JPH07253335A - 光学式変位センサ - Google Patents
光学式変位センサInfo
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- JPH07253335A JPH07253335A JP7000194A JP7000194A JPH07253335A JP H07253335 A JPH07253335 A JP H07253335A JP 7000194 A JP7000194 A JP 7000194A JP 7000194 A JP7000194 A JP 7000194A JP H07253335 A JPH07253335 A JP H07253335A
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- Japan
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- scale
- detection head
- displacement sensor
- optical displacement
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 スケール部１と該スケール部の目盛りを検出
する検出ヘッド部２との一方を固定物体４に取付け他方
を移動物体３に取付け、前記移動物体３の移動量を検出
する光学変位センサにおいて、小型化を図り、安定した
出力信号が得られるようにすること。 【構成】 前記スケール部１に前記検出ヘッド部２の案
内部材５を設け、この案内部材５に前記検出ヘッド部２
を弾性的に押圧する押圧機構８を設けたこと。
する検出ヘッド部２との一方を固定物体４に取付け他方
を移動物体３に取付け、前記移動物体３の移動量を検出
する光学変位センサにおいて、小型化を図り、安定した
出力信号が得られるようにすること。 【構成】 前記スケール部１に前記検出ヘッド部２の案
内部材５を設け、この案内部材５に前記検出ヘッド部２
を弾性的に押圧する押圧機構８を設けたこと。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はスケール部と検出ヘッド
部の一方を固定物体に他方を移動物体に取付け、この移
動物体の移動量を検出する光学式変位センサに関するも
のである。
部の一方を固定物体に他方を移動物体に取付け、この移
動物体の移動量を検出する光学式変位センサに関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】図１３は従来の光学式変位センサの概要
を示す斜視図であり、図１３において、１０１は移動物
体１０３に取付けたスケール部、１０２はスケール部１
０１に対向して定盤等の固定物体１０４に取付けた検出
ヘッド部であり、この検出ヘッド部１０２から出力され
る電気信号を計数回路（図示せず）で計数することによ
り、上記移動物体１０３の移動量、つまり移動物体距離
を計測する。
を示す斜視図であり、図１３において、１０１は移動物
体１０３に取付けたスケール部、１０２はスケール部１
０１に対向して定盤等の固定物体１０４に取付けた検出
ヘッド部であり、この検出ヘッド部１０２から出力され
る電気信号を計数回路（図示せず）で計数することによ
り、上記移動物体１０３の移動量、つまり移動物体距離
を計測する。
【０００３】上記検出ヘッド部１０２より正確な出力信
号を得るためには、図１４に示すように、検出ヘッド部
１０２とスケール部１０１との相対的な位置関係α、
β、γ、ｄをセンサ出力低下に影響を及ぼさない許容内
（Δα、Δβ、Δγ、Δｄ）で取付ける必要がある。
号を得るためには、図１４に示すように、検出ヘッド部
１０２とスケール部１０１との相対的な位置関係α、
β、γ、ｄをセンサ出力低下に影響を及ぼさない許容内
（Δα、Δβ、Δγ、Δｄ）で取付ける必要がある。
【０００４】そこで、従来は、スケール部１０１と検出
ヘッド部１０２を取付ける場合、専用の治具を用いる
か、固定物体１０４と移動物体１０３とのいずれかに調
整機構を設けて、センサ出力を検出して、上記の位置関
係α、β、γ、ｄを許容内Δα、Δβ、Δγ、Δｄに合
わせていた。
ヘッド部１０２を取付ける場合、専用の治具を用いる
か、固定物体１０４と移動物体１０３とのいずれかに調
整機構を設けて、センサ出力を検出して、上記の位置関
