JPH0497209A - 物体の保持機構 - Google Patents
物体の保持機構Info
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- JPH0497209A JPH0497209A JP21047990A JP21047990A JPH0497209A JP H0497209 A JPH0497209 A JP H0497209A JP 21047990 A JP21047990 A JP 21047990A JP 21047990 A JP21047990 A JP 21047990A JP H0497209 A JPH0497209 A JP H0497209A
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- holding
- groove
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- holding plate
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- Granted
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- 230000007246 mechanism Effects 0.000 title claims abstract description 17
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 9
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
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- Lens Barrels (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、保持角度を調節可能に保持する必要がある物
体例えばレンズ等の光学部品等の物体の保持機構に関す
るものである。
体例えばレンズ等の光学部品等の物体の保持機構に関す
るものである。
［従来の技術］
光学部品等のように、物体の傾斜角度を調節可能に保持
する必要がある場合には、平板状の保持板の底面を軸支
し、少なくとも二つが保持板の底面に直角な方向に変位
可能である三つのピヴォットを使用した保持機構が、良
く採用される。
する必要がある場合には、平板状の保持板の底面を軸支
し、少なくとも二つが保持板の底面に直角な方向に変位
可能である三つのピヴォットを使用した保持機構が、良
く採用される。
第３図は、従来の物体の保持機構のうち保持板の底面を
示す平面図であり、第４図は、第３図の保持板を使用し
た従来の保持機構を説明するために示した図で、第３図
の線Ｙ−Ｙでの断面図になっている。
示す平面図であり、第４図は、第３図の保持板を使用し
た従来の保持機構を説明するために示した図で、第３図
の線Ｙ−Ｙでの断面図になっている。
第３図、第４図において、２１は物体１を保持する支持
体であり、この支持体２１の上面２２が保持板２に固着
されている。
体であり、この支持体２１の上面２２が保持板２に固着
されている。
保持板２の底面を三つのピヴォットで軸支する場合には
、通常ピヴォット軸受として、円錐凹面体３０ａ、Ｖ溝
体３０ｂ及び平面体３０ｃが、三つのピヴオットにそれ
ぞれ対遇するように構成される。
、通常ピヴォット軸受として、円錐凹面体３０ａ、Ｖ溝
体３０ｂ及び平面体３０ｃが、三つのピヴオットにそれ
ぞれ対遇するように構成される。
そして、円錐凹面体３０ａよりなるピヴオット軸受が、
物体１に対する所定の点Ｓを長辺の中点とした直角二等
辺三角形の直角の頂点Ａの位置に位置するように配置す
る（この物体ｌに対する所定の点Ｓとは、保持角度調整
の際に基準となる点で、例えば、物体がレンズの場合に
はレンズの光軸中心がこの基準点Ｓにあたる、以下基準
点Ｓという）。
物体１に対する所定の点Ｓを長辺の中点とした直角二等
辺三角形の直角の頂点Ａの位置に位置するように配置す
る（この物体ｌに対する所定の点Ｓとは、保持角度調整
の際に基準となる点で、例えば、物体がレンズの場合に
はレンズの光軸中心がこの基準点Ｓにあたる、以下基準
点Ｓという）。
■溝体３０ｂよりなるピヴォット軸受及び平面体３０ｃ
よりなるピヴォット軸受は、それぞれ直角二等辺三角形
の他の頂点Ｂ、Ｃの位置に位置するように配置する。
よりなるピヴォット軸受は、それぞれ直角二等辺三角形
の他の頂点Ｂ、Ｃの位置に位置するように配置する。
以上の構成において、調整ねじ４０ａ２もしくは４０ｂ
