JPH11194188A - 板状部材の保持装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 板状部材を、そのサイズや重さの如何にかか
わりなく常に所定の位置で水平に保持することができる
板状部材の保持装置を提供すること。 【解決手段】 板状部材２を３以上の保持部材４，５，
６によって水平に保持するように構成された板状部材の
保持装置において、保持対象である板状部材２のサイズ
に応じて前記保持部材４，５，６のうち少なくとも２つ
４，５を水平かつ垂直方向に変位できるように構成する
とともに、その変位量に応じて全ての保持部材４，５，
６における保持角度をそれぞれ調節できるようにしてい
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、半導体ウェーハ
（以下、ウェーハという）やレチクル／マスクあるいは
ＬＣＤ（液晶ディスプレイ）のガラス基板などのように
比較的薄くて軽量の板状部材を保持する装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えばレティクル／マスク異物検査装置
のように、サンプルとしてのレティクルをサンプルステ
ージに載置して、異物検査などを行う場合、サンプルの
周囲を適宜の箇所、例えば３点以上の箇所で保持するよ
うにしている。この場合、レティクルの種々の外形サイ
ズのものに対応できるように、従来は、図６に示すよう
に、レティクルを保持するための保持部材を水平に移動
できるようにしている。

【０００３】すなわち、図６（Ａ）に示すように、サイ
ズの小さいレティクル６０Ｓを保持する場合には、保持
部材６１〜６３を互いに近づくように移動し、また、同
図（Ｂ）に示すように、サイズの大きいレティクル６０
Ｌを保持する場合には、保持部材７１〜７３を互いに遠
ざかるように移動していた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、レティ
クル６０Ｓ，６０Ｌのサイズが異なると、一般には、そ
の重量も異なり、これに伴って、保持部材６１〜６３に
おける撓み量に変化が生じ、保持部材６１〜６３を単に
水平に移動するだけでは、レティクル６０Ｓ，６０Ｌを
水平に保持することはできない。そして、レティクル６
０Ｓ，６０Ｌにおける異物検査などにおいては、常にサ
ンプルであるレティクル６０Ｓ，６０Ｌを一定の高さ位
置において保持しなければ焦点ボケが生ずるなど検査や
観察に不都合を招来する。

【０００５】この発明は、上述の事柄に留意してなされ
たもので、その目的は、板状部材を、そのサイズや重さ
の如何にかかわりなく常に所定の位置で水平に保持する
ことができる板状部材の保持装置を提供することであ
る。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明では、板状部材を３以上の保持部材によっ
て水平に保持するように構成された板状部材の保持装置
において、保持対象である板状部材のサイズに応じて前
記保持部材のうち少なくとも２つを水平かつ上下方向に
変位できるように構成するとともに、その変位量に応じ
て全ての保持部材における保持角度をそれぞれ調節でき
るようにしている。

【０００７】上記構成の板状部材の保持装置（以下、単
に保持装置という）においては、板状部材を３以上の複
数の保持部材によって保持するに際し、板状部材の大き
さに応じて、保持部材を水平方向のみならず上下方向に
も移動させるようにしているので、板状部材の重量に基
づいて保持部材において生ずる撓み量を補正することが
でき、板状部材をその大きさや重量にかかわりなく常に
所定の位置で水平に保持することができる。

【０００８】

【発明の実施の形態】発明の実施の形態を図面を参照し
ながら説明する。図１〜図５は、この発明の保持装置を
説明するための図である。まず、図１および図２におい
て、１は水平なベースで、その適宜の位置に保持対象で
ある板状部材２の最大サイズのものよりやや大きい矩形
の孔３が形成されている。３ａ〜３ｂを孔３の周囲の各
辺とする。４，５，６は孔３の周囲に適宜配置される３
つの保持部材である。

【０００９】そして、保持部材４（以下、第１保持部材
４という）は、その保持部４ａが辺３ａを横切って孔３
方向に突出し、水平方向および上下方向に変位するよう
に設けられている。また、保持部材５（以下、第２保持
部材５という）は、その保持部５ａが辺３ｃを横切って
孔３方向に突出し、水平方向および上下方向に変位する
ように設けられている。さらに、保持部材６（以下、第
３保持部材６という）は、その保持部６ａが辺３ｄを横
切って孔３方向に突出し、上下方向にのみ変位するよう
に構成されている。

