JP2006343255A

JP2006343255A - ３次元形状測定装置及び方法

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Publication number: JP2006343255A
Application number: JP2005170422A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Kobayashi; 宏史小林
Original assignee: Olympus Corp
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 2005-06-10
Filing date: 2005-06-10
Publication date: 2006-12-21

Abstract

【課題】被測定物の３次元形状を高精度に測定することが可能となる３次元形状測定装置及び方法の提供。
【解決手段】一対のプローブ２０ａ，２０ｂを、その先端同士が所定の間隔を開けて一直線状に対向するように配置し、被測定物１を、被測定物１の表面側及び裏面側がそれぞれ一対のプローブに対向するように位置させた後に、一対のプローブ２０ａ，２０ｂのお互いの位置関係を変更することなく、該一対のプローブ間における被測定物１の相対的な位置をスライド移動させて、一方のプローブにより被測定物１表面の３次元形状を測定し、次いで、他方のプローブにより被測定物１裏面の３次元形状を測定する。
【選択図】図１

Description

本発明は、レンズや鏡などの被測定物の３次元形状を測定する３次元形状測定装置及び方法に関するものである。

図６に従来の非球面や自由曲面レンズ等における３次元形状及び該レンズ等の表裏面の相対位置関係を測定するための３次元形状測定装置の概略構成を示す。
図６に示すように、従来の３次元形状測定装置１００は、２組のプローブ１０１ａ，１０１ｂと、この２組のプローブを夫々独立に３次元的に移動させるためのＸ軸方向移動機構１０２と、該Ｘ方向移動機構１０２に直交するＹ軸方向移動機構１０３と、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に直交し前記２組のプローブ１０１ａ，１０１ｂが取り付けられるＺ軸方向移動機構１０４ａ，１０４ｂと、プローブの被測定物表面への接触圧を一定に制御する接触圧制御装置（図示せず）とを備えている。更に、被測定物２００の周囲に、３つの基準球１０８ａ、１０８ｂ、１０８ｃを備えている（例えば、特許文献１参照。）。

そして、被測定物２００の３次元形状を測定する場合には、２組のプローブ１０１ａ，１０１ｂを夫々独立に、被測定物２００の表裏面の異なる位置に接触させて、被測定物２００の表裏面の３次元形状を測定する。ここで、被測定物２００表面に対するプローブ１０１ａ，１０１ｂの接触圧は、接触圧制御装置により所定の接触圧となるように制御される。また、被測定物２００の表面側及び裏面側から基準球１０８ａ、１０８ｂ、１０８ｃの中心位置を測定することにより、被測定物２００の表面と裏面との相対的位置を算出する。

特開平１１−１６００３８号公報

しかしながら、かかる従来の３次元形状測定装置では、２組のプローブを夫々独立に移動させている為に、該プローブの移動機構が複雑となり、被測定物の３次元形状を高精度に測定することが困難であるという問題があった。また、被測定物の表面及び裏面の相対的位置関係を測定する場合には、２組のプローブの座標系を合わせる必要があり、３つの基準球を用いて中心座標を算出する事が必要となる。このため基準球製作コストの増加や、測定工数の増加という問題があった。

本発明は、上記した従来技術の課題を解決し、簡単な装置構成で被測定物の３次元形状を高精度に測定することが可能である３次元形状測定装置及び方法を提供することを目的とする。更に、被測定物の表面及び裏面の相対位置関係の算出を１つの基準球のみで行うことを可能として、測定工数の低減を図ることが可能となる３次元形状測定装置及び方法を提供することを目的とする。

