TWI835495B - 電性檢查裝置及電性檢查方法 - Google Patents

Abstract

本發明之目的在於提供一種可對於印刷基板迅速且容易對位電性檢查頭之電性檢查裝置。 本發明之一態樣之電性檢查裝置1具備：電性檢查頭10，其可自法線方向側接觸印刷基板W；旋轉機構11，其使電性檢查頭10以與印刷基板W之法線方向平行之旋轉軸R為中心旋轉；攝像部12，其具有相對於印刷基板W自法線方向正對之光學元件22a，可拍攝印刷基板W；及移動機構13，其使攝像部12於接近位置P1與迴避位置P2之間移動；且接近位置P1係於電性檢查頭10旋轉時，攝像部12可與電性檢查頭10接觸之位置，迴避位置P2係於電性檢查頭10旋轉時，攝像部12不與電性檢查頭10接觸之位置。

Description

電性檢查裝置及電性檢查方法

本發明係關於一種電性檢查裝置及電性檢查方法。

為檢查印刷基板之電性特性而使用電性檢查裝置。該電性檢查裝置具備：電性檢查頭，其配置有複數個探針(電性接觸件)；及攝像部，其可自法線方向拍攝印刷基板。該電性檢查裝置於藉由攝像部拍攝印刷基板，對印刷基板之被檢查區域對位電性檢查頭之後，使電性檢查頭自法線方向接觸印刷基板，藉此檢查印刷基板之電性特性(參照專利文獻1)。 [先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2015-52511號公報

[發明所欲解決之問題]

於專利文獻1，於第4實施形態中，記載有一種具有連結於電性檢查治具50a之底板51之定位機構57，於該定位機構57配置圖像辨識用相機56的構成。

專利文獻1所記載之電性檢查裝置因可藉由定位機構57進行圖像辨識用相機56之位置調節，故無需將圖像辨識用相機56預先固定於正確之位置。

另一方面，於此種電性檢查裝置中，於將電性檢查頭對位於印刷基板之被檢查區域時，有時使電性檢查頭繞與印刷基板之法線方向平行之軸旋轉。然而，根據專利文獻1所記載之構成，於使電性檢查頭旋轉之情形時，圖像辨識用相機與電性檢查頭一起旋轉。因此，專利文獻1所記載之電性檢查裝置於連續迅速進行圖像辨識用相機之攝像與電性檢查頭相對於被檢查區域之對位之點，有進一步改良之餘地。

本發明係基於此種情況而完成者，本發明之目的在於提供一種可相對於印刷基板迅速且容易定位電性檢查頭之電性檢查裝置。 [解決問題之技術手段]

本發明之一態樣之電性檢查裝置具備：電性檢查頭，其可自法線方向側接觸印刷基板；旋轉機構，其使上述電性檢查頭以與上述法線方向平行之旋轉軸為中心旋轉；攝像部，其具有相對於上述印刷基板自法線方向正對之光學元件，可拍攝上述印刷基板；及移動機構，其使上述攝像部於接近位置與迴避位置之間移動；且上述接近位置係於上述電性檢查頭旋轉時，上述攝像部可與上述電性檢查頭接觸之位置；上述迴避位置係於上述電性檢查頭旋轉時，上述攝像部不與上述電性檢查頭接觸之位置。

上述移動機構亦可使上述攝像部獨立於上述電性檢查頭而移動。

上述迴避位置亦可為自上述接近位置沿上述印刷基板之法線方向遠離之位置。

於上述印刷基板之法線方向視角下，上述接近位置之上述攝像部與上述旋轉軸之間隔亦可與上述迴避位置之上述攝像部與上述旋轉軸之間隔相同。

該電性檢查裝置亦可進而具備可將上述電性檢查頭定位於上述印刷基板之平面方向之定位機構。

上述定位機構亦可將上述電性檢查頭與上述攝像部同時定位於上述平面方向。

本發明之另一態樣之電性檢查方法使用電性檢查裝置，該電性檢查裝置具備：電性檢查頭，其可自法線方向側接觸印刷基板；旋轉機構，其使上述電性檢查頭以與上述法線方向平行之旋轉軸為中心旋轉；攝像部，其具有相對於上述印刷基板自法線方向正對之光學元件，可拍攝上述印刷基板；及移動機構，其使上述攝像部於接近位置與迴避位置之間移動；且以上述接近位置為於上述電性檢查頭旋轉時，上述攝像部可與上述電性檢查頭接觸之位置，上述迴避位置為於上述電性檢查頭旋轉時，上述攝像部不與上述電性檢查頭接觸之位置之方式，使上述攝像部移動。 [發明之效果]

