JPH06185942A - 間隙設定方法とその装置 - Google Patents
間隙設定方法とその装置Info
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- JPH06185942A JPH06185942A JP31297292A JP31297292A JPH06185942A JP H06185942 A JPH06185942 A JP H06185942A JP 31297292 A JP31297292 A JP 31297292A JP 31297292 A JP31297292 A JP 31297292A JP H06185942 A JPH06185942 A JP H06185942A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ２平板の間に高精度でしかも一様な間隙を設
定できる間隙設定方法とその装置を提供すること。 【構成】 間隙設定装置１は、第１平板１０を装着する
固定基台２と、第２平板２０を装着する可動基台３とを
備え、可動基台３に球座４を介して微動部５２、粗動部
５２および固定ガイド部５１から成る移動機構４を取り
付けるもので、間隙設定方法は、先ず可動基台３を移動
して第１平板１０の基準面１０ａと第２平板２０の設定
面２０ａとを面接触させ、搭載面２ａの垂直方向に対す
る可動基台３の原点位置を定める。次いでこの原点位置
を基準として可動基台３を固定基台２から離す方向に移
動することで間隙ｄを所望の幅に設定する。
定できる間隙設定方法とその装置を提供すること。 【構成】 間隙設定装置１は、第１平板１０を装着する
固定基台２と、第２平板２０を装着する可動基台３とを
備え、可動基台３に球座４を介して微動部５２、粗動部
５２および固定ガイド部５１から成る移動機構４を取り
付けるもので、間隙設定方法は、先ず可動基台３を移動
して第１平板１０の基準面１０ａと第２平板２０の設定
面２０ａとを面接触させ、搭載面２ａの垂直方向に対す
る可動基台３の原点位置を定める。次いでこの原点位置
を基準として可動基台３を固定基台２から離す方向に移
動することで間隙ｄを所望の幅に設定する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、対向配置された２つの
平板の間に所望の幅から成る間隙を設定する間隙設定方
法とその装置に関するものである。
平板の間に所望の幅から成る間隙を設定する間隙設定方
法とその装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体の製造における露光工程では、マ
スクに描かれた所定のパターンをウエハ上に転写するた
め、マスクとウエハとの間隙を正確に保つ必要がある。
また、液晶パネルの上に取り付けるフィルタにおいて
は、光学的効果の観点から液晶パネルとフィルタとの間
隙を設計値どうりの幅にして取り付けることが望まれて
いる。
スクに描かれた所定のパターンをウエハ上に転写するた
め、マスクとウエハとの間隙を正確に保つ必要がある。
また、液晶パネルの上に取り付けるフィルタにおいて
は、光学的効果の観点から液晶パネルとフィルタとの間
隙を設計値どうりの幅にして取り付けることが望まれて
いる。
【０００３】従来、このウエハやマスク、または液晶パ
ネルとフィルタのような、いわゆる２つの平板の間隙を
設定する間隙設定装置は、図５の模式断面図に示すよう
に、主として第１平板１０を装着するための固定基台２
と、第２平板２０を装着するための可動基台３とから構
成されるものである。例えば、固定基台２の搭載面２ａ
にはウエハから成る第１平板１０が装着され、可動基台
３には第１平板１０の基準面１０ａに対向してマスクか
ら成る第２平板２０が装着される。この可動基台３には
図示しない移動機構が取り付けられており、固定基台２
の搭載面２ａと略垂直な方向に移動可能となっている。
また、可動基台３には例えば光学的なセンサー６が設け
られており、固定基台２と可動基台３との間の距離を測
定している。
ネルとフィルタのような、いわゆる２つの平板の間隙を
設定する間隙設定装置は、図５の模式断面図に示すよう
