JP2711589B2 - レーザ干渉計用ミラーの取付け方法及び該方法を用いたステージ装置 - Google Patents
レーザ干渉計用ミラーの取付け方法及び該方法を用いたステージ装置Info
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- JP2711589B2 JP2711589B2 JP2241166A JP24116690A JP2711589B2 JP 2711589 B2 JP2711589 B2 JP 2711589B2 JP 2241166 A JP2241166 A JP 2241166A JP 24116690 A JP24116690 A JP 24116690A JP 2711589 B2 JP2711589 B2 JP 2711589B2
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、レーザ干渉計からのレーザ光を反射するミ
ラーを移動ステージに取り付けるためのレーザ干渉計ミ
ラーの取付け方法、及びこの方法を用いて移動ステージ
に取り付けられたレーザ干渉計用ミラーを有するステー
ジ装置に関するものである。
ラーを移動ステージに取り付けるためのレーザ干渉計ミ
ラーの取付け方法、及びこの方法を用いて移動ステージ
に取り付けられたレーザ干渉計用ミラーを有するステー
ジ装置に関するものである。
［従来技術］ レーザ干渉計を用いた各種測定機、または半導体ウエ
ハもしくは液晶表示パネル等の平板状物体を保持する移
動ステージの位置をレーザ干渉計を用いて測定しながら
該平板状物体にパターンを投影露光する露光装置は周知
である。特に露光装置では、半導体メモリや演算装置等
の高密度集積回路チップの製造の際にパターンの焼付を
行なうべき平板状物体（ウエハ）の位置や姿勢を適確に
保持して高精度な露光を可能とするためにレーザ干渉計
で移動ステージの位置を計測することが従来より行なわ
れている。
ハもしくは液晶表示パネル等の平板状物体を保持する移
動ステージの位置をレーザ干渉計を用いて測定しながら
該平板状物体にパターンを投影露光する露光装置は周知
である。特に露光装置では、半導体メモリや演算装置等
の高密度集積回路チップの製造の際にパターンの焼付を
行なうべき平板状物体（ウエハ）の位置や姿勢を適確に
保持して高精度な露光を可能とするためにレーザ干渉計
で移動ステージの位置を計測することが従来より行なわ
れている。
この種の露光装置、例えばレチクル等の原板上に描か
れたパターンをウエハ等の被露光体上に投影露光するス
テッパ等の露光装置は、レチクルとウエハの位置合わせ
を行なった後に露光を行なっている。このような位置合
せは、一般的には、投影露光すべきパターンが描かれた
レチクルとウエハのずれ量を計測し、その計測結果に基
づいてウエハ及び／またはレチクルを保持する移動ステ
ージをレーザ干渉計の計測値を用いて高精度に制御しな
がら移動することにより行なわれている。
れたパターンをウエハ等の被露光体上に投影露光するス
テッパ等の露光装置は、レチクルとウエハの位置合わせ
を行なった後に露光を行なっている。このような位置合
せは、一般的には、投影露光すべきパターンが描かれた
レチクルとウエハのずれ量を計測し、その計測結果に基
づいてウエハ及び／またはレチクルを保持する移動ステ
ージをレーザ干渉計の計測値を用いて高精度に制御しな
がら移動することにより行なわれている。
ところで、このような従来装置では、レーザ干渉計か
らのレーザ光を反射するミラーは移動ステージに直接、
または取付けブロックを介して全面もしくは複数点で単
に固着されているだけであった。
らのレーザ光を反射するミラーは移動ステージに直接、
または取付けブロックを介して全面もしくは複数点で単
に固着されているだけであった。
［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、従来のミラー取付け方法では、例え
ば、レーザ干渉計用ミラーと、取付けブロック等のミラ
ー支持台もしくはミラー支持台の取付けステージとの伸
縮差（線膨張係数差）の違いから温度変化によってミラ
ーが引っ張られて変形したり、ずれたりする現象が発生
し、露光装置においては、その位置合せ精度（位置決め
精度）や他の装置との融通性等に問題があった。
ば、レーザ干渉計用ミラーと、取付けブロック等のミラ
ー支持台もしくはミラー支持台の取付けステージとの伸
縮差（線膨張係数差）の違いから温度変化によってミラ
ーが引っ張られて変形したり、ずれたりする現象が発生
し、露光装置においては、その位置合せ精度（位置決め
精度）や他の装置との融通性等に問題があった。
本発明はこのような問題に鑑み、レーザ干渉計用ミラ
ーの変形や位置ずれを防止するレーザ干渉計ミラーの取
付け方法及び該方法を用いたステージ装置を提供するこ
とを目的とする。
ーの変形や位置ずれを防止するレーザ干渉計ミラーの取
付け方法及び該方法を用いたステージ装置を提供するこ
とを目的とする。
［課題を解決するための手段］ 上記目的を達成するため、本発明のレーザ干渉計ミラ
ーの取付け方法はレーザ干渉計からのレーザ光を反射す
るミラーを、このミラーと移動ステージ間の温度変化に
応じた伸縮差を吸収する方向で前記移動ステージに一体
形成された少なくとも一対の平行板ばねを介して前記移
動ステージに取り付けることを特徴としている。また、
より好ましくは、前記平行板ばねの各ばね片を弾性ヒン
ジ構造を有するものとしている。
ーの取付け方法はレーザ干渉計からのレーザ光を反射す
るミラーを、このミラーと移動ステージ間の温度変化に