本發明之一態樣之電性檢查裝置於將上述攝像部配置於接近位置之狀態下，藉由該攝像部自法線方向拍攝上述印刷基板之後，於上述電性檢查頭旋轉時可使上述攝像部移動至不與上述電性檢查頭接觸之迴避位置。因此，該電性檢查裝置於藉由上述攝像部自上述電性檢查頭之附近拍攝上述印刷基板之後，可使上述電性檢查頭獨立於上述攝像部而旋轉。其結果，該電性檢查裝置可使上述電性檢查頭相對於上述印刷基板迅速且容易對位。

以下，一面參照適當圖式，一面詳細說明本發明之實施形態。另，對本說明書記載之數值，可僅採用記載之上限值與下限值中之一者、或任意組合上限值與下限值。

[電性檢查裝置] 圖1及圖2之電性檢查裝置1具備：電性檢查頭10，其可自法線方向(圖1之Z方向)側接觸印刷基板W；旋轉機構11，其使電性檢查頭10以與上述法線方向平行之旋轉軸R為中心旋轉；攝像部12，其具有相對於印刷基板W自法線方向正對之光學元件22a，可拍攝印刷基板W；及移動機構13，其使攝像部12於接近位置與迴避位置之間移動。又，該電性檢查裝置1具備：定位機構14，其可使電性檢查頭10定位於印刷基板W之平面方向(圖1之XY平面方向)；升降機構15，其使電性檢查頭10於印刷基板W之法線方向上升降；框體16，其連接於定位機構14；控制部17，其控制旋轉機構11、移動機構13、定位機構14及升降機構15之動作。另，於圖1中，於印刷基板W之兩面側分別配置有電性檢查頭10及攝像部12。其中，於該電性檢查裝置1中，電性檢查頭10及攝像部12中之一者或兩者可僅配置於印刷基板W之單面側。又，於圖1中，圖示電性檢查頭10與控制部17以1對1對應設置之構成。但，該電性檢查裝置1亦可於一對電性檢查頭10具有共通之控制部17。

[印刷基板] 印刷基板W為板狀或片狀。作為印刷基板W，可使用於薄膜狀之基材配置電路圖案者。於印刷基板W，存在複數個被檢查區域。該電性檢查裝置1構成為藉由相對於各被檢查區域接觸電性檢查頭10，而對每個被檢查區域進行電性檢查。該電性檢查裝置1構成為對配置於印刷基板W之複數個被檢查區域連續進行電性檢查。另，於本發明中雖於「板狀」與「片狀」之間無明確之區別，但可將實質上不因自重而產生撓曲者稱為「板狀」，具有可撓性，將因自重而產生撓曲者稱為「片狀」。又，「片狀」為包含「膜狀」之概念。

印刷基板W於例如俯視下為矩形狀。印刷基板W於藉由把持具31把持4個角部之狀態下保持為水平。印刷基板W藉由其周緣部利用把持具31部分把持而保持為中空。

於印刷基板W，設置有成為攝像部12之攝像對象之基準位置標記(未圖示)。該基準位置標記使用於求出印刷基板W之被檢查區域與電性檢查頭10之相對之位置關係。上述基準位置標記可為例如電路圖案本身，亦可為與電路圖案分開設置之定位用之標記。

(電性檢查頭) 電性檢查頭10具有：複數個探針21a；一對支持板(可自法線方向接觸印刷基板W之底板21b、及於自印刷基板W沿法線方向分開之方向上與底板21b對向配置之頂板21c)，其等具有複數個探針21a可通過之貫通孔；及基台21d，其固定於頂板21c。複數個探針21a設置為可與印刷基板W之電路圖案接觸。

於印刷基板W之法線方向視角下(以下，亦稱為「俯視」)，電性檢查頭10具有角部。更詳細而言，電性檢查頭10為具有4個角部之俯視矩形狀。又，基台21d俯視下具有角部。基台21d之平面形狀與電性檢查頭10之平面形狀相等。作為基台21d之具體之形狀，列舉將印刷基板W之法線方向設為厚度方向之長方體。另，「長方體」不限定於完整之長方體，包含部分具有凹凸之形狀、或角部弄圓之形狀等。

