５Ｘが基板長辺に当接した状態
（図示した状態）でこの押圧ピンの移動量を位置計測器
１２Ｘにより計測するなどして、長辺の位置（座標位
置）を検出する（ステップ２４）。このようにして検出
された長辺のＸ方向の位置を所定の座標位置と比較しそ
の差を補正すべき位置ずれ量として求める（ステップ２
５）。この位置ずれ量に基づいて移動テーブルを駆動し
て、基板を所定の位置に位置決めする。このような一連
の動作は、予め入力されたＣＰＵ１４のプログラムに従
って制御回路１３により制御される。
【００１５】また、露光すべき基板を９０゜回転した横
位置に位置決めする場合には、各基準ピン１１Ｘ、１１
Ｙの位置を変更する必要はなく、前述と同様のシーケン
スにより位置決めされる。すなわち、この場合には、ま
ずＸ方向の押圧機構１６Ｘにより基準ピン１１Ｘに対し
横位置（図２中に破線で示す）の基板５の短辺５ａを当
接させ、ホルダ６に固定する。この状態でＹ方向の押圧
機構１６Ｙを駆動して押圧ピン１５Ｙを基板長辺に当接
させ、この長辺の位置を求める。
位置に位置決めする場合には、各基準ピン１１Ｘ、１１
Ｙの位置を変更する必要はなく、前述と同様のシーケン
スにより位置決めされる。すなわち、この場合には、ま
ずＸ方向の押圧機構１６Ｘにより基準ピン１１Ｘに対し
横位置（図２中に破線で示す）の基板５の短辺５ａを当
接させ、ホルダ６に固定する。この状態でＹ方向の押圧
機構１６Ｙを駆動して押圧ピン１５Ｙを基板長辺に当接
させ、この長辺の位置を求める。
【００１６】次に、求めた長辺の位置の所定位置からの
位置ずれ量を算出し、この位置ずれ量に基づいて移動テ
ーブルを駆動して基板を所定位置に位置決めする。尚、
前述のように基板の縦位置と横位置とで押圧機構側の２
辺がほぼ一致するように基板を位置決めする構成とした
ため（即ち、図２の実線で示す縦位置での基板５は、そ
の下側の短辺５ｂの位置が、破線で示す横位置での基板
の下側の長辺の位置とほぼ一致し、かつ横位置での基板
の右側の短辺の位置が、縦位置での基板の右側の長辺の
位置とほぼ一致するように各基準ピン１１Ｘ、１１Ｙの
配設位置を決定したため）、縦、横いずれの位置でも、
基板と基準ピンが干渉することはない。また、このよう
な構成により、押圧機構１６Ｘ、１６Ｙのストロークを
長くとる必要がなくなり、スペースの節約にもなる。さ
らに、例えばストロークの短い押圧機構に対しても、こ
れに位置計測手段を付加するだけでこの押圧機構を用い
て基板の長辺の位置を計測することが可能となり、装置
の構成が簡潔になる。
位置ずれ量を算出し、この位置ずれ量に基づいて移動テ
ーブルを駆動して基板を所定位置に位置決めする。尚、
前述のように基板の縦位置と横位置とで押圧機構側の２
辺がほぼ一致するように基板を位置決めする構成とした
ため（即ち、図２の実線で示す縦位置での基板５は、そ
の下側の短辺５ｂの位置が、破線で示す横位置での基板
の下側の長辺の位置とほぼ一致し、かつ横位置での基板
の右側の短辺の位置が、縦位置での基板の右側の長辺の
位置とほぼ一致するように各基準ピン１１Ｘ、１１Ｙの
配設位置を決定したため）、縦、横いずれの位置でも、
基板と基準ピンが干渉することはない。また、このよう
な構成により、押圧機構１６Ｘ、１６Ｙのストロークを
長くとる必要がなくなり、スペースの節約にもなる。さ
らに、例えばストロークの短い押圧機構に対しても、こ
れに位置計測手段を付加するだけでこの押圧機構を用い
て基板の長辺の位置を計測することが可能となり、装置
の構成が簡潔になる。
【００１７】なお、位置計測器１２Ｘ、Ｙは夫々押圧機
構１６Ｘ、Ｙに連動してその移動量を検出する構成とし
たが、これに限定されるものではなく、基板の縦位置横
位置にかかわらず基板の短辺側を押し付けて固定した状
態で基板の長辺の位置を検出する構成のものであれば、
光学的な検出手段や、他の機械的な接触式の検出手段を
用いても構わない。
構１６Ｘ、Ｙに連動してその移動量を検出する構成とし
たが、これに限定されるものではなく、基板の縦位置横
位置にかかわらず基板の短辺側を押し付けて固定した状
態で基板の長辺の位置を検出する構成のものであれば、
光学的な検出手段や、他の機械的な接触式の検出手段を
用いても構わない。
【００１８】ところで、一般的に矩形基板は、少なくと
も１辺が精度の良い基準辺となっており、この基準辺を
位置決めの基準として用いている（例えば、この基準辺
を基準ピンに当接させることによって基板を基準ピンに
