JP2609927B2 - 光学部品の保持手段およびハウジング - Google Patents
光学部品の保持手段およびハウジングInfo
- Publication number
- JP2609927B2 JP2609927B2 JP16690889A JP16690889A JP2609927B2 JP 2609927 B2 JP2609927 B2 JP 2609927B2 JP 16690889 A JP16690889 A JP 16690889A JP 16690889 A JP16690889 A JP 16690889A JP 2609927 B2 JP2609927 B2 JP 2609927B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical component
- housing
- pin
- holding means
- mounting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本実施例は、高精度で水平、傾斜あるいは垂直方向へ
移動して位置決めされるステージ上に取り付けられて、
ステージ位置や直進性の検出の基準となる基準ミラー等
の光学部品を保持する手段およびこれを備えた光学部品
のハウジングに関する。
移動して位置決めされるステージ上に取り付けられて、
ステージ位置や直進性の検出の基準となる基準ミラー等
の光学部品を保持する手段およびこれを備えた光学部品
のハウジングに関する。
［従来の技術］ 従来、基準ミラー等の光学部品はXYステージ等に直接
取り付けて用いられ、ハウジングには収納されていなか
った。例えば、第３図および第４図はそれぞれステージ
を高精度で移動するための基準となる反斜面９を有する
基準ミラーの斜視図であるが、これらはそのままステー
ジの傾斜しまたは垂直になっている面に取り付けて用い
られていた。
取り付けて用いられ、ハウジングには収納されていなか
った。例えば、第３図および第４図はそれぞれステージ
を高精度で移動するための基準となる反斜面９を有する
基準ミラーの斜視図であるが、これらはそのままステー
ジの傾斜しまたは垂直になっている面に取り付けて用い
られていた。
［発明が解決しようとする課題］ しかしながらこのような従来技術によれば、傾斜また
は垂直方向へ移動させるステージ上に基準ミラーを取り
付けた場合、取付け面の平面精度が悪いと基準ミラーの
反斜面が歪んだり、反射面の歪みを抑えるために基準ミ
ラーの保持力を弱くするとステージがステッピングする
ときに動いてしまう等の欠点があった。
は垂直方向へ移動させるステージ上に基準ミラーを取り
付けた場合、取付け面の平面精度が悪いと基準ミラーの
反斜面が歪んだり、反射面の歪みを抑えるために基準ミ
ラーの保持力を弱くするとステージがステッピングする
ときに動いてしまう等の欠点があった。
また、基準ミラーをステージ上に保持したとき、光学
部品の反射面の平面精度が高精度で保持されているとい
う保証がなかった。
部品の反射面の平面精度が高精度で保持されているとい
う保証がなかった。
この発明は、このような従来技術の問題点に鑑み、第
３図や第４図に示すような基準ミラー等の反射面を有す
る光学部品をXYステージ等に取り付けた場合の反射面平
面精度の歪み等の光学部品の歪みの問題を解決できるよ
うな手段を提供することを目的とする。
３図や第４図に示すような基準ミラー等の反射面を有す
る光学部品をXYステージ等に取り付けた場合の反射面平
面精度の歪み等の光学部品の歪みの問題を解決できるよ
うな手段を提供することを目的とする。
［課題を解決するための手段］ 上記目的を達成するため本発明では、反射面を有する
光学部品をそのハウジングのベース部材上に保持する手
段であって、ベース部材に固定されたピン状部材と、こ
れに嵌合する光学部品の慣通穴と、ピン状部材と慣通穴
との間に充填され光学部品をピン状部材に固定する接着
剤とを備える光学部品の保持手段が提供される。
光学部品をそのハウジングのベース部材上に保持する手
段であって、ベース部材に固定されたピン状部材と、こ
れに嵌合する光学部品の慣通穴と、ピン状部材と慣通穴
との間に充填され光学部品をピン状部材に固定する接着
剤とを備える光学部品の保持手段が提供される。
慣通穴は通常、光学部品の厚さ方向に設けられる。
光学部品としては例えば、画像記録装置の光学系また
は半導体露光装置の光学系に用いられるものが該当す
る。
は半導体露光装置の光学系に用いられるものが該当す
る。
本発明ではさらに、反射面を有する光学部品を保持お
よび保護するハウジングであって、上述の保持手段と、
ハウジングのベース部材を他の装置に取り付けるための
取付け部材と、取付け部材の端部に設けられ、ハウジン
グのベース部材に変形を生じさせないための溝とを備え
たハウジングが提供される。
よび保護するハウジングであって、上述の保持手段と、
ハウジングのベース部材を他の装置に取り付けるための
取付け部材と、取付け部材の端部に設けられ、ハウジン
グのベース部材に変形を生じさせないための溝とを備え
たハウジングが提供される。
［作用］ この構成において光学部品はシリコン等のなるべく硬
化後の収縮が生じないような接着剤を介してピン状部材
に固定され、これによってハウジングのベース部材に固
定されるため、固定時に光学部品に歪を生じさせること
がなく、光学部品の反射面は高精度に維持される。ま
た、ステージ等にベース部材を取り付けた場合も、取付
け部材端部の溝によってハウジングのベース部材の変形
が防止され、したがって光学部品の反射面精度は高精度
に維持される。
化後の収縮が生じないような接着剤を介してピン状部材