基台21d之厚度T1維持需要之強度且可於可適當保持複數個探針21a之範圍內設定。自此種觀點而言，作為基台21d之厚度T1之下限，較佳為30 mm，更佳為40 mm。另一方面，作為基台21d之厚度T1之上限，較佳為100 mm，更佳為80 mm，進而更佳為60 mm。若上述厚度T1超過上述上限，則有移動機構13之攝像部12之移動距離難以變得足夠小之虞。

電性檢查頭10之厚度T2(藉由底板21b之底面與基台21d之頂面劃定之厚度)維持需要之強度，且可於可藉由複數個探針21a適當進行印刷基板W之電性檢查之範圍內設定。作為電性檢查頭10之厚度T2之下限，較佳為例如50 mm，更佳為60 mm。另一方面，作為電性檢查頭10之厚度T2之上限，較佳為例如150 mm，更佳為120 mm，進而更佳為90 mm。

(旋轉機構) 旋轉機構11使電性檢查頭10獨立於攝像部12(更詳細而言，為稍後敘述之攝像終端22)而可旋轉地構成。旋轉機構11使電性檢查頭10以與電性檢查頭10正交之旋轉軸R為旋轉中心旋轉。旋轉軸R俯視下配置於電性檢查頭10之中心部分。作為旋轉機構11之具體之構成，並非特別限定者，列舉藉由配置於框體16之軸承(未圖示)直接或間接可旋轉地保持電性檢查頭10之構成。

(攝像部) 攝像部12具有包含自法線方向與印刷基板W正對之上述光學元件22a之攝像終端22、與圖像處理部。攝像終端22被設置為可拍攝數位圖像。攝像終端22自上述法線方向拍攝設置於印刷基板W之上述基準位置標記。作為光學元件22a，列舉例如透鏡。上述圖像處理部處理攝像終端22拍攝之數位圖像。

攝像終端22被設置為可自電性檢查頭10之側方拍攝上述基準位置標記。藉由如此構成，可縮小攝像時之攝像終端22與印刷基板W之間隔。其結果，可增大攝像終端22獲取之光量，提高由攝像終端22拍攝之圖像之辨識精度。

攝像終端22自接近電性檢查頭10之位置(接近位置P1)拍攝上述基準位置標記。更詳細而言，攝像終端22於使電性檢查頭10旋轉時自可與電性檢查頭10之角部接觸之位置拍攝上述基準位置標記。藉由如此與電性檢查頭10接近配置攝像終端22，而於上述基準位置標記之攝像後，可縮小使電性檢查頭10對位於印刷基板W之被檢查區域時之電性檢查頭10之移動距離。其結果，可謀求電性檢查處理之效率化，且抑制起因於電性檢查頭10之移動之誤差。

上述圖像處理部可包含於控制部17，亦可與控制部17分開設置。於上述圖像處理部包含於控制部17之情形時，上述圖像處理部亦可為藉由控制部17處理之程式之一部分。

(移動機構) 移動機構13保持攝像終端22。如圖1及圖3所示，移動機構13使攝像終端22於接近位置P1與迴避位置P2之間移動。接近位置P1係於電性檢查頭10旋轉時攝像部12(更詳細而言為攝像終端22)可與電性檢查頭10接觸之位置。又，迴避位置P2係於電性檢查頭10旋轉時攝像部12(更詳細而言為攝像終端22)不與電性檢查頭10接觸之位置。

如上所述，該電性檢查裝置1可藉由自接近位置P1由攝像終端22拍攝上述基準位置標記而謀求電性檢查處理之效率化等。另一方面，若攝像終端22配置於接近位置P1，則限制電性檢查頭10之旋轉，有時難以將電性檢查頭10對位於被檢查區域。因此，於該電性檢查裝置1中，構成為藉由移動機構13可將攝像終端22移動至迴避位置P2。

移動機構13較佳為使攝像部12獨立於電性檢查頭10而移動。換言之，移動機構13較佳為於電性檢查頭10旋轉及升降時，以攝像終端22不追隨電性檢查頭10移動之方式設置。根據該構成，可保持光學元件22a相對於印刷基板W之焦點距離，且使電性檢查頭10相對於印刷基板W對位，且於該對位後藉由電性檢查頭10進行電性檢查。其結果，可更有效且穩定地進行電性檢查。