対して位置決めする）。上記の実施例は、この基準辺を
基準ピンに対して当接させる場合の例を示したものであ
る（即ち、図２における短辺５ａが基準辺である場合）
が、必ずしもこの基準辺が基準ピンに対して当接するも
のであるとは限らない（つまり図２における短辺５ｂが
基準辺である場合）。この場合は、基準辺を位置合わせ
のための基準として使用することができず、基準辺の位
置をも補正する必要がある。そのため、例えば図３のス
テップ２４において、位置計測器１２Ｘによって長辺の
位置を検出するとともに、位置計測器１２Ｙを用いて短
辺５ｂの位置（座標位置）をも検出する。そして、ステ
ップ２５では、検出された長辺のＸ方向の位置と短辺の
Ｙ方向の位置とを所定の座標位置と比較し、その差を夫
々長辺及び短辺の補正すべき位置ずれ量として求める。
この位置ずれ量に基づいて、基板を所定の位置に位置決
めすることについては上記の実施例と同様である。
も１辺が精度の良い基準辺となっており、この基準辺を
位置決めの基準として用いている（例えば、この基準辺
を基準ピンに当接させることによって基板を基準ピンに
対して位置決めする）。上記の実施例は、この基準辺を
基準ピンに対して当接させる場合の例を示したものであ
る（即ち、図２における短辺５ａが基準辺である場合）
が、必ずしもこの基準辺が基準ピンに対して当接するも
のであるとは限らない（つまり図２における短辺５ｂが
基準辺である場合）。この場合は、基準辺を位置合わせ
のための基準として使用することができず、基準辺の位
置をも補正する必要がある。そのため、例えば図３のス
テップ２４において、位置計測器１２Ｘによって長辺の
位置を検出するとともに、位置計測器１２Ｙを用いて短
辺５ｂの位置（座標位置）をも検出する。そして、ステ
ップ２５では、検出された長辺のＸ方向の位置と短辺の
Ｙ方向の位置とを所定の座標位置と比較し、その差を夫
々長辺及び短辺の補正すべき位置ずれ量として求める。
この位置ずれ量に基づいて、基板を所定の位置に位置決
めすることについては上記の実施例と同様である。
【００１９】即ち、本発明では、長辺の位置を計測する
のみではなく、短辺の位置も計測してずれ量を算出し、
所定の位置に位置決めする制御手段を備える構成も含む
ものである。これは上記説明からも分るように、長辺の
長さの公差により、短辺側押圧ピンの当る座標が変るた
め、押圧ピン側に基板の基準があると、長辺長さの公差
により差が生じるので短辺位置の計測をする場合がある
ためである。
のみではなく、短辺の位置も計測してずれ量を算出し、
所定の位置に位置決めする制御手段を備える構成も含む
ものである。これは上記説明からも分るように、長辺の
長さの公差により、短辺側押圧ピンの当る座標が変るた
め、押圧ピン側に基板の基準があると、長辺長さの公差
により差が生じるので短辺位置の計測をする場合がある
ためである。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る基板
の位置決め装置においては、縦位置横位置のそれぞれの
基板配置について、基板短辺が当接する基準ピンおよび
この基準ピンに対し基板を押圧する押圧機構を専用に備
え、一方の押圧機構により基板短辺を押し付けた状態で
他方の押圧機構を用いて基板長辺の位置を計測し、この
計測結果に基づいて基板位置の座標補正を行なっている
ため、基板の配置方向に応じてその都度基準ピンの位置
を変更することなく、基板を所定の位置に整合させるこ
とができる。これにより基板の配置方向が任意に選択で
き、スループットの向上を図ることができる。
の位置決め装置においては、縦位置横位置のそれぞれの
基板配置について、基板短辺が当接する基準ピンおよび
この基準ピンに対し基板を押圧する押圧機構を専用に備
え、一方の押圧機構により基板短辺を押し付けた状態で
他方の押圧機構を用いて基板長辺の位置を計測し、この
計測結果に基づいて基板位置の座標補正を行なっている
ため、基板の配置方向に応じてその都度基準ピンの位置
を変更することなく、基板を所定の位置に整合させるこ
とができる。これにより基板の配置方向が任意に選択で
き、スループットの向上を図ることができる。
【図１】 本発明に係る位置決め装置を備えた露光装置
の構成図である。
の構成図である。
【図２】 本発明に係る位置決め装置の上面図である。
【図３】 本発明に係る位置決め装置の基本動作を示す
