JP2001516464A - マイクロ構造要素のセルフセンタリング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 本発明は、支持体として使用する一つの基板上の、マイクロ構造要素、とりわけ微小光学構成部品のセルフセンタリング装置に関する。微小光学構成部品を、そのための凹部に挿入することによって部品と嵌合させることは、よく知られている方法である。本発明は、取付け可能部品（Ｚ１、Ｚ２）を前記凹部（Ａ）に挿入すると、取り付けられた部品および凹部のいずれかに影響を及ぼす可能性がある歪みが生じる、または取り付けられた部品と凹部との間に位置する材料が形成されるように、構成部品（Ｋ１、Ｋ２）の互いに対する配向を改善することを目的とする。この歪みは、セルフセンタリング機能を改善し、製造誤差をより良好に補償することを可能にする。このモジュールが適当な取付け可能部品を備えることができないときには、中間支持体、例えばＬＩＧＡ技法によって製造したプラスチック物体を使用する。

Description

【発明の詳細な説明】 マイクロ構造要素のセルフセンタリング装置 本発明は、請求の範囲第１項のプリアンブルによるマイクロ構造要素の装置に 関する。 マイクロ技術では、すでに存在する各構成部品を固定する前に、互いに精密に 位置決めする問題がある。例えば微小光学では、しばしば許容誤差はマイクロメ ートルまたはマイクロメートル以下の範囲となる。現在では、通常は主に能動調 節プロセスが使用される。ここで言う能動とは、システムまたはサブシステムが 能動動作している間に、各構成要素をそれらの最終的な位置に移動させるという ことである。この一例は、半導体レーザを光ファイバに結合することである。フ ァイバは、そのファイバ中を誘導される光の強度が最大値に達するまで変位させ る。能動調節プロセスは自動化が困難であり、したがってコストが高い。このこ とは、マイクロ技術システムが引き続き発展する妨げとなる。 多くの場合には、能動調節は、技術面の理由から不可能かま たは非常に困難である。特に小さな領域に多くの構成部品を配列しようとする場 合には、しばしば、構成部品をマイクロメートルの精度で変位させるために、調 節ツールをこの領域に収容するスペースがなくなる。したがって、各構成部品に 対して受動調節を使用することが、ここしばらく試みられている。受動的に調節 されるシステムでは、各構成部品またはサブシステムの外側の寸法が非常に正確 であり、リミットストップの縁部が非常に精密に仕上げられるので、構成部品を 互いに隣り合わせに位置決めする、または互いに挿入し合うことができ、システ ムを直ちに最適に動作させることができる、すなわちそれ以上いかなる調節段階 も必要としない。 これまでのところ、マイクロ技術における受動調節は、主に位置決めしようと する構成部品が必要な精密度で製造されていないことから失敗している。その結 果として、構成部品をともに単純に位置決めする、または挿入することは、特殊 ないくつかの場合にのみ成功している。例えばレーザ／ファイバ結合では、シリ コン基板上の球面レンズを、異方性エッチング処理で作成したピラミッド型凹部 に挿入することができる。球面レンズは、エッチングされた凹部と四つの点での み接触する。球面 レンズは、その幾何形状が単純であるので、低コストで非常に精密に製造するこ とができる。一方、エッチング処理を最適化することで、このような受動調節を 可能にするのに必要な１マイクロメートルの何分の一かの誤差を有する凹部を、 シリコン中に作成することも可能となった。 光ファイバも、Ｖ字型にエッチングされた溝の中に配置される場合には、シリ コン基板上で非常に精密に位置決めすることができる。光ファイバは、面ではな く二本の線のみに沿ってこれらの溝と接触する。 ＥＰ０６３８８２９Ａ１は、光学構成部品を（シリコン）基板上に位置決めす る概念を開示している。例えば第７４図に示されるように、位置決めしようとす る構成部品がその上に置かれるテラス型ショルダが、基板からエッチングされる 。