JPH0210881B2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0210881B2
JPH0210881B2 JP57079678A JP7967882A JPH0210881B2 JP H0210881 B2 JPH0210881 B2 JP H0210881B2 JP 57079678 A JP57079678 A JP 57079678A JP 7967882 A JP7967882 A JP 7967882A JP H0210881 B2 JPH0210881 B2 JP H0210881B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
contact
stationary plate
ball
fixed
seat
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP57079678A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS58196404A (ja
Inventor
Yoshiro Kanda
Hironori Noguchi
Tadashi Ikeda
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitutoyo Corp
Original Assignee
Mitutoyo Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitutoyo Corp filed Critical Mitutoyo Corp
Priority to JP57079678A priority Critical patent/JPS58196404A/ja
Priority to US06/491,573 priority patent/US4516327A/en
Priority to DE19833317299 priority patent/DE3317299A1/de
Priority to GB08312895A priority patent/GB2120388B/en
Publication of JPS58196404A publication Critical patent/JPS58196404A/ja
Publication of JPH0210881B2 publication Critical patent/JPH0210881B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/002Constructional details of contacts for gauges actuating one or more contacts
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/004Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points
    • G01B7/008Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
    • G01B7/012Contact-making feeler heads therefor

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はタツチ信号プローブ、特に被測定物と
の接触を電気的に検出するタツチ信号プローブの
改良に関するものである。
測定基盤上に載置された被測定物の大きさ及び
形状を測定する3次元測定機あるいは工作機械の
刃物台と被加工物との位置を測定する装置が周知
であり、これらの測定装置においては、被測定物
に対して任意の方向に移動可能な移動台にタツチ
信号プローブが装着される。該タツチ信号プロー
ブは、被測定物との接触により電気的信号を出力
し、測定機の正確な測定作用を行なわせる。
この種のタツチ信号プローブは、接触子が被測
定物と接触したときに傾動して接触検出作用を行
ない、またその後の被測定物との離脱時には高精
度の測定を維持するために正確に原点復帰されな
ければならない。従来のタツチ信号プローブは、
被測定物と接触する接触子が傾動および上下動自
在にプローブケース内に収容保持されており、該
接触子が被測定物と接触し上下動或いは傾動した
ときにこの接触が電気的に検出され所望の測定作
用が行なわれる。
そして、従来、前記プローブとして各種の形式
が提案されているが、これらの従来のタツチ信号
プローブにおいては、主として接触子がばね等の
手段によつて所定方向に付勢され、その静止状態
での位置決めが行なわれているが、これらの従来
のタツチ信号プローブでは、接触子を所定の静止
位置に保持するために、複雑な構造を必要としか
つ加工が煩雑となり、またこの静止が不安定とな
り、測定精度に悪影響を与える等問題があつた。
また、従来のタツチ信号プローブは、同一部
材、同一付勢手段を用いて上下方向位置規制およ
び横方向位置規制を行なつていたため、その両方
向の位置規則が相互に干渉する等してその規制が
十分でなく、このため、位置ずれが生じ正確な原
点復帰が困難であり、測定誤差が生じる等の欠点
があつた。
さらに、従来のタツチ信号プローブにおいて
は、接触子の原点復帰静止状態を良好にすると接
触子のオーバストロークが小さくなり、原点復帰