フローチャートである。
フローチャートである。
【図４】 従来の位置決め装置の上面図である。
【図５】 レチクルの平面図である。
【図６】 （ａ）（ｂ）はそれぞれ基板の縦位置および
横位置でパターンを形成するための転写回数の例を示す
説明図である。
横位置でパターンを形成するための転写回数の例を示す
説明図である。
【図７】 （ａ）（ｂ）はそれぞれ基板の縦位置および
横位置でパターンを形成するための転写回数の別の例を
示す説明図である。
横位置でパターンを形成するための転写回数の別の例を
示す説明図である。
５：基板、６：ホルダ、７：移動テーブル、１０Ｘ、１
０Ｙ：押圧アーム、１１Ｘ、１１Ｙ：基準ピン、１２
Ｘ、１２Ｙ：位置計測器、１３：制御回路、１５Ｘ、１
５Ｙ：押圧ピン、１６Ｘ、１６Ｙ：押圧機構。
０Ｙ：押圧アーム、１１Ｘ、１１Ｙ：基準ピン、１２
Ｘ、１２Ｙ：位置計測器、１３：制御回路、１５Ｘ、１
５Ｙ：押圧ピン、１６Ｘ、１６Ｙ：押圧機構。
Claims (6)
- 【請求項１】 対向する第１、及び第２の短辺と対向す
る２つの長辺とを有する矩形基板を、少なくとも平面内
で移動可能な載置台上の所定の位置に位置決めする位置
決め装置において、 前記所定の位置に応じた前記載置台上の位置に配設され
た第１当接部材と；前記第１の短辺が前記第１当接部材
に当接するように、前記第２の短辺を該短辺に交差する
方向から押圧する第１押圧手段と；前記第１の短辺が前
記第１当接部材に当接した際に、前記２つの長辺のうち
の１辺の位置を計測する第１の位置計測手段と；前記所
定の位置に対してほぼ９０゜回転した位置に応じた前記
載置台上の位置に配設された第２当接部材と；前記回転
した位置に応じて前記第１の短辺が前記第２当接部材に
当接するように、前記第２の短辺を該短辺に交差する方
向から押圧する第２押圧手段と；前記第１の短辺が前記
第２当接部材に当接した際に、前記２つの長辺のうちの
１辺の位置を計測する第２の位置計測手段と；前記第１
または第２押圧手段によって前記第２の短辺を押圧した
後に、前記矩形基板を前記載置台上に固定する固定手段
とを有することを特徴とする位置決め装置。 - 【請求項２】 前記第１、及び第２当接部材は、前記第
１の短辺の長さよりも狭い間隔で配設された１組のピン
状の部材を含むことを特徴とする請求項１に記載の位置
決め装置。 - 【請求項３】 前記第１押圧手段で規定された前記第２
の短辺の位置は、前記回転した位置での前記矩形基板の
長辺の１つの位置にほぼ一致し、また前記第２押圧手段
で規定された前記第２の短辺の位置は、前記所定の位置
での前記矩形基板の長辺の１つの位置にほぼ一致するこ
とを特徴とする請求項１に記載の位置決め装置。 - 【請求項４】 前記第２押圧手段は、前記第１押圧手段
が前記第２の短辺を押圧した際に前記２つの長辺のうち
の１辺に移動して当接するものであり、前記第１の位置
測定手段は、前記第２押圧手段の移動量を検出すること
によって前記２つの長辺のうちの１辺の位置を計測し、
また前記第１押圧手段は、前記第２押圧手段が前記第２
の短辺を押圧した際に前記２つの長辺のうちの１辺に移
動して当接するものであり、前記第２の位置計測手段
は、前記第１押圧手段の移動量を検出することによって
前記２つの長辺のうちの１辺の位置を計測することを特
徴とする請求項１に記載の位置決め装置。 - 【請求項５】 前記固定手段により前記矩形基板を前記
載置台上に固定した後、前記第１または第２の位置計測
手段により前記２つの長辺のうちの１辺の位置を計測
し、この計測結果に基づいて前記所定の位置に対する前
記２つの長辺のうちの１辺の位置ずれ量を算出し、該位
置ずれ量に基づいて前記載置台を移動し、前記矩形基板
を前記所定の位置に位置決めする制御手段を備えたこと
を特徴とする請求項１に記載の位置決め装置。 - 【請求項６】 前記固定手段により前記矩形基板を前記
載置台上に固定した後、前記第１及び第２の位置計測手
段により前記２つの長辺のうちの１辺の位置及び前記第
２の短辺の位置を計測し、この計測結果に基づいて前記
所定の位置に対する前記２つの長辺のうちの１辺の位置
ずれ量及び前記第２の短辺の位置ずれ量を算出し、該位
置ずれ量に基づいて前記載置台を移動し、前記矩形基板
を前記所定の位置に位置決めする制御手段を備えたこと