その結果として、基板表面に対する構成部品の高さは精密に規定される。構成 部品の横方向の位置合わせは、構成部品の両側にあるリミットストップによって 行われる。リミットストップは、基板表面に対して垂直に配列された面として作 成される。リミットストップと挿入される構成部品との間には、その構成部品を さらに挿入することができるように動きばめがなければならな い。二つのリミットストップの間の隙間に構成部品を挿入することが困難である ので、フリップチップボンドを用いて構成部品を横方向に調節する代替方法が提 案されている。ただし、フリップチップボンディングは追加の処理段階を必要と する。さらに、この技法は全ての構成部品に使用することができるわけではない 。 本発明の目的は、マイクロ技術で製造された構成部品を任意の方法で相互に位 置合わせすることができるようにするための装置を規定することである。この装 置はセルフセンタリングとなる、すなわち一つの構成部品がもう一方の上に置か れた場合に、この二つの構成部品は自動的にそれらの最終的な位置となる。サブ アセンブリの機能に影響を及ぼさないか、またはわずかな程度しか影響を及ぼさ ない、互いに対する二つの構成部品の調節は必要なら可能である。この装置は、 構成部品を位置決めする間の能動調節段階をなくす、または少なくとも最小限に 抑えることができる。 本発明は、突起および対応する凹部を有する構成部品を提供する点で、この目 的を達成する。重要なことは、突起が凹部に挿入されたときに（弾性または塑性 ）変形が起こるように、突 起または凹部あるいはこの二つの間の接続が設計される点である。請求の範囲第 ２項による本発明の一つの例示的な実施形態では、突起が凹部に挿入されたとき に突起および／または凹部自体が変形する。請求の範囲第５項による本発明の別 の実施形態では、突起と凹部の間に挿入された例えば接着剤などのモールディン グ材料が変形する。一方でこの変形はセルフセンタリング効果を有する。他方で 製造プロセスに必然的に依存する、わずかな嵌合の不完全さを補償することがで きる。 請求の範囲第９項による本発明のさらに別の有利かつ具体的な実施形態では、 この要素は、ピラミッド型またはＶ字型の凹部がエッチングされるシリコン基板 である。もう一方の要素は、その下面にくさび形の突起を不可欠に備えた、ＬＩ ＧＡプロセスで製造したプラスチック構成部品である。これらのくさび形の突起 は、シリコン基板の対応する凹部に嵌合する。プラスチック構成部品はその上面 に保持構造を有し、レンズ、光ファイバ、レーザインタロック装置、コネクタシ ステム用のガイドピンなど、追加の構成部品を受ける。この場合には、プラスチ ック構成部品は中間のキャリアとして働き、エッチングで作成可能な凹部への挿 入が、その幾何形状によって不可能かまたは非 常に困難である構成部品を、シリコンキャリア上で精密に位置決めすることがで きるようにする。 本発明の追加の例示的な実施形態は、従属請求項に与えられる。 以下で、例示的な実施形態および図面を用いて本発明について詳細に説明する 。 第１図は、本発明による突起ＡＮ１およびＡＮ２を備えたレンズ要素ＬＫを示 す斜視図である。 第２図は、レンズ要素の突起を受ける凹部Ａ１およびＡ２を備えたキャリア要 素ＴＫを示す簡略化した斜視図である（第１図と尺度は異なる）。 第３ａ図は、要素Ｋ２が要素Ｋ１に対して位置合わせされる前の状態である、 請求の範囲第２項による本発明の有利な実施形態を示す詳細図である。 第３ｂ図は、要素Ｋ２が要素Ｋ１に対して位置合わせされた、第３図による実 施形態を示す詳細図である。 第４ａ図は、要素Ｋ２が要素Ｋ１に対して位置合わせされる前の状態である、 請求の範囲第４項による本発明の有利な実施形態を示す詳細図である。 第４ｂ図は、要素Ｋ２が要素Ｋ１に対して位置合わせされた、第４ａ図による 実施形態を示す詳細図である。 第５図は、請求の範囲第５項による本発明の特に有利な実施形態を示す詳細図 である。 第６図は、第５図に示す実施形態の全体図である。 第７図は、請求の範囲第８項による本発明の有利な実施形態を示す詳細図であ る。 