静止状態とオーバストロークとの両方を良好にす
ることができないという問題があつた。
さらに、従来のタツチ信号プローブにおいて
は、プローブが大型化、大重量化するという問題
があつた。そして、このため、プローブを装着す
る移動台を強固にしなければならず、測定装置の
コストが高くなり、また、操作性が悪化するとい
う問題があつた。
本発明は前記従来の課題に鑑み為されたもので
あり、その目的は極めて簡単な構造で安定した正
確な接触子の原点復帰静止状態を得ることがで
き、かつ、接触子のオーバストロークを拡大する
ことができ、さらに、プローブを小型化可能な改
良されたタツチ信号プローブを提供することにあ
る。
前記目的を達成するために、本発明は、被測定
物に接触する接触子を傾動および上下動自在に保
持するプローブケースと、移動台に着脱するシヤ
ンクを有しプローブケースの上端部に固定された
上受台と、前記接触子の上端部を固定保持しプロ
ーブケース内に収容された定置板と、プローブケ
ースの底部に固定され前記定置板を保持する下受
座と、前記定置板に固定され該定置板の横方向に
横周縁が突出固定された1個の当接球及び1個の
係合球と、プローブケースに固定され前記当接球
に当接して定置板の横方向の移動を規制する横受
座と、プローブケースに固定され前記係合球が2
個所で当接する係合溝を有し定置板の横方向の位
置を規制する係合座と、前記定置板にほぼ等角間
隔に固定され該定置板の下方向に下周縁が突出固
定された3個の接点球と、該接点球に対応して下
受座に固定された3個の固定接点と、定置板を下
受座に押圧付勢する第1付勢手段と、定置板を横
受座及び係合座に押圧付勢する第2付勢手段と、
を含むことを特徴とする。
以下、図面に基づいて本発明の好適な実施例を
説明する。
第1,2図には、本発明に係るタツチ信号プロ
ーブの好適な第1実施例が示されている。
図において、上端が開放した円筒筺状のプロー
ブケース10の上端開放部には、ほぼ円板蓋状の
上受台12がネジ11a,11bにより固定され
ており、この上受台12には図示されていない移
動台との着脱作用を行うためのシヤンク14が上
方に向つて突設されている。
プローブケース10のシヤンク14と反対側に
は、開口16が形成され、接触子軸18が、該開
口16を貫通し、プローブケース10に対して傾
動自在に保持されている。プローブケース10内
には定置板20が収容され、定置板20に前記接
触子軸18が固定されている。また、前記接触子
軸18の先端には、接触子22がネジ23により
着脱自在に固定されているので、所望の接触子2
2を固定することができる。さらに、接触子22
の突出端には、被測定物と当接するボール24が
密着固定されている。
前記定置板20をプローブケース10内に正し
く位置決め収容するために、本発明においては、
定置板20の傾動位置および上下動位置がそれぞ
れ別個の位置規制部材によつて規制されている。
すなわち、定置板20の上下動位置は、定置板2
0の下面を位置決め保持する下受座により、ま
た、定置板20の傾動位置は、定置板20の側面
を位置決め保持する横受座及び係合座によつて支
持されている。以下、接触子軸18(定置板2
0)の傾動及び上下動自在の保持について説明す
る。
接触子軸18の上端部には、ほぼ五角柱形状の
定置板20が設けられ、定置板20の一側面に
は、定置板20の横方向に横周縁が突出する当接
球26が固定され、さらに、定置板20の他の側
面には、定置板20の横方向に横周縁が突出する
係合球28が係合球支持腕30を介して固定され
ている。
そして、プローブケース10には、前記当接球
26と当接して定置板20の横方向の移動を規制
する横受座32がネジ34a,34bにより固定
され、また、前記係合球28の2個所で当接する
係合溝36aを有し定置板20の横方向の位置を
規制する係合座36がネジ38a,38bにより
固定されている。したがつて、当接球26が横受
座32と当接し、係合球28が係合座36の係合
溝36aの2個所で当接するので、定置板20の
横方向を3点支持することが可能となり、定置板
20の横方向の移動を規制することができる。
また、定置板20の下面には、定置板20の下
方向に下周縁が突出する3個の接点球40a,4
0b,40cがほぼ等角間隔に固定され、また、
プローブケース10の底面には、前記接点球40
a,40b,40cと当接し円形板から成る下受
座42がネジ44a,44cにより固定されてい
る。したがつて、接点球40a,40b,40c
が下受座42の下受座面42aと当接するので、
定置板20の上下方向を3点支持することが可能
となり、定置板20の上下方向の移動を規制する
ことができる。
なお、当接球26、係合球28、及び接点球4
0a,40b,40cは球状であり、横受座3
2、係合溝36a及び下受座面42aの接触面は
平面であるので、当接球26、係合球28、接点
球40a,40b,40c、横受座32、係合溝
36a及び下受座面42aは、加工が容易でかつ
安価となる。また、当接球26、係合球28及び
接点球40a,40b,40cがそれぞれ横受座
32、係合溝36a及び下受座面42aの接触面
を滑動するので、接触面がクリーニングされ導通
不良が生じない。
前記下受座42、横受座32及び係合座36に
よつて保持された定置板20の乱動を防止し、か
つ定置板の傾動復帰を行なうため、定置板20を
下受座42、横受座32及び係合座36に付勢す
る第1、第2両付勢手段が設けられており、以
