JPH0353191A - 移動ステージ - Google Patents
移動ステージInfo
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- JPH0353191A JPH0353191A JP1188087A JP18808789A JPH0353191A JP H0353191 A JPH0353191 A JP H0353191A JP 1188087 A JP1188087 A JP 1188087A JP 18808789 A JP18808789 A JP 18808789A JP H0353191 A JPH0353191 A JP H0353191A
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- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 10
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
この発明は、例えばＸＹステージ等の移動ステージに関
する。
する。
半導体検査賃置においては、測定用ステージを検査対象
となるウェーハやデバイスを受け取る位置からテストを
行うテスト位置まで移動させると共に、テストピンとウ
ェーハやデバイスのテストパッドとの位置合わせを行う
ために、測定用ステージをＸＹＺθステージの構造とす
る。 すなわち、測定用ステージのウエーハやデバイスを真空
吸引するチャック（載置台）は、チャック保持部材によ
りそのｉｌｔＷｔ面方向θに回転可能とされると共に、
Ｚ方向（載置台を昇降させる方向）に移動可能とされる
。そして、チャック保持部材は、Ｘステージ上に取り付
けられる。Ｘステージは、Ｚ方向に垂直な平面上のＸ方
向に伸びるＸレールに移動可能に取り付けられる。Ｘレ
ールは、Ｚ方向に垂直な平面上であって、Ｘ方向とは直
交するＹ方向に、このＸステージを移動可能とするＹス
テージ上に取り付けられる。 Ｙステージは、Ｙ方向に延長されるＹレールに、このＹ
レールに移動可能に取り付けられるリニアガイドを介し
て取り付けられる。 この場合に、検査対象物の位置合わせを正確に行うため
には、Ｘ方向及びＹ方向の移動が正しく直交するように
Ｘステージ，Ｙステージの移動方向を調整しなければな
らない。これは、ＸステージはＹステージに上に取り付
けられているから、Ｙレールに対するＹステージの取り
付け方向を調整することによりできる。 従来、このＸ方向とＹ方向の直交調整は、Ｙステージの
底面のリニアガイドとの取り付け面に設けた直交位置決
め用ガイド片を用いて行っている。 すなわち、直交位置決め用ガイド片は、Ｙステージをリ
ニアガイドに取り付けたとき、リニアガイドのＹ方向に
平行な面に対接するように設けられている。そして、Ｙ
ステージをリニアガイドにねじ止め等、固定する前に、
この直交位置決め用ガイド片を、リニアガイドのＹ方向
に平行な面に押し当てて、Ｙステージ上のＸレールが、
Ｙレールに正しく直交するように方向調整している。
となるウェーハやデバイスを受け取る位置からテストを
行うテスト位置まで移動させると共に、テストピンとウ
ェーハやデバイスのテストパッドとの位置合わせを行う
ために、測定用ステージをＸＹＺθステージの構造とす
る。 すなわち、測定用ステージのウエーハやデバイスを真空
吸引するチャック（載置台）は、チャック保持部材によ
りそのｉｌｔＷｔ面方向θに回転可能とされると共に、
Ｚ方向（載置台を昇降させる方向）に移動可能とされる
。そして、チャック保持部材は、Ｘステージ上に取り付
けられる。Ｘステージは、Ｚ方向に垂直な平面上のＸ方
向に伸びるＸレールに移動可能に取り付けられる。Ｘレ
ールは、Ｚ方向に垂直な平面上であって、Ｘ方向とは直
