JP2001292457A

JP2001292457A - 光学装置及びその製造方法

Info

Publication number: JP2001292457A
Application number: JP2000103602A
Authority: JP
Inventors: Akira Inoue; 晃井上; Toshiaki Hayashi; 俊明林; Koichi Yokozawa; 浩一横沢
Original assignee: Olympus Optical Co Ltd
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 2000-04-05
Filing date: 2000-04-05
Publication date: 2001-10-19

Abstract

(57)【要約】【課題】光学素子の相対的な配置、連結を容易にかつ
精度良く行うことができ、高精度な画像を形成可能であ
り、小型、軽量化を実現し得る光学装置を提供する。【解決手段】入射光を所定の原色光に分解する色分解
プリズム１１ａの出射端面から出射された所定の原色光
が照射されるＣＣＤ１２ａの受光面が所定の間隙を介し
て取付けられた光学装置において、前記色分解プリズム
１１ａの出射端面隅部に設けた面取形状部１４と、前記
ＣＣＤの入射端面隅部に設けた面取形状部１５との間を
丸棒状スペーサ１７を介して接着固定したことを特徴と
するものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、レンズ等の光学素
子を位置決めして配置する光学装置及びその製造方法に
関し、例えば、プリズムを保持した保持体に固体撮像素
子を位置決めして配置する撮像装置のような光学装置及
びその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】ＣＣＤ等の固体撮像素子又は撮像管等を
用いた光学装置の解像度を向上する取り組みとして、撮
像レンズからの被写体光を色分解プリズムにより赤成
分、緑成分、青成分の３成分に分解し、これらの光を固
体撮像素子等により受光し、変換することで該被写体の
像としている。

【０００３】例えば、実開昭６２−４７２８８号公報や
実開昭６２−４７２８９号公報等には、プリズムから出
射された複数成分の光をそれぞれのＣＣＤに入射させる
色分解光学系が開示されている。

【０００４】これらは、図６に示すように、固定金物５
０に保持された色分解プリズム５８と、取付金物５１に
保持されたＣＣＤ５５との間にクサビ状スペーサ５９を
接着固定したものである。

【０００５】しかし、ＣＣＤ５５は一般にセラミックパ
ッケージにＣＣＤ素子が収納されている。そして、セラ
ミックパッケージは焼結物であり、寸法精度が悪く、ク
サビ状スペーサ５９との接触面に不規則な間隙が生じ易
く、このため接着固定が不安定である。

【０００６】また、色分解プリズム５８と取付金物５１
との間に接着されるクサビ状スペーサ５９の接着部は、
色分解プリズム５８及び取付金物５１の接着部に対応し
た角度、面積とする必要があるため、全体として複雑な
形状となり、比較的高価な装置となってしまう。

【０００７】このような色分解プリズム５８の接着固定
の不安定要因を取り除くため、特開平５−３０８６４５
号公報では、図７に示すような色分解プリズム５８を具
備する光学素子保持部材７０とＣＣＤ８２を保持する保
持部材（取付金物）８０との対向する位置に、傾斜部７
１、８１を設け、その間に丸棒状スペーサ７５を配置
し、接着固定することが提案されている。

【０００８】また、特開平４−１３３００８号公報のよ
うに、固体撮像素子パッケージの側面部と色分解プリズ
ムの出射面とを、円柱状のガラスピースを用いて直接、
接着固定することが提案されている。

【０００９】さらに、特開平９−１６３３８９号公報の
ように、ＣＣＤの保持強度を向上させる目的により、プ
リズムと固体撮像素子とを連結ブロックを用いて接着固
定することも提案されている。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た特開平５−３０８６４５号公報の技術では、光学素子
保持部材７０を色分解プリズム５８に接着固定した後、
接着固定した光学素子保持部材７０の傾斜部７１と保持
部材８０の傾斜部８１とを丸棒状スペ−サ７５を用いて
接着するものであり、このような構成だと、光学素子保
持部材７０が存在するため、光学装置を小型、軽量化す
ることが困難である。また、接着作業が多くコスト高に
なる。

【００１１】また、特開平４−１３３００８号公報で
は、固体撮像素子とプリズムとを直接接着しているが、
一般的に固体撮像素子のパッケージは、焼結物により素
子外周を囲むように作製されている。

