JPS6140085B2 - - Google Patents
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- JPS6140085B2 JPS6140085B2 JP55167511A JP16751180A JPS6140085B2 JP S6140085 B2 JPS6140085 B2 JP S6140085B2 JP 55167511 A JP55167511 A JP 55167511A JP 16751180 A JP16751180 A JP 16751180A JP S6140085 B2 JPS6140085 B2 JP S6140085B2
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- Japan
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- stage
- fixed
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Links
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- 239000005304 optical glass Substances 0.000 description 6
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
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- 229910000861 Mg alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 206010037660 Pyrexia Diseases 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
- G02B7/182—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Optical Head (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は光学ガラスの取付装置に係り特に電子
ビームの露光装置用Ｘ−Ｙステージ等に用いられ
るプレーンミラーの取付装置に関する。
ビームの露光装置用Ｘ−Ｙステージ等に用いられ
るプレーンミラーの取付装置に関する。
電子ビーム露光装置用Ｘ−Ｙステージ等におい
ては、精密な位置合せを行うために位置検知装置
としてレーザ測長器が用いられている。該レーザ
測長器の反射ミラーに於てはウエハー等の露光の
ための位置合せを何回か行うために、Ｘ−Ｙステ
ージのXY軸内で直交度を正確に位置決めする必
要がありＬ型直角光学ガラス例えばプレーンミラ
ー等が使用されている。この様なプレーンミラー
を有するステージは座標測定器ウエハーステツパ
ー等に使用されている。
ては、精密な位置合せを行うために位置検知装置
としてレーザ測長器が用いられている。該レーザ
測長器の反射ミラーに於てはウエハー等の露光の
ための位置合せを何回か行うために、Ｘ−Ｙステ
ージのXY軸内で直交度を正確に位置決めする必
要がありＬ型直角光学ガラス例えばプレーンミラ
ー等が使用されている。この様なプレーンミラー
を有するステージは座標測定器ウエハーステツパ
ー等に使用されている。
従来、このようなレーザ測長器のプレーンミラ
ーが載置されるステージは第１図Ａ，Ｂに示すよ
うに、アルミニウム合金、マグネシウム合金等の
比重の小さな材料で製作されている。これはＸ−
Ｙ軸方向に急速に移動させるために軽量化が必要
とされる熱膨張係数は後述するプレーンミラーに
比べて１桁以上大きい。
ーが載置されるステージは第１図Ａ，Ｂに示すよ
うに、アルミニウム合金、マグネシウム合金等の
比重の小さな材料で製作されている。これはＸ−
Ｙ軸方向に急速に移動させるために軽量化が必要
とされる熱膨張係数は後述するプレーンミラーに
比べて１桁以上大きい。
プレーンミラーは第１図Ａの如く、直線状のプ
レーンミラー２ａ，２ｂを２枚直交して、上記ス
テージ１すなわち固定台上に載置する場合と、第
１図Ｂの如くＬ字状のＬ型直角プレーンミラー２
ｃを載置固定するものがあり、固定方法は押圧片
で固着する場合と、接着剤等を流し込んでステー
ジ上に貼着する場合があり、貼着又は固定点３は
プレーンミラー２ａ，２ｂ，２ｃの両端及び中央
部分が多い。又、プレーンミラーの平面度は必要
平面度（例えばλ／10〜λ／20）の精度で仕上げ
られている。
レーンミラー２ａ，２ｂを２枚直交して、上記ス
テージ１すなわち固定台上に載置する場合と、第
１図Ｂの如くＬ字状のＬ型直角プレーンミラー２
ｃを載置固定するものがあり、固定方法は押圧片
で固着する場合と、接着剤等を流し込んでステー
ジ上に貼着する場合があり、貼着又は固定点３は
プレーンミラー２ａ，２ｂ，２ｃの両端及び中央
部分が多い。又、プレーンミラーの平面度は必要
平面度（例えばλ／10〜λ／20）の精度で仕上げ
られている。
上述のステージ１上にウエハー４を所定の誤差
範囲で設置し露光が行われパターン５が焼付けら
れる。
範囲で設置し露光が行われパターン５が焼付けら
れる。
この様な露光は通常温度管理が充分なされたサ
ーマルチエンバー内で行なわれる。
ーマルチエンバー内で行なわれる。
しかし、プレーンミラーは石英ガラス等で構成
されているため熱膨張係数はステージに比べて極
めて小さい値である。
されているため熱膨張係数はステージに比べて極
めて小さい値である。
このためプレーンミラーをステージに固定する
固定点又は貼着点にもよるが、プレーンミラー２
ａ，２ｂ，２ｃ、ステージ１との熱膨張率の差に
よつて第１図Ａ，Ｂ点線図示のように変形し、プ
レーンミラーは角度に狂いを生ずる。
固定点又は貼着点にもよるが、プレーンミラー２
ａ，２ｂ，２ｃ、ステージ１との熱膨張率の差に
よつて第１図Ａ，Ｂ点線図示のように変形し、プ
レーンミラーは角度に狂いを生ずる。
これは上述の如くわずかな温度変化でも、プレ
ーンミラーの両端又は中央部が固定又は貼着３さ
れているため、熱膨張率の大きいステージ１の膨
張或は縮みに追従して、拡げられたり、縮められ
たりするためである。
ーンミラーの両端又は中央部が固定又は貼着３さ
れているため、熱膨張率の大きいステージ１の膨
張或は縮みに追従して、拡げられたり、縮められ
たりするためである。
この結果、重ね合せ露光時には直角度が出ず位
置合せを正確に行うことが出来ない欠点を生ず
る。
置合せを正確に行うことが出来ない欠点を生ず
る。
本発明は叙上の欠点を除いた光学ガラス取付装
置を提供するものであり、本発明の特徴とすると
ころは固定台に対し、光学ガラスを中央部のみで
固定し、両端をフリー状態として遊端を板バネの
１端に固定する光学ガラス取付装置である。
置を提供するものであり、本発明の特徴とすると
ころは固定台に対し、光学ガラスを中央部のみで
固定し、両端をフリー状態として遊端を板バネの
１端に固定する光学ガラス取付装置である。
以下、本発明の１実施例を図面について詳記す
る。プレーンミラーとステージとの熱膨張率の差
による影響を除くためには、プレーンミラーの両
端をフリー状態とすることで熱膨張率差の影響は
防げるがステージは常にＸ軸或はＹ軸方向に激し
く動いているためプレーンミラーの両端が振動
し、レーザ測長は不正確なものとなる。
る。プレーンミラーとステージとの熱膨張率の差
による影響を除くためには、プレーンミラーの両
端をフリー状態とすることで熱膨張率差の影響は
防げるがステージは常にＸ軸或はＹ軸方向に激し
く動いているためプレーンミラーの両端が振動
し、レーザ測長は不正確なものとなる。
そこで本発明に於ては、第２図に示す如く、Ｘ
−Ｙステージ１のプレーンミラー２ｃが載置され
る左側端と手前側端に段部１ａ，１ｂを設け、プ
レーンミラーは中央部のみで、ステージ１に固定
され、他の下面は非接触状態となされフリー状態
であり、ステージ１のＸ軸及びＹ軸方向、即ちプ
レーンミラーのフリー側端面２c′，２c″に対向し
て、図のような取付金具６ａ，６ｂを配設し、ス
テージ１の段部１ａ，１ｂに取付金具の底部を固
定し、取付金具６ａ，６ｂにはプレーンミラーの
フリー側端面２c′，２c″に対向する面に板スプリ
ング７ａ，７ｂを固定し、該板スプリング７ａ，
７ｂの下端にスペーサ８ａ，８ｂを固定してプレ
ーンミラー２ｃのフリー側端面２c′，２c″に該ス
ペーサーの他面を対接させる。上述の取付金具６
ａ，６ｂ板スプリング７ａ，７ｂ並にスペーサ８
ａ，８ｂは同一材料で構成するを可とする。
−Ｙステージ１のプレーンミラー２ｃが載置され
る左側端と手前側端に段部１ａ，１ｂを設け、プ
レーンミラーは中央部のみで、ステージ１に固定
され、他の下面は非接触状態となされフリー状態
であり、ステージ１のＸ軸及びＹ軸方向、即ちプ
レーンミラーのフリー側端面２c′，２c″に対向し
て、図のような取付金具６ａ，６ｂを配設し、ス
テージ１の段部１ａ，１ｂに取付金具の底部を固
定し、取付金具６ａ，６ｂにはプレーンミラーの
フリー側端面２c′，２c″に対向する面に板スプリ
ング７ａ，７ｂを固定し、該板スプリング７ａ，
７ｂの下端にスペーサ８ａ，８ｂを固定してプレ
ーンミラー２ｃのフリー側端面２c′，２c″に該ス
ペーサーの他面を対接させる。上述の取付金具６
ａ，６ｂ板スプリング７ａ，７ｂ並にスペーサ８
ａ，８ｂは同一材料で構成するを可とする。
上述の構成で第２図のＡ部拡大側面図の第３図
について、その動作を説明すると、冒頭で述べた
熱膨張の差によつてプレーンミラー２ｃの端面２