交するＹ方向に、このＸステージを移動可能とするＹス
テージ上に取り付けられる。 Ｙステージは、Ｙ方向に延長されるＹレールに、このＹ
レールに移動可能に取り付けられるリニアガイドを介し
て取り付けられる。 この場合に、検査対象物の位置合わせを正確に行うため
には、Ｘ方向及びＹ方向の移動が正しく直交するように
Ｘステージ，Ｙステージの移動方向を調整しなければな
らない。これは、ＸステージはＹステージに上に取り付
けられているから、Ｙレールに対するＹステージの取り
付け方向を調整することによりできる。 従来、このＸ方向とＹ方向の直交調整は、Ｙステージの
底面のリニアガイドとの取り付け面に設けた直交位置決
め用ガイド片を用いて行っている。 すなわち、直交位置決め用ガイド片は、Ｙステージをリ
ニアガイドに取り付けたとき、リニアガイドのＹ方向に
平行な面に対接するように設けられている。そして、Ｙ
ステージをリニアガイドにねじ止め等、固定する前に、
この直交位置決め用ガイド片を、リニアガイドのＹ方向
に平行な面に押し当てて、Ｙステージ上のＸレールが、
Ｙレールに正しく直交するように方向調整している。
【発明が解決しようとする課ＷＢ１
ところで、最近は、半導体デバイスの高密度化、高集積
化により、半導体デバイスのテストパッドピッチが非常
に狭くなってきている。このようになると、Ｘ−Ｙ直交
方向の調整は、非常に高精度に行う必要がある。 ところが、上述したような、従来のＸ−Ｙステージによ
るＸ−Ｙ直交調整方法では、比較的ラフな情度での直交
補償は可能であるが、上記のような狭ピッチの半導体デ
バイスの検査装置のＸ−Ｙステージで必要とする精度で
、直交調整を行うことができない欠点がある。 この発明は、以上の点に鑑み、互いに交差する２方向に
移動可能な移動ステージにおいて、非常に高精度で、上
記２方向間の交差角の調整ができるようにした移動ステ
ージを提供しようとすることを目的とする。 【課題を解決するための手段】 この発明によるＸＹステージは、 所定の角度を以て交差する第１方向及び第２方向のうち
の第１方向に移動可能に取り付けられる第１のステージ
と、 上記第２方向に延長されるレールに移動可能に嵌合され
るリニアガイドと、 上記第１のステージが取り付けられると共に、上記リニ
アガイドに取り付けられ、上記第２方向に移動可能とさ
れる第２のステージとを有する移動ステージにおいて、 上記第２のステージは、上記リニアガイド上の１点の位
置において、１本のピンにより上記第１方向及び第２方
向を含む平面方向に回動可能に取り付けるようにすると
共に、 上記ピンを回動中心とした上記第２のステージの回動位
置を調整する方向調整手段を設けたことを特徴とする。
化により、半導体デバイスのテストパッドピッチが非常
に狭くなってきている。このようになると、Ｘ−Ｙ直交
方向の調整は、非常に高精度に行う必要がある。 ところが、上述したような、従来のＸ−Ｙステージによ
るＸ−Ｙ直交調整方法では、比較的ラフな情度での直交
補償は可能であるが、上記のような狭ピッチの半導体デ
バイスの検査装置のＸ−Ｙステージで必要とする精度で
、直交調整を行うことができない欠点がある。 この発明は、以上の点に鑑み、互いに交差する２方向に
移動可能な移動ステージにおいて、非常に高精度で、上
記２方向間の交差角の調整ができるようにした移動ステ
ージを提供しようとすることを目的とする。 【課題を解決するための手段】 この発明によるＸＹステージは、 所定の角度を以て交差する第１方向及び第２方向のうち
の第１方向に移動可能に取り付けられる第１のステージ
と、 上記第２方向に延長されるレールに移動可能に嵌合され
るリニアガイドと、 上記第１のステージが取り付けられると共に、上記リニ
アガイドに取り付けられ、上記第２方向に移動可能とさ
れる第２のステージとを有する移動ステージにおいて、 上記第２のステージは、上記リニアガイド上の１点の位
