JPS60212070A - 固体撮像装置及び固体撮像装置の生産方法 - Google Patents
固体撮像装置及び固体撮像装置の生産方法Info
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- JPS60212070A JPS60212070A JP59068086A JP6808684A JPS60212070A JP S60212070 A JPS60212070 A JP S60212070A JP 59068086 A JP59068086 A JP 59068086A JP 6808684 A JP6808684 A JP 6808684A JP S60212070 A JPS60212070 A JP S60212070A
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- Japan
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- ccd
- solid
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、固体撮像素子を使用した撮像装置に関する
ものであり、特に、固体撮像素子、光学フィルタ、撮像
用レンズ等の機械的結合の構成に関するものである。
ものであり、特に、固体撮像素子、光学フィルタ、撮像
用レンズ等の機械的結合の構成に関するものである。
一般的に、固体撮像装置では、シャープでコントラスト
良く、ケジレ２片がケ等のない画像を得るには、レンズ
で受けた光を位置精度良く、撮像面に結像させる必要が
ある。第４図は、レンズ５１に入射された光束５２が撮
像面５３に結像される状態を示すものであシ、５４は、
レンズ有効億円を示す。第４図において、αで示す光軸
のズレがレンズ５１と撮像面５３との間にあるときには
、撮像された画のクラン２画のタオレが生じる。
良く、ケジレ２片がケ等のない画像を得るには、レンズ
で受けた光を位置精度良く、撮像面に結像させる必要が
ある。第４図は、レンズ５１に入射された光束５２が撮
像面５３に結像される状態を示すものであシ、５４は、
レンズ有効億円を示す。第４図において、αで示す光軸
のズレがレンズ５１と撮像面５３との間にあるときには
、撮像された画のクラン２画のタオレが生じる。
また、撮像された画の片ボケを防止するため、レンズ５
１の光軸と撮像面５３の垂直精度を合わせ、かつバック
フォーカス２を合わせる必要がある。
１の光軸と撮像面５３の垂直精度を合わせ、かつバック
フォーカス２を合わせる必要がある。
したがって、固体撮像装置では、光軸のＸ及びＹ方向の
調整、バックフォーカス２の調整が必要であシ、更に、
アオｙＯ及びθアの調整が必要でありた。また、固体撮
像装置は、感度が良好なため、撮像素子の前面のシール
ガラスや１光学フイルタの光路系にゴミが付着すると、
画に点となって表れる。
調整、バックフォーカス２の調整が必要であシ、更に、
アオｙＯ及びθアの調整が必要でありた。また、固体撮
像装置は、感度が良好なため、撮像素子の前面のシール
ガラスや１光学フイルタの光路系にゴミが付着すると、
画に点となって表れる。
第５図Ａ及び第５図Ｂは、従来の固体撮像装置の一例を
示すもので、６１がレンズ、６２が固体撮像素子、６３
が光学フィルタ、６４がフレームである。固体撮像素子
６２が基板６５に取り付けられ、この基板６５が７レー
ム６４に複数本のビス６６．６７．６８及び基板抑え６
９などによシ取付けられ、７レ一ム６４０対面にレンズ
６１が取シ付けられる。また、フレーム６４に基板６５
及び光学フィルタ６３を取付ける場合に、ｔムシールＴ
Ｏ及び７１が設けられている。