に、主として第１平板１０を装着するための固定基台２
と、第２平板２０を装着するための可動基台３とから構
成されるものである。例えば、固定基台２の搭載面２ａ
にはウエハから成る第１平板１０が装着され、可動基台
３には第１平板１０の基準面１０ａに対向してマスクか
ら成る第２平板２０が装着される。この可動基台３には
図示しない移動機構が取り付けられており、固定基台２
の搭載面２ａと略垂直な方向に移動可能となっている。
また、可動基台３には例えば光学的なセンサー６が設け
られており、固定基台２と可動基台３との間の距離を測
定している。
【０００４】次に、この間隙設定装置１を用いた第１平
板１０と第２平板２０との間隙設定方法を説明する。先
ず、固定基台２の搭載面２ａに真空吸着等を用いて第１
平板１０を装着する。また、可動基台３には、同様に真
空吸着等を用いて第２平板２０を装着する。次に、可動
基台３に設けられたセンサー６により、可動基台３と固
定基台２との間の距離を測定する。
板１０と第２平板２０との間隙設定方法を説明する。先
ず、固定基台２の搭載面２ａに真空吸着等を用いて第１
平板１０を装着する。また、可動基台３には、同様に真
空吸着等を用いて第２平板２０を装着する。次に、可動
基台３に設けられたセンサー６により、可動基台３と固
定基台２との間の距離を測定する。
【０００５】この測定結果から、予め設定された２つの
平板（第１平板１０と第２平板２０）の厚さをそれぞれ
差し引いて、第１平板１０の基準面１０ａと第２平板２
０の設定面２０ａとの間隙を算出する。次いで、この算
出結果と所望の間隙ｄとの差分だけ可動基台３を移動す
る。これにより、第１平板１０の基準面１０ａと第２平
板２０の設定面２０ａとの間を所望の間隙ｄに設定す
る。
平板（第１平板１０と第２平板２０）の厚さをそれぞれ
差し引いて、第１平板１０の基準面１０ａと第２平板２
０の設定面２０ａとの間隙を算出する。次いで、この算
出結果と所望の間隙ｄとの差分だけ可動基台３を移動す
る。これにより、第１平板１０の基準面１０ａと第２平
板２０の設定面２０ａとの間を所望の間隙ｄに設定す
る。
【０００６】また、第１平板１０と第２平板２０との間
隙を常に一定の幅に設定する場合には、センサーの測定
値が、第１平板１０と第２平板２０の厚さと所望の間隙
ｄとの和となるように可動基台３を移動すればよい。
隙を常に一定の幅に設定する場合には、センサーの測定
値が、第１平板１０と第２平板２０の厚さと所望の間隙
ｄとの和となるように可動基台３を移動すればよい。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このような間
隙設定方法において、光学的なセンサーで第１平板と第
２平板との距離を測定する場合、温度等の環境変化に起
因するセンサーの測定誤差の発生から、高精度な間隙設
定を行うには不十分である。しかも、このような間隙設
定装置では、固定基台や可動基台に対して第１平板や第
２平板が斜め装着されたり、第１平板の基準面や第２平
板の設定面自体が各基台との装着面に対して傾斜がある
場合に、第１平板と第２平板との間の一様な間隙設定を
行う妨げとなる。このようなことから、本発明は２平板
の間に高精度でしかも一様な間隙を設定できる間隙設定
方法とその装置を提供することを目的とする。
隙設定方法において、光学的なセンサーで第１平板と第
２平板との距離を測定する場合、温度等の環境変化に起
因するセンサーの測定誤差の発生から、高精度な間隙設
定を行うには不十分である。しかも、このような間隙設
定装置では、固定基台や可動基台に対して第１平板や第
２平板が斜め装着されたり、第１平板の基準面や第２平
板の設定面自体が各基台との装着面に対して傾斜がある
場合に、第１平板と第２平板との間の一様な間隙設定を
行う妨げとなる。このようなことから、本発明は２平板
の間に高精度でしかも一様な間隙を設定できる間隙設定
方法とその装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明の間隙
設定方法は、固定基台の搭載面に装着された第１平板
と、可動基台に装着された第２平板とを対向配置し、こ
の第１平板の基準面と第２平板の設定面との間隙を所望