置において、１本のピンにより上記第１方向及び第２方
向を含む平面方向に回動可能に取り付けるようにすると
共に、 上記ピンを回動中心とした上記第２のステージの回動位
置を調整する方向調整手段を設けたことを特徴とする。
以上のような構成のこの発明による移動ステージにおい
ては、方向調整手段を調整すると、第２のステージがピ
ンを回動中心として回動する。すると、第２のステージ
上の第１のステージの移動方向と、レールの方向、すな
わち第２のステージの移動方向とがなす交差角度が変わ
る。すなわち、方向調整手段により、２移動方向の交差
角が所定のものとなるように、微細に調整することがで
きる。
ては、方向調整手段を調整すると、第２のステージがピ
ンを回動中心として回動する。すると、第２のステージ
上の第１のステージの移動方向と、レールの方向、すな
わち第２のステージの移動方向とがなす交差角度が変わ
る。すなわち、方向調整手段により、２移動方向の交差
角が所定のものとなるように、微細に調整することがで
きる。
以下、この発明による移動ステージの一実施例を、半導
体検査装置の測定用ステージに用いられるＸ−Ｙステー
ジの場合を例にとって、図を参照しながら説明しよう。 第１図は、この発明の一実施例のＸ−Ｙステジの一例の
構造を示すもので、１はＸステージ、２はＹステージで
ある。 図示しないが、Ｘステージ１にはチャック保持部材が設
けられ、このチャック保持部材には被検査体の載置台（
チャック）が取り付けられている。 そして、載置台は、チャック保持部材により、前述した
ように２一〇方向に移動可能とされている。 そして、Ｘステージ１及びＹステージ２は、外観が直方
体とされており、Ｙステージ２上に、Ｘステージ１が乗
る構造となっている。すなわち、Ｙステージ２上には、
Ｘ方向に延長された互いに平行な２本のレール３，４が
設けられる。そして、このレール３，４の形状に応じた
形状の凹清を有する４個のリニアガイド５Ａ，５Ｂ，５
Ｃ，５Ｄが、各１本のレール３．４に２個づつ、移動可
能に嵌合されている。 そして、この４個のリニアガイド５Ａ〜５ＤがＸステー
ジ１の底面の４隅にねじ止め等されることにより取り付
けられる。 また、Ｘステージ１の底面には、図示しないが、Ｘ方向
に延長するボールねじが取り付けられており、このボー
ルねじをＸ方向駆動モータにより回転させることにより
、Ｘステージ１がＸレール３．４に案内されてＸ方向に
移動するようにされる。 また、基台６には、Ｙ方向に延長される互いに平行な、
対のＹレール７，８が取り付けられている。そして、こ
のＹレール７，８には、このＹレール７，８の形状に応
じた形状の凹溝を有する４個のリニアガイド９Ａ，９Ｂ
，９Ｃ，９Ｄが、各１本のレール７，８に、２個づつ、
移動可能に嵌合されて取り付けられている。そして、こ
の４個のリニアガイド９Ａ〜９ＤがＹステージ２の底面
の４隅に、ねじ止め等されることにより取り付けられて
いる。 そして、Ｙステージ２の底面の中央部には、Ｙ方向に伸
びるボールねじ１０が取り付けられており、このボール
ねじ１０をＹ方向駆動モータ回転させることにより、Ｙ
ステージ２がＹレール７．８に案内されて、Ｙ方向に移
動するようにされるものである。 第２図は、Ｙステージ２を取り外した状態で、基台５上
のＹレール７．８及び４個のリニアガイド９Ａ〜９Ｄを
上から見た図で、４個のリニアガイド９Ａ，９Ｂ，９Ｃ
，９Ｄには、Ｙステージ２に取り付けるための４個のね
じ孔１１がそれぞれ設けられている。また、４個のリニ
アガイド９Ａ，９Ｂ，９Ｃ，９Ｄのうちの１個のリニア
ガイド９Ａの中央には、ピン１３（第ｌ図参照）が挿入
されるピン挿入孔１２が穿かれている。 一方、第３図は、Ｙステージ２の底面を示す図で、その
４隅２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄにはリニアガイド９Ａ，９