上記目的を達成する為に、本発明の３次元形状測定装置にあっては、被測定物の３次元形状を測定する３次元形状測定装置であって、一対のプローブと、前記一対のプローブが所定の間隔を開けて一直線状に対向するように取り付けられるプローブ固定部材と、被測定物を前記一対のプローブ間で保持する被測定物保持部材と、前記プローブ固定部材に対する前記被測定物保持部材の相対的な位置をスライド移動可能とするスライド機構と、前記プローブ固定部材及び前記被測定物保持部材の少なくとも一方を、前記スライド機構のスライド移動方向に移動させる移動手段と、前記プローブ固定部材に対する前記被測定物保持部材の相対的な移動量を測定する相対位置測定手段とを備えることを特徴とする。

また、上記目的を達成する為に、本発明の３次元形状測定方法にあっては、被測定物の３次元形状を測定する３次元形状測定方法であって、所定の間隔を開けて一直線状に対向配置された一対のプローブ間に、被測定物を、該被測定物の表面及び裏面がそれぞれ該一対のプローブに対向するように位置させた後に、前記一対のプローブのお互いの位置関係を変更することなく、前記一対のプローブ間における前記被測定物の相対的な位置をスライド移動させて、一方のプローブにより被測定物の表面の３次元形状を測定し、次いで、他方のプローブにより被測定物の裏面の３次元形状を測定することを特徴とする。

以上説明したように、本発明の３次元形状測定装置及び方法によれば、被測定物の３次元形状を高精度に測定することが可能となる。

以下に図面を参照して、この発明の好適な実施の形態を例示的に詳しく説明する。ただし、この実施の形態に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは、特に特定的な記載がない限りは、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。

＜３次元形状測定装置＞
図１は、第１の実施の形態に係る３次元形状測定装置１０の概略構成説明図である。
本実施の形態に係る３次元形状測定装置１０は、一対のプローブ２０ａ，２０ｂと、一対のプローブ２０ａ，２０ｂが所定の間隔を開けて一直線状に対向するように取り付けられるプローブ固定部材２０と、被測定物１を一対のプローブ２０ａ，２０ｂ間で保持する被測定物保持部材３０と、プローブ固定部材２０に対する被測定物保持部材３０の相対的な位置をスライド移動可能とするスライド機構４１〜４３と、プローブ固定部材２０及び被測定物保持部材３０の少なくとも一方を、スライド機構４１〜４３のスライド移動方向に移動させる移動手段５１（スライド機構４２及び４３に対応する移動手段は不図示）と、プローブ固定部材２０に対する被測定物保持部材３０の相対的な移動量を測定する相対位置測定手段６１〜６３とを備えている。

プローブ固定部材２０は、矩形状の基部２１と、基部２１の長手方向両端からそれぞれ上方に立設されるプローブ固定部２２ａ及び２２ｂとを有している。そして、プローブ固定部２２ａ及び２２ｂの対向面側には、一対のプローブ２０ａ，２０ｂが、その先端同士が所定の間隔を開けて、且つ、一直線状に対向するように取り付けられている。尚、プローブ２０ａ，２０ｂは、プローブ固定部２２ａ及び２２ｂに直接固定されてもよいが、被測定物１に対する接触圧を測定する接触圧検知手段２３ａ，２３ｂを介して固定されることが好ましい。接触圧検知手段２３ａ，２３ｂとしては、特に制限はないが、例えば、ロードセルや圧力センサなどが挙げられる。更に、接触圧検知手段２３ａ，２３ｂに変えて、プローブ２０ａ，２０ｂと被測定物１との距離を測定する測距手段を別途備えていてもよい。測距手段としては、フォーカスセンサや干渉センサなどが挙げられる。

本実施の形態に係る３次元形状測定装置は、箱状の枠体部７０を有している。そして、枠体部７０の底板７１の上面側には、スライド機構４３が載置されている。スライド機構４３上には、スライド機構４１、４２及びプローブ固定部材２０が、この順に載置されている。また、枠体部７０の天板７２の下面側には、被測定物保持部材３０が垂架固定されている。尚、枠体部７０の形状としては、被測定物保持部材３０に固定された被測定物１が、プローブ固定部材２０に備えられた一対のプローブ２０ａ，２０ｂ間の所定の位置に配置可能であれば、特に制限はなく、枠形状、コの字形状、底板から側板のみ上方に立設したＬ字形状等が挙げられる。また、被測定物保持部材３０の枠体部７０への取り付け位置としては、天板側、側板側など特に制限はない。