２を調節して、三つのピヴォット対遇の中立点を結んで
できる平面Ｐ内に基準点を正しく位置させる。
２を調節して、三つのピヴォット対遇の中立点を結んで
できる平面Ｐ内に基準点を正しく位置させる。
尚、以下の説明の便宜上、中立点とは円錐凹面体よりな
るピヴオット軸受及びＶ溝体よりなるピヴオット軸受の
場合、対遇するピヴォットの先端が球面の場合には、該
球面の中心（第４図の０）を中立点といい対遇するピヴ
オットの先端が円錐状に場合には、先端の点を中立点と
いう。
るピヴオット軸受及びＶ溝体よりなるピヴオット軸受の
場合、対遇するピヴォットの先端が球面の場合には、該
球面の中心（第４図の０）を中立点といい対遇するピヴ
オットの先端が円錐状に場合には、先端の点を中立点と
いう。
［発明が解決しようとする課題］
従来の光学部品の保持機構としては、上記のよに構成さ
れているために次のような問題点を有していた。
れているために次のような問題点を有していた。
■三つのピヴオット軸受が、円錐凹面体、■溝体及び平
面体というそれぞれ異なる形状のため、必要な形状寸法
精度のものを作るのに非常に手間がかかり、生産性が良
くない。
面体というそれぞれ異なる形状のため、必要な形状寸法
精度のものを作るのに非常に手間がかかり、生産性が良
くない。
■精度の高い角度調節のためには、三つのピヴすット対
遇の中立点を結んでできる平面内に、前記基準点が正し
く位置することが必要となる。
遇の中立点を結んでできる平面内に、前記基準点が正し
く位置することが必要となる。
しかし、前記のように三つのビッヴオト軸受が、それぞ
れ異なる形状のため、三つのピヴォット対遇の中立点を
結んでてきる平面Ｐ内に、前記基準点を正しく位置させ
ることは、かなり面倒になる。
れ異なる形状のため、三つのピヴォット対遇の中立点を
結んでてきる平面Ｐ内に、前記基準点を正しく位置させ
ることは、かなり面倒になる。
この発明はかかる従来の課題を解決するためになされた
もので、必要な形状寸法精度のものを作るのが容易で生
産性が高く、精度の高い角度調節の可能な物体の保持機
構を提供することを目的とする。
もので、必要な形状寸法精度のものを作るのが容易で生
産性が高く、精度の高い角度調節の可能な物体の保持機
構を提供することを目的とする。
［Ｎ題を解決するための手段］
上記の目的を達成するために、この発明の物体の保持機
構は物体を保持する保持板と、該保持板の底面に設けら
れた三つのＶ溝体と、該三つの■溝体のＶ溝で保持板を
軸支し、少なくとも二つが保持板の底面に直角な方向に
変位可能な三つのピヴォットとよりなり、三つのＶ溝体
のうち、第一のＶ溝体は前記物体に対する所定の点を長
辺の中点とした直角三角形の直角の頂点の位置に位置し
、第二のＶ溝体は該直角三角形の直角の頂点以外の第一
の頂点の位置に位置し、第三のＶ溝体は該直角三角形の
直角の頂点以外の第二の頂点の位置に位置し、さらに、
第一のＶ溝体のＶ溝は、前記直角三角形の長辺の中心と
前記直角の頂点とを結ぶ方向に向き第二のＶ溝体のＶ溝
は、前記直角の頂点以外の第一の頂点と前記直角の頂点
を結ぶ方向に向き、第三のＶ溝体のＶ溝は、前記直角の
頂点以外の第二の頂点と前記直角の頂点を結ぶ方向に向
く構成を有するものである。
構は物体を保持する保持板と、該保持板の底面に設けら
れた三つのＶ溝体と、該三つの■溝体のＶ溝で保持板を
軸支し、少なくとも二つが保持板の底面に直角な方向に
変位可能な三つのピヴォットとよりなり、三つのＶ溝体
のうち、第一のＶ溝体は前記物体に対する所定の点を長
辺の中点とした直角三角形の直角の頂点の位置に位置し
、第二のＶ溝体は該直角三角形の直角の頂点以外の第一
の頂点の位置に位置し、第三のＶ溝体は該直角三角形の
直角の頂点以外の第二の頂点の位置に位置し、さらに、
第一のＶ溝体のＶ溝は、前記直角三角形の長辺の中心と
前記直角の頂点とを結ぶ方向に向き第二のＶ溝体のＶ溝
は、前記直角の頂点以外の第一の頂点と前記直角の頂点
を結ぶ方向に向き、第三のＶ溝体のＶ溝は、前記直角の
頂点以外の第二の頂点と前記直角の頂点を結ぶ方向に向
く構成を有するものである。
［作用］
上記の構成を有することにより簡単な方法て、三つのピ
ヴオット対遇の中立点を結んてできる平面Ｐ内に、基準
点を正しく位置させることかできる。
ヴオット対遇の中立点を結んてできる平面Ｐ内に、基準
点を正しく位置させることかできる。
［実施例コ
第１図は本発明の一実施例である物体の保持機構のうち
の保持板の底面を示す平面図てあり、第２図は第１図の
線Ｘ−ｘでの断面図である。
の保持板の底面を示す平面図てあり、第２図は第１図の
線Ｘ−ｘでの断面図である。
第１図において、物体ｌを保持する支持体２１の上面２