下、第1、第2両付勢手段について説明する。
接点球40a,40b,40cの下周縁を下受
座42の下受座面42aに押圧付勢するために、
第1付勢手段が設けられ、実施例においては、第
1付勢手段は、一端が定置板20の両端部に装着
され他端が下受座42に取り付けられた2個の引
張バネ46a,46bと、上受台12と定置板2
0との間に挿入された押圧バネ48と、から成
る。すなわち、定置板20を下受座面42aに押
圧付勢する第1付勢手段は、第1,2図に示され
るように、一端が定置板20の両端部に装着され
他端が下受座42に取付けられ定置板20を下受
座面42aに引張り付勢する2個の引張バネ46
a,46bと、一端が上受台12の中央部に係合
され他端が定置板20の中央部に係合されて定置
板20を下受座面42aに押圧付勢する押圧バネ
48と、から形成されている。なお、押圧バネ4
8の付勢力を調節可能にするために、上受台12
には、押圧バネ48の一端部を受けているバネ受
け50と、該バネ受け50を上下動する調整ネジ
52とが設けられており、調整ネジ52の進退位
置を調整することによつて、押圧バネ48の付勢
力を調節することができる。
また、当接球26、係合球28の横周縁をそれ
ぞれ横受座32、係合溝36aに押圧付勢するた
めに、第2付勢手段が設けられ、実施例において
は、第2付勢手段は、その一端が定置板20に固
定されその他端がプローブケース10に固定され
た引張バネ54から成る。すなわち、定置板20
を横受座32及び係合座36に押圧付勢する第2
付勢手段は、第1,2図に示されるように、一端
が定置板20の両側面20a,20bの先端側面
部20cに係合され他端がプローブケース10の
バネ受け部56に固定された引張バネ54から成
る。なお、引張バネ54の付勢力を調整可能にす
るために、プローブケース10には、バネ受け部
56と、該バネ受け部56内に調整固定され引張
バネ54の他端が取り付けられたバネ受けネジ5
8とが設けられており、バネ受けネジ58の進退
位置を調整することによつて、引張バネ54の付
勢力を調節することができる。
したがつて、定置板20は、上述のように、上
下動かつ傾動自在にプローブケース10内に保持
されることとなる。
なお、実施例においては、定置板20の引張バ
ネ54と反対の側面からはストツパ片60が突設
し、プローブケース10の下受座42には前記ス
トツパ片60と係合するストツパ受片62が設け
られ、ストツパ片60とストツパ受片62との係
合により、定置板20の過傾動を防止し、接触子
軸18の過傾動を防止することができる。すなわ
ち、ストツパ片60は、棒状の胴部64と該胴部
64の一端に設けられた板状の頭部66とから成
り、胴部64の先端部64aが定置板20に嵌合
固定され、また、ストツパ受片62は、その中央
部に係合溝62aを有するブロツク形状から成
り、ストツパ受片62はネジ68a,68bによ
り下受座42に固定されている。そして、ストツ
パ受片62の係合溝62aにストツパ片60の胴
部64が遊挿されており、ストツパ片60の頭部
66の裏面は、ストツパ受片62の端面62aに
対向配置されている。このため、第1図におい
て、定置板20が紙面の表裏方向に傾動したとき
には、ストツパ片60の胴部64がストツパ受片
62の溝壁に係合して定置板20の過傾動が阻止
される。また、定置板20が前記表裏方向と直交
するA方向に傾動したときには、ストツパ片60
の頭部66の裏面がストツパ受片62の端面62
bに当接係合し、定置板20の過傾動が防止され
る。
以上のように、接触子軸18の傾動及び上下動
自在の保持が可能となり、当接球26、係合球2
8の横周縁及び接点球40a,40b,40cの
下周縁によつて接触子軸18の静止位置を定置す
ることができる。そして、本発明においては、接
触子22(接触子軸18)を固定する定置板20
の上下方向位置規制と横方向位置規制とを別個に
分離して、かつ、定置板20側には、上下方向及
び横方向の係合をそれぞれ行なうため、下周縁を
有する接点球40a,40b,40c及び横周縁
を有する当接球26、係合球28を設けたので、
簡単な構造で良好な原点復帰静止状態及び安定し
た位置決めを行なえるという利点がある。
次に、接触子軸18の先端に固定された接触子
22と被測定物との接触を検出するための検出手
段について説明する。
実施例においては、各接点球40a,40b,
40cと下受座面42aとで主接点組を形成して
いる。すなわち、下受座42の下受座面42aに
は、前記接点球40a,40b,40cの下周縁
にそれぞれ当接する下固定接点70a,70b,
70cが埋め込み固定され、接点球40a,40
b,40c及び下固定接点70a,70b,70
cによりタツチ信号プローブの主接点組が形成さ
れる。
さらに、実施例においては、当接球26、係合
球28と横受座32、係合座36とで補助接点組
を形成している。すなわち、横受座32には、前
記当接球26の横周縁に当接する補助固定接点7
2が埋め込み固定され、係合座36の係合溝36
aには、前記係合球28の横周縁に当接する2個
の補助固定接点74a,74bが埋め込み固定さ
れ、当接球26、係合球28及び補助固定接点7
2,74a,74bによりタツチ信号プローブの
補助接点組が形成される。
この結果、上記3組の主接点組及び3組の補助
接点組によりタツチ信号プローブの6組の接点組
が形成され、測定精度を高めることができる。す
なわち、接触子軸18の微小の傾動を検出できる