スライド機構４１は、一対のプローブ２０ａ，２０ｂの配置方向と平行な方向をＺ軸として、Ｚ軸方向にスライド移動可能とされる。スライド機構４２は、枠体部７０の底板７１と平行な平面内で、Ｚ軸に直交する方向をＸ軸として、Ｘ軸方向にスライド移動可能とされる。スライド機構４３は、Ｘ軸及びＺ軸のそれぞれに直交する方向をＹ軸（図中、紙面上下方向）として、Ｙ軸方向にスライド移動可能とされる。

尚、スライド機構としては、Ｚ軸方向及びＸ軸方向スライド機構のみを備え、これらのスライド機構に加えて、Ｚ軸を回転軸として、被測定物１を回転させる回転機構を備えることにより、被測定物の３次元形状を測定することも可能である。

被測定物保持部材３０は、一部にレンズ等の被測定物の外周を保持する被測定物保持部が形成されている。被測定物保持部による被測定物の保持方法としては、特に制限はなく、ネジや押さえ環等を介して被測定物を保持するものや、接着や嵌合等により被測定物を被測定物保持部材３０に直接固定する方法等が挙げられるが、できるだけ被測定面に撓みが発生しない方法が好ましい。

移動手段５１としては、スライド機構のスライド方向への移動を可能とする構成であれば特に制限はないが、本実施の形態に係る３次元形状測定装置では、モータ５１ａ、ボールネジ５１ｂ、及びボールネジ受け５１ｃ等から構成される。そして、モータ５１ａの回転運動は、ボールネジ５１ｂの併進運動に変換されてプローブ固定部材２０をＺ軸方向に移動させる。

相対位置測定手段６１は、スライド機構４１のＺ軸方向の移動量を測定可能であれば、特に制限はなく、例えば、スライド機構４１の直線移動量を検出するリニアスケール、モータ５１ａの回転角を検出するロータリーエンコーダ等が挙げられる。本実施の形態に係る３次元形状測定装置では、リニアスケールが用いられる。そして、相対位置測定手段６１により、プローブ固定部材２０に対する被測定物保持部材３０のＺ軸方向の移動量を測定することが可能となる。尚、スライド機構４２のＸ軸方向の移動量及びスライド機構４３のＹ軸方向の移動量を測定する相対位置測定手段６２及び６３についても、相対位置測定手段６１と同様の構成とすることができる。

第１の実施の形態に係る３次元形状測定装置１０によれば、枠体部７０の天板７２から垂架される被測定物保持部材３０に対して、プローブ固定部材２０が、Ｘ、Ｙ及びＺ軸方向にそれぞれスライド移動可能とされる。そして、被測定物１の表裏面上において、プローブ２０ａ，２０ｂを３次元的に移動させる。そして、プローブ２０ａ，２０ｂの被測定物表裏面上における３次元的な移動量は、相対位置測定手段６１〜６３により被測定物保持部材３０に対するプローブ固定部材２０のＸ、Ｙ及びＺ軸方向の相対的な移動量として測定される。

図２は、第２の実施の形態に係る３次元形状測定装置１１の概略構成説明図である。
本実施の形態に係る３次元形状測定装置１１は、被測定物保持部材３１が、スライド機構４１の上面板２４上に取り付けられている。また、枠状の枠体部７１を有し、枠体部７１の側板７３、７４には、プローブ固定部８０ａ及び８０ｂが取り付けられている。そして、プローブ固定部８０ａ及び８０ｂの対向面側には、一対のプローブ２０ａ，２０ｂが、その先端同士が所定の間隔を開けて、且つ、一直線状に対向するように取り付けられている。尚、プローブ２０ａ，２０ｂは、プローブ固定部８０ａ及び８０ｂに直接固定されていてもよいが、被測定物１に対する接触圧を測定する接触圧検知手段２３ａ，２３ｂを介して固定されることが好ましい。接触圧検知手段２３ａ，２３ｂとしては、第１の実施の形態におけるものと同様のものを選択することができる。その他の構成は、第１の実施の形態に係る３次元形状測定装置１０と同様であるので、同一の部材には同一の符号を付して説明を省略する。

