JPS6335989U - - Google Patents

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JPS6335989U
JPS6335989U JP1986129078U JP12907886U JPS6335989U JP S6335989 U JPS6335989 U JP S6335989U JP 1986129078 U JP1986129078 U JP 1986129078U JP 12907886 U JP12907886 U JP 12907886U JP S6335989 U JPS6335989 U JP S6335989U
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JP
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column
rotate
shaped body
stage
precision moving
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Application number
JP1986129078U
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Publication of JPS6335989U publication Critical patent/JPS6335989U/ja
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Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
    • G02B7/182—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
    • G02B7/1822—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors comprising means for aligning the optical axis
    • G02B7/1824—Manual alignment
    • G02B7/1825—Manual alignment made by screws, e.g. for laser mirrors

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
  • Electron Beam Exposure (AREA)
  • Machine Tool Units (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案に係る高精度移動ステージ装置
の一実施例を示す平面図、第２図は同じく断面図
、第３図は同じくステージと支持台との間に介在
された弾性部材の設置状態を示す拡大断面図、第
４図は同じくステージの歪み変形状態を示す説明
図、第５図はステージと支持台との間に介在され
た弾性部材の他の設置状態を示す拡大断面図、第
６図は同じく第５図―線矢視方向から見た拡
大断面図、第７図から第９図は弾性部材の他の設
置状態の各例をそれぞれ示す拡大断面図、第１０
図は従来の高精度移動ステージ装置を示す平面図
、第１１図は同じく断面図である。 １……ベース、２……ガイドウエイ、３……Ｘ
ステージ、５……Ｙステージ、６……被処理材固
定具、７……レーザミラー、１１……支持台、１
２……凹部、１３……弾性部材、１４……柱形状
体、１５，１６……くびれ部、Ｗ……被処理材。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) ガイドウエイを介して少なくとも一軸方向
    に移動可能で位置測定用レーザミラー及び被処理
    材が備えられる高精度移動ステージ装置において
    、ステージ上にステージ走行方向を含む平面に対
    してほぼ平行な取付面を有する支持台を配置する
    とともに、前記ステージと支持台との間に、ステ
    ージ走行方向を含む平面と直交する軸方向に対し
    て微小範囲で回転可能な複数の弾性部材を支点と
    して介在させ、これら各々の弾性部材の少なくと
    も１支点が回転のみ可能で、かつ他の少なくとも
    ２支点を回転及び平行移動可能にしたことを特徴
    とする高精度移動ステージ装置。 (2) 微小範囲で回転可能な複数の弾性部材は、
    柱形状体からなり、この柱形状体の途中に充分に
    細いピン形状のくびれ部を形成したことを特徴と
    する実用新案登録請求の範囲第１項に記載の高精
    度移動ステージ装置。 (3) 微小範囲で回転可能な複数の弾性部材は、
    柱形状体からなり、この柱形状体の途中に充分に
    薄い平板状のくびれ部を形成したことを特徴とす
    る実用新案登録請求の範囲第１項に記載の高精度
    移動ステージ装置。
JP1986129078U 1986-08-25 1986-08-25 Pending JPS6335989U (ja)

Priority Applications (2)

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JP1986129078U JPS6335989U (ja) 1986-08-25 1986-08-25
US07/539,614 US5101301A (en) 1986-08-25 1990-06-18 High-accuracy traveling table apparatus

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JP1986129078U JPS6335989U (ja) 1986-08-25 1986-08-25

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JPS6335989U true JPS6335989U (ja) 1988-03-08

Family

ID=15000530

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US (1) US5101301A (ja)
JP (1) JPS6335989U (ja)

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US5101301A (en) 1992-03-31

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