の幅に設定する方法で、先ず、可動基台を固定基台に近
づける方向に移動して、第１平板の基準面と第２平板の
設定面とを面接触させることで、搭載面の垂直方向に対
する可動基台の原点位置を定める。次いで、この原点位
置を基準として可動基台を固定基台から離す方向に移動
することで、基準面と設定面との間隙を所望の幅に設定
する方法である。
設定方法は、固定基台の搭載面に装着された第１平板
と、可動基台に装着された第２平板とを対向配置し、こ
の第１平板の基準面と第２平板の設定面との間隙を所望
の幅に設定する方法で、先ず、可動基台を固定基台に近
づける方向に移動して、第１平板の基準面と第２平板の
設定面とを面接触させることで、搭載面の垂直方向に対
する可動基台の原点位置を定める。次いで、この原点位
置を基準として可動基台を固定基台から離す方向に移動
することで、基準面と設定面との間隙を所望の幅に設定
する方法である。
【０００９】また、この間隙設定装置は、第１平板の基
準面と、この基準面に対向配置された第２平板の設定面
との間隙を所望の幅に設定するもので、第１平板をその
搭載面に装着するための固定基台と、第２平板が装着さ
れ、固定基台の搭載面に対して略垂直方向に移動可能な
可動基台とを備え、さらにこの可動基台に球座を介して
移動機構を取り付けて、この可動基台を搭載面の略垂直
方向に沿って所定量移動するようにしたものである。
準面と、この基準面に対向配置された第２平板の設定面
との間隙を所望の幅に設定するもので、第１平板をその
搭載面に装着するための固定基台と、第２平板が装着さ
れ、固定基台の搭載面に対して略垂直方向に移動可能な
可動基台とを備え、さらにこの可動基台に球座を介して
移動機構を取り付けて、この可動基台を搭載面の略垂直
方向に沿って所定量移動するようにしたものである。
【００１０】また、この移動機構として、搭載面の略垂
直方向とほぼ平行に固定ガイド部を設け、この固定ガイ
ド部に沿って可動基台を粗移動させる粗動部を設け、さ
らにこの粗動部に可動基台を微小移動させる微動部を設
けたものを用いる。
直方向とほぼ平行に固定ガイド部を設け、この固定ガイ
ド部に沿って可動基台を粗移動させる粗動部を設け、さ
らにこの粗動部に可動基台を微小移動させる微動部を設
けたものを用いる。
【００１１】
【作用】可動基台を固定基台に近づける方向に移動し、
固定基台に装着された第１平板の基準面と、可動基台に
装着された第２平板の設定面とを面接触させることで、
その際の可動基台の位置を間隙設定の原点とする。すな
わち、この位置が間隙の無い（幅＝０）状態であり、こ
こから可動基台を固定基台から離す方向に所定量移動す
ることで、移動した量と等しい幅の間隙を設定できるこ
とになる。
固定基台に装着された第１平板の基準面と、可動基台に
装着された第２平板の設定面とを面接触させることで、
その際の可動基台の位置を間隙設定の原点とする。すな
わち、この位置が間隙の無い（幅＝０）状態であり、こ
こから可動基台を固定基台から離す方向に所定量移動す
ることで、移動した量と等しい幅の間隙を設定できるこ
とになる。
【００１２】また、可動基台と移動機構との間に設けら
れた球座により、第１平板の基準面と第２平板の設定面
との当接の際、これらが確実に面接触することになる。
この状態で、移動機構を用いて可動基台を固定基台の搭
載面に対して略垂直方向に移動すれば、第１平板と第２
平板との間の間隙が一様となる。しかも、移動機構とし
て設けられた粗動部により所望の間隙の大まかな設定を
行い、微動部により緻密な間隙設定を行うことになる。
れた球座により、第１平板の基準面と第２平板の設定面
との当接の際、これらが確実に面接触することになる。
この状態で、移動機構を用いて可動基台を固定基台の搭
載面に対して略垂直方向に移動すれば、第１平板と第２
平板との間の間隙が一様となる。しかも、移動機構とし
て設けられた粗動部により所望の間隙の大まかな設定を
行い、微動部により緻密な間隙設定を行うことになる。
【００１３】
【実施例】以下に、本発明の間隙設定方法とその装置の
実施例を図に基づいて説明する。先ず、間隙設定方法の
説明に先立ち、これに用いる間隙設定装置について説明
する。図１は、本発明の間隙設定装置１を説明する模式