第２の実施の形態に係る３次元形状測定装置１１によれば、枠体部７０の側板７３及び７４のそれぞれに固定される一対のプローブ２０ａ，２０ｂ間で、被測定物保持部材３１が、Ｘ、Ｙ及びＺ軸方向にスライド移動可能とされる。そして、プローブ２０ａ又は２０ｂに対して、被測定物１の表裏面を３次元的に移動させることが可能となる。そのため、プローブ２０ａ又は２０ｂに対する被測定物１の３次元的な移動量は、Ｚ軸方向相対位置測定手段６１、Ｘ軸方向相対位置測定手段６２及びＹ軸方向相対位置測定手段６３によりプローブ２０ａ又は２０ｂに対する被測定物保持部材３１のＸ、Ｙ及びＺ軸方向の相対的な移動量として測定することが可能となる。

＜３次元形状測定方法＞
次に、本発明の実施の形態に係る３次元形状測定方法を説明する。
本発明の実施の形態に係る３次元形状測定方法は、所定の間隔を開けて一直線状に対向配置された一対のプローブ間に、被測定物を、被測定物の表面及び裏面がそれぞれ一対のプローブに対向するように位置させた後に、一対のプローブのお互いの位置関係を変更することなく、一対のプローブ間における被測定物の相対的な位置をスライド移動させて、一方のプローブによる被測定物の表面の３次元形状を測定し、次いで、他方のプローブによる被測定物の裏面の３次元形状を測定する。

図３において、本発明の実施の形態に係る３次元形状測定方法をフローチャートに従い説明する。
まず、被測定物が、所定の間隔を開けて一直線状に対向配置された一対のプローブ間に、該被測定物の表面１ａ及び裏面１ｂが、一対のプローブの夫々に対向するように位置させられる（ステップＳ１）。

被測定物は被測定物保持部材に固定されるが、被測定物表裏面の全ての形状測定が終了するまでは、被測定物を被測定物保持部材から外さずに、一対のプローブのお互いの位置関係を変更することなく、全ての形状測定を行う。尚、一対のプローブは、お互いの位置関係が厳密に一直線状に対向配置されている必要はなく、後述する相対的な位置の誤差量を算出する補正値算出手順により算出された補正値を利用することも可能である。

次に、一方のプローブの先端が、被測定物の表面１ａ上に一定の圧力で接するように、Ｚ軸方向スライド機構により、一方のプローブ及び被測定物の相対位置が移動させられる。ここで、プローブ先端の被測定物表面への接触圧は、接触圧検知手段により、一定となるように調整されている。そして、一方のプローブの先端が、被測定物の表面１ａ上に一定の圧力で接する状態を保ちつつ、Ｘ軸方向スライド機構及びＹ軸方向スライド機構により、一方のプローブ及び被測定物の相対位置が移動させられる。ついで、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向のプローブ及び被測定物の相対位置（Ｘ、Ｙ、Ｚ）を相対位置測定手段により測定する。このように、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に、一対のプローブ間における被測定物の相対的な位置を走査移動させて、被測定物の表面１ａの三次元形状測定データ（Ｘ_a、Ｙ_a、Ｚ_a）（ａ＝１，２，３，・・）を点列データとして取得して、記憶手段に記憶する（ステップＳ２）。

ステップＳ２において、被測定物に対するプローブの相対的な走査移動方向としては、特に制限はないが、例えば、図４に示すように、測定開始位置からライン状に走査移動させる方法、図５に示すように、測定開始位置からスパイラル状に走査移動させる方法、またはこれらを複合した走査移動方法等が挙げられる。