Ｂ，９Ｃ．９Ｄのねじ孔１１の位置に対応した４個ずつ
のねじ孔１４が設けられると共に、その１隅２Ａのリニ
アガイド９Ａの取り付け位置に対応する位置の、リニア
ガイド９Ａのピン挿入孔１２に対応する位置に、ピン１
３が挿入されるピン挿入孔１５が設けられる。 また、Ｙステージ２の底面の１隅２ＡとＹ方向に並ぶ１
隅２Ｂの位置には、互いに平行な直交位置決め用ガイド
片１６．１７が、その長辺方向がＹ方向になるように取
り付けられる。この場合、リニアガイド９Ｂにこの部分
を取り付けたとき、直交位置決め用ガイド片１６．１７
が、リニアガイド９Ｂを挾むようにすると共に、リニア
ガイド９ＢのＹ方向に平行な面にそれぞれ対接するよう
にされる。 さらに、直交位置決め用ガイド片１６．１７のそれぞれ
には、第４図にも示すように、Ｙステージ２の底面に平
行な方向に凹溝１８．１９がそれぞれ設けられ、この凹
７４１８．１９内に平板状の直交調整部材２０．２１が
設けられる。この直交調整部材２０．２１は、それぞれ
一端がＹステージ２に直交する方向のピン２２．２３に
よって回動自在に、凹溝１８．１９内に取り付けられる
。 そして、直交調整部材２０．２１のピン２２，２３とは
反対側の端部は、第５図に示すように、Ｙ方向に対して
斜めのテーパ辺２４．２５とされる。 そして、直交調整用ねじ２６，２７の先端が、この直交
調整部材２０．２１のテーバ辺２４．２５に当接するよ
うに、直交位置決め用ガイド片１６，１７には、その凹
満１８．１９内にＹ方向に連通ずるねじ孔２８．２９が
それぞれ設けられる。 したがって、直交調整用ねじ２６，２７を凹溝１８，１
９内に押し込む方向に捩じ込むと、直交調整部材２０．
２１がピン２２．２３を回動中心として回動し、テーパ
辺側が凹溝１８，１９から第５図で一点鎖線で示すよう
に、外部に突出する。 この場合、直交調整部材２０．２１は、テーパ辺側か外
部に突出したとき、これがそれぞれリニアガイド９Ｂの
側面を押圧するように、直交位置決め用ガイド片１６．
１７に取り付けられている。 なお、第３図で、３０はボールねじ取り付け用ねじ孔で
ある。 以上の構成のＸ−Ｙステージにおいて、直交調整する動
作について、以下説明する。 先ず、リニアガイド９Ａのピン挿入孔１２にピン１３を
挿入しておく。次に、Ｘステージ１が取り付けられたＹ
ステージ２を、Ｙレール７，８に取り付けられているリ
ニアガイド９Ａ，９Ｂ，９Ｃ，９Ｄ上に、互いのねじ孔
１１．１４の位置が一致するように載置する。このとき
、Ｙステージ２の底面の１隅２Ａのピン挿入孔１５に、
リニアガイド９Ａのピン挿入孔１２に挿入されているピ
ン１３が、押入されるようにすると共に、リニアガイド
９Ｂを直交位置決め用ガイド辺１６．１７が挾むように
する。この状態で、Ｙステージ２は、Ｘ方向とＹ方向と
の直交が従来と同精度で、調整されることになる。 この発明では、さらに次のようにして、さらに細かい調
整が行なわれる。 すなわち、この例の場合、Ｘステージ１上には、接眼レ
ンズに第６図に示すようなターゲットマーク３１が付さ
れているマイクロスコープ（画像認識装置でも良い）が
設けられる。また、Ｘステージとマイクロスコープとの
間に、第６図に示すように、互いに直交する直線からな
る直交座標マーク３２が描かれたガラスマスクが設けら
れる。そして、先ず、Ｘステージ１をＸ方向に移動させ
て、そのターゲットマーク３１のＸ方向の移動軌跡が、
ガラスマスクの直交座標マーク３２のＸ軸と重なるよう
に調整しておく。この状態で、Ｙステージ２をＹ方向に
移動させる。そして、ターゲットマーク３１のＹ方向の
移動軌跡がガラスマスクの直交座標マーク３２のＹ軸に
一致しないときは、直交位置決めようガイド片１６．１
７の直交調整用ねじ２６または２７を回動する。すると
、リニアガイド９ＡのＹ方向に平行な側面を押圧するよ