ので、瞬時の検知性が向上する。また、接触子の
原点復帰を正確に検出することができる。
そして、各接点球40a,40b,40cと各
下固定接点70a,70b,70cとを交互に直
列配置し、また、当接球26、係合球28と各補
助固定接点72,74a,74bとを交互に直列
配置し、前記主接点組及び補助接点組により直列
回路を形成しているので、接触子軸18の先端に
固定された接触子22と被測定物との接触を、接
触検出器(図示せず)により検出することが可能
となる。すなわち、接触子22の被測定物との非
接触状態においては、(接点球40a、下固定接
点70a)、(接点球40b、下固定接点70b)、
(接点球40c、下固定接点70c)の3個の主
接点組が全て当接し、かつ、(当接球26、補助
固定接点72)、(係合球28、補助固定接点74
a)、(係合球28、補助固定接点74b)の3組
の補助接点組が全て当接しているので、接触検出
器は導通状態にあり、接触子22が被測定物と接
触すると、接触子軸18が傾動あるいは上下動
し、3組の主接点組、3個の補助接点組のうちい
ずれか1個の接点組が開離する。したがつて、接
触検出器は非導通状態となり、これにより、接触
子22と被測定物との接触を正確に検出すること
が可能となる。
本発明の実施例は以上の構成から成り、以下そ
の作用を説明する。
第1,2図において、接触子22は、引張バネ
46a,46b、押圧バネ48及び引張バネ54
により傾動及び上下動自在に保持され、また、引
張バネ46a,46b、押圧バネ48及び引張バ
ネ54により、接点球40a,40b,40cの
下周縁が下受座面42aに接触し、当接球26、
係合球28の横周縁が横受座32、係合座36に
接触するので、接触子22の静止位置を定置する
ことができる。さらに、(接点球40a、下固定
接点70a)、(接点球40b、下固定接点70
b)、(接点球40c、下固定接点70c)の3個
の主接点組が全て当接し、かつ、(当接球26、
補助固定接点72)、(係合球28、補助固定接点
74a)、(係合球28、補助固定接点74b)の
3組の補助接点組が全て当接しているので、接触
検出器は導通状態にある。
そして、接触子軸18の先端に固定された接触
子22が被測定物に接触すると、前述したよう
に、接触子軸18が傾動あるいは上下動し、3個
の主接点組、3組の補助接点組のうちいずれか1
個の接点組が開離するので、接触検出器により該
接触を検出することができる。この時、接触子軸
18は、移動台がオーバランしたとしてもプロー
ブケース10に対して傾動することができるの
で、接触子軸18、接触子22が損傷を受けるこ
とを防止することができる。さらに、ストツパ片
60及びストツパ受片62により、接触子軸18
の所定角度以上の傾動が規制されるので、引張バ
ネ46a,46b、押圧バネ48及び引張バネ5
4のひずみ、破損を防止することができる。
そして、接触子22が被測定物から離脱する
と、接触子軸18は、引張バネ46a,46b、
押圧バネ48及び引張バネ54の付勢力によつて
迅速に中立位置に復元し、再び、当接球26、係
合球28の横周縁が横受座32、係合座36に接
触し、接点球40a,40b,40cの下周縁が
下受座42の下受座面42aに接触する。これに
より、接触子軸18が静止位置に定置するととも
に、接触検出器は当接状態に復帰する。
以上のように、本発明の第1実施例によれば、
きわめて簡単な構造で接触子の良好な原点復帰静
止状態及び接触子の安定した静止状態を得ること
ができる。また、接触子のオーバストロークを拡
大することができる。さらに、プローブの姿勢が
制限を受けることがない。
また、定置板の上下方向の移動を規制する下受
座と、定置板の横方向の移動を規制する横受座及
び係合座が別個独立に設けられ、さらに、定置板
は、第1、第2両付勢手段によつて相互に干渉す
ることなく、前記下受座及び横受座、係合座にそ
れぞれ付勢されてずれることなく位置決め保持さ
れるため、定置板、すなわち接触子の安定した正
確な原点復帰静止状態を得ることができ、測定精
度を高めることが可能である。
なお、第1実施例によれば定置板の上下方向と
横方向のそれぞれの移動が別個独立の位置規制部
材により行なわれるため測定圧、すなわち接触子
と被測定物との接触圧を小さくかつそれぞれを最
適圧に調整することができ、また、定置板および
接触子の自重による傾動等を防止できるのでプロ
ーブの姿勢に制限を受けることなく正確な測定を
行なうことができる。さらに、各位置規制部材に
は、別個独立に第1、第2付勢手段が設けられて
おり、このため、許容傾動量を大きくしても瞬時
の原点復帰が得られ、いわゆる全方向のオーバラ
ン値を大にできる利点がある。
また、第1実施例によれば定置板、下受座、横
受座、係合座は前述したように平板等により極め
て簡単な構造に形成でき、タツチ信号プローブの
部品製作が極めて容易化されると共に、前述の如
く、定置板の位置規制は、上下方向と横方向とを
別個独立としており、この両者間に特別の相関関
係を有しないため、この両者間の相対位置を超高
精度のもとに組立る必要がなく、タツチ信号プロ
ーブを安価に提供することが可能である。
さらに、第1実施例においては、第1付勢手段
は、2個の引張りばねと1個の押圧ばねとで形成
されているが、押圧ばねを省略し定置板の両端部
に設けた2個の引張りばねのみによつて形成する
ことも可能である。
また、本発明の第1実施例によれば、小型かつ