次に、他方のプローブの先端が、被測定物の裏面１ｂ上に一定の圧力で接するように、Ｚ軸方向スライド機構により、他方のプローブ及び被測定物の相対位置が移動させられる。ついで、被測定物の表面１ａと同様に、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向のプローブ及び被測定物の相対位置（Ｘ、Ｙ、Ｚ）を相対位置測定手段により測定する。このように、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に、被測定物に対するプローブの位置を相対的に走査移動させて、被測定物の裏面１ｂの三次元形状測定データ（Ｘ_b、Ｙ_b、Ｚ_b）（ｂ＝１，２，３，・・）を点列データとして取得して、記憶手段に記憶する（ステップＳ３）。
以上ステップＳ１からＳ３により、被測定物の表面１ａと裏面１ｂの形状測定データを同一座標系のデータとして取得することができる。

次に、同一座標系として得られた被測定物の表面１ａと裏面１ｂの形状測定データから、被測定物の表面及び裏面の相対的位置関係を考慮した３次元形状測定方法について説明する（ステップＳ４）。

本発明の実施の形態に係る３次元形状測定方法において、一対のプローブのお互いの位置関係が厳密に一直線状に対向配置されていない場合には、夫々のプローブの相対的な位置の誤差量を求め、該誤差量から被測定物の表面及び裏面の相対位置関係を算出する必要がある。以下、夫々のプローブの相対的な位置の誤差量を補正する補正値の算出手順について説明する。

まず、前記ステップＳ１において、被測定物として、基準球を用いる。次に、前記ステップＳ２及びＳ３において、基準球の被測定面である表面１ａ及び裏面１ｂを測定した形状測定データ（Ｘ_Ma、Ｙ_Ma、Ｚ_Ma）（Ｍａ＝１，２，３・・）及び（Ｘ_Mb、Ｙ_Mb、Ｚ_Mb）（Ｍｂ＝１，２，３・・）を得る。得られた表面１ａ及び裏面１ｂの形状測定データに対して、表面１ａの球心Ｃａと裏面１ｂの球心Ｃｂの位置を算出する。

次に、球心Ｃａ及び球心Ｃｂの位置の誤差量を算出する。ここで、本来、被測定物の表面を測定する一方のプローブと、被測定物の裏面を測定する他方のプローブとのＸ、Ｙ、及びＺ軸方向の位置が一致していれば、基準球における球心Ｃａ及び球心Ｃｂの位置のは一致するはずである。このため、球心Ｃａ及び球心Ｃｂの位置の誤差量は、一方のプローブと他方のプローブとの相対的な位置の誤差量に等しくなる。即ち、基準球における球心Ｃａ及び球心Ｃｂの位置のＺ軸方向の誤差量は、一対のプローブにおけるＺ軸方向の間隔を表し、基準球における球心Ｃａ及び球心ＣｂのＸ軸及びＹ軸方向の位置の誤差量は、Ｘ軸及びＹ軸方向のプローブの相対位置の誤差量を表している。

ここで、基準球における球心Ｃａの算出方法は、最小ニ乗法やニュートン法等の既知の方法を使用して、被測定面である基準球の設計形状データと、実際の測定データとの誤差が最小となるように測定データを座標変換して、設計形状データに対する測定データの座標変換量（Ａ、Ｂ、Ｃ、α、β、θ）を算出する。ここで、Ａは基準球面測定データのＸ軸方向の並進移動量、ＢはＹ軸方向の並進移動量、ＣはＺ軸方向の並進移動量、αはＸ軸周りでの回転移動量、βは、Ｙ軸周りでの回転移動量、θはＺ軸周りでの回転移動量である。これらの座標変換量のうち、球面の測定データに対しては、３軸方向の並進移動量のみ独立であるため、（Ａ、Ｂ、Ｃ）を球心Ｃａの位置とする。また、基準球における球心Ｃｂも同様に（Ａ、Ｂ、Ｃ）を球心Ｃｂの位置とする。