示すもので、６１がレンズ、６２が固体撮像素子、６３
が光学フィルタ、６４がフレームである。固体撮像素子
６２が基板６５に取り付けられ、この基板６５が７レー
ム６４に複数本のビス６６．６７．６８及び基板抑え６
９などによシ取付けられ、７レ一ム６４０対面にレンズ
６１が取シ付けられる。また、フレーム６４に基板６５
及び光学フィルタ６３を取付ける場合に、ｔムシールＴ
Ｏ及び７１が設けられている。
かかる従来の固体撮像装置は、固体撮像素子６２を直接
的に基板６５に取シ付け、基板６５のフレーム６４につ
いての取付位置をビスによッテ補正することによシ、レ
ンズ６１との位置関係を調整しているため、前述のよう
な光軸、アオリ。
的に基板６５に取シ付け、基板６５のフレーム６４につ
いての取付位置をビスによッテ補正することによシ、レ
ンズ６１との位置関係を調整しているため、前述のよう
な光軸、アオリ。
バックフォーカス等を調整する作業が絵出ししながら行
なうものとなシ、大変面倒で６つた。これと共に、部品
点数を多く必要とし、大形な装置となる欠点があった。
なうものとなシ、大変面倒で６つた。これと共に、部品
点数を多く必要とし、大形な装置となる欠点があった。
また、従来の固体撮像装置は、基板６５への固体撮像素
子６２の取付け、光学フィルタ６３の取付けは、多数の
機緘部品を組立てる必要があるため、一般の作業環境の
作業場で組立てるのが普通である。従って、微少なゴミ
の付着の防止が困難となシ、光路系のゴミの拭き取シ作
業が面倒であシ、然も、信頼性の低下を招く問題点があ
った。
子６２の取付け、光学フィルタ６３の取付けは、多数の
機緘部品を組立てる必要があるため、一般の作業環境の
作業場で組立てるのが普通である。従って、微少なゴミ
の付着の防止が困難となシ、光路系のゴミの拭き取シ作
業が面倒であシ、然も、信頼性の低下を招く問題点があ
った。
したがって、この発明の目的は、組立工程時に、レンズ
、光学フィルタの光軸、アオリなどの寸法精度を容易に
出すことができる固体撮像装置を提供することにある。
、光学フィルタの光軸、アオリなどの寸法精度を容易に
出すことができる固体撮像装置を提供することにある。
この発明の他の目的は、部品点数が少なくてすみ、小形
、軽量な固体撮像装置を提供することにある。
、軽量な固体撮像装置を提供することにある。
この発明の更に他の目的は、固体撮像素子の組立と光学
フィルタ、レンズなどを組立てる固体撮像装置の組立と
を半導体の組立用無塵室にて一貫して行なうことができ
、光路系のゴミの付着を容易に防止できる固体撮像装置
を提供することにある。
フィルタ、レンズなどを組立てる固体撮像装置の組立と
を半導体の組立用無塵室にて一貫して行なうことができ
、光路系のゴミの付着を容易に防止できる固体撮像装置
を提供することにある。
、この発明は、固体撮像素子が取シ付けられた撮像集子
パッケージと、撮像集子パッケージが所定の位置に配さ
れる凹部を冶する撮像素子ホルダと、撮像嵩子ホルダの
前面に密着された状態で撮像素子ホルダと固着される基
部及び基部に垂直に延長された円筒体を有する光学部ホ
ルダと、円筒体内に固定される光学７．イルタと、円筒
体内にレンズ鏡筒が同軸的に嵌合されるレンズとを備え
た固体撮像装置である。
パッケージと、撮像集子パッケージが所定の位置に配さ
れる凹部を冶する撮像素子ホルダと、撮像嵩子ホルダの
前面に密着された状態で撮像素子ホルダと固着される基
部及び基部に垂直に延長された円筒体を有する光学部ホ
ルダと、円筒体内に固定される光学７．イルタと、円筒
体内にレンズ鏡筒が同軸的に嵌合されるレンズとを備え
た固体撮像装置である。
以下、この発明の一実施例について第１図、第２図及び
第３図を参照して説明する。この実施例は、固体撮像素
