JPH0421048Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0421048Y2 JPH0421048Y2 JP1985178978U JP17897885U JPH0421048Y2 JP H0421048 Y2 JPH0421048 Y2 JP H0421048Y2 JP 1985178978 U JP1985178978 U JP 1985178978U JP 17897885 U JP17897885 U JP 17897885U JP H0421048 Y2 JPH0421048 Y2 JP H0421048Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- axis
- stylus
- holder
- seat
- positions
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 241001422033 Thestylus Species 0.000 claims description 35
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 21
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 5
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 5
- 230000000452 restraining effect Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 2
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
- 241000894007 species Species 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 239000013589 supplement Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/004—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points
- G01B7/008—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
- G01B7/012—Contact-making feeler heads therefor
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は、測定機に使用する為の探針に関する
ものである。
ものである。
ホルダ上に載置された触針を測定される工作物
に接触するように測定機を移動させ、触針と工作
物との接触の瞬間におけるヘツドの位置を記録す
る為に測定機ヘツドにこの種の探針を連結する事
は公知である。この様な操作を可能にするには、
触針が工作物と接触した位置を測定機が少し越え
る事ができる様にすることが必要であり、その為
に触針はヘツドに固定された探針部分に対して僅
かに転位可能になつている。
に接触するように測定機を移動させ、触針と工作
物との接触の瞬間におけるヘツドの位置を記録す
る為に測定機ヘツドにこの種の探針を連結する事
は公知である。この様な操作を可能にするには、
触針が工作物と接触した位置を測定機が少し越え
る事ができる様にすることが必要であり、その為
に触針はヘツドに固定された探針部分に対して僅
かに転位可能になつている。
この様な探針は、そのハウジング上に備えられ
た受座と係合する様に付勢された触針を備えてい
る。操作に際しても、もしホルダに連結された触
