JP4802134B2 - 姿勢変化測定方法および装置 - Google Patents
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Description
各々の面法線の向きが互いに異なる2つの反射平面を有する測定用治具を、該2つの反射平面の各傾斜情報が担持された干渉縞画像を前記干渉計により撮像し得るように、前記被検面上に設置する測定用治具設置ステップと、
前記被検面が移動する過程の複数時点において、前記2つの反射平面の各傾斜情報が担持された干渉縞画像を、前記干渉計によりそれぞれ撮像する干渉縞画像撮像ステップと、
撮像された各々の前記干渉縞画像を解析することにより、前記2つの反射平面それぞれの前記面法線の向きの変化分、および前記2つの反射平面同士の交線の向きの変化分を求め、この求められた結果に基づいて、直交3軸回りの前記被検面の各回転角度を算定する回転角度算定ステップと、をこの順に行うことを特徴とする。
各々の面法線の向きが互いに異なる2つの反射平面を有し、該2つの反射平面の各傾斜情報が担持された干渉縞画像を前記干渉計により撮像し得るように、前記被検面上に設置される測定用治具と、
前記被検面が移動する過程の複数時点において、前記2つの反射平面の各傾斜情報が担持された干渉縞画像を、前記干渉計によりそれぞれ撮像せしめる干渉縞画像撮像指令手段と、
撮像された各々の前記干渉縞画像を解析することにより、前記2つの反射平面それぞれの前記面法線の向きの変化分、および前記2つの反射平面同士の交線の向きの変化分を求め、この求められた結果に基づいて、直交3軸回りの前記被検面の各回転角度を算定する回転角度算定手段と、を備えてなることを特徴とする。
a20x+b20y+c20z=d20 …… (2)
ここで、x,y,zは上記直交座標系(図1参照)の座標を示し、a10,b10,c10,a20,b20,c20は、上記第1の時点における上記第1および第2の反射平面31,32の各面法線N1,N2の傾きに対応する係数を示す。
a21x+b21y+c21z=d21 …… (7)
ここで、a11,b11,c11,a21,b21,c21は、上記第2の時点における上記第1および第2の反射平面31,32の各面法線N1,N2の傾きに対応する係数を示す。
2 解析表示部
3 測定用治具
4 干渉縞画像
5 被検面
11 光源部
12 ビーム径拡大用レンズ
13 ビームスプリッタ
13a 光束分割面
14 コリメータレンズ
15 参照基準板
15a 参照基準面
16 結像レンズ
17 撮像カメラ
17a 撮像素子
21 縞解析装置
22 入力装置
23 表示装置
31 第1の反射面
32 第2の反射面
33 交線
41,42 画像領域
N1 (第1の反射面の)面法線
N2 (第2の反射面の)面法線
A (被検面の)回転軸
C (干渉計の)光軸
X,Y,Z 直交3軸
Claims (4)
- 被検面の移動に伴う該被検面の姿勢の変化を、干渉計を用いて測定する姿勢変化測定方法であって、
各々の面法線の向きが互いに異なる2つの反射平面を有する測定用治具を、該2つの反射平面の各傾斜情報が担持された干渉縞画像を前記干渉計により撮像し得るように、前記被検面上に設置する測定用治具設置ステップと、
前記被検面が移動する過程の複数時点において、前記2つの反射平面の各傾斜情報が担持された干渉縞画像を、前記干渉計によりそれぞれ撮像する干渉縞画像撮像ステップと、
撮像された各々の前記干渉縞画像を解析することにより、前記2つの反射平面それぞれの前記面法線の向きの変化分、および前記2つの反射平面同士の交線の向きの変化分を求め、この求められた結果に基づいて、直交3軸回りの前記被検面の各回転角度を算定する回転角度算定ステップと、をこの順に行うことを特徴とする姿勢変化測定方法。 - 前記回転角度算定ステップにおいては、前記直交3軸のうちの1軸を、前記干渉計の光軸と平行に設定するとともに、前記交線の向きの変化分に基づき、前記第1軸回りの前記被検面の回転角度を算定し、前記2つの反射平面の各面法線の向きの変化分に基づき、前記直交3軸のうちの他の2軸回りの前記被検面の各回転角度を算定する、ことを特徴とする請求項1記載の姿勢変化測定方法。
- 前記被検面が所定の回転軸回りに回転移動するものである、ことを特徴とする請求項1または2記載の姿勢変化測定方法。
- 干渉計と解析装置とを備え、被検面の移動に伴う該被検面の姿勢の変化を測定する姿勢変化測定装置であって、
各々の面法線の向きが互いに異なる2つの反射平面を有し、該2つの反射平面の各傾斜情報が担持された干渉縞画像を前記干渉計により撮像し得るように、前記被検面上に設置される測定用治具と、
前記被検面が移動する過程の複数時点において、前記2つの反射平面の各傾斜情報が担持された干渉縞画像を、前記干渉計によりそれぞれ撮像せしめる干渉縞画像撮像指令手段と、
撮像された各々の前記干渉縞画像を解析することにより、前記2つの反射平面それぞれの前記面法線の向きの変化分、および前記2つの反射平面同士の交線の向きの変化分を求め、この求められた結果に基づいて、直交3軸回りの前記被検面の各回転角度を算定する回転角度算定手段と、を備えてなることを特徴とする姿勢変化測定装置。
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JP2007087625A JP4802134B2 (ja) | 2007-03-29 | 2007-03-29 | 姿勢変化測定方法および装置 |
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