２は保持板２に対してねし２３によって固着されており
、この保持板２は調整ねし４ｂ２．４ｃ２により各々の
高さ方向の調整かなされる。ピヴォット４ａは基板５に
固定され、先端にボール４ａｌを有し、保持板２に固定
されたＶ溝体３ａに当接する。また、とヴオット４ｂは
基板５に螺合し、先端にボール４ｂｌを有し、保持板２
に固定されたＶ溝体３ｂに当接する。そして、摘み部４
ｂ２を回すと、保持板２の底面２０に直角な方向に変位
か可能である。さらに、ピヴオツ）４ｃもピヴオット４
ｂと同じように、基板５に螺合し、先端にボール４ｃｌ
を有し、保持板２に固定されたＶ溝体３Ｃに当接する。
２は保持板２に対してねし２３によって固着されており
、この保持板２は調整ねし４ｂ２．４ｃ２により各々の
高さ方向の調整かなされる。ピヴォット４ａは基板５に
固定され、先端にボール４ａｌを有し、保持板２に固定
されたＶ溝体３ａに当接する。また、とヴオット４ｂは
基板５に螺合し、先端にボール４ｂｌを有し、保持板２
に固定されたＶ溝体３ｂに当接する。そして、摘み部４
ｂ２を回すと、保持板２の底面２０に直角な方向に変位
か可能である。さらに、ピヴオツ）４ｃもピヴオット４
ｂと同じように、基板５に螺合し、先端にボール４ｃｌ
を有し、保持板２に固定されたＶ溝体３Ｃに当接する。
以上のような構成により、三つのＶ溝体３ａ。
３ｂ、３ｃは、同し形状寸法てかつ、加工に際しては部
品を一直線に並べてＶ溝を同時に加工するか、工作機械
て長いＶ溝体を形成し、切断すれば良い。それによって
、容易に必要な精度か得られる。その上、保持板２への
取付構造も同しにてきる。さらに、中立点を結んででき
る平面Ｐと基準点Ｓとを容易に一致させることができる
。
品を一直線に並べてＶ溝を同時に加工するか、工作機械
て長いＶ溝体を形成し、切断すれば良い。それによって
、容易に必要な精度か得られる。その上、保持板２への
取付構造も同しにてきる。さらに、中立点を結んででき
る平面Ｐと基準点Ｓとを容易に一致させることができる
。
上記の実施例の他に他の実施例として、■三つのピヴオ
ットすべて変位可としても良い、即ち、三つのピヴォッ
トを等距離、同方向に動かせば保持板は基準軸方向に平
行移動する。また、■固定ピヴォットは、他のピヴォッ
トでも良い。そして、■基準点Ｓは必ずしもレンズの光
学的中心になくとも良いが傾斜調節によってレンズの光
学的中心が大幅に光軸からずれる場合は、ＸＹ方向移動
機構か必要である。■Ｖ溝体な基板に、ピヴォットを支
持板に設けてもよい、さらに、物体としては投影露光装
置に組み込まれるフォトマスク等てあってもよい。
ットすべて変位可としても良い、即ち、三つのピヴォッ
トを等距離、同方向に動かせば保持板は基準軸方向に平
行移動する。また、■固定ピヴォットは、他のピヴォッ
トでも良い。そして、■基準点Ｓは必ずしもレンズの光
学的中心になくとも良いが傾斜調節によってレンズの光
学的中心が大幅に光軸からずれる場合は、ＸＹ方向移動
機構か必要である。■Ｖ溝体な基板に、ピヴォットを支
持板に設けてもよい、さらに、物体としては投影露光装
置に組み込まれるフォトマスク等てあってもよい。
［発明の効果］
以上説明したとおり、この発明によれば、必要な形状寸
法精度のものを簡単に作ることができるので生産性がよ
く、かつ、三つのピヴオット対遇の中立点を結んででき
る平面内に基準点を正しく位置させることができるので
、精度の高い角度調節が行える。
法精度のものを簡単に作ることができるので生産性がよ
く、かつ、三つのピヴオット対遇の中立点を結んででき
る平面内に基準点を正しく位置させることができるので
、精度の高い角度調節が行える。
第１図は本発明の一実施例である物体の保持機構のうち
の保持板の底面を示す平面図、第２図は第１図の線Ｘ−
ｘての断面図、第３図は従来の物体の保持機構のうち保
持板の底面を示す平面図、第４図は第３図の保持板を使
用した従来の保持機構を説明するために示した図である
。 図中。 １：物体 ２：保持板 ３ａ、３ｂ、３ｃ ：Ｖ溝体 ４ａｌ、４ｂｌ、４ｃｌ：ボール ４ｂ２，４ｃ２：ＩＩ整ねし ５：基板 Ｓ二基準焦 第１し１ 代理人 弁理士 １）北 嵩 晴 第２図
の保持板の底面を示す平面図、第２図は第１図の線Ｘ−
ｘての断面図、第３図は従来の物体の保持機構のうち保
持板の底面を示す平面図、第４図は第３図の保持板を使
用した従来の保持機構を説明するために示した図である
。 図中。 １：物体 ２：保持板 ３ａ、３ｂ、３ｃ ：Ｖ溝体 ４ａｌ、４ｂｌ、４ｃｌ：ボール ４ｂ２，４ｃ２：ＩＩ整ねし ５：基板 Ｓ二基準焦 第１し１ 代理人 弁理士 １）北 嵩 晴 第２図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 物体を保持する保持板と、 該保持板の底面に設けられた三つのＶ溝体と、該三つの