第８図は、請求の範囲第１０項による本発明の有利な実施形態を示す詳細図で ある。 第１図および第２図は、本発明の第一の実施形態を示す図である。第１図は、 レーザインタロック装置を光導波路に結合するために特に開発されたレンズ要素 を示す。レンズ要素は、マイクロレンズを挿入する穴ＬＨを有する。別法として 、レンズ要素ＬＫを直接レンズにすることもできる。レンズ要素ＬＫは、二つの 突起ＡＮ１およびＡＮ２をさらに備え、その実施形態について以下でさらに説明 する。 この場合のレンズ要素は、プラスチック（例えばＰＰＴ、ＰＣ、ＰＰＥ）製で あり、ＬＩＧＡまたは射出成形プロセスを用いて製造される。このようなプロセ スにより、１マイクロメー トル未満の誤差で要素を製造することが可能となる。マイクロ技術で知られてい るその他のプロセスを使用して、これに匹敵する精度でレンズ要素を製造するこ ともできる。ＭＩＧＡプロセスと呼ばれる、改良したＬＩＧＡプロセスは、Ｂｏ ｓｃｈ Ｔｅｃｈｎｉｓｃｈｅ Ｂｅｒｉｃｈｔｅ、１９９４、Ｖｏｌｕ ｅｒ等による「Ｏｐｔｏｅｌｅｋｔｒｏｎｉｓｃｈｅ Ｍｉｋｒｏｓｙｓｔｅｍ ｅ」と題する文献に詳細に記載されている。こうしたマイクロ技術のプロセスの ほとんどは、製造しようとする要素の寸法がリソグラフィ技法によって決定され るという共通の特徴を有する。ただし、リソグラフィの段階なしでマイクロミリ ングまたはマイクロドリリングによって要素を機械加工するその他のプロセスも 知られている。 レンズ要素ＬＫは、第２図に示すキャリア要素ＴＫ中に挿入されるようになっ ている。この例示的な実施形態のキャリア要素はシリコン基板である。レーザイ ンタロック装置ＬＲは、フリップチップボンドによってキャリア要素に固定され る。さらに、いくつかの光導波路セグメントＷＬがキャリア要素ＴＫの表面上に 取り付けられる。光導波路は、Ｖ字型にエッチングさ れた溝の中を案内される光ファイバで置き換えることもできるキャリア要素ＴＫ は二つの凹部Ａ１およびＡ２を備える。この例示的な実施形態では、これらはシ リコン基板中に異方性エッチングされたＶ字型のくぼみである。エッチングプロ セスは、例えばＩＥＥＥ Ｔｒａｎｓａｃｔｉｏｎｓ ｏｎ Ｃｏｍｐｏｎｅｎ ｔｓ、Ｐａｃｋａｇｉｎｇ ａｎｄ Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ Ｔｅｃｈｎ ｏｌｏｇｙ−Ｐａｒｔ Ａ、Ｖｏｌ．１９、Ｎｏ．１、３４〜４０ページの、Ａ ．Ａｍｂｒｏｓｙ等による「Ｓｉｌｉｃｏｎ Ｍｏｔｈｅｒｂｏａｒｄｓ ｆｏ ｒ Ｍｕｌｔｉｃｈａｎｎｅｌ Ｏｐｔｉｃａｌ Ｍｏｄｕｌｅｓ」と題する文 献に詳細に記載されるように、二つの段階に分割されることが好ましい。凹部Ａ １およびＡ２は縦方向に延長することができ、レンズ要素ＬＫはこの方向に、す なわちレーザインタロック装置ＬＲと導波路セグメントＷＬとの間で調節するこ とができる。この調節は、結合効率には比較的わずかしか影響を及ぼさずに、嵌 合の正確さの要件を少なくするという利点を有する。 キャリア要素ＴＫは、凹部Ａ１およびＡ２に加えて、トラフ型凹部Ｗを有する 。レンズ要素ＬＫは、このトラフ型凹部Ｗ中 にある程度まで突き出る。これにより、レンズ要素ＬＫ中のレンズの光学軸は、 キャリア要素の表面のすぐ上に延びることになる。半導体レーザの出口開口およ び光導波路の入口開口も、通常はこの高さに位置する。レンズをこの高さまで降 下させなければ、光導波路およびレーザインタロック装置を両方とも持ち上げな ければならないことになり、これは重大な問題につながる。 以下に、第３ａ図および第３ｂ図を用いて突起の形状についてさらに詳細に論 じる。図示した要素Ｋ２の突起は、二つのくさび型トングＺ１およびＺ２からな る。要素Ｋ２の材料が許すなら、これらのトングは第３ａ図に示すように矢印Ｐ の方向に動かすことができる。二つのトングから形成された突起が凹部Ａに挿入 されたときに、凹部Ａの剛性側面はこれらのトングに、それらが内側に降伏する ように力を加える。