如圖3所示，迴避位置P2較佳為自接近位置P1沿印刷基板W之法線方向遠離之位置。藉由如此構成，該電性檢查裝置1即使於將攝像終端22於電性檢查頭10之側方，且與電性檢查頭10接近配置之情形時，亦可防止攝像終端22之移動距離增加。其結果，可促進電性檢查處理之效率化，且更容易抑制起因於電性檢查頭10之移動之誤差。

於印刷基板W之法線方向視角下，接近位置P1之攝像部12(更詳細而言為攝像終端22)與旋轉軸R之間隔較佳為與迴避位置P2之攝像部12(更詳細而言為攝像終端22)與旋轉軸R之間隔相同。藉由如此構成，可容易縮小攝像終端22之移動距離。

移動機構13較佳為以使攝像終端22直動之方式設置。根據該構成，可更容易縮小攝像終端22之移動距離。

作為接近位置P1與迴避位置P2之間之攝像部12之移動距離，較佳為電性檢查頭10之厚度T2以下，更佳為基台21d之厚度T1以下。該電性檢查裝置1構成為例如自基台21d之側方由攝像終端22拍攝上述基準位置標記，藉此可控制攝像部12之移動距離為基台21d之厚度T1以下。根據該構成，可適當維持接近位置P1之光學元件22a相對於印刷基板W之焦點距離，且容易縮小攝像終端22之移動距離。

移動機構13於連結於框體16之狀態下保持攝像終端22。移動機構13使攝像終端22相對於框體16沿印刷基板W之法線方向可滑動地設置。藉由如此構成，移動機構13可使攝像終端22獨立於電性檢查頭10，沿印刷基板W之法線方向移動。作為移動機構13之具體之構成，列舉例如具有配置於框體16之軌道構件、及可滑動地配置於該軌道構件且可固定攝像終端22之可動構件的構成。

(定位機構) 定位機構14於維持電性檢查頭10之朝向之狀態下，將該電性檢查頭10定位於印刷基板W之平面方向。該電性檢查裝置1藉由具備定位機構14，可於藉由攝像部12拍攝上述基準位置標記之後，使電性檢查頭10容易對位於被檢查區域。

作為定位機構14之具體之構成，雖儘可能將電性檢查頭10定位於印刷基板W之平面方向，但並非特別限定者，例如列舉圖1及圖2所示之正交座標型系統。定位機構14具有：一對固定軌道14a，其等沿與印刷基板W之平面方向平行之一方向(圖1及圖2之Y方向)並列延伸；可動軌道14b，其與印刷基板W之平面方向平行延伸，架設至一對固定軌道14a間；及移動體14c，其配置於可動軌道14b。於移動體14c，固定有框體16。

定位機構14構成為可動軌道14b沿一對固定軌道14a之延伸方向(圖1及圖2之Y方向)移動，且移動體14c沿可動軌道14b之延伸方向(圖1及圖2之X方向)移動。藉由如此構成，框體16維持印刷基板W之平面方向之朝向，且沿該平面方向可移動地設置。其結果，電性檢查頭10亦與框體16一起，維持印刷基板W之平面方向之朝向，且於該平面方向移動。

又，定位機構14將電性檢查頭10與攝像部12同時於印刷基板W之平面方向可定位地設置。更詳細說明，攝像終端22以藉由介隔移動機構13連結於框體16，與框體16一起沿印刷基板W之平面方向移動之方式構成。其結果，電性檢查頭10與攝像終端22以介隔框體16，藉由定位機構14同時定位於印刷基板W之平面方向之方式構成。藉由如此構成，該電性檢查裝置1可促進電性檢查處理之效率化，且更容易抑制因電性檢查頭10之移動引起之誤差。

(升降機構) 升降機構15將電性檢查頭10之基台21d所固定之固定構件18可升降地設置。升降機構15藉由使固定構件18升降，而使電性檢查頭10沿印刷基板W之法線方向移動。

固定構件18相對於框體16可滑動地配置。固定構件18以獨立於框體16而升降之方式構成。藉由如此構成，升降機構15以使電性檢查頭10獨立於移動機構13之攝像部12之移動而升降之方式設置。