【００１０】前記第１保持部材４の構成について、図３
をも参照しながらより詳しく説明すると、この図におい
て、７は保持部材ベースで、その下面の孔３側の先端部
にベース１に形成された凹部８に係合する突部９が設け
られる一方、後端側にねじ孔１０が設けられ、このねじ
孔１０に螺合し、その先端がベース１の表面１ａに当接
するようにねじ部材１１が保持部材ベース７の後端側の
高さ調節部材として設けられている。１２，１３は保持
部材ベース７の前端、後端をそれぞれベース表面１ａ側
に押圧付勢して保持部材ベース７の浮き上がりを防止す
るためのばね部材で、ねじ部材１４，１５によってベー
ス１に固定されている。

【００１１】１６は前記保持ベース７の上面に辺３ｂ，
３ｄの延長線と平行になるように設けられるレール部材
で、このレール部材１６にガイドされるように摺動部材
１７が係合されている。そして、この摺動部材１７の上
面には保持部材本体１８がその長手方向が摺動部材１７
の摺動方向と一致するようにねじ１９によって取り付け
られ、その長手方向前端側（孔３側）に保持部４ａが形
成されている。

【００１２】上記構成よりなる第１保持部材４において
は、レール部材１６に沿って保持部材本体１８をＸ方向
またはＹ方向に直線的に移動させることができるととも
に、ねじ部材１１を適宜の方向に回動することにより、
保持部材本体１８の後端側の高さ位置が支点としての突
部９を中心にして調節される。したがって、このような
保持部材本体１８の前端側に設けられている第１保持部
４ａは、Ｘ，Ｙ方向に水平位置を変えることができると
ともに高さ位置を変えることができ、保持対象である板
状部材２の大きさに合わせて任意に設定することができ
る。

【００１３】次に、前記第２保持部材５の構成について
説明すると、この第２保持部材５は、基本的には第１保
持部材４の構成と同じであるので、対応する部材に同一
符号を付している。そして、第１保持部材４と異なる点
を説明すると、保持ベース７を、図２に示すように、第
１１保持部材４と直交する方向に、つまり、辺３ｃに沿
うようにして設けているとともに、保持部５ａを保持す
るための保持部材本体２０を、摺動持部材１７の摺動方
向（図２において矢印Ｕ，Ｖで示す方向）と直交する方
向、つまり、辺３ｂに沿うようにして取付け、その先端
の孔３側の側部に保持部５ａを取り付けている。

【００１４】上記構成よりなる第２保持部材５において
は、レール部材１６に沿って保持部材本体２０をＵ方向
またはＶ方向に直線的に移動させることができるととも
に、ねじ部材１１を適宜の方向に回動することにより、
保持部材本体１８の後端側の高さ位置が支点としての突
部９を中心にして調節される。したがって、このような
保持部材本体２０の先端側に設けられている第２保持部
５ａは、Ｕ，Ｖ方向に水平位置を変えることができると
ともに高さ位置を変えることができ、保持対象である板
状部材２の大きさに合わせて任意に設定することができ
る。

【００１５】さらに、前記第３保持部材６の構成につい
て、図４（Ａ），（Ｂ）をも参照しながらより詳しく説
明すると、この図において、２１は保持部材ベースで、
ねじ部材２２によってベース１の表面１ａ側に固着され
ている。２３は平面視凸字状の保持ブロックで、その基
部２３ａの一端側に水平方向に開設された孔２４を、保
持部材ベース２１の垂直部２１ａに突設されたボス２５
に嵌め合わせることにより枢支される一方、基部２３ａ
の他端側に水平方向に設けられたねじ部２６を、前記垂
直部２１ａに形成された上下方向の長孔２８内に遊嵌さ
せ、位置固定用のナット部材２７を螺着してなるもので
ある。

【００１６】そして、前記保持ブロック２３の先端側
（基部２３ａとは反対側）に保持部６ａが突設されてお
り、この保持部６ａの上部の受け面６ａ’が常に枢支点
であるボス２５の中心を通るように設定されている。し
たがって、このように構成された第３保持部材６におい
ては、前記第１および第２部材保持部材４，５のように
はその水平位置を変えることができないが、保持部６ａ
の受け面６ａ’の角度を上下方向に適宜変えることがで
きる。

【００１７】次に、上記構成の保持装置の動作につい
て、図５（Ａ），（Ｂ）をも参照しながら説明すると、
図５（Ａ）は、前記保持装置によって、例えば５インチ
角（厚み２．３ｍｍ）の板状部材２Ｓと、６インチ角
（厚み６．３ｍｍ）の板状部材２Ｌをそれぞれ保持する
場合の示すもので、この図において、２８は板状部材２
Ｓ（または２Ｌ）における異物検査を行う装置の一部で
ある。