【００１２】そのため、固体撮像子パッケージ側面部と
プリズム出射面とによる接着の場合、プリズムの出射面
を光学系有効面積以上にしなければならない。したがっ
て、光学装置として、小型、軽量化することが困難であ
る。

【００１３】特に、ガラスプリズムである場合、ガラス
の比重が大きいため、軽量化を実果することが難しい。

【００１４】また、この公報の技術では、固体撮像素子
に対して平面方向（Ｘ、Ｙ方向）及び回転方向（Ｚθ方
向）への調整は可能であるが、固体撮像素子とプリズム
出射面との僅かな傾き（チルト調整、Ｘθ、Ｙθ方向）
を調整することが極めて困難である。

【００１５】同様に、特開平９−１６３３８９号公報で
は、プリズム側面からガラスブロックを用いて固体撮像
素子を接着固定しており、固体撮像素子に対して平面方
向（Ｘ、Ｙ方向）及び回転方向（Ｚθ方向）への調整は
可態であるが、傾き調整（チルト調整、Ｘθ、Ｙθ方
向）が極めて困難である。

【００１６】そのため、色分解光学系の大きな特徴であ
る高解像度化への大きな課題といえる（各成分の固体撮
像素子の位置を微調整することにより、各成分の像を画
像としている）。

【００１７】本発明は、上述した問題点に鑑みてなされ
たもので、プリズム、レンズ、固体撮像素子等の光学素
子の相対的な配置、連結を容易にかつ精度良く行うこと
ができ、高精度な画像を形成可能であり、小型、軽量化
を実現し得る光学装置及びかかる光学装置の製造方法を
提供することを目的とするものである。

【００１８】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
入射光を所定の原色光に分解する光学素子の出射端面
と、その出射端面から出射された所定の原色光が照射さ
れる固体撮像素子の受光面が所定の間隙を介して取付け
られた光学装置において、前記光学素子の出射端面隅部
に設けた面取形状部と、前記固体撮像素子の入射端面隅
部に設けた面取形状部との間を間隔保持体を介して接着
固定したことを特徴とするものである。

【００１９】本発明のように、光学素子と固体撮像素子
との間に、所定の間隙を設けられた光学装置の場合、本
発明のように間隔保持体を用いず、接着剤により所定の
間隙を設けることもできる。

【００２０】しかし、接着剤のような有機物を介した間
隙の場合、温度、湿度による影響が大きくなることが確
認されている。つまり、初期状態では、十分に位置精度
よく接着固定されている固体撮像素子が、温度、湿度の
変化により位置ずれが生じてしまいこのため撮像する画
像が乱れてしまう。これは、接着剤等のような有機物で
は、温度、湿度特性がガラス等の無機物と大きく異な
り、変形し易いことが原因であり、一般的な接着剤を用
いた場合、避けることができない大きな課題であった。

【００２１】しかし、本発明のような間隔保持体を用い
ることで、接着剤の温度、湿度特性に左右される程度が
極端に減少し、温度、湿度による固体撮像素子の位置ず
れを防止し、高精度な画像形成が可能となる。

【００２２】また、上述した両面取形状部を利用して間
隔保持体を配置することで、光学装置自体の小型化、軽
量化が可能となる。

【００２３】請求項２記載の発明は、入射光を所定の原
色光に分解する光学素子と、この光学素子の出射端面側
に配置した光透過性を有する取付治具と、前記光学素
子、取付治具を経て出射された所定の原色光が照射され
る受光面が前記取付治具に対して所定の間隙を有して配
置された固体撮像素子とを有する光学装置において、前
記取付治具の出射端面隅部に設けた面取形状部と、前記
固体撮像素子の入射端面隅部に設けた面取形状部との間
を間隔保持体を介して接着固定したことを特徴とするも
のである。

【００２４】この発明によれば、請求項１記載の発明の
場合と同様な作用を発揮することに加え、前記取付治具
を用いていることにより、光学素子、固体撮像素子の形
状、サイズの相違にも柔軟に対応可能となる。