c′，２c″が点線で示すようにＸ軸又はＹ軸方向に
見掛上移動したとするとプレーンミラーの端面２
c′，２C″を固定しているスペーサ８ａ，８ｂを
介して板スプリング７ａ，７ｂは点線図示の如く
プレーンミラー２ｃの端面２c′，２c″によつて逆
に押圧されるが板スプリングによりこの変化を吸
収し、プレーンミラーの角度変化は生じない。更
に第４図に示すようにＺ軸方向の変化が周囲温度
の変化により生じたとしても、取付金具６ａ，６
ｂ、板スプリング７ａ，７ｂ、スペーサ８ａ，８
ｂは同一材料で構成されているとすると、取付金
具６ａ，６ｂの底部は固定されているため熱膨張
による伸び、又は縮みはフリー端の６a′，６b″側
で点線図示の如く伸張したとすると、板スプリン
グ７ａ，７ｂのスペーサ８ａ，８ｂの固定された
フリー端７a′，７b′も６ａ，６ｂと同一量逆方向
に伸張する。よつてプレーンミラー２ｃの端面２
c′，２c″を押圧するスペーサ８ａ，８ｂ位置は実
質的に変らずＺ軸方向の位置も変化しないことに
なる。
について、その動作を説明すると、冒頭で述べた
熱膨張の差によつてプレーンミラー２ｃの端面２
c′，２c″が点線で示すようにＸ軸又はＹ軸方向に
見掛上移動したとするとプレーンミラーの端面２
c′，２C″を固定しているスペーサ８ａ，８ｂを
介して板スプリング７ａ，７ｂは点線図示の如く
プレーンミラー２ｃの端面２c′，２c″によつて逆
に押圧されるが板スプリングによりこの変化を吸
収し、プレーンミラーの角度変化は生じない。更
に第４図に示すようにＺ軸方向の変化が周囲温度
の変化により生じたとしても、取付金具６ａ，６
ｂ、板スプリング７ａ，７ｂ、スペーサ８ａ，８
ｂは同一材料で構成されているとすると、取付金
具６ａ，６ｂの底部は固定されているため熱膨張
による伸び、又は縮みはフリー端の６a′，６b″側
で点線図示の如く伸張したとすると、板スプリン
グ７ａ，７ｂのスペーサ８ａ，８ｂの固定された
フリー端７a′，７b′も６ａ，６ｂと同一量逆方向
に伸張する。よつてプレーンミラー２ｃの端面２
c′，２c″を押圧するスペーサ８ａ，８ｂ位置は実
質的に変らずＺ軸方向の位置も変化しないことに
なる。
尚上記実施例に於て、Ｌ型直角プレーンミラー
について述べたが、第１図Ａに示す２本の直線状
プレーンミラー２ａ，２ｂの場合は中央部を固定
し、両端のフリー端を板スプリングで固定しても
よい。又プレーンミラーの１端を固定し、他端の
フリー端を板スプリングで固定するようにしても
よいことは明らかである。
について述べたが、第１図Ａに示す２本の直線状
プレーンミラー２ａ，２ｂの場合は中央部を固定
し、両端のフリー端を板スプリングで固定しても
よい。又プレーンミラーの１端を固定し、他端の
フリー端を板スプリングで固定するようにしても
よいことは明らかである。
本発明は上述の如く構成したプレーンミラーを
ステージに取付けることにより熱膨張の差による
プレーンミラーの見掛け上の移動は板スプリング
により吸収出来、且つステージがＸ−Ｙ軸方向に
激しく動いてもプレーンミラーの端面は独立に揺
動せず、上下方向の移動も防止し得る利点を有す
るものである。
ステージに取付けることにより熱膨張の差による
プレーンミラーの見掛け上の移動は板スプリング
により吸収出来、且つステージがＸ−Ｙ軸方向に
激しく動いてもプレーンミラーの端面は独立に揺
動せず、上下方向の移動も防止し得る利点を有す
るものである。
第１図Ａ，Ｂは従来のＸ−Ｙステージ上に取り
付けたプレーンミラーの平面図、第２図は本発明
の光学ガラス取付装置の斜視図、第３図は第２図
のＡ部拡大図、第４図は本発明の上下方向変化補
償方法を説明する要部拡大側面図である。 １……ステージ、２ａ，２ｂ……直線状プレー
ンミラー、２ｃ……Ｌ型直角プレーンミラー、３
……固定点又は貼着点、４……ウエハー、６ａ，
６ｂ……取付金具、７ａ，７ｂ……板スプリン
グ、８ａ，８ｂ……スペーサ。
付けたプレーンミラーの平面図、第２図は本発明
の光学ガラス取付装置の斜視図、第３図は第２図
のＡ部拡大図、第４図は本発明の上下方向変化補
償方法を説明する要部拡大側面図である。 １……ステージ、２ａ，２ｂ……直線状プレー
ンミラー、２ｃ……Ｌ型直角プレーンミラー、３
……固定点又は貼着点、４……ウエハー、６ａ，
６ｂ……取付金具、７ａ，７ｂ……板スプリン
グ、８ａ，８ｂ……スペーサ。
Claims (1)
- １ プレーンミラーの一部分のみを載置固定し、
プレーンミラーのフリー側端面を含む他部分を非
接触のフリー状態に支持する凸状の段部が設けら
れたステージと、ステージの該凸状の段部に一部
分のみが載置固定され、フリー側端面を含む他部
分が非接触のフリー状態に支持されたプレーンミ
ラーと、一端が該ステージに固定され、他端がフ
リー状態とされた弾性部材の該他端に固定され上
記プレーンミラーのフリー側端面に対接されるス