断面図である。すなわち、この間隙設定装置１は、主
に、第１平板１０をその搭載面２ａに装着する固定基台
２と、第２平板２０を装着する可動基台３と、この可動
基台３に球座４を介して取り付けられた移動機構５とか
ら構成されるものである。
実施例を図に基づいて説明する。先ず、間隙設定方法の
説明に先立ち、これに用いる間隙設定装置について説明
する。図１は、本発明の間隙設定装置１を説明する模式
断面図である。すなわち、この間隙設定装置１は、主
に、第１平板１０をその搭載面２ａに装着する固定基台
２と、第２平板２０を装着する可動基台３と、この可動
基台３に球座４を介して取り付けられた移動機構５とか
ら構成されるものである。
【００１４】例えば、ウエハとマスクとの合わせを行う
露光装置にこの間隙設定装置１を適用する場合には、マ
スクを第１平板１０として固定基台２に装着し、このマ
スクから成る第１平板１０の基準面１０ａと対向するよ
うウエハから成る第２平板２０を可動基台３に装着す
る。この可動基台３と移動機構５との間には球座４が設
けられており、固定基台２の搭載面２ａに対する対向角
度が可変となっており、第１平板１０の基準面１０ａと
第２平板２０の設定面２０ａとが平行になるよう調整で
きる。
露光装置にこの間隙設定装置１を適用する場合には、マ
スクを第１平板１０として固定基台２に装着し、このマ
スクから成る第１平板１０の基準面１０ａと対向するよ
うウエハから成る第２平板２０を可動基台３に装着す
る。この可動基台３と移動機構５との間には球座４が設
けられており、固定基台２の搭載面２ａに対する対向角
度が可変となっており、第１平板１０の基準面１０ａと
第２平板２０の設定面２０ａとが平行になるよう調整で
きる。
【００１５】可動基台３を移動するための移動機構５
は、固定基台２の搭載面２ａと略垂直な方向に設けられ
た固定ガイド部５１と、この固定ガイド部５１に沿って
粗移動する粗動部５２と、この粗動部５２に取り付けら
れ、可動基台３を微小移動させる微動部５３とから構成
されている。具体的な移動機構５について図２の斜視図
に基づき説明する。
は、固定基台２の搭載面２ａと略垂直な方向に設けられ
た固定ガイド部５１と、この固定ガイド部５１に沿って
粗移動する粗動部５２と、この粗動部５２に取り付けら
れ、可動基台３を微小移動させる微動部５３とから構成
されている。具体的な移動機構５について図２の斜視図
に基づき説明する。
【００１６】すなわち、略垂直に設けられた固定ガイド
部５１にレール７が設けられており、このレール７を介
して粗動部５２が取り付けられている。粗動部５２は、
シリンダー５２ａの作動により、固定ガイド部５１のレ
ール７に沿って直線移動することになる。また、この粗
動部５２に設けられたレール７を介して微動部５３が取
り付けられている。
部５１にレール７が設けられており、このレール７を介
して粗動部５２が取り付けられている。粗動部５２は、
シリンダー５２ａの作動により、固定ガイド部５１のレ
ール７に沿って直線移動することになる。また、この粗
動部５２に設けられたレール７を介して微動部５３が取
り付けられている。
【００１７】微動部５３は、例えばパルスモータ５３ａ
とボールネジ５３ｂの作動により、粗動部５２に設けら
れたレール７に沿って微小移動することになる。この微
動部５３には球座４を介して可動基台３（図１参照）が
連結されており、粗動部５２と微動部５３との移動を組
合せることで可動基台３の移動量が決定される。
とボールネジ５３ｂの作動により、粗動部５２に設けら
れたレール７に沿って微小移動することになる。この微
動部５３には球座４を介して可動基台３（図１参照）が
連結されており、粗動部５２と微動部５３との移動を組
合せることで可動基台３の移動量が決定される。
【００１８】次に、この間隙設定装置１を用いた本発明
の間隙設定方法について図３〜図４の模式断面図に基づ
いて説明する。先ず、図３に示すように、間隙設定装置
１の固定基台２に第１平板１０を装着し、可動基台３に
第２平板２０を装着した後、移動機構５を作動して、可
動基台３を固定基台２の方向に移動する。そして、第１
平板１０の基準面１０ａと第２平板２０の設定面２０ａ
とを当接させ、この状態における可動基台３の位置を原