に固定され、これによってハウジングのベース部材に固
定されるため、固定時に光学部品に歪を生じさせること
がなく、光学部品の反射面は高精度に維持される。ま
た、ステージ等にベース部材を取り付けた場合も、取付
け部材端部の溝によってハウジングのベース部材の変形
が防止され、したがって光学部品の反射面精度は高精度
に維持される。
［実施例］ 第１図および第２図は本発明の一実施例に係るハウジ
ング付基準ミラーの平面図および正面から見たときの断
面図であり、内部構造がわかるように示したものであ
る。
ング付基準ミラーの平面図および正面から見たときの断
面図であり、内部構造がわかるように示したものであ
る。
これらの図において、１および２はハウジングを構成
するハウジングベースおよびハウジングカバー、３は基
準ミラー（光学部品）、４はハウジングベース１上に設
けられ、光学部品３を支持する光学部品受け、５はハウ
ジングベース１を他の装置に取り付けて固定するための
ハウジング取付け部、６は基準ミラー３に設けられ、基
準ミラー３をハウジングベース１上に保持するための取
付け穴、７はハウジングベース１に固定して取り付けら
れ、基準ミラー３を取付け穴６を介して保持するための
ピン、８は取付け穴６とピン７との間に充填されたシリ
コン、９は基準ミラー３の反射面、10はハウジング取付
け部によりハウジングベース１を他の装置に固定した際
の歪みを極力減小するためのハウジング取付け部５に設
けられた溝である。光学部品受４はピン７の回りにおけ
る凸部としてハウジングベース１上に設けられている。
するハウジングベースおよびハウジングカバー、３は基
準ミラー（光学部品）、４はハウジングベース１上に設
けられ、光学部品３を支持する光学部品受け、５はハウ
ジングベース１を他の装置に取り付けて固定するための
ハウジング取付け部、６は基準ミラー３に設けられ、基
準ミラー３をハウジングベース１上に保持するための取
付け穴、７はハウジングベース１に固定して取り付けら
れ、基準ミラー３を取付け穴６を介して保持するための
ピン、８は取付け穴６とピン７との間に充填されたシリ
コン、９は基準ミラー３の反射面、10はハウジング取付
け部によりハウジングベース１を他の装置に固定した際
の歪みを極力減小するためのハウジング取付け部５に設
けられた溝である。光学部品受４はピン７の回りにおけ
る凸部としてハウジングベース１上に設けられている。
基準ミラー３は、ピン７に取付け穴６が嵌合するよう
にハウジングベース１上にセットし、そして取付け穴６
上部からシリコン８を流し込むことによってハウジング
ベース１上に固定される。次に、ハウジングカバー２を
取り付けてから、ハウジングベース１がハウジング取付
け部５を介してステージに取り付けられる。
にハウジングベース１上にセットし、そして取付け穴６
上部からシリコン８を流し込むことによってハウジング
ベース１上に固定される。次に、ハウジングカバー２を
取り付けてから、ハウジングベース１がハウジング取付
け部５を介してステージに取り付けられる。
これによれば、シリコン８により基準ミラー３は動か
ないように固定されるとともに、シリコンは接着後の引
っ張り力が弱いため基準ミラー３の反射面９が水平、斜
めおよび垂直のいずれの方向にある場合でも殆ど歪みが
なく、反射面９の平面精度が高精度に維持される。ま
た、ハウジング取付け部５には溝10が設けられているた
め、ハウジングの変形も生じない。
ないように固定されるとともに、シリコンは接着後の引
っ張り力が弱いため基準ミラー３の反射面９が水平、斜
めおよび垂直のいずれの方向にある場合でも殆ど歪みが
なく、反射面９の平面精度が高精度に維持される。ま
た、ハウジング取付け部５には溝10が設けられているた
め、ハウジングの変形も生じない。
なお、基準ミラー３は硝子や各種プラスチックで構成
されるが、光学部品としてはその他、セラミックス、金
物等を第３図や第４図に示すような形状に加工したもの
等の高精度な平面を有すべきものが該当する。
されるが、光学部品としてはその他、セラミックス、金
物等を第３図や第４図に示すような形状に加工したもの
等の高精度な平面を有すべきものが該当する。
［発明の効果］ 以上説明したように本発明によれば、光学部品は接着
剤およびピン状部材を対してハウジングのベース部材に
取り付けられ、またベース部材の取付け部材は溝を有す
るので、XYステージ等に取り付けても光学部品の反射面
精度が高く維持される。
剤およびピン状部材を対してハウジングのベース部材に
取り付けられ、またベース部材の取付け部材は溝を有す
るので、XYステージ等に取り付けても光学部品の反射面
精度が高く維持される。
第１図は、本発明の一実施例に係る光学部品をハウジン
グに収めた様子を示す平面図、 第２図は、第１図のものを正面から見たときの断面図、
そして 第３図および第４図はそれぞれ従来例に係る光学部品を
示す斜視図である。 1:ハウジングベース、2:ハウジングカバー、3:光学部
品、4:光学部品受け、5:ハウジング取付け部、6:取付け
穴、7:ピン、8:シリコン、9:反射面、10:溝。
グに収めた様子を示す平面図、 第２図は、第１図のものを正面から見たときの断面図、
そして 第３図および第４図はそれぞれ従来例に係る光学部品を
示す斜視図である。 1:ハウジングベース、2:ハウジングカバー、3:光学部
品、4:光学部品受け、5:ハウジング取付け部、6:取付け
穴、7:ピン、8:シリコン、9:反射面、10:溝。
Claims (4)
- 【請求項１】反射面を有する光学部品をそのハウジング
のベース部材上に保持する手段であって、ベース部材に
固定されたピン状部材と、これに嵌合する光学部品の慣
通穴と、ピン状部材と慣通穴との間に充填され光学部品