針が座の面に対して平行な方向に転移させられる
と、この転移に伴つて、ホルダは触針座の上にお
いて、座の対向する方向に傾斜させられ、次にホ
ルダはこの同じ方向において座から離れる。しか
し、公知の探針においては、触針を受座の対向す
る方向と反対方向に転位させる事は不可能であ
る。すなわち、触針をホルダの軸方向における両
方向に移動させることはできなかつた。また、従
来の単純な３点支持の構造では、触針の軸方向に
直交する各方向における力に対する感度が大きく
異なつており、精度に乏しかつた。
た受座と係合する様に付勢された触針を備えてい
る。操作に際しても、もしホルダに連結された触
針が座の面に対して平行な方向に転移させられる
と、この転移に伴つて、ホルダは触針座の上にお
いて、座の対向する方向に傾斜させられ、次にホ
ルダはこの同じ方向において座から離れる。しか
し、公知の探針においては、触針を受座の対向す
る方向と反対方向に転位させる事は不可能であ
る。すなわち、触針をホルダの軸方向における両
方向に移動させることはできなかつた。また、従
来の単純な３点支持の構造では、触針の軸方向に
直交する各方向における力に対する感度が大きく
異なつており、精度に乏しかつた。
本考案は、かかる点に鑑み、簡単な構造で触針
をホルダの軸方向における両方向に移動でき、し
かも各方向における力に対する感度が大きく異な
ることのない測定機において使用される探針を提
供することを目的とする。
をホルダの軸方向における両方向に移動でき、し
かも各方向における力に対する感度が大きく異な
ることのない測定機において使用される探針を提
供することを目的とする。
この目的は、触針を加工物に係合させるために
互いに相対的に移動可能でその係合によつて加工
物の位置を検出する位置測定機において使用さ
れ、軸を有する固定部材と、触針が連結される移
動部材と、前記固定部材上に設けられた前記軸を
横切る平面内において前記軸の周りに配設された
第１受座手段と、前記移動部材上に設けられ前記
第１受座手段に対向する第２受座手段と、前記移
動部材を前記固定手段に前記第１および第２受座
手段を介して係合せしめ、前記固定部材上に前記
移動部材を軸方向の基準位置において前記固定部
材上に位置せしめるための付勢手段と、前記固定
部材と移動部材間に連結された中心位置決め部材
とからなる測定機において使用される探針におい
て、前記中心位置決め部材１２０，１２１は、前
記移動部材１１２が基準位置にあるときに前記軸
を横切る２方向に伸びる少なくとも１つの構造体
であり、前記中心位置決め部材１２０，１２１
は、前記２方向における変形に対して剛性を示す
が他の方向においては柔軟性を有し、これにより
前記移動部材１１２が前記基準位置にあるときに
前記触針１１３が前記軸Ｚの周りの回転による固
定部材１１０に対する変位および前記軸Ｚを横切
るどのような方向における変位を防止するように
協働するが前記移動部材１１２は、力が前記移動
部材に加えられたとき、前記軸Ｚの方向における
基準位置および前記軸Ｚを通るどのような平面に
おける角度位置から変位するのを許容し、前記付
勢手段１１７，１１９，１２０，１２１は、力の
付加を停止したときに前記移動部材１１２を前記
基準位置に戻すように協働することによつて達成
される。
互いに相対的に移動可能でその係合によつて加工
物の位置を検出する位置測定機において使用さ
れ、軸を有する固定部材と、触針が連結される移
動部材と、前記固定部材上に設けられた前記軸を
横切る平面内において前記軸の周りに配設された
第１受座手段と、前記移動部材上に設けられ前記
第１受座手段に対向する第２受座手段と、前記移
動部材を前記固定手段に前記第１および第２受座
手段を介して係合せしめ、前記固定部材上に前記
移動部材を軸方向の基準位置において前記固定部
材上に位置せしめるための付勢手段と、前記固定