(框體) 框體16如上所述固定於移動體14c。藉此，框體16構成為可維持印刷基板W之平面方向之朝向，且沿印刷基板W之平面方向移動。

(控制部) 控制部17包含例如具有進行資料處理之CPU(Central Processing Unit：中央處理單元)或暫時或長久記憶各種資訊之半導體記憶體等之記憶部之電腦而構成。

對控制部17之控制順序之一例進行說明。控制部17首先藉由攝像終端22自接近位置P1拍攝印刷基板W之上述基準位置標記。接著，控制部17使攝像終端22移動至迴避位置P2，於該狀態下使電性檢查頭10以旋轉軸R為旋轉中心旋轉90°，且使電性檢查頭10對位於印刷基板W之被檢查區域。又，控制部17於電性檢查頭10之旋轉後，使攝像終端22移動至接近位置P1。再者，控制部17於接近位置P1維持攝像終端22，且使電性檢查頭10自法線方向側接觸印刷基板W，進行印刷基板W之被檢查區域之電性檢查。控制部17於電性檢查頭10之電性檢查結束之後，使電性檢查頭10自印刷基板W分開。控制部17以根據需要，對印刷基板W之各被檢查區域變更一部分順序且進行上述順序之方式，控制旋轉機構11、移動機構13、定位機構14及升降機構15之動作。該電性檢查裝置1可藉由控制部17進行上述控制，使電性檢查頭10相對於印刷基板W迅速且容易定位，且適當進行印刷基板W之電性檢查。

[電性檢查方法] 接著，參照各圖，對使用圖1及圖2之電性檢查裝置1之電性檢查方法進行說明。

該電性檢查方法使用電性檢查裝置1進行，該電性檢查裝置1具備：電性檢查頭10，其可自法線方向側接觸印刷基板W；旋轉機構11，其使電性檢查頭10以與上述法線方向平行之旋轉軸R為中心旋轉；攝像部12，其具有相對於印刷基板W自法線方向正對之光學元件22a，可拍攝印刷基板W；及移動機構13，其使攝像部12於接近位置P1與迴避位置P2之間移動。如圖4所示，該電性檢查方法於接近位置P1藉由攝像部12拍攝印刷基板W(S1)，將攝像部12移動至迴避位置P2(S2)，旋轉電性檢查頭10(S3)，將攝像部12移動至接近位置P1(S4)，且使電性檢查頭10接觸印刷基板W(S5)。另，該電性檢查方法具備於S5之後，將電性檢查頭10自印刷基板W分開之順序。該電性檢查方法可藉由根據需要，對印刷基板W之各被檢查區域，變更一部分順序且重複進行上述順序，而使電性檢查頭10相對於印刷基板W迅速且容易對位，且適當進行印刷基板W之電性檢查。

(S1) 於S1中，如圖1所示，於攝像終端22配置於接近位置P1之狀態下，藉由攝像終端22拍攝印刷基板W之基準位置標記。

(S2) 於S2中，如圖3所示，攝像終端22移動至迴避位置P2。於S2中，以接近位置P1係於旋轉電性檢查頭10時攝像部12(更詳細而言為攝像終端22)可與電性檢查頭10接觸之位置，迴避位置P2係於旋轉電性檢查頭10時攝像部12(更詳細而言為攝像終端22)不與電性檢查頭10接觸之位置之方式使攝像部12移動。

於S3中，如圖5所示，於攝像終端22處於迴避位置P2之狀態下，使電性檢查頭10以旋轉軸R作為旋轉中心旋轉。更詳細而言，於S3中，於印刷基板W之法線方向視角下，使電性檢查頭10旋轉至攝像終端22不與電性檢查頭10重合之位置為止。作為電性檢查頭10之旋轉角度，雖並無特別限定，但典型而言可設為90°。

(S4) 於S4中，如圖6所示，於S3中旋轉電性檢查頭10之後，將攝像終端22移動至接近位置P1。更詳細而言，於S4中，通過S2中使攝像終端22自接近位置P1移動至迴避位置P2之情況相同之路徑，將攝像終端22自迴避位置P2移動至接近位置P1。另，於該電性檢查方法中，於自S1之結束至S5之開始之任意時序，亦可藉由定位機構14將電性檢查頭10對位於印刷基板W之被檢查區域。

