JP2000097684A - 光学素子の面間の位置関係を測定する方法および装置および同装置に用いる光学素子を保持する保持具 - Google Patents
光学素子の面間の位置関係を測定する方法および装置および同装置に用いる光学素子を保持する保持具Info
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Abstract
の相対的な位置関係を測定し得る方法を提供する。 【解決手段】光学面50aを上にして治具200を補助
治具110の上に置く。3次元形状測定機により光学面
50aを測定するとともに、三つの球体230を測定し
て光学面50a測定時の基準座標系を求める。続いて、
治具200を裏返し、光学面50bを上にする。3次元
形状測定機により光学面50bを測定するとともに、三
つの球体230を測定して光学面50b測定時の基準座
標系を求める。二つの基準座標系に基づいて光学面50
aの形状データと光学面50bの形状データを同じ座標
系に変換する。光学面50aと50bの形状データを設
計式とフィッティングして光学面50aと50bの面座
標を求める。求めた面座標に基づいて光学面50aと5
0bの位置関係を求める。
Description
位置関係を測定する方法および装置に関する。
ンズの対向する二面の位置関係を測定し得る装置の一例
を開示している。この装置は、互いに直交する3軸方向
に関する位置を測定し得る3次元形状測定機と、非球面
レンズを支持する非球面レンズ支持器と、コンピュータ
とを有しており、被検体である非球面レンズの一方の面
を非球面レンズ支持器に当て付け、3次元形状測定機に
より、非球面レンズ支持器と、被検非球面レンズのもう
一方の面とを測定している。
準軸に同心的に形成された真円の非球面レンズ支持器に
被検非球面レンズを当て付けることにより、基準軸と被
検非球面レンズの一方の面の光軸との軸合わせを行なっ
ている。
性を持つ光学素子に対しては有効であるが、光軸に対し
て回転対称性を持たない面を持つ光学素子に対しては適
用できない。本明細書では、光軸に対して回転対称性を
持たない面を自由曲面と呼ぶことにする。
め、二以上の機能を併せ持つ光学素子の使用が増えてい
る。プリズムの機能とレンズの機能を持つ光学素子はそ
の一例である。
対称性を持たない面つまり自由曲面を持つものが多い。
このような光学素子を用いた装置では、その光学特性の
向上を図るためにも、その複数の面の相互の位置関係を
知ることが望まれている。
学素子の複数の面の間の位置関係を測定する好適な手法
は未だ提供されていない。本発明は、このような現状に
応えるために成されたものであり、その目的は、光学素
子の面間の位置関係を測定する好適な方法と装置を提供
することであり、特には、自由曲面を持つ光学素子の複
数の面の相互の相対的な位置関係を測定し得る方法と装
置を提供することである。
測定機を用いて光学素子の面間の位置関係を求める方法
は、前記3次元形状測定機を用いて前記光学素子の第1
の面の形状を測定する第1の面形状測定工程と、前記第
1の面形状測定工程における第1の基準座標系を測定す
る第1の基準座標系測定工程と、前記3次元形状測定機
を用いて前記光学素子の第2の面の形状を測定する第2
の面形状測定工程と、前記第2の面形状測定工程におけ
る第2の基準座標系を測定する第2の基準座標系測定工
程と、前記第1及び第2の面形状と前記第1及び第2の
基準座標系に基づいて前記第1の面と前記第2の面の位
置関係を演算により求める演算工程とを有している。
される少なくとも第1の面と第2の面を持つ光学素子を
保持する保持具は、光学素子を保持する治具と、これを
支持する補助治具とを有しており、前記補助治具は、3
次元形状測定機が第1の面を測定し得る第1の姿勢及び
3次元形状測定機が第2の面を測定し得る第2の姿勢で
治具治具を支持可能であり、前記治具は、第1及び第2
の面形状測定における第1及び第2の基準座標系を定義
するための基準座標系定義部を有している。
測定する測定装置は、被検物の3次元形状を測定する3
次元測定機と、前記3次元形状測定機により少なくとも
第1の面と第2の面を持つ光学素子の該第1の面を測定
し得る姿勢及び該第2の面を測定し得る姿勢における、
前記3次元形状測定機による前記光学素子又は該光学素
子の保持具に対する測定のデータから、第1及び第2の
面形状測定における第1及び第2の基準座標系をそれぞ
れ演算する第1の演算手段と、前記第1の面を測定し得
る姿勢及び前記第2の面を測定し得る姿勢において、前