軽量のタツチ信号プローブを提供することができ
る。したがつて、プローブを装着する移動台を強
固にする必要がないので、測定装置のコストが低
くなり、また、操作性が向上する。
さらに、第1実施例においては、3組の主接点
組及び3組の補助接点組によりタツチ信号プロー
ブの接点組を形成しているが、3組の主接点組、
3組の補助接点組のいずれか一方によりタツチ信
号プローブの接点組を形成することも可能であ
る。
さらに、第1実施例において、横受座32、係
合座36により、定置板20(接触子軸18)の
横方向の移動を規制することができるだけでな
く、定置板20(接触子軸18)のプローブ軸回
りの回動を防止することができる。
第3図には、本発明の第2実施例が示されてお
り、第4図にはその断面が示されている。
第2実施例においては、当接球26の下周縁を
接点球の1個40cとして用いている。すなわ
ち、定置板20には、接点球40a,40bがそ
れぞれ接点球支持腕76a,76bを介して固定
され、さらに、当接球26(接点球40c)、係
合球28がそれぞれ当接球支持腕78、係合球支
持腕30を介して固定されている。そして、接点
球40a,40bの下周縁及び当接球26の下周
縁、横周縁係合球28の横周縁によつて、接触子
軸18の静止位置を定置することができる。した
がつて、当接球26によつて2方向の支持を行な
わせているので、4個の球で確実な定置作用を行
なわせることができ、タツチ信号プローブの小型
化を達成することができる。
そして、第2実施例においても、第1実施例と
同様に、極めて簡単な構造で接触子の良好な原点
復帰静止状態及び接触子の安定した静止状態を得
ることができ、さらに、接触子のオーバストロー
クを拡大することができる。
第5図には、本発明の第3実施例が示されてお
り、第6図にはその断面が示されている。
第3実施例においては、当接球26の下周縁を
接点球の1個40cとして用い、さらに、係合球
28の下周縁を接点球の1個40bとして用いて
いる。すなわち、定置板20には、接点球40a
が接点球支持腕76aを介して固定され、さら
に、当接球26(接点球40c)、係合球28
(接点球40b)がそれぞれ当接球支持腕78、
係合球支持腕30を介して固定されている。そし
て、接点球40aの下周縁及び当接球26の下周
縁、横周縁係合球28の下周縁、横周縁によつ
て、接触子軸18の静止位置を定置することがで
きる。したがつて当接球26によつて2方向の支
持を行なわせ、さらに、係合球28によつて2方
向の支持を行なわせているので、3個の確実な定
置作用を行なわせることができ、タツチ信号プロ
ーブの小型化を達成することができる。なお、第
6図において、引張バネ54は、係合球支持腕3
0と当接球支持腕78との間のどこに配置しても
よい。
そして、第3実施例においても、第1実施例と
同様に、極めて簡単な構造で接触子の良好な原点
復帰静止状態及び接触子の安定した静止状態を得
ることができ、さらに、接触子のオーバストロー
クを拡大することができる。
さらに、第5,6図の第3実施例においても、
3組の主接点組及び3組の補助接点組により、タ
ツチ信号プローブの接点組を形成することが可能
である。すなわち、当接球26(接点球40c)
の下周縁、係合球28(接点球40b)の下周縁
及び接点球40aの下周縁によつて、3組の主接
点組を形成し、当接球26(接点球40c)の横
周縁及び係合球28(接点球40b)の横周縁に
よつて、3組の補助接点組を形成することができ
る。そして、3組の主接点組と3組の補助接点組
とを直列に接続した場合には、接触子の原点復帰
を正確に検出することが可能となる。
なお、第7図には、本発明の第4実施例が示さ
れており、第3実施例と同様に、接点球40aの
下周縁及び当接球26の下周縁、横周縁、係合球
28の下周縁、横周縁によつて、接触子軸18の
静止位置を定置することができる。そして、第4
実施例においては、当接球支持腕78と係合球支
持腕30とを平行に設けているので、タツチ信号
プローブの小型化をさらに達成することができ
る。
以上説明したように、本発明に係るタツチ信号
プローブによれば、極めて簡単な構造で接触子の
良好な原点復帰静止状態及び接触子の安定した静
止状態を得ることができ、さらに、小型かつ軽量
のタツチ信号プローブを得ることができる。さら
に、接触子のオーバストロークを拡大することが
できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係るタツチ信号プローブの好
適な第1実施例を示す要部断面図、第2図は第1
図の−断面図、第3図は第2実施例の要部断
面図、第4図は第3図の−断面図、第5図は
第3実施例の要部断面図、第6図は第5図の−
断面図、第7図は第4実施例の要部断面図であ
る。 各図中同一部材には同一符号を付し、10……
プローブケース、12……上受台、14……シヤ
ンク、18……接触子軸、20……定置板、22
……接触子、26……当接球、28……係合球、
32……横受座、36……係合座、36a……係
合溝、40a,40b,40c……接点球、42
……下受座、46a,46b……引張バネ、48
……押圧バネ、54……引張バネ、70a,70
b,70c……下固定接点。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 被測定物に接触する接触子を傾動および上下
    動自在に保持するプローブケースと、移動台に着
    脱するシヤンクを有しプローブケースの上端部に