うに直交調整部材２０又は２１が、ねじ２６又は２７の
回動に応じて突出し、これに応じてＹステージ２は、ピ
ン１３を回動中心として回動し、レール７，８に対する
Ｙステージ２の調整が行なわれる。こうして、ターゲッ
トマーク３１のＹ方向の移動軌跡が直交座標マーク３２
のＹ軸に一致するように調整する。この場合、数μの精
度で直交調整することができる。以上のようにして、直
交調整したらリニアガイド９Ａ〜９Ｄに対し、Ｙステー
ジ２をねじ止めする。 以上により、高精度に直交調整されたＸＹステージを得
ることができる。 なお、以上の例ではＸレールに対してリニアガイドを取
り付け、このリニアガイドにＸステージを取り付けるよ
うにしたが、Ｘステージは、Ｙステージ上において、Ｘ
方向に移動するように構成されていれば良く、図の例の
ような構威に限られるものではない。 また、以上の例では、Ｙレールに対しリニアガイドは４
ａ設けたが、１本のレールに細長いリニアガイドを１個
づつ設けても良いことは言うまでもない。その場合には
一方のリニアガイドの任意の位置にピン挿入孔を設けれ
ば良い。但し、リニアガイドの一方の端部側に寄った位
置にピン押入孔を設けたほうが、リニアガイドの中央に
ピン挿入孔を設けた場合よりも、直交調整用ねじの１回
転当たりの回動角が小さくなり、より細かい調整が可能
となる。 なお、以上の例では互いに直交する２方向に移動する移
動ステージの方向調整を行う場合を例にとって説明した
が、直交方向ではなく、互いに任意の角度で交差する２
方向に移動する移動ステージに、この発明は適用可能で
ある。 また、この発明の移動ステージは、半導体検査装置に使
用するものに限らないことは言うまでもない。
体検査装置の測定用ステージに用いられるＸ−Ｙステー
ジの場合を例にとって、図を参照しながら説明しよう。 第１図は、この発明の一実施例のＸ−Ｙステジの一例の
構造を示すもので、１はＸステージ、２はＹステージで
ある。 図示しないが、Ｘステージ１にはチャック保持部材が設
けられ、このチャック保持部材には被検査体の載置台（
チャック）が取り付けられている。 そして、載置台は、チャック保持部材により、前述した
ように２一〇方向に移動可能とされている。 そして、Ｘステージ１及びＹステージ２は、外観が直方
体とされており、Ｙステージ２上に、Ｘステージ１が乗
る構造となっている。すなわち、Ｙステージ２上には、
Ｘ方向に延長された互いに平行な２本のレール３，４が
設けられる。そして、このレール３，４の形状に応じた
形状の凹清を有する４個のリニアガイド５Ａ，５Ｂ，５
Ｃ，５Ｄが、各１本のレール３．４に２個づつ、移動可
能に嵌合されている。 そして、この４個のリニアガイド５Ａ〜５ＤがＸステー
ジ１の底面の４隅にねじ止め等されることにより取り付
けられる。 また、Ｘステージ１の底面には、図示しないが、Ｘ方向
に延長するボールねじが取り付けられており、このボー
ルねじをＸ方向駆動モータにより回転させることにより
、Ｘステージ１がＸレール３．４に案内されてＸ方向に
移動するようにされる。 また、基台６には、Ｙ方向に延長される互いに平行な、
対のＹレール７，８が取り付けられている。そして、こ
のＹレール７，８には、このＹレール７，８の形状に応
じた形状の凹溝を有する４個のリニアガイド９Ａ，９Ｂ
，９Ｃ，９Ｄが、各１本のレール７，８に、２個づつ、
移動可能に嵌合されて取り付けられている。そして、こ
の４個のリニアガイド９Ａ〜９ＤがＹステージ２の底面
の４隅に、ねじ止め等されることにより取り付けられて
いる。 そして、Ｙステージ２の底面の中央部には、Ｙ方向に伸
びるボールねじ１０が取り付けられており、このボール
ねじ１０をＹ方向駆動モータ回転させることにより、Ｙ
ステージ２がＹレール７．８に案内されて、Ｙ方向に移
動するようにされるものである。 第２図は、Ｙステージ２を取り外した状態で、基台５上