部材と移動部材間に連結された中心位置決め部材
とからなる測定機において使用される探針におい
て、前記中心位置決め部材１２０，１２１は、前
記移動部材１１２が基準位置にあるときに前記軸
を横切る２方向に伸びる少なくとも１つの構造体
であり、前記中心位置決め部材１２０，１２１
は、前記２方向における変形に対して剛性を示す
が他の方向においては柔軟性を有し、これにより
前記移動部材１１２が前記基準位置にあるときに
前記触針１１３が前記軸Ｚの周りの回転による固
定部材１１０に対する変位および前記軸Ｚを横切
るどのような方向における変位を防止するように
協働するが前記移動部材１１２は、力が前記移動
部材に加えられたとき、前記軸Ｚの方向における
基準位置および前記軸Ｚを通るどのような平面に
おける角度位置から変位するのを許容し、前記付
勢手段１１７，１１９，１２０，１２１は、力の
付加を停止したときに前記移動部材１１２を前記
基準位置に戻すように協働することによつて達成
される。
以下、本考案を図面に示す実施例によつて詳細
に説明する。
に説明する。
第１図乃至第３図において、図示の探針の触針
１１３（第３図）は移動部材であるホルダ１１２
に支持され、このホルダ１１２の基部は３角形に
なつており、その各頂点に円柱状の受座手段１２
３ａ，１２３ｂが固着され、この受座手段１２３
ｂは基準軸線Ｚを中心として等角度な三位置Ａ，
Ｂ，Ｃにおいて円柱状の受座部材１２２を介して
保持部材１１４と係合する様に保持部材１１４と
ホルダ１１２間に設けた付勢手段であるバネ１１
７によつて弾発されている。このバネ１１７の力
は、軸線Ｚに対して平行な矢印Z1の方向（上方
向）に加えられる。前記保持部材１１４そのもの
は、同じく軸線Ｚを中心として等角度な三位置
Ｄ，Ｅ，Ｆにおいて固定部材であるハウジング１
１０のフランジ１１０ａと係合する様にハウジン
グ１１０の上面と保持部材１１４間に設けた付勢
手段であるバネ１１９によつて弾発されている
が、このバネ１１９の力は矢印Z1の方向と逆の
矢印Z2の方向（下方向）に加えられる。
１１３（第３図）は移動部材であるホルダ１１２
に支持され、このホルダ１１２の基部は３角形に
なつており、その各頂点に円柱状の受座手段１２
３ａ，１２３ｂが固着され、この受座手段１２３
ｂは基準軸線Ｚを中心として等角度な三位置Ａ，
Ｂ，Ｃにおいて円柱状の受座部材１２２を介して
保持部材１１４と係合する様に保持部材１１４と
ホルダ１１２間に設けた付勢手段であるバネ１１
７によつて弾発されている。このバネ１１７の力
は、軸線Ｚに対して平行な矢印Z1の方向（上方
向）に加えられる。前記保持部材１１４そのもの
は、同じく軸線Ｚを中心として等角度な三位置
Ｄ，Ｅ，Ｆにおいて固定部材であるハウジング１
１０のフランジ１１０ａと係合する様にハウジン
グ１１０の上面と保持部材１１４間に設けた付勢
手段であるバネ１１９によつて弾発されている
が、このバネ１１９の力は矢印Z1の方向と逆の
矢印Z2の方向（下方向）に加えられる。
これらの図面は、基準位置にあるホルダを示し
ている。ホルダはこの位置において各バネの作用
によつていかなる線運動または枢転運動に対して
も拘束されている。軸線Ｚの方向（探針の軸方
向）の線運動に対する拘束力は位置Ａ乃至Ｆにお
いて加えられる。さらに、これらの位置において
は、軸線Ｚに対して直角方向の軸線を中心とする
運動、即ち位置Ａ乃至Ｆのいずれか１つまたはそ
れらの２つを結ぶ直線を中心とするホルダの傾斜
に対して拘束されている。ホルダは、触針の軸方
向における両方向に作用する力Ｆによつて、バネ
１１７または１１９の上記二種の拘束力に対抗し
て移動する事ができる。力Ｆがかからなくなる
と、バネ１１７または１１９がホルダとその触針
基準位置（図示位置）に戻す。
ている。ホルダはこの位置において各バネの作用