係α、β、γ、ｄを許容内Δα、Δβ、Δγ、Δｄに合
わせていた。
【０００５】
【発明が解決しようとしている課題】しかしながら、上
記の従来例ではスケール部１０１と検出ヘッド部１０２
の取付けに専用の治具を必要とし、その取付け作業が面
倒であった。また、スケール部１０１及び検出ヘッド部
１０２を小型化する際、調整機構や調整方法が支障とな
り、高精度の取付けは小型化するほど顕著に困難になっ
てくるという問題点があった。
記の従来例ではスケール部１０１と検出ヘッド部１０２
の取付けに専用の治具を必要とし、その取付け作業が面
倒であった。また、スケール部１０１及び検出ヘッド部
１０２を小型化する際、調整機構や調整方法が支障とな
り、高精度の取付けは小型化するほど顕著に困難になっ
てくるという問題点があった。
【０００６】本発明は上記従来の問題点を解消した光学
式変位センサを得ることを目的とする。
式変位センサを得ることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明に係る光学式変位
センサは、スケール部と該スケール部の目盛りを検出す
る検出ヘッド部との一方を固定物体に取付け他方を移動
物体に取付け、前記移動物体の移動量を検出する光学変
位センサにおいて、前記スケール部に前記検出ヘッド部
の案内部材を設け、この案内部材に前記検出ヘッド部を
弾性的に押圧する押圧機構を設けたことにより、スケー
ル部及び検出ヘッド部の小型化を図り、その検出ヘッド
部の光学系からスケール部までの距離を常に一定に保持
し、安定した信号出力を得ることができる。
センサは、スケール部と該スケール部の目盛りを検出す
る検出ヘッド部との一方を固定物体に取付け他方を移動
物体に取付け、前記移動物体の移動量を検出する光学変
位センサにおいて、前記スケール部に前記検出ヘッド部
の案内部材を設け、この案内部材に前記検出ヘッド部を
弾性的に押圧する押圧機構を設けたことにより、スケー
ル部及び検出ヘッド部の小型化を図り、その検出ヘッド
部の光学系からスケール部までの距離を常に一定に保持
し、安定した信号出力を得ることができる。
【０００８】
実施例１．以下、本発明の実施例を図面について説明す
る。図１は本発明の実施例１を示す光学式変位センサの
斜視図、図２はその側面図であり、図１、図２におい
て、１は移動物体３に取付けたスケール部であり、この
スケール部１の表面には案内部材５が設けられている。
２は検出ヘッド部であり、この検出ヘッド部２はスケー
ル部１に対向する面に摺動部材６が設けられて反対の面
中央に連結ピン１０が突設されている。１１は上記連結
ピン１０を通す穴１０ａを有する支持部材である。この
支持部材１１は押圧機構としてのコイルスプリング８を
嵌めた連結ピン１０を穴１０ａに通し該コイルスプリン
グを圧縮した状態で固定物体４にビス１２で固定するも
ので、検出ヘッド部２はコイルスプリング８の弾性力に
よって、摺動部材６が案内部材５に押圧されて保持され
る。
る。図１は本発明の実施例１を示す光学式変位センサの
斜視図、図２はその側面図であり、図１、図２におい
て、１は移動物体３に取付けたスケール部であり、この
スケール部１の表面には案内部材５が設けられている。
２は検出ヘッド部であり、この検出ヘッド部２はスケー
ル部１に対向する面に摺動部材６が設けられて反対の面
中央に連結ピン１０が突設されている。１１は上記連結
ピン１０を通す穴１０ａを有する支持部材である。この
支持部材１１は押圧機構としてのコイルスプリング８を
嵌めた連結ピン１０を穴１０ａに通し該コイルスプリン
グを圧縮した状態で固定物体４にビス１２で固定するも
ので、検出ヘッド部２はコイルスプリング８の弾性力に
よって、摺動部材６が案内部材５に押圧されて保持され
る。
【０００９】この結果、スケール部１と検出ヘッド部２
との相対的な位置関係、つまり傾きβ、γおよび距離ｄ
が一定となる。また、図３に示すように、案内部材５の
間隔Ｂと摺動部材６の係合凸部６ａのｂ寸法との関係
を、検出ヘッド部２の変位方向の長さをａとして ｂ＜Ｂ＜ｂ＊ｃｏｓΔα＋ａ＊ｔａｎΔα とすれば、α方向の回転角が許容範囲内となる。なお、
図３において、（ａ）は平面図、（ｂ）は傾いた状態を
示す平面図、（ｃ）は側面図である。
との相対的な位置関係、つまり傾きβ、γおよび距離ｄ
が一定となる。また、図３に示すように、案内部材５の
間隔Ｂと摺動部材６の係合凸部６ａのｂ寸法との関係