要素Ｋ２の材料が弾性である場合には、トングＺ１およびＺ ２は、要素Ｋ１に対する要素Ｋ２の最終的な位置で、凹部Ａの側面を圧迫する。 やはりこの最終的な位置で維持されるこの圧力は、表面間の特に密な接触を保証 する。要素Ｋ２が塑性変形可能な材料から作成される場合には、トングは凹部の 側面に永続的な圧力を加えな い。この場合には、トングは精密に凹部の形状に従い、比較的大きな製造誤差も 、必要なら補償することができる。どちらの場合も、要素Ｋ２の突起の変形性は 緊密な嵌合を生じ、この装置のセルフセンタリング特性を改善する。 突起の降伏を可能にするために、第３ａ図および第３ｂ図に示すように二重ト ングとして突起を設計することができる。どの形状が具体的な各場合の突起の降 伏を可能にするのに最も適しているかは、主として突起の付いた要素の材料に依 存する。非常に弾性的な材料では、変形の結果として変位した任意の材料が、降 伏するのに十分な空きスペースを有することが保証されていさえすればよい。こ のスペースを生じさせるために、例えば切込みまたは穴を設けることもある。 第４ａ図および第４ｂ図は、要素Ｋ２の変形可能な材料で作成された突起ＡＮ が、要素Ｋ１の降伏しない凹部Ａ中に挿入される実施形態を示す図である。挿入 する前に、突起ＡＮは湾曲した境界面を有する。挿入中に剛性凹部Ａから突起Ａ Ｎに加えられる圧力により、突起ＡＮは変形し、リミットストップＡＮは比較的 大きな領域に沿って凹部Ａと接触する。 別法として、または突起の変形性に加えて、凹部も、突起が 挿入されたときに、塑性または弾性変形するように設計することができる。この 場合に考慮することは、設計による変形性より、材料の特性による変形性である 。特に高分子は、選択した製造プロセスに依存して、本発明による変形可能な凹 部の実施を可能にする弾性または塑性特性を有する。 本発明の別の有利な例示的な実施形態は、接着剤や高分子など弾性または塑性 変形可能なモールディング材料を、凹部と突起の間に挿入するものである。これ には特に二つの利点がある。一方で、このモールディング材料は製造誤差による 隙間を満たし、緊密な嵌合を保証する。しかし、特に、凹部が対称に成形されて いる場合には、このモールディング材料は、セルフセンタリング特性を大幅に改 善する。二つの物体の間の隙間が十分に狭い場合には、この隙間に導入されるい かなる液体または粘性材料も、この隙間内で薄く非常に一様な膜として広がる傾 向がある。この効果は、おそらくは表面張力によるものであるが、その他の技術 分野の出願から知られている。 このセルフセンタリングプロセスを第５図に概略的に示す。要素Ｋ２の突起Ａ Ｎは、要素Ｋ１の対称な凹部中に突き出る。挿入前に凹部に導入されたモールデ ィング材料ＦＳは、突き出 した突起ＡＮによって一部変位し、凹部と突起ＡＮとの間に薄膜が生じるように する。この膜の厚さは均一になる傾向があるので、突起は、第５図に明らかに示 すように、凹部に対して非常に精密にセンタリングされる。所望の弾性または塑 性特性を有する膜で、突起を被覆することもある。モールディング材料として接 着剤を使用すると特に有利である。液体状態では、接着剤は塑性または弾性特性 を有し、それによりセルフセンタリングをサポートする。ただし、例えば箔やシ リコンなどをモールディング材料として使用することもできる。 以下に、本発明の追加の変形形態について記述し、本発明の広範な適用可能性 および多くの利点を示す。請求の範囲第７項による本発明の特に有利な実施形態 では、突起および凹部の装置を使用して、取り付けられる要素をキャリア要素に 対して水平方向にのみ、すなわちキャリア要素の表面と平行な方向に固定する。 垂直方向の位置は、適当に設計されたリミットストップによって決まる。 第６図は、第５図に示す例示的な実施形態の全体図である。突起ＡＮ１および ＡＮ２は、キャリア要素Ｋ１の対応する凹部中に突き出す。この場合もモールデ ィング材料が突起と凹部の 間に導入されるので、要素Ｋ２は最初は要素Ｋ１上に固定されて載っているわけ でではなく、要素の相対的な垂直方向の位置は正確には決まっていない。