    固定された上受台と、前記接触子の上端部を固定
    保持しプローブケース内に収容された定置板と、
    プローブケースの底部に固定され前記定置板を保
    持する下受座と、前記定置板に固定され該定置板
    の横方向に横周縁が突出固定された1個の当接球
    及び1個の係合球と、プローブケースに固定され
    前記当接球に当接して定置板の横方向の移動を規
    制する横受座と、プローブケースに固定され前記
    係合球が2個所で当接する係合溝を有し定置板の
    横方向の位置を規制する係合座と、前記定置板に
    ほぼ等角間隔に固定され該定置板の下方向に下周
    縁が突出固定された3個の接点球と、該接点球に
    対応して下受座に固定された3個の固定接点と、
    定置板を下受座に押圧付勢する第1付勢手段と、
    定置板を横受座及び係合座に押圧付勢する第2付
    勢手段と、を含むことを特徴とするタツチ信号プ
    ローブ。 2 特許請求の範囲1記載のタツチ信号プローブ
    において、定置板の当接球の下周縁を接点球の1
    個に用いたことを特徴とするタツチ信号プロー
    ブ。 3 特許請求の範囲1記載のタツチ信号プローブ
    において、定置板の当接球の下周縁及び係合球の
    下周縁を接点球の2個に用いたことを特徴とする
    タツチ信号プローブ。
JP57079678A 1982-05-11 1982-05-11 タッチ信号プロ−ブ Granted JPS58196404A (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP57079678A JPS58196404A (ja) 1982-05-11 1982-05-11 タッチ信号プロ−ブ
US06/491,573 US4516327A (en) 1982-05-11 1983-05-04 Touch signal probe
DE19833317299 DE3317299A1 (de) 1982-05-11 1983-05-11 Beruehrungs-signalsonde
GB08312895A GB2120388B (en) 1982-05-11 1983-05-11 Touch signal probe

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP57079678A JPS58196404A (ja) 1982-05-11 1982-05-11 タッチ信号プロ−ブ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS58196404A JPS58196404A (ja) 1983-11-15
JPH0210881B2 true JPH0210881B2 (ja) 1990-03-12

Family

ID=13696852

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP57079678A Granted JPS58196404A (ja) 1982-05-11 1982-05-11 タッチ信号プロ−ブ

Country Status (4)

Country Link
US (1) US4516327A (ja)
JP (1) JPS58196404A (ja)
DE (1) DE3317299A1 (ja)
GB (1) GB2120388B (ja)

Families Citing this family (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2573865B1 (fr) * 1984-11-23 1989-04-28 Commissariat Energie Atomique Dispositif de retour automatique d'un plateau mobile a sa position de repos et palpeur multidirectionnel utilisant ce dispositif
US4625417A (en) * 1985-06-17 1986-12-02 Gte Valeron Corporation Probe with stylus pressure adjustment
DE3640160A1 (de) * 1986-11-25 1988-06-01 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Mehrkoordinaten-tastkopf
US4752166A (en) * 1987-01-02 1988-06-21 Manuflex Corp. Probing device
US4778313A (en) * 1987-05-18 1988-10-18 Manuflex Corp. Intelligent tool system
CH672370A5 (ja) * 1987-09-15 1989-11-15 Tesa Sa
CH674485A5 (ja) * 1988-03-11 1990-06-15 Saphirwerk Ind Prod
DE3842151A1 (de) * 1988-12-15 1990-06-21 Zeiss Carl Fa Tastkopf vom schaltenden typ