ペーサを含む該プレーンミラーのフリー側端面の
振動もしくは揺動を防止する緩衝部材とを有する
ことを特徴とするレーザ測長器。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55167511A JPS5790607A (en) | 1980-11-28 | 1980-11-28 | Optical glass fitting device |
| DE8181305506T DE3176265D1 (en) | 1980-11-28 | 1981-11-23 | Optical apparatus having a mirror and a mirror mounting stage |
| EP81305506A EP0053463B1 (en) | 1980-11-28 | 1981-11-23 | Optical apparatus having a mirror and a mirror mounting stage |
| IE2747/81A IE52953B1 (en) | 1980-11-28 | 1981-11-24 | Optical apparatus having a mirror and a mirror mounting stage |
| US06/325,383 US4420223A (en) | 1980-11-28 | 1981-11-27 | Optical apparatus having a mirror |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55167511A JPS5790607A (en) | 1980-11-28 | 1980-11-28 | Optical glass fitting device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5790607A JPS5790607A (en) | 1982-06-05 |
| JPS6140085B2 true JPS6140085B2 (ja) | 1986-09-08 |
Family
ID=15851031
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP55167511A Granted JPS5790607A (en) | 1980-11-28 | 1980-11-28 | Optical glass fitting device |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4420223A (ja) |
| EP (1) | EP0053463B1 (ja) |
| JP (1) | JPS5790607A (ja) |
| DE (1) | DE3176265D1 (ja) |
| IE (1) | IE52953B1 (ja) |
Families Citing this family (30)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3333732C1 (de) * | 1983-09-17 | 1984-10-04 | Bodenseewerk Geraetetech | Optisches Abbildungssystem |
| US4953965A (en) * | 1985-12-26 | 1990-09-04 | Toshiba Machine Company, Ltd. | High-accuracy traveling table apparatus |
| US4681408A (en) * | 1986-04-28 | 1987-07-21 | The Perkin-Elmer Corporation | Adjustable mount for large mirrors |
| US4929054A (en) * | 1986-04-28 | 1990-05-29 | The Perkin-Elmer Corporation | Mounting for high resolution projection lenses |
| US4726671A (en) * | 1986-06-19 | 1988-02-23 | The Perkin-Elmer Corporation | High resonance adjustable mirror mount |
| JPS6335989U (ja) * | 1986-08-25 | 1988-03-08 | ||
| JPH04317Y2 (ja) * | 1986-08-25 | 1992-01-07 | ||
| JPH0749457Y2 (ja) * | 1986-08-28 | 1995-11-13 | 東芝機械株式会社 | レ−ザミラ−の取付構造 |