記3次元形状測定機による前記光学素子の前記第1の面
及び第2の面の形状の測定データと、前記第1の演算手
段により得られた前記第1及び第2の基準座標系とか
ら、前記第1及び第2の面の面間の位置関係を演算する
第2の演算手段とを有している。
の実施の形態について説明する。 第一の実施の形態 本発明の実施の形態による光学素子の光学面の位置関係
の測定に用いる装置10の全体構成を図1に示す。同装
置は、被検ワークである光学素子50を保持する保持具
100と、3次元形状測定機30と、測定データを処理
するコンピュータ20とを有している。
られた一対の脚部36に支持されたガイドレール38
と、ガイドレール38に支持されたスライダ40と、ス
ライダ40に支持された接触プローブ42とを備えてい
る。ガイドレール38は一対の脚部36に対して上下方
向および前後方向に移動可能であり、スライダ40はガ
イドレール38に対して左右方向に移動可能である。従
って、接触プローブ42は、基台32の上面に平行なX
Y方向と、基台32の上面に直交するZ方向に移動し得
る。
接触部44を測定対象物に接触させ、両者の接触を保っ
たまま接触プローブ42をXYZ方向に移動させること
によって、測定対象物の表面形状をXYZ方向に関する
座標の集合として計測する。
機として、接触プローブを備える装置を例示的にあげて
いるが、本発明に適用可能な3次元形状測定機は、この
タイプに限定されない。本発明の3次元形状測定機に
は、測定対象物の表面形状を三次元座標の集合として測
定し得るあらゆる装置が適用可能である。
図2に示す。保持具100は、3次元形状測定機30の
基台32の上に置かれる補助治具110と、その上に載
置される治具200とで構成されている。治具200は
コの字形状をしており、被検ワークである光学素子50
を両側から支持し得る。補助治具110は、治具200
に保持された光学素子50と干渉しないように、治具2
00の形状に対応してコの字形状をしている。
い。被検ワーク50を適切に保持できさえすれば、どの
ような形状であっても一向に構わない。また、補助治具
110もコの字形状である必要はない。被検ワーク50
と干渉することなく、治具200を適切に支持できさえ
すれば、どのような形状であっても一向に構わない。
み52を有している。みみ52は、後述するように、治
具200への固定に利用される。みみ52は、好ましく
は、治具200への固定のためだけでなく、装置への取
り付けをも考慮して設けられている。
定対象である二つの光学面50aと50bを有してい
る。本明細書において、「光学面」という用語は、光が
透過又は回折又は反射することを想定して設計された面
を指し、入射した光に対して光学的な作用を及ぼす面お
よび単に光を通過させるだけで何ら光学的な作用を及ぼ
さない面の両方を含む。例えば、プリズムの機能とレン
ズの機能を持つ光学素子においては、光を屈折させたり
集光させたり発散又は回折又は反射させたりする面およ
び単に光を通過させる面の両方を指す。
基板210と、被検ワーク50のみみ52を押さえるた
めの押さえ部材220と、これを締め付けるためのねじ
222とを有している。図4に示されるように、被検ワ
ーク50のみみ52を基板210と押さえ部材220の
間に配置してねじ222を締めることにより、基板21
0と押さえ部材220とで被検ワーク50のみみ52を
狭持することで、被検ワーク50は治具200に固定さ
れる。
基準座標系定義部として機能する三つの球体230を備
えている。図3に示されるように、球体230は基板2
10の外周面に接着剤232により固定されている。球
体230は基板210の外周部に固定されているので、
基板210の両面に露出している。従って、図2に示さ
れるように、基板210の第一面210aを上にして補
助治具110の上に載置した場合にも、図5に示される
ように、基板210の第二面210bを上にして補助治
具110の上に載置した場合にも、3次元形状測定機3
0により測定可能である。
光学面50bの相互の位置関係(面間の位置関係)の測
定について説明する。以下では、まず基準座標系定義部
すなわち三つの球体230に基づいた基準座標系の求め
方について説明し、その後で被検ワークの面間の位置関
係の求め方について述べる。
より、基準座標系定義部すなわち三つの球体230をそ
れぞれ走査して、各球体230の形状データを求める。 2.図1に示すコンピュータ20により、各球体230
の形状データからそれぞれの中心座標を計算し、それぞ
れ中心1、中心2、中心3とする。 3.中心1と中心2を結ぶ直線に、中心3から垂線を下