を、検出ヘッド部２の変位方向の長さをａとして ｂ＜Ｂ＜ｂ＊ｃｏｓΔα＋ａ＊ｔａｎΔα とすれば、α方向の回転角が許容範囲内となる。なお、
図３において、（ａ）は平面図、（ｂ）は傾いた状態を
示す平面図、（ｃ）は側面図である。
【００１０】支持部材１１の穴１０ａは図４に示すよう
に長穴であり、連結ピン１０はスケール面内の変位測定
方向に対し直角方向ｙ、スケール面に垂直方向ｚには自
由度を持つが、変位測定方向ｘに対しては動かないよう
に、穴１０ａの幅Ｗは連結ピン１０と同寸法となってい
る。このため、連結ピン１０、支持部材１１は図４のよ
うに変位測定方向ｘの遊びを取るため、ビス１３で取付
けた板バネ１４を設けたものや、図５のように変位測定
方向ｘには動かないで、ビス１５で取付けたｙ、ｚ方向
に可動の板バネ１６で固定したものが考えられている。
に長穴であり、連結ピン１０はスケール面内の変位測定
方向に対し直角方向ｙ、スケール面に垂直方向ｚには自
由度を持つが、変位測定方向ｘに対しては動かないよう
に、穴１０ａの幅Ｗは連結ピン１０と同寸法となってい
る。このため、連結ピン１０、支持部材１１は図４のよ
うに変位測定方向ｘの遊びを取るため、ビス１３で取付
けた板バネ１４を設けたものや、図５のように変位測定
方向ｘには動かないで、ビス１５で取付けたｙ、ｚ方向
に可動の板バネ１６で固定したものが考えられている。
【００１１】なお、図４において、（ａ）は平面図、
（ｂ）は正面図、（ｃ）は側面図である。また、図５に
おいて、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図である。
（ｂ）は正面図、（ｃ）は側面図である。また、図５に
おいて、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図である。
【００１２】本実施例１によれば、検出ヘッド部２内の
光学系とスケール部１との距離が、案内部材５と摺動部
材６との当接によって常に一定に保たれるため、安定し
た信号出力を維持できる。また、取付け時に検出ヘッド
部２とスケール部１との精密な位置合わせが不要で取扱
いが容易であり、調整ができにくいところにも使用でき
るとともに、構造が簡単で低コストにできる。
光学系とスケール部１との距離が、案内部材５と摺動部
材６との当接によって常に一定に保たれるため、安定し
た信号出力を維持できる。また、取付け時に検出ヘッド
部２とスケール部１との精密な位置合わせが不要で取扱
いが容易であり、調整ができにくいところにも使用でき
るとともに、構造が簡単で低コストにできる。
【００１３】実施例２．図６は本発明の実施例２を示す
光学式変位センサを示す正面図である。図６において、
前記図１、図２と同一部分には同一符号を付して重複説
明を省略する。
光学式変位センサを示す正面図である。図６において、
前記図１、図２と同一部分には同一符号を付して重複説
明を省略する。
【００１４】２０は検出ヘッド部２を取付けるコ字状の
取付け台、２１は取付け台２０のねじ穴２０ａに先端ね
じ部２１ａを螺合するピン、２２はピン２１に嵌めたコ
イルスプリングであり、ピン２１を検出ヘッド部２の両
側面に突設した取付け腕２−１、２−２の穴２−１ａ、
２−２ａに通し、このピン２１を取付け台２０に取付け
る際、ピン２１の頭部で押圧されることによる弾性反発
力によって検出ヘッド部２を取付け台２０に押圧保持さ
せる。
取付け台、２１は取付け台２０のねじ穴２０ａに先端ね
じ部２１ａを螺合するピン、２２はピン２１に嵌めたコ
イルスプリングであり、ピン２１を検出ヘッド部２の両
側面に突設した取付け腕２−１、２−２の穴２−１ａ、
２−２ａに通し、このピン２１を取付け台２０に取付け
る際、ピン２１の頭部で押圧されることによる弾性反発
力によって検出ヘッド部２を取付け台２０に押圧保持さ
せる。
【００１５】２３は取付け台２０の凹部底面に設けた摺
動部材、２４は検出ヘッド部２の背面に設けたＬ字形の
摺動部材、２５はスケール部１の表面稜線部と裏面中央
部とに設けた摺動部材である。スケール部１は紙面と直
交する方向に配設され、上記取付け台２０に対する検出
ヘッド部２の取付け時、この検出ヘッド部２を介してコ
イルスプリング２２の弾性反発力で摺動部材２３に押圧
保持される。
動部材、２４は検出ヘッド部２の背面に設けたＬ字形の
摺動部材、２５はスケール部１の表面稜線部と裏面中央
部とに設けた摺動部材である。スケール部１は紙面と直