(S5) 於S5中，如圖7所示，使電性檢查頭10自法線方向側接觸印刷基板W，藉由複數個探針21a進行被檢查區域之電性檢查。

＜優點＞ 該電性檢查裝置1可於將攝像部12配置於接近位置P1之狀態下，藉由該攝像部12自法線方向拍攝印刷基板W後，使攝像部12於電性檢查頭10旋轉時移動至不與電性檢查頭10接觸之迴避位置P2。因此，該電性檢查裝置1可於藉由攝像部12自電性檢查頭10之附近拍攝印刷基板W之後，使電性檢查頭10獨立於攝像部12而旋轉。其結果，該電性檢查裝置1可使電性檢查頭10相對於上述印刷基板W迅速且容易對位。因此，該電性檢查裝置1可迅速且穩定地進行印刷基板W之電性檢查。

該電性檢查方法可於將攝像部12配置於接近位置P1之狀態下，藉由該攝像部12自法線方向拍攝印刷基板W之後，使攝像部12於電性檢查頭10旋轉時移動至不與電性檢查頭10接觸之迴避位置P2。因此，該電性檢查方法可於藉由攝像部12自電性檢查頭10之附近拍攝印刷基板W之後，使電性檢查頭10獨立於攝像部12而旋轉。其結果，該電性檢查方法可使電性檢查頭10相對於上述印刷基板W迅速且容易對位。因此，該電性檢查方法可迅速且穩定地進行印刷基板W之電性檢查。

[其他實施形態] 上述實施形態並非限定本發明之構成者。因此，應解釋上述實施形態可基於本說明書之記載及技術常識進行上述實施形態各部之構成要件之省略、置換或追加，且該等全部為屬於本發明之範圍者。

於上述實施形態中，對移動機構使攝像部沿印刷基板之法線方向移動之構成進行了說明。但，於該電性檢查裝置中，上述攝像部之移動方向不限定於上述印刷基板之法線方向。例如上述移動機構可使上述攝像部沿上述印刷基板之平面方向移動。又，上述移動機構可不使上述攝像部直動。例如上述移動機構亦可使上述攝像部沿上述印刷基板之平面方向回轉移動。

於上述實施形態中，對上述印刷基板保持於水平方向之構成進行了說明。但，上述印刷基板之保持方向可根據裝置之規格變更。又，於上述實施形態中，雖對藉由把持具把持上述印刷基板之角部之構成進行了說明，但該電性檢查裝置之印刷基板之把持方法並非限定於上述構成者。

上述電性檢查頭之具體之構成並非限定於上述實施形態之構成。例如上述電性檢查頭亦可採用不具有上述支持板之構成。作為不具有上述支持板之構成，列舉不具有上述底板及上述頂板中之一者或兩者之構成。例如於上述電性檢查頭不具有上述底板之情形時，上述電性檢查頭之厚度可藉由上述基台與上述探針之合計厚度求出。另，此處所言之探針之厚度意指電性檢查前之狀態之探針之突出長度。

如上所述，上述移動機構較佳為可使上述攝像部獨立於上述電性檢查頭而移動。但，該電性檢查裝置若為可以將上述攝像部配合上述電性檢查頭之旋轉而不旋轉之方式保持之情形，則亦可採用上述攝像部配合上述電性檢查頭升降之構成。

於上述實施形態中，對上述電性檢查頭與上述攝像部藉由上述定位機構同時定位於上述印刷基板之平面方向之構成進行了說明。但，該電性檢查裝置亦可採用上述電性檢查頭與上述攝像部分別定位於上述印刷基板之平面方向之構成。

於上述實施形態中，對上述電性檢查頭藉由上述定位機構定位於上述印刷基板之平面方向之構成進行了說明。但，該電性檢查裝置亦可以上述印刷基板沿平面方向移動，藉此使上述電性檢查頭定位於上述印刷基板之平面方向之方式構成。 [產業上之可利用性]