した交点を原点とする。 4.中心1から中心2へ向かうベクトルをXの方向ベク
トルとする。 5.原点から中心3へ向かうベクトルをYの方向ベクト
ルとする。 6.Xの方向ベクトルとYの方向ベクトルの外積をZの
方向ベクトルとする。 7.3〜6で定義されるX,Y,Zの方向ベクトルによ
り決まる座標系を基準座標系とする。
姿勢に治具200を補助治具110の上に置く。 2.図1で示した3次元形状測定機30のプローブ42
により、光学面50aを走査測定し、光学面50aの形
状データを得る。 3.上述した手順に従って、基準座標系定義部すなわち
三つの球体230に基づいて基準座標系を求める。 4.治具200を裏返して、図5に示されるように、光
学面50bが測定できる姿勢に治具200を補助治具1
10の上に置く。 5.図1で示した3次元形状測定機30のプローブ42
により、光学面50bを走査測定し、光学面50bの形
状データを得る。 6.上述した手順に従って、基準座標系定義部すなわち
三つの球体230に基づいて基準座標系を求める。 7.図1に示したコンピュータ20により、3と6で求
めた基準座標系を元に、光学面50aの形状データと、
光学面50bの形状データを同じ座標系に変換する。 8.コンピュータ20により、光学面50aの形状デー
タを設計式とフィッティングし、つまり両者の差が最も
少ない姿勢に合わせ、光学面50aの面座標を求める。
ここで、面座標は、光学面50aの種類に応じて異な
り、光学面50aが球面の場合には中心点の座標であ
り、非球面の場合には原点の座標と軸の式(あるいは方
向ベクトル)、自由曲面の場合には座標面を決めるため
には原点と直交する2つの方向ベクトルが必要になる
が、後処理を容易にするために、原点と互いに直交する
3つの方向ベクトル、つまり原点の座標とZベクトル
(軸の方向ベクトル)とX方向ベクトル(軸に直交する
ベクトル)とY方向ベクトル(Z,X方向ベクトルの外
積)をとることが多い。 9.光学面50bに対しても同じ処理を行ない、光学面
50bの面座標を求める。 10.コンピュータ20により、8と9で求めた面座標
に基づいて、光学面50aと光学面50bの位置関係を
求める。
230は、好ましくは、治具200に非対称に配置され
ており、従って、第一面210aの側から見た球体23
0の配置関係と第二面210bの側から見た球体230
の配置関係は互いに異なっている。球体230のこのよ
うな配置関係は、治具200のどちら側(第一面210
aの側と第二面210bの側のいずれ)から測ったかを
測定データから判断することを可能にする。
わりに、その各々の大きさを異ならせてもよい。あるい
は、両側の球体230の一方の大きさを異ならせてるだ
けであってもよい。このように大きさの異なる球体23
0の組み合わせは、これらが対称的な位置関係にあって
も、治具200のどちら側から測ったかを測定データか
ら判断することを可能にする。
様々な変形や変更が可能である。変形例のひとつを図6
に示す。この変形例では、基準座標系定義部すなわち三
つの球体230が、接着や一体成形などにより、被検ワ
ーク50に直接設けられている。面間の位置関係は同様
の測定を行なうことで求められる。
造体には、上述した特殊な保持具100を用いる必要は
なく、被検ワーク50を安定に保持し得るものであれ
ば、どのようなものを用いても構わない。
は、基板210に外周部に五つの球体230が設けられ
ている。面間の位置関係は、五つの球体230の任意の
三つに対して、同様の測定を行なうことで求められる。
また、五つの球体230のすべてを基準座標系定義部に
利用することで、面間の位置関係をより高い精度で求め
ることも可能である。
射出成形において被検ワーク50の製作時に出来るゲー
ト54などが、その下方に位置する球体230を3次元
形状測定機30が測定するのを邪魔する場合であって
も、これを除く他の四つの球体230を基準座標系定義
部として用いることで、面間の位置関係を求めることが
できる。
面間の位置関係の測定に対して有用である。つまり、非
常に長い被検ワークに対しては、面間の位置関係はいく
つかの部分に分けて測定するが、それぞれの測定部分の
近くに少なくとも三つの球体を配することで、所要時間
が短く精度の高い好適な測定を提供する。
300は、図9と図10と図11に示されるように、測
定する面に応じて、それぞれ、異なる補助治具120と
130と140と組み合わされて、図1に示される3次
元形状測定機30の基台32の上に載置される。
基板310と、被検ワーク60のみみ62を押さえるた