【００２５】請求項３記載の発明は、撮影レンズに入射
された被写体からの光を所定の原色光に分解する光学素
子の出射端面と、その出射端面から出射された所定の原
色光が照射される固体撮像素子の受光面が所定の間隙を
介して取付けられた光学装置の製造方法において、前記
光学素子の出射端面と、前記固体撮像素子の受光面との
位置を原色光に分解された光により結像されるように調
整した後、前記光学素子の出射端面隅部に設けた面取形
状部と、前記固体撮像素子の入射端面隅部に設けた面取
形状部との間に間隔保持体を接着固定することを特徴と
するものである。

【００２６】この発明によれば、請求項１記載の発明の
作用を発揮する光学装置を簡略な工程で生産性よく製造
することができる。

【００２７】請求項４記載の発明は、入射光を所定の原
色光に分解する光学素子と、この光学素子の出射端面側
に配置した光透過性を有する取付治具と、前記光学素
子、取付治具を経て出射された所定の原色光が照射され
る受光面が前記取付治具に対して所定の間隙を有して配
置された固体撮像素子とを有する光学装置の製造方法に
おいて、前記光学素子の出射端面と、前記固体撮像素子
の受光面との位置を原色光に分解された光により結像さ
れるように調整した後、前記取付治具の出射端面隅部に
設けた面取形状部と、前記固体撮像素子の入射端面隅部
に設けた面取形状部との間に間隔保持体を接着固定する
ことを特徴とするものである。

【００２８】この発明によれば、請求項２記載の発明の
作用を発揮する光学装置を簡略な工程で生産性よく製造
することができる。

【００２９】

【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を詳細
に説明する。

【００３０】（実施の形態１）図１乃至図４を参照して
本発明の実施の形態１の光学装置について説明する。

【００３１】この光学装置は、図１に示すように、３個
の光学素子である色分解プリズム１１ａ、１１ｂ、１１
ｃに、各々固体撮像素子としてのＣＣＤパッケージ（以
下「ＣＣＤ」という）１２ａ、１２ｂ、１２ｃを取付け
ている。さらに、図示しないがレンズマウント、撮影レ
ンズ等が取付けられる。

【００３２】前記色分解プリズム１１ａ、１１ｂ、１１
ｃは、赤成分、緑成分、青成分の電気信号を取り出すた
めに、各々の出射端面１３にＣＣＤ１２ａ、１２ｂ、１
２ｃを取付けている。

【００３３】この光学装置においては、図示しないレン
ズを通った入射光ａが、色分解プリズム１１ａの入射端
面に入射する。色分解プリズム１１ａはビームスプリッ
タとして機能し、入射光ａを直交する３方向（ａ_Ｒ、ａ
_Ｇ、ａ_Ｂ）に分割する。分割された入射光ａは、３方向
の出射光として出射端面から出射され、３成分（赤、
緑、青）の１２ａ、１２ｂ、１２ｃに入射し、各々電気
信号に変換される。

【００３４】図３は、色分解プリズム１１ｃの出射端面
１３と、ＣＣＤ１２ｃとを丸棒状スペーサ１７を介して
接着剤１６にて接着固定した部分の拡大図である．

【００３５】前記色分解プリズム１１ａと、色分解プリ
ズム１１ｂとの間には、図２に示すように、約２０μｍ
程度の空隙１０が形成されている。この空隙１０は、例
えば色分解プリズム１１ａと、色分解プリズム１１ｂと
の各端縁部に接着板を介在させるか、又は金属箔を挟ん
で接着剤により接着固定することにより形成するもので
ある。前記色分解プリズム１１ｂと、色分解プリズム１
１ｃとは、全面接着固定される。

【００３６】さらに、前記色分解プリズム１１ａの色分
解プリズム１１ｂ側の端面１３ａには、青色を反射する
ダイクロイック膜が成膜される。従って、入射光ａは、
端面１３ａにて青色成分のみ反射し、この青色成分はさ
らに色分解プリズム１１ａの入射面で反射し（この場合
入射面への入射角は小さく全反射となる）、出射端面１
３を経て前記ＣＣＤ１２ｂに至る。