点位置Ｏとする。
の間隙設定方法について図３〜図４の模式断面図に基づ
いて説明する。先ず、図３に示すように、間隙設定装置
１の固定基台２に第１平板１０を装着し、可動基台３に
第２平板２０を装着した後、移動機構５を作動して、可
動基台３を固定基台２の方向に移動する。そして、第１
平板１０の基準面１０ａと第２平板２０の設定面２０ａ
とを当接させ、この状態における可動基台３の位置を原
点位置Ｏとする。
【００１９】例えば、第１平板１０と第２平板２０との
距離が離れている場合には、先ず粗動部５２により可動
基台３を移動させ、ある程度、第１平板１０と第２平板
２０とが接近した所で、微動部５２により可動基台３を
移動させる。これにより、第１平板１０と第２平板２０
とが当接すると同時に、微動部５３が移動しようとする
反力で、粗動部５２がわずかに押し戻されることにな
る。この粗動部５２の動きをセンサー等により検知し
て、この時の可動基台３の位置を限定位置Ｏと定めれば
よい。また、第１平板１０と第２平板２０とが微動部５
３の移動によりゆっくりと当接することになるため破損
を招く心配はない。
距離が離れている場合には、先ず粗動部５２により可動
基台３を移動させ、ある程度、第１平板１０と第２平板
２０とが接近した所で、微動部５２により可動基台３を
移動させる。これにより、第１平板１０と第２平板２０
とが当接すると同時に、微動部５３が移動しようとする
反力で、粗動部５２がわずかに押し戻されることにな
る。この粗動部５２の動きをセンサー等により検知し
て、この時の可動基台３の位置を限定位置Ｏと定めれば
よい。また、第１平板１０と第２平板２０とが微動部５
３の移動によりゆっくりと当接することになるため破損
を招く心配はない。
【００２０】なお、基準面１０ａと設定面２０ａとが平
行でない場合であっても、第１平板１０と第２平板２０
との当接の際、設定面２０ａが基準面１０ａに沿うよう
に球座４が作用することになり、基準面１０ａと設定面
２０ａとを確実に面接触させることができる。また、基
準面１０ａと設定面２０ａとを面接触させて、可動基台
３の原点位置Ｏを定めた後、球座４や移動機構５が動か
ないように、負圧等を利用して固定するのが望ましい。
行でない場合であっても、第１平板１０と第２平板２０
との当接の際、設定面２０ａが基準面１０ａに沿うよう
に球座４が作用することになり、基準面１０ａと設定面
２０ａとを確実に面接触させることができる。また、基
準面１０ａと設定面２０ａとを面接触させて、可動基台
３の原点位置Ｏを定めた後、球座４や移動機構５が動か
ないように、負圧等を利用して固定するのが望ましい。
【００２１】次に、図４に示すように、移動機構５の微
動部５３のみを固定基台２から離す方向に移動する。す
なわち、定められた原点位置Ｏを基準として、可動基台
３を移動量ｄ’動かすことにより、第１平板１０の基準
面１０ａと第２平板２０の設定面２０ａとの間に、この
移動量ｄ’と等しい間隙ｄを設定できる。しかも、基準
面１０ａと設定面２０ａとは面接触していたため、その
間隙ｄは一様に設定されることになる。
動部５３のみを固定基台２から離す方向に移動する。す
なわち、定められた原点位置Ｏを基準として、可動基台
３を移動量ｄ’動かすことにより、第１平板１０の基準
面１０ａと第２平板２０の設定面２０ａとの間に、この
移動量ｄ’と等しい間隙ｄを設定できる。しかも、基準
面１０ａと設定面２０ａとは面接触していたため、その
間隙ｄは一様に設定されることになる。
【００２２】つまり、第１平板１０や第２平板２０が斜
めに装着された場合や、基準面１０ａや設定面２０ａに
傾斜がある場合でも、第１平板１０と第２平板２０とを
面接触させた状態で、基準面１０ａと設定面２０ａとを
平行にすることができる。しかも、この状態における可
動基台３の位置を原点位置Ｏとすれば、第１平板１０や
第２平板の傾斜や、厚さの誤差に影響されることなく、
可動基台３の移動量ｄ’をそのまま基準面１０ａと設定
面２０ａとの間隙ｄとすることができるようになる。な
お、可動基台３を移動させる移動機構５の微動部５３
に、例えばレーザスケールを設け、これに基づき移動量
を制御すれば、ミクロンオーダーの間隔ｄを設定するこ