めの押さえ部材320と、これを締め付けるためのねじ
322とを有している。治具200と同様に、ねじ32
2を締め付けて被検ワーク60のみみ62を基板310
と押さえ部材320で狭持することによって、被検ワー
ク60は治具300に固定される。
基準座標系定義部として機能する二つの球体330とひ
とつの基準面310aを有している。基準面310aと
その反対側の面310bは共に高い平面度を有し、両者
は高い精度で平行となっている。球体330は基板31
0の外周部に接着により固定されている。
位置関係の測定対象である三つの光学面60aと60b
と60cを有している。光学面60aの測定に対して
は、治具300は、図9に示されるように、補助治具1
20の斜面124の上に載せられる。治具300は、補
助治具120の斜面124に設けられた二本の位置決め
ピン122によって支持され、また斜面124に面接触
することで向きが安定化される。この状態で、被検ワー
ク60の光学面60aは上を向き、図1に示される3次
元形状測定機30によって測定することが可能である。
勿論、球体330も3次元形状測定機30で測定可能で
ある。
0は、図10に示されるように、補助治具130の斜面
134の上に載せられる。治具300は、補助治具13
0の斜面134に設けられた二本の位置決めピン132
によって支持され、また斜面134に面接触することで
向きが安定化される。この状態で、被検ワーク60の光
学面60bは上を向き、図1に示される3次元形状測定
機30によって測定することが可能である。勿論、球体
330も3次元形状測定機30で測定可能である。
0は、図11に示されるように、補助治具140の斜面
144の上に載せられる。治具300は、補助治具14
0の斜面144に設けられた二本の位置決めピン142
によって支持され、また斜面144に面接触することで
向きが安定化される。この状態で、被検ワーク60の光
学面60cは上を向き、図1に示される3次元形状測定
機30によって測定することが可能である。勿論、球体
330も3次元形状測定機30で測定可能である。
の球体330に基づいて基準座標系を設定する。以下、
まず基準面310aの測定方法について説明し、続いて
基準座標系の求め方について述べる。
る場合は、そのまま基準面310aを3次元形状測定機
30で測定する。 2.図11に示されるように、基準面310aが下側に
ある場合は、基準面310aに平行な裏面310bを3
次元形状測定機30で測定することで、間接的に基準面
310aを測定する。 3.図10に示されるように、3次元形状測定機30で
基準面310aまたは裏面310bを直接測定できない
場合は、基準面310aまたは裏面310bに面接触し
ている斜面134に対して既知の角度θだけ傾斜して上
を向いている測定面136を3次元形状測定機30で測
定することにより、間接的に基準面310aを測定す
る。
すなわち基準面310aと二つの球体330をそれぞれ
走査測定し、形状データを求める。 2.図1に示すコンピュータ20により、二つの球体3
30の形状データからそれぞれの中心座標を計算する。 3.図1に示すコンピュータ20により、基準面310
aの形状データから基準面310aの法線ベクトルを求
める。 4.一方の球体330の中心を原点とする。 5.一方の球体330の中心から他方の球体330の中
心へ向かうベクトルをXの方向ベクトルとする。 6.Xの方向ベクトルと基準面310aの法線ベクトル
の外積をYの方向ベクトルとする。 7.Xの方向ベクトルとYの方向ベクトルの外積をZの
方向ベクトルとする。 8.4〜7で定義される座標系を基準座標系とする。
象の二つの光学面に対して、第一の実施の形態で説明し
た「面間の位置関係の求め方」をそのまま適用すること
で求められる。
るものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で行なわれ
るすべての実施を含む。実施の形態では、基準座標系定
義部として、三つの球体の例と、二つの球体と一つの基
準面の例を挙げたが、本発明はこれに限らない。基準座
標系定義部は、座標系を定義し得るものでありさえすれ
ば、その形状や形態は問わない。例えば、基準座標系定
義部は一つの球体と二つの基準面とで構成されてもよ
い。このような構成もまた本発明の範囲内にある。
ば、被検ワークを保持し得る機構を持つ基板と、この基
板の外周部に固定された球体とを備えており、基板は、
一方の側に異なる面方向を持つ二つの基準面を有し、反
対側にこれらの二つの基準面に対して既知の位置関係に
ある二つの測定面を有している。