【００３７】前記端面１３ａにて青色成分のみが反射さ
れた入射光ａは、色分解プリズム１１ｂ内を直進し、色
分解プリズム１１ｃとの接合面に至る。この接合面には
赤色を反射するダイクロイック膜が成膜され、この接合
面にて赤色成分が反射し、さらに色分解プリズム１１ｂ
の入射面に至り、ここで前記空隙１０の存在のためこの
入射面にて反射し、出射端面１３を経て前記ＣＣＤ１２
ａに至る。

【００３８】青色成分、赤色成分が反射された入射光ａ
は、色分解プリズム１１ｃ内を経て出射端面１３から前
記ＣＣＤ１２ｃに至る。

【００３９】前記色分解プリズム１１ａ、１１ｂ、１１
ｃの各出射端面１３には、所定波長域のみを透過するよ
うなフィルタ１９が接合されており、ＣＣＤ１２ａ、１
２ｂ、１２ｃには所望波長の光成分のみが入射する。

【００４０】次に、上述の光学装置の製造方法を説明す
る。まず、色分解プリズム１１ａ、１１ｂ、１１ｃを、
図示していないが、撮影レンズが保持されている取付け
治具に取付ける。色分解プリズム１１ａ、１１ｂ、１１
ｃの各出射端面１３側にはＣＣＤ１２ａ、１２ｂ、１２
ｃが取付けられるため、各ＣＣＤ１２ａ、１２ｂ、１２
ｃの姿勢が図示しない調整治具を介して調整される。

【００４１】次に、図示しない取付金物が動かされ、Ｃ
ＣＤ１２ａ、１２ｂ、１２ｃは取付金物を介して機械的
に位置決めされる。そして、ＣＣＤ１２ａ、１２ｂ、１
２ｃの各素子面が色分解プリズム１１ａ、１１ｂ、１１
ｃの各出射光の焦点に合わされる。

【００４２】このようなＣＣＤ１２ａ、１２ｂ、１２ｃ
の姿勢調整は、色分解プリズム１１ａ、１１ｂ、１１ｃ
からの出射する出射光の合焦点を支点又は基準として行
われる。そして、ＣＣＤ１２ａ（ＣＣＤ１２ｂ、１２ｃ
も同様）の素子面１２ａ’に対して、図４に示すよう
に、傾き調整（チルト調整、Ｘ_θ，Ｙ_θ）、回転方向調
整（θ_Ｚ調整）、平面方向調整（ＸＸ，ＹＹ調整）等の
各調整が施される。この場合、ＣＣＤ１２ａの調整は、
分解された色成分を受光したＣＣＤ１２ａの出力信号に
よる画像を見ながら実施される。ＣＣＤ１２ｂ、１２ｃ
についても同様である。

【００４３】ＣＣＤ１２ａ、１２ｂ、１２ｃの姿勢調整
後に、調整治具の位置をそのままにして、図３に拡大し
て示すように、例えば色分解プリズム１１ｃに形成した
面取形状部１４、ＣＣＤ１２ｃに形成した面取形状部１
５、又は間隔保持体である丸棒状スペーサ１７に高粘度
の紫外線硬化型の接着剤１６を供給する。

【００４４】高粘度の紫外線硬化型接着剤１６を用いる
理由は、色分解プリズム１１ｃ及び取付金具のどのよう
な姿勢にも拘わらずに、接着剤１６の流出を防止するた
めである。

【００４５】さらに詳述すると、前記色分解プリズム１
１ａ、１１ｂ、１１ｃの出射端面１３の端部と、ＣＣＤ
１２ａ、１２ｂ、１２ｃの対向する端部には、図３に示
すように面取形状部１４、１５がそれぞれ設けられてお
り、間隔保持体である丸棒状スペーサ１７が配置できる
ようになっている。

【００４６】面取形状部１４、１５の傾き及び丸棒状ス
ペーサ１７の寸法は限定されるものではない。しかし、
両者の形状は、必ず丸棒状スペーサ１７が配置できるよ
うにしなければならない。

【００４７】丸棒状スペーサ１７が面取形状部１４、１
５内に配置され、その傾斜面に適当な圧力で押付けられ
る。これにより丸棒状スペーサ１７が接着剤１６上に保
持される。

【００４８】この後、接着剤１６に紫外線を当て、面取
形状部１４、１５において同時に接着剤１６を硬化させ
る。接着剤１６の硬化の後、取付金物を保持した前記調
整治具が取り外される。