によつていかなる線運動または枢転運動に対して
も拘束されている。軸線Ｚの方向（探針の軸方
向）の線運動に対する拘束力は位置Ａ乃至Ｆにお
いて加えられる。さらに、これらの位置において
は、軸線Ｚに対して直角方向の軸線を中心とする
運動、即ち位置Ａ乃至Ｆのいずれか１つまたはそ
れらの２つを結ぶ直線を中心とするホルダの傾斜
に対して拘束されている。ホルダは、触針の軸方
向における両方向に作用する力Ｆによつて、バネ
１１７または１１９の上記二種の拘束力に対抗し
て移動する事ができる。力Ｆがかからなくなる
と、バネ１１７または１１９がホルダとその触針
基準位置（図示位置）に戻す。
軸線Ｚに対する横方向移動とこの軸線を中心と
する回転に対する拘束力は中心位置決め部材であ
る２枚の板バネ１２０と１２１とによつて加えら
れる。これらの板バネ１２０，１２１はそれぞれ
保持部材１１４とホルダ１１２をハウジングに対
して連接するものである。前記板バネ１２０は、
保持部材１１４に固着された中心部１２０Ａと、
この中心部から突出してその先端１２０Ｃがハウ
ジング１１０のフランジ１１０ａに固着された三
個の脚部１２０Ｂとを備えている。この脚部１２
０Ｂには、互いに反対方向にスリツトＳ，Ｓが入
つていて、保持部材１１４の種々の方向の運動を
保証する。これらの脚部１２０Ｂは、保持部材１
１４の、軸Ｚの方向または位置Ａ乃至Ｆのいずれ
かを中心とする横方向運動をも許容するが、この
保持部材１１４の軸線Ｚに対して横方向または軸
線Ｚを中心とする偶然の移動応力が加えられなく
なると、この移動から基準位置に戻る事を保証す
る。板バネ１２１はバネ１２０と類似のものであ
つて、ホルダ１１２とハウジング１１０のフラン
ジ部１１０ａとを連結し、板バネ１２０と同様に
中心部と脚部とを有しており、両板バネ１２０，
１２１は上下に重なつて配置され、各脚部の先端
部分においてスペーサ１５０を介して互いに固着
されている。このように板バネを設ければ、簡単
な構造で軸線Ｚに対する横方向および軸線方向の
触針の変位に抵抗しうる。各場所Ａ乃至Ｆは、半
径方向横軸線１２２Ａに沿つて配設され保持部材
から突出した円柱形の受座部材１２２と、これに
直交する軸線１２３Ａ，１２３Ｂに沿つて配設さ
れハウジングのフランジ部１１０ａ上に配設され
た受座部材１２３ａおよび前記受座部材１２２，
１２３ａに対応してホルダ基部に配設された円柱
状の１２３ｂとの接点によつて定められる。前記
受座部材１２２は保持部材１１４から出て、その
軸線１２２Ａは軸線Ｚに対して放射方向にある。
前記両受座部材１２３ａおよび１２３ｂはハウジ
ング１１０およびホルダ１１２上に互いに並立に
固着されている。
する回転に対する拘束力は中心位置決め部材であ
る２枚の板バネ１２０と１２１とによつて加えら
れる。これらの板バネ１２０，１２１はそれぞれ
保持部材１１４とホルダ１１２をハウジングに対
して連接するものである。前記板バネ１２０は、
保持部材１１４に固着された中心部１２０Ａと、
この中心部から突出してその先端１２０Ｃがハウ
ジング１１０のフランジ１１０ａに固着された三
個の脚部１２０Ｂとを備えている。この脚部１２
０Ｂには、互いに反対方向にスリツトＳ，Ｓが入
つていて、保持部材１１４の種々の方向の運動を
保証する。これらの脚部１２０Ｂは、保持部材１
１４の、軸Ｚの方向または位置Ａ乃至Ｆのいずれ
かを中心とする横方向運動をも許容するが、この
保持部材１１４の軸線Ｚに対して横方向または軸
線Ｚを中心とする偶然の移動応力が加えられなく
なると、この移動から基準位置に戻る事を保証す
る。板バネ１２１はバネ１２０と類似のものであ
つて、ホルダ１１２とハウジング１１０のフラン
ジ部１１０ａとを連結し、板バネ１２０と同様に
中心部と脚部とを有しており、両板バネ１２０，
１２１は上下に重なつて配置され、各脚部の先端