応じた伸縮差を吸収する方向で前記移動ステージに一体
形成された少なくとも一対の平行板ばねを介して前記移
動ステージに取り付けることを特徴としている。また、
より好ましくは、前記平行板ばねの各ばね片を弾性ヒン
ジ構造を有するものとしている。
本発明のステージ装置は、移動ステージと、レーザ干
渉計からのレーザ光を反射するミラーと、前記ミラーを
前記移動ステージに取り付けるための、前記ミラーと移
動ステージ間の温度変化に応じた伸縮差を吸収する方向
で前記移動ステージに一体形成された少なくとも一対の
平行板ばねを有することを特徴としている。また、より
好ましくは、前記平行板ばねの各ばね片を弾性ヒンジ構
造を有するものとしている。
渉計からのレーザ光を反射するミラーと、前記ミラーを
前記移動ステージに取り付けるための、前記ミラーと移
動ステージ間の温度変化に応じた伸縮差を吸収する方向
で前記移動ステージに一体形成された少なくとも一対の
平行板ばねを有することを特徴としている。また、より
好ましくは、前記平行板ばねの各ばね片を弾性ヒンジ構
造を有するものとしている。
［実施例］ 第１図は、本発明に係るレーザ干渉計制御によるXYス
テージの概念図であり、第２図はそのミラー取付部を取
り出した図である。第３図は、ミラー取付板（Ｘステー
ジ）をミラーを透視して上から見た図、ミラー支持部が
一体平行板ばね構造となっている。第４図は、この一体
平行板ばね構造を拡大して具体的に示している。
テージの概念図であり、第２図はそのミラー取付部を取
り出した図である。第３図は、ミラー取付板（Ｘステー
ジ）をミラーを透視して上から見た図、ミラー支持部が
一体平行板ばね構造となっている。第４図は、この一体
平行板ばね構造を拡大して具体的に示している。
第１図〜第４図において、１はミラー、２はレンズ干
渉計の測長光、３はＸステージ（ミラー取付板）、４は
Ｙステージ、５はモータ、６はミラー固定金具、７はウ
エハである。８はミラー支持部である。
渉計の測長光、３はＸステージ（ミラー取付板）、４は
Ｙステージ、５はモータ、６はミラー固定金具、７はウ
エハである。８はミラー支持部である。
第２図において、ミラー固定金具６により、Ｘステー
ジ３にミラー１を固定している。
ジ３にミラー１を固定している。
この際、ミラー支持板８の片側は第３図に示すように
板ばね構造としている。この拡大部分を、第４図に示
す。板ばねはＸステージ３と一体構造であり、特にヒン
ジ部10を有する弾性ヒンジ構造となっている。
板ばね構造としている。この拡大部分を、第４図に示
す。板ばねはＸステージ３と一体構造であり、特にヒン
ジ部10を有する弾性ヒンジ構造となっている。
ここで、温度変化があったことを考えると、例えばミ
ラー１とＸステージ３との伸縮差Δｌが発生したとする
と、第４図のＡ方向に平行板ばねが変形してＢ方向の変
動なくΔｌ分を吸収することが可能となる。
ラー１とＸステージ３との伸縮差Δｌが発生したとする
と、第４図のＡ方向に平行板ばねが変形してＢ方向の変
動なくΔｌ分を吸収することが可能となる。
前記実施例は、平行板ばねが１ケ所となっているが、
２ケ所以上設けた一体型もしくは分離平行板ばね構造も
可能である。
２ケ所以上設けた一体型もしくは分離平行板ばね構造も
可能である。
［発明の効果］ 以上説明したように、本発明は、レーザ干渉計からの
レーザ光を反射するミラーを、このミラーと移動ステー
ジ間の温度変化に応じた伸縮差を吸収する方向で前記移
動ステージに一体形成された少なくとも一対の平行板ば
ねを介して移動ステージに取り付けるようにしたので、
例えば温度変化に対するレーザ干渉計用ミラーの変形、
ずれ等の問題を排除することができる。特に、本発明に
よれば、平行板ばねを移動ステージに一体形成している
ので、該ミラーを移動ステージに容易に且つ高精度に取
り付けることができ、更には移動ステージの移動時の振
動等によって平行板ばねの移動ステージに対する取付け
位置がずれるおそれもなく、該ミラーを高い信頼性で移
動ステージに取り付けることができる。このため本発明
のステージ装置は、常に高い位置決め精度を維持するこ
とができ、例えば露光装置に適用された場合には、高精
度なパターンの露光を可能にする。
レーザ光を反射するミラーを、このミラーと移動ステー
ジ間の温度変化に応じた伸縮差を吸収する方向で前記移
動ステージに一体形成された少なくとも一対の平行板ば
ねを介して移動ステージに取り付けるようにしたので、
例えば温度変化に対するレーザ干渉計用ミラーの変形、
ずれ等の問題を排除することができる。特に、本発明に
よれば、平行板ばねを移動ステージに一体形成している
ので、該ミラーを移動ステージに容易に且つ高精度に取
り付けることができ、更には移動ステージの移動時の振
動等によって平行板ばねの移動ステージに対する取付け
位置がずれるおそれもなく、該ミラーを高い信頼性で移
動ステージに取り付けることができる。このため本発明
のステージ装置は、常に高い位置決め精度を維持するこ
とができ、例えば露光装置に適用された場合には、高精
度なパターンの露光を可能にする。
第１図は、本発明の実施例に係るXYステージの要部構成
斜視図、 第２図は、第１図のXYステージのミラー取付部の拡大斜
視図、 第３図は、本発明の実施例に係るミラー取付板の平面
図、 第４図は、第３図のミラー取付板の平行板ばね部詳細図
である。 1:ミラー、 2:レーザ干渉計測長光、 3:Xステージ（ミラー取付板）、 4:Yステージ、 5:モータ、 6:ミラー固定金具、 7:ウエハ。
斜視図、 第２図は、第１図のXYステージのミラー取付部の拡大斜