を特徴とする請求項１に記載の位置決め装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4943992A JPH05251304A (ja) | 1992-03-06 | 1992-03-06 | 位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4943992A JPH05251304A (ja) | 1992-03-06 | 1992-03-06 | 位置決め装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05251304A true JPH05251304A (ja) | 1993-09-28 |
Family
ID=12831149
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4943992A Pending JPH05251304A (ja) | 1992-03-06 | 1992-03-06 | 位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05251304A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007083390A (ja) * | 2005-09-21 | 2007-04-05 | F-Tool Internatl Ag | ワークピースのクランプ装置 |
| JP2007273501A (ja) * | 2006-03-30 | 2007-10-18 | Kyocera Corp | 位置合わせ装置 |
| CN102368387A (zh) * | 2011-09-22 | 2012-03-07 | 高雄应用科技大学 | 电动调整定位机构 |
| WO2013037139A1 (zh) * | 2011-09-13 | 2013-03-21 | 深圳市华星光电技术有限公司 | Lcd曝光平台装置及曝光系统 |
| KR200470096Y1 (ko) * | 2008-12-09 | 2013-11-28 | 주식회사 테스 | 웨이퍼 블레이드 |
| CN105957823A (zh) * | 2016-06-29 | 2016-09-21 | 昆山国显光电有限公司 | 基板偏离校正装置、基板偏离校正方法及具有基板偏离校正装置的载台 |
| CN112743132A (zh) * | 2020-12-30 | 2021-05-04 | 汨罗市兴天机械有限公司 | 一种矩形机架多面同步铣削加工方法及设备 |
| CN115026527A (zh) * | 2022-07-22 | 2022-09-09 | 邯郸市永年区海翔机械厂 | 发动机附件机匣内的衬套加工方法 |
-
1992
- 1992-03-06 JP JP4943992A patent/JPH05251304A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007083390A (ja) * | 2005-09-21 | 2007-04-05 | F-Tool Internatl Ag | ワークピースのクランプ装置 |
| JP2007273501A (ja) * | 2006-03-30 | 2007-10-18 | Kyocera Corp | 位置合わせ装置 |
| KR200470096Y1 (ko) * | 2008-12-09 | 2013-11-28 | 주식회사 테스 | 웨이퍼 블레이드 |
| WO2013037139A1 (zh) * | 2011-09-13 | 2013-03-21 | 深圳市华星光电技术有限公司 | Lcd曝光平台装置及曝光系统 |
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| CN105957823A (zh) * | 2016-06-29 | 2016-09-21 | 昆山国显光电有限公司 | 基板偏离校正装置、基板偏离校正方法及具有基板偏离校正装置的载台 |
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| CN115026527A (zh) * | 2022-07-22 | 2022-09-09 | 邯郸市永年区海翔机械厂 | 发动机附件机匣内的衬套加工方法 |
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