部分においてスペーサ１５０を介して互いに固着
されている。このように板バネを設ければ、簡単
な構造で軸線Ｚに対する横方向および軸線方向の
触針の変位に抵抗しうる。各場所Ａ乃至Ｆは、半
径方向横軸線１２２Ａに沿つて配設され保持部材
から突出した円柱形の受座部材１２２と、これに
直交する軸線１２３Ａ，１２３Ｂに沿つて配設さ
れハウジングのフランジ部１１０ａ上に配設され
た受座部材１２３ａおよび前記受座部材１２２，
１２３ａに対応してホルダ基部に配設された円柱
状の１２３ｂとの接点によつて定められる。前記
受座部材１２２は保持部材１１４から出て、その
軸線１２２Ａは軸線Ｚに対して放射方向にある。
前記両受座部材１２３ａおよび１２３ｂはハウジ
ング１１０およびホルダ１１２上に互いに並立に
固着されている。
第１グループの位置Ａ，Ｂ，Ｃにおいて３個の
受座部材１２２は、軸線Ｚに対して直交する面の
中にある集合受座１３２を形成して、ホルダ１１
２が受座部材１２２に対して傾斜しない様に支承
している。これらの位置Ａ，Ｂ，Ｃの並列した両
受座部材１２３ａおよび１２３ｂは、前記保持部
材の受座部材１２２によつて形成される対応の凸
形面要素に対向する凸形面要素を形成している。
これらの受座部材１２２，１２３ａ，１２３ｂの
対向面要素が共働して、ホルダ１１２を保持部材
１１４に対して支承している。また位置Ｄ，Ｅ，
Ｆにおいては、ハウジングのフランジ部１１０ａ
の上に受座部材１２３ａは受座１３２と同一面に
おける集合受座１３１を形成し、保持部材１１４
を受座部材１２２および受座部材１２３ｂを介し
てハウジングのフランジ部１１０ａの上に、傾斜
しないように支承する。集合受座１３２は矢印
Z1の方向（上方向）に付勢されているのに対し
て、集合受座１３１は逆方向、即ち、矢印Z2の
方向に付勢されている。
受座部材１２２は、軸線Ｚに対して直交する面の
中にある集合受座１３２を形成して、ホルダ１１
２が受座部材１２２に対して傾斜しない様に支承
している。これらの位置Ａ，Ｂ，Ｃの並列した両
受座部材１２３ａおよび１２３ｂは、前記保持部
材の受座部材１２２によつて形成される対応の凸
形面要素に対向する凸形面要素を形成している。
これらの受座部材１２２，１２３ａ，１２３ｂの
対向面要素が共働して、ホルダ１１２を保持部材
１１４に対して支承している。また位置Ｄ，Ｅ，
Ｆにおいては、ハウジングのフランジ部１１０ａ
の上に受座部材１２３ａは受座１３２と同一面に
おける集合受座１３１を形成し、保持部材１１４
を受座部材１２２および受座部材１２３ｂを介し
てハウジングのフランジ部１１０ａの上に、傾斜
しないように支承する。集合受座１３２は矢印
Z1の方向（上方向）に付勢されているのに対し
て、集合受座１３１は逆方向、即ち、矢印Z2の
方向に付勢されている。
触針の移動を検出する目的で、各位置Ａ乃至Ｆ
における受座部材１２２，１２３ａ，１２３ｂは
回路開閉器を成している。その目的から、ホルダ
１１２、保持部材１１４およびハウジング１１０
は合成樹脂から成り、これに対して受座部材１２
２，１２３ａ，１２３ｂは硬化処理され研磨され
た鋼から成る。各開閉器は、一対の上下の受座部
材１２２，１２３ａ，１２３ｂによつて形成され
る。保持部材１１４の受座部材１２２は、その係
合する２個の受座部材１２３ａ，１２３ｂとそれ
ぞれ別個の２個の開閉器を成している。それぞれ
の位置Ａ乃至Ｆにおける開閉器は回路１２４の中
に直列に接続されているので（第１図）、開閉器
のどれか一つが開いた時に回路の状態は変えられ
る。前記回路１２４は位置Ｅにおいて受座部材１
２３ｂに対する導線１２５を有し位置Ｂ，Ｃにお
ける２つの受座部材１２３ａ間、位置FD間には
導線１２６，１２８が設けられている。
における受座部材１２２，１２３ａ，１２３ｂは
回路開閉器を成している。その目的から、ホルダ