如以上說明，本發明之一實施形態之電性檢查裝置應用於相對於印刷基板迅速且容易對位電性檢查頭者。

1:電性檢查裝置 10:電性檢查頭 11:旋轉機構 12:攝像部 13:移動機構 14:定位機構 14a:固定軌道 14b:可動軌道 14c:移動體 15:升降機構 16:框體 17:控制部 18:固定構件 21a:探針 21b:底板 21c:頂板 21d:基台 22:攝像終端 22a:光學元件 31:把持具 P1:接近位置 P2:迴避位置 R:旋轉軸 S1~S5:步驟 T1:基台之厚度 T2:電性檢查頭之厚度 W:印刷基板

圖1係自相對於印刷基板之法線方向垂直之方向觀察本發明之一實施形態之電性檢查裝置之模式性側視圖。 圖2係圖1之電性檢查裝置之模式性俯視圖。 圖3係顯示圖1之電性檢查裝置之攝像部移動至迴避位置之狀態之模式性側視圖。 圖4係顯示使用圖1之電性檢查裝置之電性檢查方法之流程圖。 圖5係顯示圖4之電性檢查方法之電性檢查頭之旋轉中途之狀態之模式性俯視圖。 圖6係顯示圖4之電性檢查方法之電性檢查頭之旋轉後攝像部移動至接近位置之狀態之模式性側視圖。 圖7係顯示圖4之電性檢查方法之電性檢查頭接觸印刷基板之狀態之模式性側視圖。

1:電性檢查裝置

10:電性檢查頭

11:旋轉機構

12:攝像部

13:移動機構

14:定位機構

14a:固定軌道

14b:可動軌道

15:升降機構

16:框體

17:控制部

18:固定構件

21a:探針

21b:底板

21c:頂板

21d:基台

22:攝像終端

22a:光學元件

31:把持具

P1:接近位置

R:旋轉軸

T1:基台之厚度

T2:電性檢查頭之厚度

W:印刷基板

Claims (9)

1. 一種電性檢查裝置，其具備：電性檢查頭，其可自法線方向側接觸印刷基板；旋轉機構，其使上述電性檢查頭以與上述法線方向平行之旋轉軸為中心旋轉；攝像部，其具有相對於上述印刷基板自法線方向正對之光學元件，可拍攝上述印刷基板；及移動機構，其使上述攝像部於接近位置與迴避位置之間移動；且上述接近位置係於上述電性檢查頭旋轉時，上述攝像部可與上述電性檢查頭接觸之位置；上述迴避位置係於上述電性檢查頭旋轉時，上述攝像部不與上述電性檢查頭接觸之位置；上述移動機構使上述攝像部獨立於上述電性檢查頭而移動。
2. 如請求項1之電性檢查裝置，其中上述迴避位置係自上述接近位置沿上述印刷基板之法線方向遠離之位置。
3. 如請求項1之電性檢查裝置，其中上述迴避位置係自上述接近位置沿上述印刷基板之法線方向遠離之位置。
4. 如請求項1至3中任一項之電性檢查裝置，其中於上述印刷基板之法線方向視角下，上述接近位置之上述攝像部與上述旋轉軸之間隔與上述迴 避位置之上述攝像部與上述旋轉軸之間隔相同。
5. 如請求項1至3中任一項之電性檢查裝置，其進而具備可將上述電性檢查頭定位於上述印刷基板之平面方向之定位機構。
6. 如請求項4之電性檢查裝置，其進而具備可將上述電性檢查頭定位於上述印刷基板之平面方向之定位機構。
7. 如請求項5之電性檢查裝置，其中上述定位機構將上述電性檢查頭與上述攝像部同時定位於上述平面方向。
8. 如請求項6之電性檢查裝置，其中上述定位機構將上述電性檢查頭與上述攝像部同時定位於上述平面方向。
9. 一種電性檢查方法，其使用電性檢查裝置，且該電性檢查裝置具備：電性檢查頭，其可自法線方向側接觸印刷基板；旋轉機構，其使上述電性檢查頭以與上述法線方向平行之旋轉軸為中心旋轉；攝像部，其具有相對於上述印刷基板自法線方向正對之光學元件，可拍攝上述印刷基板；及移動機構，其使上述攝像部於接近位置與迴避位置之間移動；且以上述接近位置係於上述電性檢查頭旋轉時，上述攝像部可與上述 電性檢查頭接觸之位置，上述迴避位置係於上述電性檢查頭旋轉時，上述攝像部不與上述電性檢查頭接觸之位置之方式，使上述攝像部移動；上述移動機構使上述攝像部獨立於上述電性檢查頭而移動。