子としてＣＣＤＣＤ撮像金子いたものである。
第３図を参照して説明する。この実施例は、固体撮像素
子としてＣＣＤＣＤ撮像金子いたものである。
第１図において、１が光学部ホルダ、２がレンズ鏡、筒
であシ、レンズ鏡筒２には、レンズ３Ａ及び３Ｂが配設
されている。レンズ部を除くこの一実施例の分解斜視図
を第２図に示す。第２図において、４が金属製のＣＯＤ
ホルダ、５がセラミック製のＣＯＤパッケージ、６が防
塵用のｔムパッキン＃ ７ −ＩＩｌｅ ４ ｆｆｉ
Ｔ７ １．−？ Ｍ＋ ＩＩＩＧ ｄ −１ｆｌｌ −
ｔｗ ３ｉ＋ ＃ −４ｍ 、ｈ ４ ＄ 弓：ｍ ９
ｈルダの基部、８が光学フィルタ、９がフィルタ抑えで
ある。第１図に示すように１光学部ホルダ１の円筒部１
０内にレンズ鏡筒２が同軸的に嵌合され、ＣＯＤパッケ
ージ６とレンズ鏡筒２との位置関係が規定される。レン
ズ鏡筒２は、ビス１１によりパックフォーカスが調整さ
れた位置において光学部ホルダ１と固定される。
であシ、レンズ鏡筒２には、レンズ３Ａ及び３Ｂが配設
されている。レンズ部を除くこの一実施例の分解斜視図
を第２図に示す。第２図において、４が金属製のＣＯＤ
ホルダ、５がセラミック製のＣＯＤパッケージ、６が防
塵用のｔムパッキン＃ ７ −ＩＩｌｅ ４ ｆｆｉ
Ｔ７ １．−？ Ｍ＋ ＩＩＩＧ ｄ −１ｆｌｌ −
ｔｗ ３ｉ＋ ＃ −４ｍ 、ｈ ４ ＄ 弓：ｍ ９
ｈルダの基部、８が光学フィルタ、９がフィルタ抑えで
ある。第１図に示すように１光学部ホルダ１の円筒部１
０内にレンズ鏡筒２が同軸的に嵌合され、ＣＯＤパッケ
ージ６とレンズ鏡筒２との位置関係が規定される。レン
ズ鏡筒２は、ビス１１によりパックフォーカスが調整さ
れた位置において光学部ホルダ１と固定される。
ＣＯＤパッケージ５は、位置精度を安定に高くするため
に、セラミックから成るもので、このＣＯＤパッケージ
５の中央に形成された凹部底面のメタ２イズ層に、ＣＯ
Ｄチッグ１２が銀ペーストによシダイポンドされ、次に
ワイヤボンディングされ、その上に色分解フィルタ１３
が積層され、前面がシールがラス１４によシ覆われたも
のである。図示せずも、色分解フィルタ１３とシールが
ラス１４との間に７レア防止板を設けても良い。ＣＯＤ
パッケージ５からは、リード１５が導出されている。こ
のＣＯＤパッケージ５には、左右の辺部に対称にねじ穴
１６及び位置決め穴１７が穿設されている。
に、セラミックから成るもので、このＣＯＤパッケージ
５の中央に形成された凹部底面のメタ２イズ層に、ＣＯ
Ｄチッグ１２が銀ペーストによシダイポンドされ、次に
ワイヤボンディングされ、その上に色分解フィルタ１３
が積層され、前面がシールがラス１４によシ覆われたも
のである。図示せずも、色分解フィルタ１３とシールが
ラス１４との間に７レア防止板を設けても良い。ＣＯＤ
パッケージ５からは、リード１５が導出されている。こ
のＣＯＤパッケージ５には、左右の辺部に対称にねじ穴
１６及び位置決め穴１７が穿設されている。
第２図に示される各部品の組立は、ＣＣＤパッケージ５
をＣＣＤホルダ４に固着し、光学部ホルダ１の円筒体１
０内に光学フィルタ８を取付け、次に、ＣＣＤホルダ４
と光学部ホルダ１の基部７とをゴムバッキング６を介し
て固着することによってなされる。ＣＣＤホルダ４は、
ＣＣＤパッケージ５が嵌合 。
をＣＣＤホルダ４に固着し、光学部ホルダ１の円筒体１
０内に光学フィルタ８を取付け、次に、ＣＣＤホルダ４
と光学部ホルダ１の基部７とをゴムバッキング６を介し
て固着することによってなされる。ＣＣＤホルダ４は、
ＣＣＤパッケージ５が嵌合 。
される凹部とリード１５を導出するスリットを有してい
る。この四部の底面には、左右対称にねじ穴２１が穿設
されていると共に、左右対称に位置決めのだめのビン２