１１２、保持部材１１４およびハウジング１１０
は合成樹脂から成り、これに対して受座部材１２
２，１２３ａ，１２３ｂは硬化処理され研磨され
た鋼から成る。各開閉器は、一対の上下の受座部
材１２２，１２３ａ，１２３ｂによつて形成され
る。保持部材１１４の受座部材１２２は、その係
合する２個の受座部材１２３ａ，１２３ｂとそれ
ぞれ別個の２個の開閉器を成している。それぞれ
の位置Ａ乃至Ｆにおける開閉器は回路１２４の中
に直列に接続されているので（第１図）、開閉器
のどれか一つが開いた時に回路の状態は変えられ
る。前記回路１２４は位置Ｅにおいて受座部材１
２３ｂに対する導線１２５を有し位置Ｂ，Ｃにお
ける２つの受座部材１２３ａ間、位置FD間には
導線１２６，１２８が設けられている。
位置Ａにおける受座部材１２３ａは板バネ１２
０を介して帰路導線１２７に接続され、こうして
回路か閉じる。
０を介して帰路導線１２７に接続され、こうして
回路か閉じる。
第１位置Ａ，Ｂ，Ｃは対応する第２位置Ｄ，
Ｅ，Ｆと軸Ｚの周りに実際に可能な範囲でできる
だけ等しい角度位置をとる。すなわち、３つの対
になつた位置Ａ，Ｄ；Ｂ，Ｅ；Ｃ，Ｆ、が存在す
る。
Ｅ，Ｆと軸Ｚの周りに実際に可能な範囲でできる
だけ等しい角度位置をとる。すなわち、３つの対
になつた位置Ａ，Ｄ；Ｂ，Ｅ；Ｃ，Ｆ、が存在す
る。
本実施例においてホルダ上の各々の第１位置
Ａ，Ｂ，Ｃはそれぞれのハウジングのフランジ部
１１０ａ上の第２位置Ｄ，Ｅ，Ｆとともに半径線
R1，R2，R3上に置かれている。これらの第２位
置Ｄ，Ｅ，Ｆは隣接する第１位置から半径方向に
所定距離だけ離れている。
Ａ，Ｂ，Ｃはそれぞれのハウジングのフランジ部
１１０ａ上の第２位置Ｄ，Ｅ，Ｆとともに半径線
R1，R2，R3上に置かれている。これらの第２位
置Ｄ，Ｅ，Ｆは隣接する第１位置から半径方向に
所定距離だけ離れている。
上述した一Ａ乃至Ｆの角度位置は最小モーメン
トの６角形状の関係軸を事実上備えている。
トの６角形状の関係軸を事実上備えている。
今触針が横方向の力Ｇによつてある横方向M1
に動かされるならば（第１図、第６図）、ホルダ
は位置ＡおよびＣを通る軸である軸ACの周りに
下方に傾斜し、そして開閉器の接触は位置DFお
よびＢにおいて離れる。逆にM2方向に力が作用
するとホルダが軸線DFを中心として上方に傾斜
し、このとき位置Ａ，ＣおよびＥにおいて開閉接
点が開かれる。軸線ACと軸線Ｚとの距離と軸線
DFと軸線Ｚとの距離の差ｄは小さいので触針を
方向M1とM2に傾斜させるのに必要なモーメント
はほぼ等しくなる。これに対して、第５図に示す
ように、単純な３点支持の場合は、M1とM2方向
におけるモーメントが２：１となり、それらの差
が大きい。したがつて、力の方向によつて触針の
感度が大きく異つてくるが、本考案の場合は差ｄ
が小さいので各方向における感度の差が小さい。
に動かされるならば（第１図、第６図）、ホルダ
は位置ＡおよびＣを通る軸である軸ACの周りに
下方に傾斜し、そして開閉器の接触は位置DFお
よびＢにおいて離れる。逆にM2方向に力が作用
するとホルダが軸線DFを中心として上方に傾斜
し、このとき位置Ａ，ＣおよびＥにおいて開閉接
点が開かれる。軸線ACと軸線Ｚとの距離と軸線
DFと軸線Ｚとの距離の差ｄは小さいので触針を
方向M1とM2に傾斜させるのに必要なモーメント
はほぼ等しくなる。これに対して、第５図に示す
ように、単純な３点支持の場合は、M1とM2方向
におけるモーメントが２：１となり、それらの差
が大きい。したがつて、力の方向によつて触針の
感度が大きく異つてくるが、本考案の場合は差ｄ
が小さいので各方向における感度の差が小さい。
また、M1方向すなわち三角形状の支持点の２
つを結ぶ軸線に直交する方向の力の傾斜モーメン
トは各支持点に向かうたとえばM2方向の傾斜モ
ーメントよりも小さいことがわかる。これら方向