視図、 第３図は、本発明の実施例に係るミラー取付板の平面
図、 第４図は、第３図のミラー取付板の平行板ばね部詳細図
である。 1:ミラー、 2:レーザ干渉計測長光、 3:Xステージ（ミラー取付板）、 4:Yステージ、 5:モータ、 6:ミラー固定金具、 7:ウエハ。
Claims (4)
- 【請求項１】レーザ干渉計からのレーザ光を反射するミ
ラーを、このミラーと移動ステージ間の温度変化に応じ
た伸縮差を吸収する方向で前記移動ステージに一体形成
された少なくとも一対の平行板ばねを介して前記移動ス
テージに取り付けることを特徴とするレーザ干渉計ミラ
ーの取付け方法。 - 【請求項２】前記平行板ばねの各ばね片は弾性ヒンジ構
造を有することを特徴とする請求項１のレーザ干渉計ミ
ラーの取付け方法。 - 【請求項３】移動ステージと、レーザ干渉計からのレー
ザ光を反射するミラーと、前記ミラーを前記移動ステー
ジに取り付けるための、前記ミラーと移動ステージ間の
温度変化に応じた伸縮差を吸収する方向で前記移動ステ
ージに一体形成された少なくとも一対の平行板ばねを有
することを特徴とするステージ装置。 - 【請求項４】前記平行板ばねの各ばね片は弾性ヒンジ構
造を有することを特徴とする請求項３のステージ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2241166A JP2711589B2 (ja) | 1990-09-13 | 1990-09-13 | レーザ干渉計用ミラーの取付け方法及び該方法を用いたステージ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2241166A JP2711589B2 (ja) | 1990-09-13 | 1990-09-13 | レーザ干渉計用ミラーの取付け方法及び該方法を用いたステージ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04121605A JPH04121605A (ja) | 1992-04-22 |
| JP2711589B2 true JP2711589B2 (ja) | 1998-02-10 |
Family
ID=17070237
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2241166A Expired - Fee Related JP2711589B2 (ja) | 1990-09-13 | 1990-09-13 | レーザ干渉計用ミラーの取付け方法及び該方法を用いたステージ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2711589B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2002080185A1 (ja) * | 2001-03-28 | 2004-07-22 | 株式会社ニコン | ステージ装置及び露光装置、並びにデバイス製造方法 |
| KR20040040486A (ko) * | 2001-10-04 | 2004-05-12 | 스미토모덴키고교가부시키가이샤 | 온도 보상형 광통신 간섭 디바이스 및 광통신 시스템 |
| JP2005191150A (ja) * | 2003-12-24 | 2005-07-14 | Nikon Corp | ステージ装置及び露光装置並びにデバイスの製造方法 |
| GB2443644B (en) * | 2006-11-09 | 2010-01-20 | Vistec Lithography Ltd | Component mounting in movement sensitive equipment |
| EP2027966B1 (en) * | 2007-08-20 | 2010-04-21 | Soonhan Engineering Corp. | Sample traveling stage with flexure mechanism module to absorb the deformation of the slide |
| CN104575622B (zh) * | 2013-10-28 | 2017-08-25 | 睿励科学仪器（上海）有限公司 | 用于精密元件的定位调节装置 |
| JP6752598B2 (ja) * | 2016-03-17 | 2020-09-09 | 株式会社東京精密 | 光学スケールを有する測長器およびタッチ・プローブ |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6116040A (ja) * | 1984-07-03 | 1986-01-24 | Canon Inc | 対物レンズ二次元駆動装置 |
| JPH02203209A (ja) * | 1989-02-02 | 1990-08-13 | Canon Inc | ステージ装置 |
-
1990
- 1990-09-13 JP JP2241166A patent/JP2711589B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04121605A (ja) | 1992-04-22 |
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Legal Events
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