交する方向に配設され、上記取付け台２０に対する検出
ヘッド部２の取付け時、この検出ヘッド部２を介してコ
イルスプリング２２の弾性反発力で摺動部材２３に押圧
保持される。
【００１６】上記スケール部１は図７、図８に示すよう
に、検出ヘッド部２を取付け後、その両端部を取付け台
２５の段部２５ａに係合させ、その上面に当接させた板
ばね２６で押圧支持されている。
に、検出ヘッド部２を取付け後、その両端部を取付け台
２５の段部２５ａに係合させ、その上面に当接させた板
ばね２６で押圧支持されている。
【００１７】上記のようにコイルスプリング２２の弾性
反発力で検出ヘッド部２を介してスケール部１を保持す
るため、スケール部１と検出ヘッド部２との相対的な位
置関係、つまり傾きβ、γおよび距離ｄが一定となる。
また、図９に示すように、スケール部１に取付けた摺動
部材２５の間隔Ｂおよびヘッド部２に取付けた摺動部材
２４の間隔寸法ｂを前記実施例１と同様に Ｂ＜ｂ＜Ｂ＊ｃｏｓΔα＋ａ＊ｔａｎΔα とすることで、α方向の回転角は許容値内にできる。
反発力で検出ヘッド部２を介してスケール部１を保持す
るため、スケール部１と検出ヘッド部２との相対的な位
置関係、つまり傾きβ、γおよび距離ｄが一定となる。
また、図９に示すように、スケール部１に取付けた摺動
部材２５の間隔Ｂおよびヘッド部２に取付けた摺動部材
２４の間隔寸法ｂを前記実施例１と同様に Ｂ＜ｂ＜Ｂ＊ｃｏｓΔα＋ａ＊ｔａｎΔα とすることで、α方向の回転角は許容値内にできる。
【００１８】本実施例２によれば、検出ヘッド部２の光
学系とスケール部１との距離が常に一定に保たれるの
で、出力信号が安定する。また、検出ヘッド部２とスケ
ール部１との精密な位置合わせを必要としないので、取
付けが容易である。スケール部１と検出ヘッド部２が一
体で調整が不要なため、製品内部で調整に手の届かない
箇所にも取付けが可能で、取付け自由度が大きい。スケ
ール部１が宙に浮いた構造なので、固定面の精度の影響
でスケール部１が変形することがない。
学系とスケール部１との距離が常に一定に保たれるの
で、出力信号が安定する。また、検出ヘッド部２とスケ
ール部１との精密な位置合わせを必要としないので、取
付けが容易である。スケール部１と検出ヘッド部２が一
体で調整が不要なため、製品内部で調整に手の届かない
箇所にも取付けが可能で、取付け自由度が大きい。スケ
ール部１が宙に浮いた構造なので、固定面の精度の影響
でスケール部１が変形することがない。
【００１９】実施例３．前記実施例１、２のようなスケ
ール部１に案内部材５を張り付けるものでは、スケール
部１がミリサイズでは精度的に問題がある。
ール部１に案内部材５を張り付けるものでは、スケール
部１がミリサイズでは精度的に問題がある。
【００２０】そこで、本実施例３は図１０に示すよう
に、エッチングやレプリカ成形技術を応用してスケール
部１上に目盛り３１ａと案内部材３１ｂを同時に成形し
たもので、目盛り３１ａと案内部材３１ｂの相互関係の
精度が加工装置により保証され、目盛りが数μｍの場
合、α方向の回転角Δαの値は数分オーダーとなる上、
スケール部１はミリサイズとなる。
に、エッチングやレプリカ成形技術を応用してスケール
部１上に目盛り３１ａと案内部材３１ｂを同時に成形し
たもので、目盛り３１ａと案内部材３１ｂの相互関係の
精度が加工装置により保証され、目盛りが数μｍの場
合、α方向の回転角Δαの値は数分オーダーとなる上、
スケール部１はミリサイズとなる。
【００２１】図１１は上記図１０に示すスケール部１を
前記実施例１のスケール部に適用した例を示すもので、
（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図である。スケール部１
は両面テープ３２、接着剤等で移動物体３に固定し、検
出ヘッド部２は板バネ３３を介して固定物体４に取付け
ている。
前記実施例１のスケール部に適用した例を示すもので、
（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図である。スケール部１
は両面テープ３２、接着剤等で移動物体３に固定し、検
出ヘッド部２は板バネ３３を介して固定物体４に取付け
ている。
【００２２】図１２は上記図１０に示すスケール部１を
前記実施例２のスケール部１に適応したもので、（ａ）
は正面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線に沿う断面図であ