US5212872A (en) * 1989-03-31 1993-05-25 Reinshaw Plc Touch probe
US5491904A (en) 1990-02-23 1996-02-20 Mcmurtry; David R. Touch probe
JPH03122308U (ja) * 1990-03-26 1991-12-13
DE9117226U1 (de) * 1991-01-08 1997-09-04 Haimer, Franz, 86568 Hollenbach Mehrkoordinaten-Tastmeßgerät
GB9106731D0 (en) * 1991-03-28 1991-05-15 Renishaw Metrology Ltd Touch probe
ATE111590T1 (de) * 1991-07-26 1994-09-15 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Mehrkoordinaten-tastkopf.
US5146689A (en) * 1992-01-29 1992-09-15 Maromatic Company, Inc. Key reading method and apparatus
US6957496B2 (en) * 2002-02-14 2005-10-25 Faro Technologies, Inc. Method for improving measurement accuracy of a portable coordinate measurement machine
US7881896B2 (en) 2002-02-14 2011-02-01 Faro Technologies, Inc. Portable coordinate measurement machine with integrated line laser scanner
US6952882B2 (en) * 2002-02-14 2005-10-11 Faro Technologies, Inc. Portable coordinate measurement machine
US7073271B2 (en) * 2002-02-14 2006-07-11 Faro Technologies Inc. Portable coordinate measurement machine
US7519493B2 (en) * 2002-02-14 2009-04-14 Faro Technologies, Inc. Portable coordinate measurement machine with integrated line laser scanner
DE60314598T2 (de) * 2002-02-14 2007-10-25 Faro Technologies, Inc., Lake Mary Ein gelenkarm für eine tragbare koordinatenmessmaschine
US6973734B2 (en) * 2002-02-14 2005-12-13 Faro Technologies, Inc. Method for providing sensory feedback to the operator of a portable measurement machine
USRE42082E1 (en) 2002-02-14 2011-02-01 Faro Technologies, Inc. Method and apparatus for improving measurement accuracy of a portable coordinate measurement machine
US7246030B2 (en) * 2002-02-14 2007-07-17 Faro Technologies, Inc. Portable coordinate measurement machine with integrated line laser scanner
DE102005015890B4 (de) 2005-02-24 2007-05-03 Wolfgang Madlener Tastfühler
DE102005015889B4 (de) * 2005-02-24 2010-01-07 M & H Inprocess Messtechnik Gmbh Tastfühler
US8091142B2 (en) * 2005-04-26 2012-01-03 Microsoft Corporation Supplementary trust model for software licensing/commercial digital distribution policy
JP5179760B2 (ja) * 2007-02-05 2013-04-10 株式会社ミツトヨ 座標測定用補助具、座標測定用プローブ及び座標測定機
EP2665987B1 (en) 2011-01-19 2015-04-15 Renishaw PLC Analogue measurement probe for a machine tool apparatus and method of operation
CN108534667B (zh) * 2018-04-09 2020-03-24 浙江大学 一种多点触发的平面度误差检测装置