の中間方向に力を加えた場合の傾斜モーメントは
各傾斜軸線（６本の傾斜軸線が存在する）に対す
るモーメント成分に分けて考えればよい。触針の
片寄り方向がN1とN2の場合、またはP1とP2の
場合にも、同様の状態が生じる。この故に、基準
位置において触針の安定性を得る為、触針は２組
の三位置上に支承されているけれども、実際上、
触針が傾斜する際に６つの傾斜軸線が存在する。
従つて、軸線Ｚに対して横方向の任意の傾斜力方
向について、触針を傾斜させるのに必要なモーメ
ントは実質的に同一であり、この様な横方向傾斜
力に起因する触針の片寄りは避け難いが、それは
小さく、単一の組の三位置を使用する場合に見ら
れる変動を免れる事ができる。
つを結ぶ軸線に直交する方向の力の傾斜モーメン
トは各支持点に向かうたとえばM2方向の傾斜モ
ーメントよりも小さいことがわかる。これら方向
の中間方向に力を加えた場合の傾斜モーメントは
各傾斜軸線（６本の傾斜軸線が存在する）に対す
るモーメント成分に分けて考えればよい。触針の
片寄り方向がN1とN2の場合、またはP1とP2の
場合にも、同様の状態が生じる。この故に、基準
位置において触針の安定性を得る為、触針は２組
の三位置上に支承されているけれども、実際上、
触針が傾斜する際に６つの傾斜軸線が存在する。
従つて、軸線Ｚに対して横方向の任意の傾斜力方
向について、触針を傾斜させるのに必要なモーメ
ントは実質的に同一であり、この様な横方向傾斜
力に起因する触針の片寄りは避け難いが、それは
小さく、単一の組の三位置を使用する場合に見ら
れる変動を免れる事ができる。
軸線Ｚの方向の触針転位に関しては、第３図か
ら、触針は矢印方向Z1またはZ2の方向に移動で
きる事は明らかである。触針がZ1の方向に転位
する時、位置Ｄ，Ｅ，Ｆにおいて開閉接点が開か
れる。逆方向Z2に転位する時、位置ABCにおい
て開閉接点が開く。このように、触針がＺ，Z2
の両方向に動くことができれば、測定機を上下い
ずれかの方向に動かしているときでも工作物を検
出できる。
ら、触針は矢印方向Z1またはZ2の方向に移動で
きる事は明らかである。触針がZ1の方向に転位
する時、位置Ｄ，Ｅ，Ｆにおいて開閉接点が開か
れる。逆方向Z2に転位する時、位置ABCにおい
て開閉接点が開く。このように、触針がＺ，Z2
の両方向に動くことができれば、測定機を上下い
ずれかの方向に動かしているときでも工作物を検
出できる。
図示されていない他の実施態様においては、板
バネ１２０と１２１は自由状態において皿状を成
し、これらのバネが探針中に組立てられた時、バ
ネ１２１はZ1方向の力を加えて、ホルダ１１２
を保持部材１１４に対して弾発する。同様に、板
バネ１２０が組立てられた時、方向Z2の力を加
えて保持部材１１４をハウジングに対して弾発す
る。この様な状態においては、バネ１１７と１１
９を省略し、または比較的弱くする事ができ、ま
たこれらのバネ１１７，１１９はバネ１２０，１
２１の力を補足し或は調節するのに充分である。
バネ１２０と１２１は自由状態において皿状を成
し、これらのバネが探針中に組立てられた時、バ
ネ１２１はZ1方向の力を加えて、ホルダ１１２
を保持部材１１４に対して弾発する。同様に、板
バネ１２０が組立てられた時、方向Z2の力を加
えて保持部材１１４をハウジングに対して弾発す
る。この様な状態においては、バネ１１７と１１
９を省略し、または比較的弱くする事ができ、ま
たこれらのバネ１１７，１１９はバネ１２０，１
２１の力を補足し或は調節するのに充分である。
第１図乃至第３図について記述した実施例にお
いて、２組の三位置、即ち位置Ａ，Ｂ，Ｃの組と
Ｄ，Ｅ，Ｆの組が存在し、その一方の組の各位置
の軸線を中心とする角度位置は他の組のものと同
一である。一組当り三位置の構造は安定性を示し
余分の位置を省略するものであるが、もし望むな