面間の位置関係を求める装置や方法は、当然、本発明に
含まれる。本明細書には以下の各項に記す発明が含まれ
る。 (1) 3次元形状測定機を用いて光学素子の面間の位
置関係を求める方法であって、前記3次元形状測定機を
用いて前記光学素子の第1の面の形状を測定する第1の
面形状測定工程と、前記第1の面形状測定工程における
第1の基準座標系を測定する第1の基準座標系測定工程
と、前記3次元形状測定機を用いて前記光学素子の第2
の面の形状を測定する第2の面形状測定工程と、前記第
2の面形状測定工程における第2の基準座標系を測定す
る第2の基準座標系測定工程と、前記第1及び第2の面
形状と前記第1及び第2の基準座標系に基づいて前記第
1の面と前記第2の面の位置関係を演算により求める演
算工程とを有している、光学素子の面間の位置関係を求
める方法。 (2) 上記(1)項において、前記3次元形状測定機
による測定の際、前記光学素子は保持具によって保持さ
れ、この保持具は第1及び第2の基準座標系を定義する
ための複数の基準座標系定義部を有しており、前記第1
及び第2の基準座標系測定工程は、前記基準座標系定義
部の形状を前記3次元形状測定機で測定する工程を含ん
でいる、光学素子の面間の位置関係を求める方法。 (3) 上記(2)項において、前記基準座標系定義部
は第1及び第2の面形状測定の際に前記3次元形状測定
機で測定可能な形状を有しており、前記第1及び第2の
基準座標系測定工程は、前記基準座標系定義部の形状を
前記3次元形状測定機で測定する工程を含んでいる、光
学素子の面間の位置関係を求める方法。 (4) 上記(3)項において、前記保持具は板状の支
持部材を含んでおり、前記複数の基準座標系定義部は、
前記支持部材の両面に露出した少なくとも3つの球形状
部を含んでいる、光学素子の面間の位置関係を求める方
法。 (5) 上記(4)項において、前記少なくとも3つの
球形状部は、前記支持部材に非対称に配置されており、
従って、前記支持部材の前記両面の一方から見た球形状
部の配置関係と前記両面の他方から見た球形状部の配置
関係は互いに異なっている、光学素子の面間の位置関係
を求める方法。 (6) 上記(4)項において、前記少なくとも3つの
球形状部は、4つ以上の球形状部である、光学素子の面
間の位置関係を求める方法。 (7) 上記(3)項において、前記保持具は、1つの
基準平面を持つ支持部材を含んでおり、前記基準座標系
定義部は、前記支持部材の前記1つの基準平面と、前記
支持部材の両面に露出した2つの球形状部を含んでい
る、光学素子の面間の位置関係を求める方法。 (8) 上記(3)項において、前記保持具は、一方の
側に面方向が異なる2つの基準平面を持つ支持部材を含
んでおり、前記基準座標系定義部は、前記支持部材の前
記2つの基準平面と、前記支持部材の両面に露出した1
つの球形状部とを含んでいる、光学素子の面間の位置関
係を求める方法。 (9) 上記(1)項ないし(8)項のいずれかひとつ
において、前記演算工程は、前記第1及び第2の基準座
標系から前記第1及び第2の面形状を同一座標系に変換
する変換工程と、同一座標系における前記第1及び第2
の面形状から前記第1及び第2の面間の位置関係を演算
する第1の演算工程とを有している、光学素子の面間の
位置関係を求める方法。 (10) 上記(9)において、前記演算工程は、前記
前記第1及び第2の面形状をそれぞれ設計式と比較して
第1及び第2の面の面座標を演算する第2の演算工程を
更に有し、前記第1の演算工程は、同一座標系における
前記第1及び第2の面形状又は前記第1及び第2の面座
標から前記第1及び第2の面間の位置関係を演算する工
程を含んでいる、光学素子の面間の位置関係を求める方
法。 (11) 3次元形状測定機により測定される少なくと
も第1の面と第2の面を持つ光学素子を保持する保持具
であり、光学素子を保持する治具と、これを支持する補
助治具とを有しており、前記補助治具は、3次元形状測
定機が第1の面を測定し得る第1の姿勢及び3次元形状
測定機が第2の面を測定し得る第2の姿勢で前記治具を
支持可能であり、前記治具は、第1及び第2の面形状測
定における第1及び第2の基準座標系を定義するための
基準座標系定義部を有している、光学素子を保持する保
持具。 (12) 上記(11)項において、前記治具は、板状
の基板と、この基板に光学素子を固定する固定部と、基
板の外周部に設けられた3つの球形状部とを有してお
り、前記基準座標系定義部は、前記3つの球形状部を含
んでいる、光学素子を保持する保持具。 (13) 上記(11)項において、前記治具は、板状