CN110940245A (zh) * 2019-12-10 2020-03-31 深圳市润泽机器人有限公司 位置校准装置

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH521601A (fr) * 1970-02-16 1972-04-15 Genevoise Instr Physique Palpeur bidirectionnel de mesure de déplacements
GB1445977A (en) * 1972-09-21 1976-08-11 Rolls Royce Probes
GB1447613A (en) * 1973-06-14 1976-08-25 Rolls Royce Probes
DE2346031C2 (de) * 1973-09-12 1975-08-07 Kugelfischer Georg Schaefer & Co, 8720 Schweinfurt Meßkopf für Koordinatenmeßmaschinen
CH563009A5 (ja) * 1973-09-14 1975-06-13 Maag Zahnraeder & Maschinen Ag
IT1028674B (it) * 1975-06-19 1979-02-10 Finike Italiana Marposs Apparecchiatura per la misura di errori di concentricita relativi a due superfici di rotazione
GB1568053A (en) * 1975-10-04 1980-05-21 Rolls Royce Contactsensing probe
IT1088539B (it) * 1976-12-24 1985-06-10 Rolls Royce Sonda per l'uso in apparecchi di misura
DD141197A1 (de) * 1978-12-27 1980-04-16 Horst Donat Koordinatentastkopf zum antasten mehrdimensionaler werkstuecke
JPS5920642Y2 (ja) * 1979-08-28 1984-06-15 株式会社 三豊製作所 タツチ信号プロ−ブ
SU913031A1 (ru) * 1980-06-30 1982-03-15 Viln Exni I Metall Измерительная головкаi

Also Published As

Publication number Publication date
GB2120388A (en) 1983-11-30
DE3317299A1 (de) 1983-11-17
JPS58196404A (ja) 1983-11-15
GB2120388B (en) 1985-12-04
DE3317299C2 (ja) 1993-08-26
US4516327A (en) 1985-05-14
GB8312895D0 (en) 1983-06-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0210881B2 (ja)
JPH0421048Y2 (ja)
US4443946A (en) Probe for measuring workpieces
US9869347B2 (en) Slide guide unit and surveying instrument
US4535543A (en) Dynamic feeler head
JPH0617766B2 (ja) タッチ信号プロ−ブ
US4720922A (en) Anti-collision device for the sensing head of a measuring machine
WO1999024785A1 (en) Optoelectronic apparatus for the dimension and/or shape checking of pieces with complex tridimensional shape
JPH0131924Y2 (ja)
JPH0131923Y2 (ja)
JPH0239205Y2 (ja)
US4567672A (en) Coordinate measuring instrument
US2387852A (en) Precision measuring apparatus
JP2738178B2 (ja) 傾斜軸の角度測定装置
JPH0497209A (ja) 物体の保持機構
JPH0725614Y2 (ja) 板厚検出装置
JPS60302A (ja) 測定機
US6705020B2 (en) Method of and apparatus for use in orienting an object at a reference angle
JPH0719616Y2 (ja) シャフトの曲り矯正装置
KR100239761B1 (ko) 포커스드 이온 빔(fib) 장비의 웨이퍼 홀더 구조
JPS6138501A (ja) 曲がり測定装置
JP3635324B2 (ja) 単結晶研磨加工面を所定の方位角に設定調整する方法ならびにこの方法を実施するのに用いられる研磨加工治具
JPS60303A (ja) タツチ信号プロ−ブ
JPS6334961B2 (ja)
JPH10197207A (ja) 角度測定治具および角度測定器