とが可能となる。
めに装着された場合や、基準面１０ａや設定面２０ａに
傾斜がある場合でも、第１平板１０と第２平板２０とを
面接触させた状態で、基準面１０ａと設定面２０ａとを
平行にすることができる。しかも、この状態における可
動基台３の位置を原点位置Ｏとすれば、第１平板１０や
第２平板の傾斜や、厚さの誤差に影響されることなく、
可動基台３の移動量ｄ’をそのまま基準面１０ａと設定
面２０ａとの間隙ｄとすることができるようになる。な
お、可動基台３を移動させる移動機構５の微動部５３
に、例えばレーザスケールを設け、これに基づき移動量
を制御すれば、ミクロンオーダーの間隔ｄを設定するこ
とが可能となる。
【００２３】このような間隙設定方法の適応例として
は、先に述べたように、露光装置におけるマスクとウエ
ハとの間隙を設定する場合や、液晶パネルとフィルタと
の間隙の設定を行う場合にも適応できる。すなわち、液
晶パネルとフィルタとを接着剤を介して接続する場合、
例えば第１平板１０として液晶パネルを用い、第２平板
２０としてフィルタを用い、本発明の間隙設定方法によ
り例えば数μｍの間隙を設定した後、この間隙に接着剤
を塗布して硬化させる。これにより、液晶パネルとフィ
ルタとの間に所望の幅の間隙を一様に設けた状態で接続
することができる。
は、先に述べたように、露光装置におけるマスクとウエ
ハとの間隙を設定する場合や、液晶パネルとフィルタと
の間隙の設定を行う場合にも適応できる。すなわち、液
晶パネルとフィルタとを接着剤を介して接続する場合、
例えば第１平板１０として液晶パネルを用い、第２平板
２０としてフィルタを用い、本発明の間隙設定方法によ
り例えば数μｍの間隙を設定した後、この間隙に接着剤
を塗布して硬化させる。これにより、液晶パネルとフィ
ルタとの間に所望の幅の間隙を一様に設けた状態で接続
することができる。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の間隙設定
方法とその装置によれば次のような効果がある。すなわ
ち、この間隙設定装置によれば、第１平板と第２平板と
の面接触により、固定基台や可動基台に対して第１平板
や第２平板が斜めに装着された場合や、基準面や設定面
に傾斜がある場合でも、球座により基準面と設定面とを
面接触させることが可能となる。また、このような装置
を用いた間隙設定方法により、基準面と設定面とが面接
触した位置を可動基台の原点位置とするため、第１平板
や第２平板の傾斜や厚さの誤差が間隙の設定量に影響を
及ぼすことがなくなる。このため、高精度でしかも一様
な間隙設定を行うことが可能となる。
方法とその装置によれば次のような効果がある。すなわ
ち、この間隙設定装置によれば、第１平板と第２平板と
の面接触により、固定基台や可動基台に対して第１平板
や第２平板が斜めに装着された場合や、基準面や設定面
に傾斜がある場合でも、球座により基準面と設定面とを
面接触させることが可能となる。また、このような装置
を用いた間隙設定方法により、基準面と設定面とが面接
触した位置を可動基台の原点位置とするため、第１平板
や第２平板の傾斜や厚さの誤差が間隙の設定量に影響を
及ぼすことがなくなる。このため、高精度でしかも一様
な間隙設定を行うことが可能となる。
【図１】本発明の間隙設定装置を説明する模式断面図で
ある。
ある。
【図２】移動機構を説明する斜視図である。
【図３】本発明の間隙設定方法を説明する模式断面図
（その１）である。
（その１）である。
【図４】本発明の間隙設定方法を説明する模式断面図
（その２）である。
（その２）である。
【図５】従来例を説明する模式断面図である。
１ 間隙設定装置 ２ 固定基台 ２ａ 搭載面 ３ 可動基台 ４ 球座 ５ 移動機構 １０ 第１平板 １０ａ 基準面 ２０ 第２平板 ２０ａ 設定面 ５１ 固定ガイド部 ５２ 粗動部 ５３ 微動部
Claims (3)
- 【請求項１】 固定基台の搭載面に装着された第１平板
と、可動基台に装着された第２平板とを対向配置し、前
記第１平板の基準面と前記第２平板の設定面との間隙を
所望の幅に設定する間隙設定方法において、 先ず、前記可動基台を前記固定基台に近づける方向に移
動して、前記第１平板の基準面と前記第２平板の設定面