| DE3634196A1 (de) * | 1986-10-08 | 1988-04-21 | Zeiss Carl Fa | Einrichtung zur verbindung zweier koerper mit unterschiedlichen thermischen ausdehnungskoeffizienten |
| US4856172A (en) * | 1988-03-18 | 1989-08-15 | Hughes Aircraft Company | Method for the strain-free mounting of optical components |
| JPH0453211U (ja) * | 1990-09-10 | 1992-05-07 | ||
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| US5877905A (en) * | 1997-04-14 | 1999-03-02 | Schwartz; Richard A. | Mount for telescope mirrors |
| DE19731148B4 (de) * | 1997-07-21 | 2005-09-15 | Diehl Bgt Defence Gmbh & Co. Kg | Befestigungsanordnung zur Befestigung eines Spiegels an einem Träger mittels Klebemittel |
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| DE10046379A1 (de) | 2000-09-20 | 2002-03-28 | Zeiss Carl | System zur gezielten Deformation von optischen Elementen |
| DE10053899A1 (de) * | 2000-10-31 | 2002-05-08 | Zeiss Carl | Vorrichtung zur Lagerung eines optischen Elementes |
| DE10106605A1 (de) | 2001-02-13 | 2002-08-22 | Zeiss Carl | System zur Beseitigung oder wenigstens Dämpfung von Schwingungen |
| FR2822949B1 (fr) * | 2001-03-27 | 2004-01-09 | Commissariat Energie Atomique | Spectrometre optique integre a haute resolution spectrale, notamment pour les telecommunications a haut debit et la metrologie, et procede de fabrication |
| DE10115915A1 (de) | 2001-03-30 | 2002-10-02 | Zeiss Carl | Vorrichtung zur Justierung von Einrichtungen und zum Einstellen von Verstellwegen |
| DE10115914A1 (de) | 2001-03-30 | 2002-10-02 | Zeiss Carl | Vorrichtung zur Lagerung eines optischen Elementes in einer Optik |
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-
1980
- 1980-11-28 JP JP55167511A patent/JPS5790607A/ja active Granted
-
1981
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| IE52953B1 (en) | 1988-04-27 |
| JPS5790607A (en) | 1982-06-05 |
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| US4420223A (en) | 1983-12-13 |
| DE3176265D1 (en) | 1987-07-23 |
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| EP0053463B1 (en) | 1987-06-16 |
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