２が圧入により植立されている。ＣＣＤホルダ４の凹部
に、ビン２２がＣＣＤパッケージ５の位置決め穴１７内
に挿入されるように、ＣＣＤパッケージ５が挿入される
。そして、一対のねじ２３がねじ穴１６及び２１に螺合
されることにより、ＣＣＤホルダ４にＣＣＤパッケージ
５ｙ固着される。
る。この四部の底面には、左右対称にねじ穴２１が穿設
されていると共に、左右対称に位置決めのだめのビン２
２が圧入により植立されている。ＣＣＤホルダ４の凹部
に、ビン２２がＣＣＤパッケージ５の位置決め穴１７内
に挿入されるように、ＣＣＤパッケージ５が挿入される
。そして、一対のねじ２３がねじ穴１６及び２１に螺合
されることにより、ＣＣＤホルダ４にＣＣＤパッケージ
５ｙ固着される。
ＣＣＤホルダ４の略々対角線方向の一方に、一対のねじ
穴２５が設けられ、他方の略々対角線方向に一対のねじ
穴２６が設けられ、このねじ穴２６の近傍に一対の位置
決め用のビン２７が圧入によシ植立されている。これら
のねじ穴２５．２６及びビン２Ｔは、後述するように、
ＣＣＤホルダ４と光学部ホルダ１の合体のために使用
される。
穴２５が設けられ、他方の略々対角線方向に一対のねじ
穴２６が設けられ、このねじ穴２６の近傍に一対の位置
決め用のビン２７が圧入によシ植立されている。これら
のねじ穴２５．２６及びビン２Ｔは、後述するように、
ＣＣＤホルダ４と光学部ホルダ１の合体のために使用
される。
光学部ホルダ１０円筒部１０の底面には、第３図Ａに示
すように、矩形の開口３１が形成され、この開口３１０
周辺に沿って段部３２が設けられている。円筒部１０内
に挿入された光学フィルタ８がこの段部３２に嵌合され
る。光学フィルタ８は、赤外カットフィルタと複数枚の
水晶板からなる光学的ローパスフィルタとが積層された
もので、第２図に示すように、円板状の一部が■直に切
シ落とされた形状とされている。この光学フィルタ８の
形状は、光学部ホルダ１の段部３２の形状と一致し、光
学フィルタ８を正しい光学軸の関係でもって取付けるこ
とが可能とされている。円筒部１０内の段部３２に嵌合
された状態で光学フィルタ８の前面からフィルタ抑え９
がねじ込みによシ取付けられる。
すように、矩形の開口３１が形成され、この開口３１０
周辺に沿って段部３２が設けられている。円筒部１０内
に挿入された光学フィルタ８がこの段部３２に嵌合され
る。光学フィルタ８は、赤外カットフィルタと複数枚の
水晶板からなる光学的ローパスフィルタとが積層された
もので、第２図に示すように、円板状の一部が■直に切
シ落とされた形状とされている。この光学フィルタ８の
形状は、光学部ホルダ１の段部３２の形状と一致し、光
学フィルタ８を正しい光学軸の関係でもって取付けるこ
とが可能とされている。円筒部１０内の段部３２に嵌合
された状態で光学フィルタ８の前面からフィルタ抑え９
がねじ込みによシ取付けられる。
更に、光学部ホルダ１の円筒部１０に同軸的にレンズ鏡
筒２が嵌合される。したがって、光学部ホルダ１の寸法
精度即ち基部７と円筒部１０とによって、レンズ３Ａ、
３Ｂの光軸が基部７と垂直に保持される。この基部Ｔに
は、ＣＣＤパッケージ５がＣＣＤホルダ４を介して固着
されているので、ＣＣＤチップ１２がレンズ３Ａ、３Ｂ
の光軸に対して画直に保持される仁とになる。
筒２が嵌合される。したがって、光学部ホルダ１の寸法
精度即ち基部７と円筒部１０とによって、レンズ３Ａ、
３Ｂの光軸が基部７と垂直に保持される。この基部Ｔに
は、ＣＣＤパッケージ５がＣＣＤホルダ４を介して固着
されているので、ＣＣＤチップ１２がレンズ３Ａ、３Ｂ
の光軸に対して画直に保持される仁とになる。
光学部ホルダ１の背面には、開口３１を囲む形状に溝３
４が設けられ、この清３４内にゴムバッキング６が挿入
される。光学部ホルダ１には、第３図Ａ及び第３図Ｂに