とを面接触させることで、前記搭載面の垂直方向に対す
る前記可動基台の原点位置を定め、 次いで、前記原点位置を基準として前記可動基台を前記
固定基台から離す方向に移動することで、前記基準面と
前記設定面との間隙を所望の幅に設定することを特徴と
する間隙設定方法。 - 【請求項２】 第１平板の基準面と、該基準面に対向配
置された第２平板の設定面との間隙を所望の幅に設定す
る間隙設定装置において、 前記第１平板をその搭載面に装着するための固定基台
と、 前記第２平板が装着され、前記固定基台の搭載面に対し
て略垂直方向に移動可能な可動基台と、 前記可動基台に球座を介して取り付けられ、前記搭載面
の略垂直方向に沿って該可動基台を所定量移動する移動
機構とから成ることを特徴とする間隙設定装置。 - 【請求項３】 前記移動機構として、前記搭載面の略垂
直方向とほぼ平行に設けられた固定ガイド部と、 前記固定ガイド部に沿って前記可動基台を粗移動させる
粗動部と、 前記粗動部に取り付けられ、前記可動基台を微小移動さ
せる微動部とから構成されていることを特徴とする請求
項２記載の間隙設定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31297292A JPH06185942A (ja) | 1992-10-27 | 1992-10-27 | 間隙設定方法とその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31297292A JPH06185942A (ja) | 1992-10-27 | 1992-10-27 | 間隙設定方法とその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06185942A true JPH06185942A (ja) | 1994-07-08 |
Family
ID=18035701
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31297292A Pending JPH06185942A (ja) | 1992-10-27 | 1992-10-27 | 間隙設定方法とその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06185942A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100380090B1 (ko) * | 2000-12-27 | 2003-04-11 | 현대자동차주식회사 | 차량용 도어 래치 위치 검사용 툴 |
| KR20190006768A (ko) * | 2017-07-11 | 2019-01-21 | 현대자동차주식회사 | 스트라이커 정렬 측정장치 |
| US10641605B2 (en) * | 2017-01-05 | 2020-05-05 | Boe Technology Group Co., Ltd. | Apparatuses and methods for measuring a clearance |
-
1992
- 1992-10-27 JP JP31297292A patent/JPH06185942A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100380090B1 (ko) * | 2000-12-27 | 2003-04-11 | 현대자동차주식회사 | 차량용 도어 래치 위치 검사용 툴 |
| US10641605B2 (en) * | 2017-01-05 | 2020-05-05 | Boe Technology Group Co., Ltd. | Apparatuses and methods for measuring a clearance |
| KR20190006768A (ko) * | 2017-07-11 | 2019-01-21 | 현대자동차주식회사 | 스트라이커 정렬 측정장치 |
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