る。スケール部１は裏面中央部に板バネ３４を当接さ
せ、そのバネ力で検出ヘッド部２に押圧保持されてい
る。
前記実施例２のスケール部１に適応したもので、（ａ）
は正面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線に沿う断面図であ
る。スケール部１は裏面中央部に板バネ３４を当接さ
せ、そのバネ力で検出ヘッド部２に押圧保持されてい
る。
【００２３】本実施例３によれば、スケール部１上に目
盛り３１ａと案内部材３１ｂを１体成型し、その案内部
材３１ｂの断面形状を凹台形とし、検出ヘッド部２の摺
動部材３５もそれに合わせた凸台形とすることで、弾性
的に押圧したときに検出ヘッド部２の回転が起こらなく
なる。スケール部１の構造が目盛り３１ａと案内部材３
１ｂをガラス、石英等のスケール基盤上に同時成形する
ため、半導体露光装置を使えば非常に高精度に作成可能
で、このスケール部１は高分解能の光学式変位センサの
小型化にたいへん適している。また、部品点数も少なく
簡易な構造のため、量産による低コスト化が可能であ
る。製品組み込み時にもスペースを取らない。
盛り３１ａと案内部材３１ｂを１体成型し、その案内部
材３１ｂの断面形状を凹台形とし、検出ヘッド部２の摺
動部材３５もそれに合わせた凸台形とすることで、弾性
的に押圧したときに検出ヘッド部２の回転が起こらなく
なる。スケール部１の構造が目盛り３１ａと案内部材３
１ｂをガラス、石英等のスケール基盤上に同時成形する
ため、半導体露光装置を使えば非常に高精度に作成可能
で、このスケール部１は高分解能の光学式変位センサの
小型化にたいへん適している。また、部品点数も少なく
簡易な構造のため、量産による低コスト化が可能であ
る。製品組み込み時にもスペースを取らない。
【００２４】実施例４．上記弾性部材としてはコイルバ
ネのほか、板ばね、ゴムプッシュ等を用いることも可能
である。
ネのほか、板ばね、ゴムプッシュ等を用いることも可能
である。
【００２５】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、スケー
ル部に検出ヘッド部の案内部材を設け、この案内部材に
前記検出ヘッド部を弾性的に押圧する押圧機構を設けて
構成したので、以下のような効果が得られる。 １）検出ヘッド部の光学系からスケールまでの距離を常
に一定に保持できるので、信号出力が安定している。 ２）調整機構が無いので、取付けが容易である。 ３）調整機構を内蔵する場合に比較して構成が小型化に
適しており、省スペース化、低コスト化が可能である。 ４）製品に組み込みを想定した場合、一個あたりの組立
時間は調整不要な分だけ短縮され、製品の組立コスト削
減に役立つ。
ル部に検出ヘッド部の案内部材を設け、この案内部材に
前記検出ヘッド部を弾性的に押圧する押圧機構を設けて
構成したので、以下のような効果が得られる。 １）検出ヘッド部の光学系からスケールまでの距離を常
に一定に保持できるので、信号出力が安定している。 ２）調整機構が無いので、取付けが容易である。 ３）調整機構を内蔵する場合に比較して構成が小型化に
適しており、省スペース化、低コスト化が可能である。 ４）製品に組み込みを想定した場合、一個あたりの組立
時間は調整不要な分だけ短縮され、製品の組立コスト削
減に役立つ。
【図１】 本発明の実施例１を示す光学式変位センサの
斜面図
斜面図
【図２】 図１の側面図
【図３】 案内部材と摺動部材の寸法図
【図４】 実施例１の検出ヘッド部の連結部を示す図
【図５】 実施例１の検出ヘッド部の連結部の他の例を
示す図
示す図
【図６】 本発明の実施例２を示す光学式変位センサの
正面図
正面図
【図７】 光学式変位センサを装置に取付けた状態を示
す平面図
す平面図
【図８】 図７の正面図
【図９】 実施例２の案内部材と摺動部材の寸法図
【図１０】 本発明の実施例３の光学式変位センサに適
用するスケール部の正面図
用するスケール部の正面図
【図１１】 図１０のスケール部を適用した実施例３の
光学式変位センサを示す図
光学式変位センサを示す図
【図１２】 図１０のスケール部を適用した実施例３の
他の光学式変位センサを示す図
他の光学式変位センサを示す図
【図１３】 光学式変位センサの概要を示す斜視図
【図１４】 光学式変位センサ取付け時におけるスケー
ル部と検出ヘッド部の相対位置関係図
ル部と検出ヘッド部の相対位置関係図