のＹレール７．８及び４個のリニアガイド９Ａ〜９Ｄを
上から見た図で、４個のリニアガイド９Ａ，９Ｂ，９Ｃ
，９Ｄには、Ｙステージ２に取り付けるための４個のね
じ孔１１がそれぞれ設けられている。また、４個のリニ
アガイド９Ａ，９Ｂ，９Ｃ，９Ｄのうちの１個のリニア
ガイド９Ａの中央には、ピン１３（第ｌ図参照）が挿入
されるピン挿入孔１２が穿かれている。 一方、第３図は、Ｙステージ２の底面を示す図で、その
４隅２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄにはリニアガイド９Ａ，９
Ｂ，９Ｃ．９Ｄのねじ孔１１の位置に対応した４個ずつ
のねじ孔１４が設けられると共に、その１隅２Ａのリニ
アガイド９Ａの取り付け位置に対応する位置の、リニア
ガイド９Ａのピン挿入孔１２に対応する位置に、ピン１
３が挿入されるピン挿入孔１５が設けられる。 また、Ｙステージ２の底面の１隅２ＡとＹ方向に並ぶ１
隅２Ｂの位置には、互いに平行な直交位置決め用ガイド
片１６．１７が、その長辺方向がＹ方向になるように取
り付けられる。この場合、リニアガイド９Ｂにこの部分
を取り付けたとき、直交位置決め用ガイド片１６．１７
が、リニアガイド９Ｂを挾むようにすると共に、リニア
ガイド９ＢのＹ方向に平行な面にそれぞれ対接するよう
にされる。 さらに、直交位置決め用ガイド片１６．１７のそれぞれ
には、第４図にも示すように、Ｙステージ２の底面に平
行な方向に凹溝１８．１９がそれぞれ設けられ、この凹
７４１８．１９内に平板状の直交調整部材２０．２１が
設けられる。この直交調整部材２０．２１は、それぞれ
一端がＹステージ２に直交する方向のピン２２．２３に
よって回動自在に、凹溝１８．１９内に取り付けられる
。 そして、直交調整部材２０．２１のピン２２，２３とは
反対側の端部は、第５図に示すように、Ｙ方向に対して
斜めのテーパ辺２４．２５とされる。 そして、直交調整用ねじ２６，２７の先端が、この直交
調整部材２０．２１のテーバ辺２４．２５に当接するよ
うに、直交位置決め用ガイド片１６，１７には、その凹
満１８．１９内にＹ方向に連通ずるねじ孔２８．２９が
それぞれ設けられる。 したがって、直交調整用ねじ２６，２７を凹溝１８，１
９内に押し込む方向に捩じ込むと、直交調整部材２０．
２１がピン２２．２３を回動中心として回動し、テーパ
辺側が凹溝１８，１９から第５図で一点鎖線で示すよう
に、外部に突出する。 この場合、直交調整部材２０．２１は、テーパ辺側か外
部に突出したとき、これがそれぞれリニアガイド９Ｂの
側面を押圧するように、直交位置決め用ガイド片１６．
１７に取り付けられている。 なお、第３図で、３０はボールねじ取り付け用ねじ孔で
ある。 以上の構成のＸ−Ｙステージにおいて、直交調整する動
作について、以下説明する。 先ず、リニアガイド９Ａのピン挿入孔１２にピン１３を
挿入しておく。次に、Ｘステージ１が取り付けられたＹ
ステージ２を、Ｙレール７，８に取り付けられているリ
ニアガイド９Ａ，９Ｂ，９Ｃ，９Ｄ上に、互いのねじ孔
１１．１４の位置が一致するように載置する。このとき
、Ｙステージ２の底面の１隅２Ａのピン挿入孔１５に、
リニアガイド９Ａのピン挿入孔１２に挿入されているピ
ン１３が、押入されるようにすると共に、リニアガイド
９Ｂを直交位置決め用ガイド辺１６．１７が挾むように
する。この状態で、Ｙステージ２は、Ｘ方向とＹ方向と
の直交が従来と同精度で、調整されることになる。 この発明では、さらに次のようにして、さらに細かい調
整が行なわれる。 すなわち、この例の場合、Ｘステージ１上には、接眼レ
ンズに第６図に示すようなターゲットマーク３１が付さ
れているマイクロスコープ（画像認識装置でも良い）が
設けられる。また、Ｘステージとマイクロスコープとの
間に、第６図に示すように、互いに直交する直線からな