Ｖ溝体のＶ溝で保持板を軸支し、少なくとも二つが保持
板の底面に直角な方向に変位可能な三つのピヴォットと
よりなり、 三つのＶ溝体のうち、 第一のＶ溝体は前記物体に対する所定の点を長辺の中点
とした直角三角形の直角の頂点の位置に位置し、 第二のＶ溝体は該直角三角形の直角の頂点以外の第一の
頂点の位置に位置し、 第三のＶ溝体は該直角三角形の直角の頂点以外の第二の
頂点の位置に位置し、 さらに、 第一のＶ溝体のＶ溝は、前記直角三角形の長辺の中心と
前記直角の頂点とを結ぶ方向に向き第二のＶ溝体のＶ溝
は、前記直角の頂点以外の第一の頂点と前記直角の頂点
を結ぶ方向に向き、第三のＶ溝体のＶ溝は、前記直角の
頂点以外の第二の頂点と前記直角の頂点を結ぶ方向に向
くことを特徴とする物体の保持機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21047990A JP2759894B2 (ja) | 1990-08-10 | 1990-08-10 | 物体の保持機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21047990A JP2759894B2 (ja) | 1990-08-10 | 1990-08-10 | 物体の保持機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0497209A true JPH0497209A (ja) | 1992-03-30 |
| JP2759894B2 JP2759894B2 (ja) | 1998-05-28 |
Family
ID=16590028
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21047990A Expired - Fee Related JP2759894B2 (ja) | 1990-08-10 | 1990-08-10 | 物体の保持機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2759894B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002131605A (ja) * | 2000-08-18 | 2002-05-09 | Nikon Corp | 保持装置、光学素子保持装置、鏡筒及び露光装置並びにマイクロデバイスの製造方法 |
| JP2007072089A (ja) * | 2005-09-06 | 2007-03-22 | Pentax Corp | ステージ装置、及びステージ装置を利用したカメラの手振補正装置 |
| JP2010085771A (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Nidec Copal Corp | 像振れ補正装置及び光量制御装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108802954A (zh) * | 2018-05-29 | 2018-11-13 | 苏州艾力光电科技有限公司 | 一种透镜角度调节装置 |
-
1990
- 1990-08-10 JP JP21047990A patent/JP2759894B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002131605A (ja) * | 2000-08-18 | 2002-05-09 | Nikon Corp | 保持装置、光学素子保持装置、鏡筒及び露光装置並びにマイクロデバイスの製造方法 |
| JP2007072089A (ja) * | 2005-09-06 | 2007-03-22 | Pentax Corp | ステージ装置、及びステージ装置を利用したカメラの手振補正装置 |
| JP2010085771A (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Nidec Copal Corp | 像振れ補正装置及び光量制御装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2759894B2 (ja) | 1998-05-28 |
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Legal Events
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