このように算出された、球心Ｃａの位置（Ａ、Ｂ、Ｃ）、及び球心Ｃｂの位置（Ａ´、Ｂ´、Ｃ´）から、一対のプローブの相対的な位置の誤差量（Ａ_M、Ｂ_M、Ｃ_M）が求められる。そして、算出された一対のプローブの相対的な位置の誤差量を補正する補正値として記憶手段に記憶される。尚、該補正値は、被測定物の形状測定前に行ってもよく、後に行ってもよい。また、被測定物の測定環境が一定であれば、複数の被測定物を測定するときでも、同一の補正値を用いることが可能である。

次に、一対のプローブの相対的な位置の誤差量を補正する補正値（Ａ_M、Ｂ_M、Ｃ_M）を利用して、被測定物の裏面１ｂの形状測定データ（Ｘ_b、Ｙ_b、Ｚ_b）を座標変換することで、一対のプローブの相対的な位置の誤差量を補正した被測定物裏面１ｂの形状測定データ（Ｘ_c、Ｙ_c、Ｚ_c）（ｃ＝１，２，３・・）を得ることができる。ここで、座標変換の式を以下、式１に示す。

尚、本実施の形態に係る３次元形状測定方法では、被測定物１の表面１ａを基準として、裏面１ｂの形状測定データの座標を補正したが、裏面１ｂを基準に表面１ａの形状測定データの座標を補正してもよい。

ここで、ステップＳ２において算出された被測定物の表面１ａの三次元形状測定データ（Ｘ_a、Ｙ_a、Ｚ_a）（ａ＝１，２，３，・・）と、一対のプローブの相対的な位置の誤差量を補正した被測定物裏面１ｂの形状測定データ（Ｘ_c、Ｙ_c、Ｚ_c）（ｃ＝１，２，３・・）とは、同一座標系のデータとして取得されてものであるため、１つの点列データ（Ｘ_p、Ｙ_p、Ｚ_p）（ｐ＝１，２，３・・）としてまとめることができる。以上の方法により、被測定物の表面及び裏面の相対位置関係を考慮した３次元形状を算出することができる。

尚、本発明の３次元形状測定装置及び方法において、被測定物の形状を測定する一対のプローブとしては、接触式のプローブを用いてもよく、非接触式のプローブを用いてもよい。

本発明の３次元形状測定装置及び方法によれば、一対のプローブのそれぞれに対して、該プローブと被測定物との相対位置移動機構や、相対位置測定手段を設ける必要がなく、３次元形状測定装置の複雑化、大型化を防止できる。また、被測定物表裏面の３次元形状測定時におけるプローブと被測定物との相対移動距離を小さくすることができるので、一対のプローブと被測定物とを相対移動させる移動機構の運動誤差を最小として、高精度な測定が可能となる。更に、被測定物の表面及び裏面の相対的位置関係を考慮した３次元形状を算出する場合において、被測定物の表面１ａ及び裏面１ｂの３次元形状測定データを同一座標系のデータとして取得することができるので、一対のプローブのお互いの位置関係が厳密に一直線状に対向配置されていない場合でも、夫々のプローブの相対的な位置の誤差量を補正する補正値を１つの基準球のみから求めることができる。このため、測定時間や処理時間を短縮することができると共に、基準球製作コストを低減することができる。

図１は、第１の実施の形態に係る３次元形状測定装置の概略構成説明図である。図２は、第２の実施の形態に係る３次元形状測定装置の概略構成説明図である。図３は、３次元形状測定方法の手順を示すフローチャートである。図４は、被測定物に対するプローブの相対的な走査移動方向を示す図である。図５は、被測定物に対するプローブの相対的な走査移動方向を示す図である。図６は、従来の３次元形状測定装置の概略構成説明図である。