垂直方 向の位置合わせも精密に規定することができるようにするために、要素Ｋ２は二 つのリミットストップＡＮＳ１およびＡＮＳ２を備える。これらのリミットスト ップは要素Ｋ１上に載る。こうして二つの要素の間の距離は精密に規定される。 この実施形態では、突起または凹部の対称な装置により、製造誤差が比較的大き い場合でも、取り付けられる要素Ｋ２をキャリア要素Ｋ１に対して精密にセンタ リングすることが可能となる。 使用する要素の材料および処理技術によっては、平坦ではなく湾曲した表面を 有する要素の突起および凹部を形成すると有利となることもある。例えばセラミ ックでは、マイクロミリングを使用して、球形部分の形状を有する凹部を作成す ることができる。これを第７図に横断面図で示す。 凹部がなく突起のあるキャリア要素を形成することも可能である。これに対応 して、取り付けられる要素は突起でなく凹部を有する。要素は、突起および凹部 を両方とも備えることもできる。 本発明の特に有利な実施形態は、例えばシリコンやセラミックで作成された中 間キャリアを、安定したキャリア上に本発明に従って取り付けるものである。こ の目的のために、中間キャリアの下面は本発明の突起を備え、これが安定したキ ャリアの対応する凹部に挿入される。中間キャリアの上面は、追加の構成部品を 正確に位置決めする働きをする位置決め構造を備える。こうした追加の構成部品 は例えば、機械的、光学的、電気的、または流体工学的なマイクロ構造にするこ とができる。第８図は、キャリアＫ１上に取り付けられた中間キャリアＫ２を示 す図である。中間キャリアの上面は、この例では光ファイバＦＡＳ１およびＦＡ Ｓ２を受けるための凹部を備える。この場合の中間キャリアＫ２は、弾性または 塑性変形可能な材料から作成され、比較的硬い光ファイバＦＡＳ１およびＦＡＳ ２が対応する凹部Ａ１およびＡ２に挿入されたときに降伏する。こうして、中間 キャリアＫ２は、追加構成部品のための一種の取付けプラットフォームとして働 く。 中間キャリアは、従来の半導体およびセラミツクのキャリア上の位置決めおよ び固定が、普通なら不可能かまたは非常に困難である構成部品でも、非常に精密 な位置合わせを可能にする。 例えば、立方体の構成部品を受動的に調節しようとする場合には、キャリア中の 対応する凹部も立方体にすると有利なはずである。しかし、このような立方体の 凹部は、受動調節に必要な精度で従来のキャリアに作成することができない。中 間キャリアを間に挟むことにより、ＬＩＧＡまたは関係するプロセスを用いて例 えばプラスチックに立方体の凹部が作成されるので、立方体の構成部品でも信頼 性高くかつ非常に精密に位置決めすることができる。

【手続補正書】 【提出日】平成１１年４月３０日（１９９９．４．３０） 【補正内容】 （１）請求の範囲を別紙の通り補正する。 （２）明細書中、第１２頁第１３行目から同頁第１４行目に「この隙間に導入さ れるいかなる液体または粘性材料も、」とあるを「この隙間に導入されるいかな る粘性材料も、」と補正する。 （３）明細書中、第１３頁第６行目から同頁第７行目に「特に有利である。液体 状態では、接着剤は塑性または弾性特性を有し、」とあるを「特に有利である。 接着剤は塑性または弾性特性を有し、」と補正する。 別紙 請求の範囲 １．二つのマイクロ構造要素の一方（ＬＫ；Ｋ２）が突起（ＡＮ１、ＡＮ２；Ａ Ｎ）を有し、他方のマイクロ構造要素（ＴＫ；Ｋ１）が、一方のマイクロ構造要 素の突起がその中に突き出す凹部（Ａ１、Ａ２；Ａ）を有する、相互に位置合わ せされた二つのマイクロ構造要素（ＬＫ；ＴＫ；Ｋ１、Ｋ２）を含む装置であっ て、 二つのマイクロ構造要素の相互位置合わせが、変形可能な手段（ＡＮ、Ｚ１、 Ｚ２、ＦＳ）によって達成されることを特徴とする装置。 ２．変形可能な手段が突起（ＡＮ１、ＡＮ２；第４ａ図ではＡＮ；Ｚ１、Ｚ２） または凹部である、請求の範囲第１項に記載の装置。 ３．変形可能な手段（ＡＮ１、ＡＮ２；Ｚ１、Ｚ２）の変形性がその空間的形状 に基づく、請求の範囲第１項または第２項に記載の装置。 ４．