【００４９】上述した面取形状部１４、１５の傾斜角度
は、丸棒状スペーサ１７の配置を考慮して、４５乃至８
０度程度が望ましいが特に限定されない。また、丸棒状
スペーサ１７の形状は、楕円形等にすることも可態であ
る。

【００５０】前記丸棒状スペーサ１７の材質としては、
紫外線が透過し、色分解プリズム１１ａ、１１ｂ、１１
ｃ及びＣＣＤ１２ａ、１２ｂ、１２ｃの熱線膨張係数と
同じ程度の熱線膨張係数をもったガラスがもっとも望ま
しい。

【００５１】また、丸棒状スペーサ１７と色分解プリズ
ム１１ａ、１１ｂ、１１ｃ及びＣＣＤ１２ａ、１２ｂ、
１２ｃとの接着に用いる接着剤は、紫外線硬化型接着剤
に限定されるものではなく、エポキシ系、ウレタン系等
多くの接着剤を使用することができる。

【００５２】しかし、加熱軟化するような接着剤では、
高温状態での分解プリズム１１ａ、１１ｂ、１１ｃとＣ
ＣＤとの位置が微妙にずれ結像された画像の精細さが減
少するため好ましくない。

【００５３】（実施の形態２）本発明の実施の形態２を
図５を参照して説明する。

【００５４】本実施の形態２の光学装置の構成、製造方
法は、実施の形態１と略同様であるが、色分解プリズム
１１ａ、１１ｂ、１１ｃの各出射端面１３側に、面取形
状部４２を有する取付治具４１を接着剤により接着固定
し、各取付治具４１と前記ＣＣＤ１２ａ、１２ｂ、１２
ｃとを、各々取付治具４１の面取形状部４２と、前記面
取形状部１５との間に配置した丸棒状スペーサ１７を介
して接着固定したことが特徴であり、これ以外の構成
は、実施の形態１と同一である。

【００５５】前記取付治具４１は、例えば色分解プリズ
ム１１ａのガラス素材と同程度の熱線膨張係数を有する
チタン製の治具を用いて形成している。尚、材質はチタ
ンに限定されるものではなく、熱線膨張係数が同程度で
あれば、種々の材質でも代用できる。また、熱線膨張係
数が異なる寄合においても、ゴム弾性を有する接着剤を
用いて接着固定することで対応することも可能である。

【００５６】本実施の形態２の光学装置によれば、前記
面取形状部４２を有する取付治具４１を用いた構成であ
るため、色分解プリズム１１ａ、１１ｂ、１１ｃの各出
射端面１３側には実施の形態１のような面取形状部１４
を設けることが不要となり、色分解プリズム１１ａ、１
１ｂ、１１ｃに対する面取形状部１４の加工工程を省略
できる。即ち、色分解プリズム１１ａ、１１ｂ、１１ｃ
の出射端面１３側を平面研磨するだけで済み、面取形状
部１４の隅部に生じやすいチッピングの問題を回避でき
る。

【００５７】また、ＣＣＤ１２ａ、１２ｂ、１２ｃのサ
イズと、色分解プリズム１１ａ、１１ｂ、１１ｃのサイ
ズとが異なる場合でも、取付治具４１の形状、サイズ変
更で対応できる利点もある。

【００５８】本実施の形態１、２の光学装置と比較例と
の評価結果を表１に示す。

【００５９】

【表１】

【００６０】本発明の実施の形態１、２の光学装置、比
較例（ガラスブロック）の評価は、標準チャートを撮影
して行った。その評価方法は、各成分光により結像され
た画像の標準線の位置ズレを読むことにより行った。

【００６１】そして位置ずれを初期、温度湿度サイクル
試験（−２０℃〜７０℃、４０％ＲＨ、３サイクル）、
高温、高湿試験（４０℃、９０％ＲＨ、３日間）経過後
で測定した。

【００６２】表１から明らかなように、本発明の実施の
形態１、２の光学装置とも画像の標準線の位置ズレは、
初期、温度湿度サイクル試験、高温、高湿試験のいずれ
の場合も発生せず良好な結果が得られた。