の基板と、この基板に光学素子を固定する固定部と、基
板の外周部に設けられた2つの球形状部とを有し、前記
基板は1つの基準面を有しており、前記基準座標系定義
部は、前記1つの基準面と前記2つの球形状部を含んで
いる、光学素子を保持する保持具。 (14) 上記(11)項において、前記治具は、板状
の基板と、この基板に光学素子を固定する固定部と、基
板の外周部に設けられた1つの球形状部とを有し、前記
基板は一方の側に面方向の異なる2つの基準面を有して
おり、前記基準座標系定義部は、前記2つの基準面と前
記1つの球形状部を含んでいる、光学素子を保持する保
持具。 (15) 被検物の3次元形状を測定する3次元形状測
定機と、少なくとも第1の面と第2の面を持つ光学素子
を、前記3次元形状測定機が前記第1の面または前記第
2の面を測定し得る姿勢で保持する保持具であって、第
1及び第2の面形状測定における第1及び第2の基準座
標系を定義するための基準座標系定義部を有している保
持具と、前記3次元形状測定機による前記基準座標系定
義部の測定データから前記第1及び第2の基準座標系を
演算する第1の演算手段と、前記3次元形状測定機によ
る前記光学素子の前記第1及び第2の面の形状の測定デ
ータと、前記第1の演算手段により得られた前記第1及
び第2の基準座標系とから、前記第1の面と前記第2の
面の間の位置関係を演算する第2の演算手段とを有して
いる、光学素子の面間の位置関係を測定する測定装置。
転対称性を持つ面を有する光学素子はもちろん、回転対
称性を持たない面を有する光学素子に対しても、その面
間の位置関係を測定し得る方法および装置が提供され
る。また、その装置に好適な保持具すなわち治具と保持
治具の組み合わせが提供される。
位置関係の測定に用いる装置の全体構成を示した図であ
る。
分断面図である。
面図である。
の斜視図である。
系定義部を備えた被検ワークの斜視図である。
の基準座標系定義部を備えた治具の斜視図である。
斜視図である。
面の測定のための補助治具と組み合わされた様子を示し
ている斜視図である。
学面の測定のための補助治具と組み合わされた様子を示
している斜視図である。
の光学面の測定のための補助治具と組み合わされた様子
を示している斜視図である。
Claims (3)
- 【請求項1】3次元形状測定機を用いて光学素子の面間
の位置関係を求める方法であって、 前記3次元形状測定機を用いて前記光学素子の第1の面
の形状を測定する第1の面形状測定工程と、 前記第1の面形状測定工程における第1の基準座標系を
測定する第1の基準座標系測定工程と、 前記3次元形状測定機を用いて前記光学素子の第2の面
の形状を測定する第2の面形状測定工程と、 前記第2の面形状測定工程における第2の基準座標系を
測定する第2の基準座標系測定工程と、 前記第1及び第2の面形状と前記第1及び第2の基準座
標系に基づいて前記第1の面と前記第2の面の位置関係
を演算により求める演算工程とを有している、光学素子
の面間の位置関係を求める方法。 - 【請求項2】3次元形状測定機により測定される少なく
とも第1の面と第2の面を持つ光学素子を保持する保持
具であり、 光学素子を保持する治具と、これを支持する補助治具と
を有しており、 前記補助治具は、3次元形状測定機が第1の面を測定し
得る第1の姿勢及び3次元形状測定機が第2の面を測定
し得る第2の姿勢で前記治具を支持可能であり、 前記治具は、第1及び第2の面形状測定における第1及
び第2の基準座標系を定義するための基準座標系定義部
を有している、光学素子を保持する保持具。 - 【請求項3】被検物の3次元形状を測定する3次元測定
機と、 前記3次元形状測定機により少なくとも第1の面と第2
の面を持つ光学素子の該第1の面を測定し得る姿勢及び
該第2の面を測定し得る姿勢における、前記3次元形状
測定機による前記光学素子又は該光学素子の保持具に対
する測定のデータから、第1及び第2の面形状測定にお
ける第1及び第2の基準座標系をそれぞれ演算する第1
の演算手段と、 前記第1の面を測定し得る姿勢及び前記第2の面を測定
し得る姿勢において、前記3次元形状測定機による前記
光学素子の前記第1の面及び第2の面の形状の測定デー
タと、前記第1の演算手段により得られた前記第1及び
第2の基準座標系とから、前記第1及び第2の面の面間
の位置関係を演算する第2の演算手段とを有している、
光学素子の面間の位置関係を測定する装置。
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