変形可能な手段の変形性が材料の特性に基づく（第４ａ図のＡＮ）、請求の 範囲第１項または第２項に記載の装置。 ５．変形可能な手段が、突起（第５図のＡＮ）と凹部（Ａ）の間に導入されたモ ールディング材料（ＦＳ）である、請求の範囲第１項に記載の装置。 ６．モールディング材料が接着剤である、請求の範囲第５項に記載の装置。 ７．二つのマイクロ構造要素（第６図のＫ１、Ｋ２）の間の距離が、変形しない リミットストップ（ＡＮＳ１、ＡＮＳ２）によって規定される、請求の範囲第１ 項から第６項のいずれか一項に記載の装置。 ８．突起（第７図のＡＮ）および／または凹部（Ａ）が、少なくとも部分的に湾 曲した境界面を有する、請求の範囲第１項から第７項のいずれか一項に記載の装 置。 ９．二つのマイクロ構造要素の一方（第１図のＬＫ）が、プラスチックまたはフ ォトストラクチャブル（ｐｈｏｔｏ ｓｔｒｕｃｔｕｒａｂｌｅ）ガラスから作 成され、少なくとも一つの湾曲面を有し、このマイクロ構造要素がこの湾曲面を 通過する光線に対してレンズとして働く、請求の範囲第１項から第８項のいずれ か一項に記載の装置。 １０．光学的、機械的、電気的、または流体工学的な機能を有する少なくとも一 つの第三の要素（ＦＡＳ１、ＦＡＳ２）が、二つのマイクロ構造要素の一つ（第 ８図のＫ２）に取り付けられる、請求の範囲第１項から第９項のいずれか一項に 記載の装置。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ピカルト，アントニー ドイツ国、デー―55270・エツセンハイム、 アン・デル・クリンゲルプフオルテ・１・ アー (72)発明者 ラインハルト，イエルク ドイツ国、デー―55116・マインツ、バル ポーデンシユトラーセ・15 (72)発明者 シユルツエ，イエンス ドイツ国、デー―55116・マインツ、バル ポーデンシユトラーセ・16

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．二つの要素の一方（ＬＫ；Ｋ２）が突起（ＡＮ１、ＡＮ２；ＡＮ）を有し、 他方の要素（ＴＫ；Ｋ１）が、一方の要素の突起がその中に突き出す凹部（Ａ１ 、Ａ２；Ａ）を有する、製造誤差がそれぞれ３マイクロメートル未満である相互 に位置合わせされた二つの要素（ＬＫ；ＴＫ；Ｋ１、Ｋ２）を含む装置であって 、 二つの要素の相互位置合わせが、変形可能な手段（ＡＮ、Ｚ１、Ｚ２、ＦＳ） によって達成されることを特徴とする装置。 ２．変形可能な手段が突起（ＡＮ１、ＡＮ２；第４ａ図ではＡＮ；Ｚ１、Ｚ２） または凹部である、請求の範囲第１項に記載の装置。 ３．変形可能な手段（ＡＮ１、ＡＮ２；Ｚ１、Ｚ２）の変形性がその空間的形状 に基づく、請求の範囲第１項または第２項に記載の装置。 ４．変形可能な手段の変形性が材料の特性に基づく（第４ａ図のＡＮ）、請求の 範囲第１項または第２項に記載の装置。 ５．変形可能な手段が、突起（第５図のＡＮ）と凹部（Ａ）の 間に導入されたモールディング材料（ＦＳ）である、請求の範囲第１項に記載の 装置。 ６．モールディング材料が接着剤である、請求の範囲第５項に記載の装置。 ７．二つの要素（第６図のＫ１、Ｋ２）の間の距離が、変形しないリミットスト ップ（ＡＮＳ１、ＡＮＳ２）によって規定される、請求の範囲第１項から第６項 のいずれか一項に記載の装置。 ８．突起（第７図のＡＮ）および／または凹部（Ａ）が、少なくとも部分的に湾 曲した境界面を有する、請求の範囲第１項から第７項のいずれか一項に記載の装 置。 ９．二つの要素の一方（第１図のＬＫ）が、プラスチックまたはフォトストラク チャブル（ｐｈｏｔｏ ｓｔｒｕｃｔｕｒａｂｌｅ）ガラスから作成され、少な くとも一つの湾曲面を有し、この要素がこの湾曲面を通過する光線に対してレン ズとして働く、請求の範囲第１項から第８項のいずれか一項に記載の装置。 １０．光学的、機械的、電気的、または流体工学的な機能を有する少なくとも一 つの第三の要素（ＦＡＳ１、ＦＡＳ２）が、二つの要素の一つ（第８図のＫ２） に取り付けられる、請求の 範囲第１項から第９項のいずれか一項に記載の装置。