【００６３】

【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、光学素
子、固体撮像素子等の相対的な位置決めを容易、かつ精
度良く行い、安定に固定することができ、かつ、装置自
体を小型、軽量化した光学装置を提供することができ
る。

【００６４】請求項２記載の発明によれば、請求項１記
載の発明と同様な効果を発揮するとともに、光学素子、
固体撮像素子の形状、サイズの相違に柔軟に対応でき、
構成の自由度が大きい光学装置を提供することができ
る。

【００６５】請求項３記載の発明によれば、請求項１記
載の発明の作用を発揮する光学装置を簡略な工程で生産
性よく製造することができる光学装置の製造方法を提供
することができる。

【００６６】請求項４記載の発明によれば、請求項１記
載の発明の作用を発揮する光学装置を簡略な工程で生産
性よく製造することができる光学装置の製造方法を提供
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態１の光学装置を示す概略構
成図である。

【図２】本実施の形態１の光学装置の色分解プレズムの
部分拡大図である。

【図３】本実施の形態１の光学装置の色分解プレズム、
ＣＣＤ、丸棒状スペーサを示す部分拡大図である。

【図４】本実施の形態１の光学装置の傾き、回転方向、
平面方向の調整方法を示す説明図である。

【図５】本発明の実施の形態２の光学装置を示す概略構
成図である。

【図６】従来の光学装置の一例を示す概略構成図であ
る。

【図７】従来の光学装置の他例を示す概略構成図であ
る。

【符号の説明】

１０空隙１１ａ色分解プリズム１１ｂ色分解プリズム１１ｃ色分解プリズム１２ａＣＣＤ１２ｂＣＣＤ１２ｃＣＣＤ１３出射端面１４面取形状部１５面取形状部１６接着剤１７丸棒状スペーサ１９フィルタ４１取付治具

フロントページの続き (72)発明者横沢浩一東京都渋谷区幡ヶ谷２丁目43番２号オリンパス光学工業株式会社内Ｆターム(参考） 2H042 CA08 CA14 CA17 5C065 AA01 BB42 BB43 CC01 DD02 EE01

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】入射光を所定の原色光に分解する光学素
子の出射端面と、その出射端面から出射された所定の原
色光が照射される固体撮像素子の受光面が所定の間隙を
介して取付けられた光学装置において、前記光学素子の出射端面隅部に設けた面取形状部と、前
記固体撮像素子の入射端面隅部に設けた面取形状部との
間を間隔保持体を介して接着固定したことを特徴とする
光学装置。
【請求項２】入射光を所定の原色光に分解する光学素
子と、この光学素子の出射端面側に配置した光透過性を
有する取付治具と、前記光学素子、取付治具を経て出射
された所定の原色光が照射される受光面が前記取付治具
に対して所定の間隙を有して配置された固体撮像素子と
を有する光学装置において、前記取付治具の出射端面隅部に設けた面取形状部と、前
記固体撮像素子の入射端面隅部に設けた面取形状部との
間を間隔保持体を介して接着固定したことを特徴とする
光学装置。
【請求項３】撮影レンズに入射された被写体からの光
を所定の原色光に分解する光学素子の出射端面と、その
出射端面から出射された所定の原色光が照射される固体
撮像素子の受光面が所定の間隙を介して取付けられた光
学装置の製造方法において、前記光学素子の出射端面と、前記固体撮像素子の受光面
との位置を原色光に分解された光により結像されるよう
に調整した後、前記光学素子の出射端面隅部に設けた面取形状部と、前
記固体撮像素子の入射端面隅部に設けた面取形状部との
間に間隔保持体を接着固定すること光学装置の製造方
法。
【請求項４】入射光を所定の原色光に分解する光学素
子と、この光学素子の出射端面側に配置した光透過性を
有する取付治具と、前記光学素子、取付治具を経て出射
された所定の原色光が照射される受光面が前記取付治具
に対して所定の間隙を有して配置された固体撮像素子と
を有する光学装置の製造方法において、前記光学素子の出射端面と、前記固体撮像素子の受光面
との位置を原色光に分解された光により結像されるよう
に調整した後、前記取付治具の出射端面隅部に設けた面取形状部と、前
記固体撮像素子の入射端面隅部に設けた面取形状部との
間に間隔保持体を接着固定することを特徴とする光学装
置の製造方法。