符号の説明

１０、１１ …３次元形状測定装置
２０ａ，２０ｂ …プローブ
２０、（８０ａ，８０ｂ）…プローブ固定部材
３０、３１ …被測定物保持部材
４１ …Ｚ軸方向スライド機構
４２ …Ｘ軸方向スライド機構
４３ …Ｙ軸方向スライド機構
５１ …移動手段
６１ …Ｚ軸方向相対位置測定手段
６２ …Ｘ軸方向相対位置測定手段
６３ …Ｙ軸方向相対位置測定手段

Claims

被測定物の３次元形状を測定する３次元形状測定装置であって、
一対のプローブと、
前記一対のプローブが所定の間隔を開けて一直線状に対向するように取り付けられるプローブ固定部材と、
被測定物を前記一対のプローブ間で保持する被測定物保持部材と、
前記プローブ固定部材に対する前記被測定物保持部材の相対的な位置をスライド移動可能とするスライド機構と、
前記プローブ固定部材及び前記被測定物保持部材の少なくとも一方を、前記スライド機構のスライド移動方向に移動させる移動手段と、
前記プローブ固定部材に対する前記被測定物保持部材の相対的な移動量を測定する相対位置測定手段とを備えることを特徴とする３次元形状測定装置。
前記一対のプローブの配置方向と平行な方向をＺ軸、該Ｚ軸に直交する方向をＸ軸として、前記スライド機構が、Ｚ軸方向及びＸ軸方向スライド機構を備える請求項１に記載の３次元形状測定装置。
前記Ｚ軸及びＸ軸のそれぞれに直交する方向をＹ軸として、前記スライド機構が、Ｙ軸方向スライド機構を備える請求項２に記載の３次元形状測定装置。
前記スライド機構が、前記被測定物保持部材に対して前記プローブ固定部材を移動させてなる請求項１から３のいずれかに記載の３次元形状測定装置。
前記スライド機構が、前記プローブ固定部材に対して前記被測定物保持部材を移動させてなる請求項１から３のいずれかに記載の３次元形状測定装置。
前記スライド機構が、前記プローブ固定部材及び前記被測定物保持部材を移動させてなる請求項１から３のいずれかに記載の３次元形状測定装置。
前記移動手段が、被測定物に対する前記プローブの接触圧が一定となるように、前記プローブ固定部材及び前記被測定物保持部材の少なくとも一方を移動させる請求項１から６のいずれかに記載の３次元形状測定装置。
被測定物の３次元形状を測定する３次元形状測定方法であって、
所定の間隔を開けて一直線状に対向配置された一対のプローブ間に、被測定物を、該被測定物の表面及び裏面がそれぞれ該一対のプローブに対向するように位置させた後に、
前記一対のプローブのお互いの位置関係を変更することなく、前記一対のプローブ間における前記被測定物の相対的な位置をスライド移動させて、一方のプローブにより被測定物の表面の３次元形状を測定し、次いで、他方のプローブにより被測定物の裏面の３次元形状を測定することを特徴とする３次元形状測定方法。
前記一対のプローブの配置方向と平行な方向をＺ軸、該Ｚ軸に直交する方向をＸ軸として、前記一対のプローブ間における前記被測定物の相対的な位置を、Ｚ軸方向及びＸ軸方向に移動させて被測定物の表面及び裏面の３次元形状を測定する請求項８に記載の３次元形状測定方法。
前記Ｚ軸及びＸ軸のそれぞれに直交する方向をＹ軸として、前記一対のプローブ間における前記被測定物の相対的な位置を、Ｙ軸方向に移動させて被測定物の表面及び裏面の３次元形状を測定する請求項９に記載の３次元形状測定方法。
前記一方のプローブを被測定物の表面に接触させて被測定物の３次元形状を測定し、次いで、前記他方のプローブを被測定物の裏面に接触させて被測定物の３次元形状を測定する請求項８から１０のいずれかに記載の３次元形状測定方法。