をピン状部材に固定する接着剤とを具備することを特徴
とする光学部品の保持手段。 - 【請求項２】慣通穴は光学部品の厚さ方向に設けられ
た、請求項１記載の光学部品の保持手段。 - 【請求項３】光学部品は、画像記録装置の光学系または
半導体露光装置の光学系に用いられるものである、請求
項１記載の光学部品の保持手段。 - 【請求項４】反射面を有する光学部品を保持および保護
するハウジングであって、請求項１記載の保持手段と、
ハウジングのベース部材を他の装置に取り付けるための
取付け部材と、取付け部材の端部に設けられ、ハウジン
グのベース部材に変形を生じさせないための溝とを具備
することを特徴とする光学部品のハウジング。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16690889A JP2609927B2 (ja) | 1989-06-30 | 1989-06-30 | 光学部品の保持手段およびハウジング |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16690889A JP2609927B2 (ja) | 1989-06-30 | 1989-06-30 | 光学部品の保持手段およびハウジング |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0333684A JPH0333684A (ja) | 1991-02-13 |
| JP2609927B2 true JP2609927B2 (ja) | 1997-05-14 |
Family
ID=15839872
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16690889A Expired - Fee Related JP2609927B2 (ja) | 1989-06-30 | 1989-06-30 | 光学部品の保持手段およびハウジング |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2609927B2 (ja) |
-
1989
- 1989-06-30 JP JP16690889A patent/JP2609927B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0333684A (ja) | 1991-02-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6933584B2 (en) | Solid state imaging device, method of making the same and imaging unit including the same | |
| US5998878A (en) | Image sensor assembly and packaging method | |
| US5861654A (en) | Image sensor assembly | |
| US5801891A (en) | Flat mirror mounting flexure | |
| JP2001516464A (ja) | マイクロ構造要素のセルフセンタリング装置 | |
| US7843643B2 (en) | Laminated micromirror package | |
| US20020114086A1 (en) | Member mounting structure and member mounting apparatus | |
| JPH07175000A (ja) | レンズ取付構造 | |
| JP2000241696A (ja) | 光学センサーパッケージの保持・取付け方法 | |
| EP1308765B1 (en) | Mount for ultra-high performance of optical components under thermal and vibrational distortion conditions | |
| JP2609927B2 (ja) | 光学部品の保持手段およびハウジング | |
| JPS60212070A (ja) | 固体撮像装置及び固体撮像装置の生産方法 | |
| JP2002009264A (ja) | 固体撮像素子および撮像装置 | |
| JP2004201328A (ja) | イメージセンサ位置決めシステムおよび方法 | |
| US7274633B2 (en) | Optical pickup | |
| JP2603473Y2 (ja) | 固体撮像装置 | |
| JP2627556B2 (ja) | 光学部品の保持手段 | |
| JPS6348510A (ja) | 走査光学系 | |
| JPH07253335A (ja) | 光学式変位センサ | |
| JPH04253012A (ja) | 合成樹脂レンズの取付方法 | |
| Lin et al. | Micro-machined micro-optical bench for optoelectronic packaging | |
| JP2005094106A (ja) | 撮像装置 | |
| JPH05102448A (ja) | 固体撮像素子 | |
| US6113043A (en) | Mount for integrated circuit device | |
| JPH06125019A (ja) | 半導体装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |