JP6181935B2 - 座標測定機 - Google Patents
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Description
目盛りが形成された定規と、
前記定規に対して相対移動し、前記定規の目盛りを読み出す位置センサと、
前記定規及び位置センサのうち一方に連結され、前記定規及び位置センサのうち他方が取り付けられた基盤に対して移動可能となっている移動体と、
前記移動体に取り付けられてなり、被測定物の表面に接触するかあるいは前記被測定物にたいして一定の隙間まで近づいたことを検知することで接触と同様の働きをなすようになっているタッチプローブと、
前記移動体のピッチング、ヨーイング、ローリングのいずれか2つにおける傾き角を検出する姿勢センサとを有し、
前記タッチプローブの変位を前記位置センサの出力から読み取ることが出来、前記姿勢センサからの出力に基づいて、前記目盛りを読み取るべき位置と実際に読み取られる位置との差を加味して前記位置センサの出力を補正することにより被測定物の形状を求めることを特徴とする。
mB(x)=g(x)+ez(x)+er(x)Hy+CB (7)
20D 径方向移動体
20R 回転体
20X X軸方向移動体
20Y Y軸方向移動体
20Z ヘッド部
AC オートコリメータ
AM 反射鏡
AM 腕
AS 角度センサ
AS 2次元角度センサ
BG 相対運動用軸受
BS 母線
BS1 母線
BS1,BS2 母線
BS2 円母線
BS2 母線
CO 円板状物体
CTU 演算手段
DAS 形状測定用混合センサ
DE 径方向ヘッド
DS 姿勢センサ
DSB 変位センサ
DSC 径方向直定規
DSP 径方向基準面
EH ヘッド
LS 直動ステージ
MP 数学的理想平面
O 原点
OBJ 試料
PL 支柱
PO 柱状物体
PT 支柱
RG リングゲージ
RL 電子式水準器
RS 姿勢センサ
RSP 回転基準面
RT 回転テーブル
SA 角度センサ
SA,SB センサ
SA,SB 2次元角度センサ
SJ 角度センサ保持具
ST ステージ
TP タッチプローブ
XE X軸方向ヘッド
XS 姿勢センサ
XSC X軸方向直定規
XSP X軸方向基準面
YE Y軸方向ヘッド
YS 姿勢センサ
YSC Y軸方向直定規
YSP Y軸方向基準面
ZE Z軸方向ヘッド
ZS 姿勢センサ
ZSC Z軸方向直定規
ZSP Z軸方向基準面
Claims (3)
- 目盛りが形成された定規と、
前記定規に対して相対移動し、前記定規の目盛りを読み出す位置センサと、
前記定規及び位置センサのうち一方に連結され、前記定規及び位置センサのうち他方が取り付けられた基盤に対して移動可能となっている移動体と、
前記移動体に取り付けられてなり、被測定物の表面に接触するかあるいは前記被測定物にたいして一定の隙間まで近づいたことを検知することで接触と同様の働きをなすようになっているタッチプローブと、
前記移動体のピッチング、ヨーイング、ローリングのいずれか2つにおける傾き角を検出する姿勢センサとを有し、
前記タッチプローブの変位を前記位置センサの出力から読み取ることが出来、前記姿勢センサからの出力に基づいて、前記目盛りを読み取るべき位置と実際に読み取られる位置との差を加味して前記位置センサの出力を補正することにより被測定物の形状を求めることを特徴とする座標測定機。 - 前記定規が、直定規又は円定規であることを特徴とする請求項1に記載の座標測定機。
- 前記直定規又は円定規の少なくとも一部が,前記移動体とは独立の基盤に保持され、前記直定規または円定規が低熱膨張材で構成されているメトロロジーフレームの役割を果たせるようになっていることを特徴とする請求項2に記載の座標測定機。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013026231A JP6181935B2 (ja) | 2013-02-14 | 2013-02-14 | 座標測定機 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2013026231A JP6181935B2 (ja) | 2013-02-14 | 2013-02-14 | 座標測定機 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2014153341A JP2014153341A (ja) | 2014-08-25 |
JP6181935B2 true JP6181935B2 (ja) | 2017-08-16 |
Family
ID=51575322
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2013026231A Expired - Fee Related JP6181935B2 (ja) | 2013-02-14 | 2013-02-14 | 座標測定機 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6181935B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104965958B (zh) * | 2015-07-17 | 2018-01-23 | 安徽理工大学 | 一种堆栈式工作台的误差补偿控制方法 |
KR102390793B1 (ko) * | 2021-07-01 | 2022-04-26 | 한전케이피에스 주식회사 | 케이싱의 내부치수 측정장치 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4782598A (en) * | 1985-09-19 | 1988-11-08 | Digital Electronic Automation, Inc. | Active error compensation in a coordinate measuring machine |
JP2582210B2 (ja) * | 1992-11-18 | 1997-02-19 | 株式会社ミツトヨ | 変位測定装置 |
JP3531882B2 (ja) * | 1995-03-08 | 2004-05-31 | 株式会社ミツトヨ | 三次元測定機の測定誤差補正装置 |
US5832416A (en) * | 1995-09-01 | 1998-11-03 | Brown & Sharpe Manufacturing Company | Calibration system for coordinate measuring machine |
JP2008008879A (ja) * | 2006-05-29 | 2008-01-17 | Satoshi Kiyono | 測定装置、測定基準及び精密工作機械 |
JP4890188B2 (ja) * | 2006-10-05 | 2012-03-07 | 慧 清野 | 運動誤差測定基準体及び運動誤差測定装置 |
JP4964691B2 (ja) * | 2007-06-27 | 2012-07-04 | 慧 清野 | 被測定面の測定方法 |
EP2270425A1 (en) * | 2009-07-03 | 2011-01-05 | Leica Geosystems AG | Coordinate measuring machine (CMM) and method of compensating errors in a CMM |
JP5612386B2 (ja) * | 2010-07-23 | 2014-10-22 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定装置 |
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- 2013-02-14 JP JP2013026231A patent/JP6181935B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014153341A (ja) | 2014-08-25 |
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A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A601 | Written request for extension of time |
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