る直交座標マーク３２が描かれたガラスマスクが設けら
れる。そして、先ず、Ｘステージ１をＸ方向に移動させ
て、そのターゲットマーク３１のＸ方向の移動軌跡が、
ガラスマスクの直交座標マーク３２のＸ軸と重なるよう
に調整しておく。この状態で、Ｙステージ２をＹ方向に
移動させる。そして、ターゲットマーク３１のＹ方向の
移動軌跡がガラスマスクの直交座標マーク３２のＹ軸に
一致しないときは、直交位置決めようガイド片１６．１
７の直交調整用ねじ２６または２７を回動する。すると
、リニアガイド９ＡのＹ方向に平行な側面を押圧するよ
うに直交調整部材２０又は２１が、ねじ２６又は２７の
回動に応じて突出し、これに応じてＹステージ２は、ピ
ン１３を回動中心として回動し、レール７，８に対する
Ｙステージ２の調整が行なわれる。こうして、ターゲッ
トマーク３１のＹ方向の移動軌跡が直交座標マーク３２
のＹ軸に一致するように調整する。この場合、数μの精
度で直交調整することができる。以上のようにして、直
交調整したらリニアガイド９Ａ〜９Ｄに対し、Ｙステー
ジ２をねじ止めする。 以上により、高精度に直交調整されたＸＹステージを得
ることができる。 なお、以上の例ではＸレールに対してリニアガイドを取
り付け、このリニアガイドにＸステージを取り付けるよ
うにしたが、Ｘステージは、Ｙステージ上において、Ｘ
方向に移動するように構成されていれば良く、図の例の
ような構威に限られるものではない。 また、以上の例では、Ｙレールに対しリニアガイドは４
ａ設けたが、１本のレールに細長いリニアガイドを１個
づつ設けても良いことは言うまでもない。その場合には
一方のリニアガイドの任意の位置にピン挿入孔を設けれ
ば良い。但し、リニアガイドの一方の端部側に寄った位
置にピン押入孔を設けたほうが、リニアガイドの中央に
ピン挿入孔を設けた場合よりも、直交調整用ねじの１回
転当たりの回動角が小さくなり、より細かい調整が可能
となる。 なお、以上の例では互いに直交する２方向に移動する移
動ステージの方向調整を行う場合を例にとって説明した
が、直交方向ではなく、互いに任意の角度で交差する２
方向に移動する移動ステージに、この発明は適用可能で
ある。 また、この発明の移動ステージは、半導体検査装置に使
用するものに限らないことは言うまでもない。
以上説明したように、この発明によれば、第１のステー
ジをその上に取り付けた第２のステージを、レールに取
り付けられたリニアガイドに対して１本のピンを回動中
心として、回動自在に取り付けるようにすると共に、上
記ピンを回動中心とした第２ステージのレールに対する
位置を調整する方向調整手段を設けた構或により、第１
のステージの移動方向と、第２レールに取り付けられた
第２のステージの移動方向が所定のものとなるように、
微細に調整することができる。 しかも、その構成は、１本のピンを回動中心として、リ
ニアガイドに対して第２のステージを回動させる構成で
あるので、非常に簡単であり、コスト的にも安価に済む
。
ジをその上に取り付けた第２のステージを、レールに取
り付けられたリニアガイドに対して１本のピンを回動中
心として、回動自在に取り付けるようにすると共に、上
記ピンを回動中心とした第２ステージのレールに対する
位置を調整する方向調整手段を設けた構或により、第１
のステージの移動方向と、第２レールに取り付けられた
第２のステージの移動方向が所定のものとなるように、
微細に調整することができる。 しかも、その構成は、１本のピンを回動中心として、リ
ニアガイドに対して第２のステージを回動させる構成で
あるので、非常に簡単であり、コスト的にも安価に済む
。
第１図はこの発明による移動ステージの一実施例の側面
図、第２図はその一部の平面図、第３図はＹステージの
底面図、第４図はその一部の側面図、第５図はその一部
の拡大図、第６図は直交調整方法の説明のための図であ
る。 １；第１のステージ ２；第２のステージ ３，４；Ｘレール ７，８．Ｙレール ９Ａ〜９Ｄ：リニアガイド １２．１５；ピン挿入孔 １３；ピン １６．１７；直交位置決め用ガイド片 ２０．２１；直交調整用部材 ２６，２７；直交調整用ねじ
図、第２図はその一部の平面図、第３図はＹステージの
底面図、第４図はその一部の側面図、第５図はその一部
の拡大図、第６図は直交調整方法の説明のための図であ
る。 １；第１のステージ ２；第２のステージ ３，４；Ｘレール ７，８．Ｙレール ９Ａ〜９Ｄ：リニアガイド １２．１５；ピン挿入孔 １３；ピン １６．１７；直交位置決め用ガイド片 ２０．２１；直交調整用部材 ２６，２７；直交調整用ねじ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 所定の角度を以て交差する第１方向及び第２方向のうち
の第１方向に移動可能される第１のステージと、 上記第２方向に延長されるレールに移動可能に嵌合され
るリニアガイドと、 上記第１のステージが取り付けられると共に、上記リニ
アガイドに取り付けられ、上記第２方向に移動可能とさ
れる第２のステージとを有する移動ステージにおいて、 上記第２のステージは、上記リニアガイド上の１点の位
置において、１本のピンにより上記第１方向及び第２方
向を含む平面方向に回動可能に取り付けるようにすると
共に、 上記ピンを回動中心とした上記第２のステージの回動位
置を調整する方向調整手段を設けたことを特徴とする移
動ステージ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1188087A JP2640690B2 (ja) | 1989-07-20 | 1989-07-20 | 移動ステージ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1188087A JP2640690B2 (ja) | 1989-07-20 | 1989-07-20 | 移動ステージ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0353191A true JPH0353191A (ja) | 1991-03-07 |
| JP2640690B2 JP2640690B2 (ja) | 1997-08-13 |
Family
ID=16217477
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1188087A Expired - Lifetime JP2640690B2 (ja) | 1989-07-20 | 1989-07-20 | 移動ステージ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2640690B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102117663A (zh) * | 2010-12-17 | 2011-07-06 | 中国科学院光电技术研究所 | 平面二维倾角调整器 |
-
1989
- 1989-07-20 JP JP1188087A patent/JP2640690B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102117663A (zh) * | 2010-12-17 | 2011-07-06 | 中国科学院光电技术研究所 | 平面二维倾角调整器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2640690B2 (ja) | 1997-08-13 |
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