１ スケール部 １ａ スケール部の目盛り ２ 検出ヘッド部 ３ 移動物体 ４ 固定物体 ５ 案内部材 ６ 摺動部材 ８ コイルスプリング（押圧機構） ３１ａ スケール部の目盛り ３１ｂ 案内部材
Claims (6)
- 【請求項１】 スケール部と該スケール部の目盛りを検
出する検出ヘッド部との一方を固定物体に取付け他方を
移動物体に取付け、前記移動物体の移動量を検出する光
学変位センサにおいて、前記スケール部に検出ヘッド部
の案内部材を設け、この案内部材に前記検出ヘッド部を
弾性的に押圧する押圧機構を設けたことを特徴とする光
学式変位センサ。 - 【請求項２】 前記案内部材は前記検出ヘッド部の光学
系からスケール部までの距離を常に一定に保つことを特
徴とする請求項１の光学式変位センサ。 - 【請求項３】 前記スケール部の案内部材と格子面とを
一体成形したことを特徴とする請求項１の光学式変位セ
ンサ。 - 【請求項４】 前記スケール部の目盛りと前記検出ヘッ
ド部とは常に接触しないことを特徴とする請求項１の光
学式変位センサ。 - 【請求項５】 前記検出ヘッド部の取付けを変位測定方
向以外に自由度を持った連結機構で行うことを特徴とす
る請求項１の光学式変位センサ。 - 【請求項６】 前記検出ヘッド部を前記スケール部で保
持する際、スケール面内方向の回転角をセンサ出力が低
下しない範囲に制限する構造としたことを特徴とする請
求項１の光学式変位センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7000194A JPH07253335A (ja) | 1994-03-14 | 1994-03-14 | 光学式変位センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7000194A JPH07253335A (ja) | 1994-03-14 | 1994-03-14 | 光学式変位センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07253335A true JPH07253335A (ja) | 1995-10-03 |
Family
ID=13418946
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7000194A Pending JPH07253335A (ja) | 1994-03-14 | 1994-03-14 | 光学式変位センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07253335A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006300873A (ja) * | 2005-04-25 | 2006-11-02 | Ricoh Co Ltd | ロータリエンコーダ、ローラ部材、ベルト搬送装置、及び、画像形成装置 |
| US7838815B2 (en) | 2005-04-25 | 2010-11-23 | Ricoh Company, Ltd. | Rotary encoder having a support body rotatable with a rotator, apparatus and system for detecting a rotational movement of a rotator using the rotary encoder |
| JP2011257270A (ja) * | 2010-06-09 | 2011-12-22 | Yokohama Rubber Co Ltd:The | 操舵角検出装置および操舵角検出方法 |
| CN106370214A (zh) * | 2016-11-09 | 2017-02-01 | 马鞍山钢铁股份有限公司 | 一种火车车轮运输位置检测装置 |
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1994
- 1994-03-14 JP JP7000194A patent/JPH07253335A/ja active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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