示すように、その略々対角線方向の一方に位置する一対
のねじ穴３５が形成され、略々対角線方向の他方に位置
する一対のねじ穴３６が形成され、ねじ穴３６の近傍に
一対の位置決め穴３７が穿設されている。ＣＣＤパッケ
ージ５が固着されたＣＣＤホルダ４に対し、光学フィル
タ８が取り付けられた光学部ホルダ１がゴムバッキング
６を介して積層される。この場合、ビン２７が位置決め
穴３７内に挿入されるようになされる。この状態で前面
から一対のねじ３８がねじ穴３５．２５に螺合されると
共に、背面から一対のねじ２８がねじ穴２６．３６に螺
合される。このようにして、 ＣＣＤ撮像装置が組立て
られる。
４が設けられ、この清３４内にゴムバッキング６が挿入
される。光学部ホルダ１には、第３図Ａ及び第３図Ｂに
示すように、その略々対角線方向の一方に位置する一対
のねじ穴３５が形成され、略々対角線方向の他方に位置
する一対のねじ穴３６が形成され、ねじ穴３６の近傍に
一対の位置決め穴３７が穿設されている。ＣＣＤパッケ
ージ５が固着されたＣＣＤホルダ４に対し、光学フィル
タ８が取り付けられた光学部ホルダ１がゴムバッキング
６を介して積層される。この場合、ビン２７が位置決め
穴３７内に挿入されるようになされる。この状態で前面
から一対のねじ３８がねじ穴３５．２５に螺合されると
共に、背面から一対のねじ２８がねじ穴２６．３６に螺
合される。このようにして、 ＣＣＤ撮像装置が組立て
られる。
なお、この発明は、 ＣＣＤ撮像素子以外のＭＯ８撮像
素子などの固体撮像素子についても同様に適用すること
ができる。また、レンズは、交換レンズを用いても良く
、そのための保合手段を光学部ホルダに設けるようにし
ても良い。
素子などの固体撮像素子についても同様に適用すること
ができる。また、レンズは、交換レンズを用いても良く
、そのための保合手段を光学部ホルダに設けるようにし
ても良い。
この発明に依れば、 ＣＣＤパッケージ５に予めＣＯＤ
チップをダイポンドしておき、 ＣＣＤホルダ４に位置
決め手段により所定の位置関係で取付け、更に、光軸が
一致するように、レンズ及び光学フィルタ８が取付けら
れた光学部ホルダ１に位置決め手段により所定の位置関
係で結合できる。したがって、機構的な方法や、光学的
測定による方法によって、光軸、アオリなどの精度を出
すことができ、調整作業を従来のものに比して簡単に行
ないうる。
チップをダイポンドしておき、 ＣＣＤホルダ４に位置
決め手段により所定の位置関係で取付け、更に、光軸が
一致するように、レンズ及び光学フィルタ８が取付けら
れた光学部ホルダ１に位置決め手段により所定の位置関
係で結合できる。したがって、機構的な方法や、光学的
測定による方法によって、光軸、アオリなどの精度を出
すことができ、調整作業を従来のものに比して簡単に行
ないうる。
また、個々の部品を１個の７レームに順に取付ける必要
がなく、光学部ホルダ１が光学部と固体撮像素子の両者
を支持しているので、部品点数を少なくでき、小型、Ｓ
量の固体撮像装置を実現できる。然も、組立は、数点の
機械的部品及びビス類によ９行なえば良いので、半導体
用の無塵室にて一貫して組立を行なうことができ、テミ
の付着を確実に防止することが容易とできる。
がなく、光学部ホルダ１が光学部と固体撮像素子の両者
を支持しているので、部品点数を少なくでき、小型、Ｓ
量の固体撮像装置を実現できる。然も、組立は、数点の
機械的部品及びビス類によ９行なえば良いので、半導体
用の無塵室にて一貫して組立を行なうことができ、テミ
の付着を確実に防止することが容易とできる。
第１図はこの発明の一実施例の断面図、第２図はこの発
明の一実施例のＣＯＤユニットの分解斜視図、第３図嬬
この発明の一実施例における光学部ホルダの平面図及び