【００１８】前記図５（Ａ）において点線で示す外形サ
イズの小さい板状部材２Ｓを保持する場合は、第１およ
び第２保持部材４，５を点線で示す位置に移動させ、そ
こで固定する。第３保持部材６については位置の移動は
ない。そして、各保持部材４〜６の保持部４ａ〜６ａに
よって板状部材２Ｓが水平になるように、保持部４ａ〜
６ａの角度を調整して保持し、装置２８の例えば下端か
ら所定の距離だけ離れるようにする。

【００１９】そして、第１および第２保持部材４，５が
前記位置状態にあるとき、図５において二点鎖線で示す
外形サイズの大きい板状部材２Ｌを保持する場合は、第
１および第２保持部材４，５を実線で示す位置に移動さ
せる。このとき、水平方向だけではなく垂直方向に移動
させ、板状部材２Ｌに対する保持角度を変化させる。
る。そして、第３保持部材６における保持部６ａの板状
部材２Ｌに対する保持角度を設定する。

【００２０】前記第１および第２保持部材４，５の垂直
方向の変位量は、サイズの違いに基づく重量による部材
の撓みや部材の加工精度などを考慮に入れ、常に水平か
つ装置２８に対して所定の距離だけ離れるようにする。

【００２１】このことを、図５（Ｂ）を用いて説明する
と、この図は、第１保持部材４における位置の変位を示
すもので、実線は小さい（５インチ角）サイズの板状部
材２Ｓを保持しているときに第１保持部材４およびその
保持部４ａの位置を示している。そして、この図におい
て、二点鎖線は、大きい（６インチ角）サイズの板状部
材２Ｌ（図示してない）を保持する場合における第１保
持部材４およびその保持部４ａの位置を示している。

【００２２】つまり、サイズのより大きい板状部材を保
持するに際しては、第１および第２保持部材４，５を、
図５（Ａ）において矢印Ｌで示す方向に、つまり、保持
部４ａ，５ａを後退しかつ上昇するように変位させるの
であり、サイズのより小さい板状部材を保持するに際し
ては、第１および第２保持部材４，５を、図５（Ａ）に
おいて矢印Ｓで示す方向に、つまり、保持部４ａ，５ａ
を前進しかつ下降するように変位させるのである。

【００２３】この発明は、上述の実施の形態に限られる
ものではなく、種々に変形して実施することができる。
例えば、前記実施の形態において、全ての保持部材を、
位置変位自由の保持部材４（または５）で構成してもよ
い。また、板状部材２を４以上の保持部材によって保持
するようにしてもよい。その場合、全ての保持部材を位
置変位自由にしてもよく、あるいは特定のものを固定し
てあってもよい。

【００２４】

【発明の効果】この発明の保持装置によれば、板状部材
を、そのサイズや重量の如何にかかわりなく常に所定の
高さ位置において水平に保持することができる。したが
って、ウェーハというやレチクル／マスクあるいはＬＣ
Ｄのガラス基板などのように比較的薄くて軽量の板状部
材の異物検査や平坦度測定などに好適に用いることがで
き、精度のよい検査または測定を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の板状部材の保持装置の一例を示す斜
視図である。

【図２】前記保持装置の平面構成を示す図である。

【図３】前記保持装置における第１保持部材の構成を示
す部分断面図である。

【図４】前記保持装置における第３保持部材の構成を説
明するための図で、（Ａ）は取付け状態を示す断面図、
（Ｂ）は分解斜視図である。

【図５】前記保持装置の動作説明図で、（Ａ）は保持装
置全体における動作説明図、（Ｂ）は第１保持部材にお
ける動作説明図である。

【図６】従来技術を説明するための図である。

【符号の説明】

２，２Ｓ，２Ｌ…板状部材、４，５，６…保持部材。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 板状部材を３以上の保持部材によって水
   平に保持するように構成された板状部材の保持装置にお
   いて、保持対象である板状部材のサイズに応じて前記保
   持部材のうち少なくとも２つを水平かつ上下方向に変位
   できるように構成するとともに、その変位量に応じて全
   ての保持部材における保持角度をそれぞれ調節できるよ
   うにしたことを特徴とする板状部材の保持装置。