底面図、第４図は固体撮像装置の説明に用いる路線図、
第５図は従来の固体撮像装置の説明に用いる断面図及び
底面図である。 １：光学部ホルダ、２；レンズ鏡筒、３Ａ、 ３Ｂ：レ
ンズ、４ ： ＣＣＤホルダ、５ ： ＣＣＤパッケー
ジ、７：光学部ホルダの基部、８：光学フィルタ、９：
フィルタ抑え、１０：光学部ホルダの円筒部、１２ ：
ＣＣＤチップ、１３：色分解フィルタ。 代理人 杉浦正知
明の一実施例のＣＯＤユニットの分解斜視図、第３図嬬
この発明の一実施例における光学部ホルダの平面図及び
底面図、第４図は固体撮像装置の説明に用いる路線図、
第５図は従来の固体撮像装置の説明に用いる断面図及び
底面図である。 １：光学部ホルダ、２；レンズ鏡筒、３Ａ、 ３Ｂ：レ
ンズ、４ ： ＣＣＤホルダ、５ ： ＣＣＤパッケー
ジ、７：光学部ホルダの基部、８：光学フィルタ、９：
フィルタ抑え、１０：光学部ホルダの円筒部、１２ ：
ＣＣＤチップ、１３：色分解フィルタ。 代理人 杉浦正知
Claims (1)
- 固体撮像素子が取）付けられた撮ｇＩ！素子パッケージ
と、上記撮像素子パック−ジ、が所定の位置に配される
四部を有する撮像素子ホルダと、上記撮像素子ホルダの
前面に密着された状態で上記撮像素子ホルダと固着され
る基部及びこの基部に垂直に延長された円筒体を有する
光学部ホルダと、上記円筒体内に固定される光学フィル
タと、上記円筒体内にレンズ鏡筒が同軸的に嵌合される
レンズとを備えた固体撮像装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59068086A JPS60212070A (ja) | 1984-04-05 | 1984-04-05 | 固体撮像装置及び固体撮像装置の生産方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59068086A JPS60212070A (ja) | 1984-04-05 | 1984-04-05 | 固体撮像装置及び固体撮像装置の生産方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60212070A true JPS60212070A (ja) | 1985-10-24 |
| JPH0574270B2 JPH0574270B2 (ja) | 1993-10-18 |
Family
ID=13363573
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59068086A Granted JPS60212070A (ja) | 1984-04-05 | 1984-04-05 | 固体撮像装置及び固体撮像装置の生産方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60212070A (ja) |
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-
1984
- 1984-04-05 JP JP59068086A patent/JPS60212070A/ja active Granted
Patent Citations (1)
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Also Published As
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|---|---|
| JPH0574270B2 (ja) | 1993-10-18 |
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