ら三位置以上の位置を設ける事ができる。その場
合には、組当りの位置の数が偶数であるか奇数で
あるかに応じてことなる状態が生じる。第１図乃
至第３図の様に奇数であれば、傾斜モーメントは
実質的に均一にする為には二組の各位置を実質的
に同一角度位置としなければならない。しかし偶
数であれば、実質的に同一の傾斜モーメントを得
る為には、一方の組の位置を他方の位置の中間角
度位置に配置し、また同一半径位置に配置する事
が好ましい。
いて、２組の三位置、即ち位置Ａ，Ｂ，Ｃの組と
Ｄ，Ｅ，Ｆの組が存在し、その一方の組の各位置
の軸線を中心とする角度位置は他の組のものと同
一である。一組当り三位置の構造は安定性を示し
余分の位置を省略するものであるが、もし望むな
ら三位置以上の位置を設ける事ができる。その場
合には、組当りの位置の数が偶数であるか奇数で
あるかに応じてことなる状態が生じる。第１図乃
至第３図の様に奇数であれば、傾斜モーメントは
実質的に均一にする為には二組の各位置を実質的
に同一角度位置としなければならない。しかし偶
数であれば、実質的に同一の傾斜モーメントを得
る為には、一方の組の位置を他方の位置の中間角
度位置に配置し、また同一半径位置に配置する事
が好ましい。
更に他の実施様態として、各受座部材１２２，
１２３ａ，１２３ｂの間の電気的接触構造を省略
して、その代りに触針ホルダ１１２とハウジング
１１０との間に近接検知器または類似物を導入
し、又はホルダ１１２と保持部材１１４間と保持
部材とハウジング１１０の間とに、それぞれ近接
スイツチを設けてもよい。第４図に図示の探針
は、受座部材によつて形成されるハウジング２１
０のフランジ２１０ａ上の受座２３１とホルダ１
１２の基部上の受座２３２が軸線Ｚに沿つて軸方
向に離間配置された複数の面に配置されている事
以外は、第１図乃至第２図に図示の探針と類似で
ある。すなわち、細径に形成されたハウジング２
１０内には、上下に離間して一体形成された２つ
の保持部材２１４，２１４が収納され、これら各
保持部材２１４には円柱状受座部材２２２が等間
隔で３つずつ配置されている。上方の保持部材の
受座部材２２２は、ハウジング２１０のフランジ
部２１０ａ上の円柱状の受座部材２２３ａに当接
し、下方の保持部材の受座部材２２２はホルダの
基部上の円柱状受座部材２２３ｂに当接してい
る。前記保持部材２１４の連結部２１４ａとハウ
ジングのフランジ部２１０ａ間は板バネ２２０に
よつて連結されたホルダ基部とハウジング２１０
下面間は板バネ２２１によつて連結され、ホルダ
１１２と保持部材２１４間、保持部材２１４とい
うハウジング上面間にはコイルバネ１１７および
１１９がそれぞれ設けられている。ホルダ１１２
は保持部材２１４と三位置2A，2B，2Cにおいて
係合し、また保持部材２１４は前記の位置2A，
2B，2Cに対応する上方の三位置2D，2E，2Fに
おいてハウジング２１０と係合している。各位置
2A乃至2Fにおいて、保持部材２１４に固着され
た円柱形の受座部材２２２は、触針ホルダ１１２
またはハウジング２１０に固着された円柱形の両
受座部材２２３ａ，２２３ｂに係合している。
１２３ａ，１２３ｂの間の電気的接触構造を省略
して、その代りに触針ホルダ１１２とハウジング
１１０との間に近接検知器または類似物を導入
し、又はホルダ１１２と保持部材１１４間と保持
部材とハウジング１１０の間とに、それぞれ近接
スイツチを設けてもよい。第４図に図示の探針
は、受座部材によつて形成されるハウジング２１
０のフランジ２１０ａ上の受座２３１とホルダ１
１２の基部上の受座２３２が軸線Ｚに沿つて軸方
向に離間配置された複数の面に配置されている事
以外は、第１図乃至第２図に図示の探針と類似で
ある。すなわち、細径に形成されたハウジング２
１０内には、上下に離間して一体形成された２つ
の保持部材２１４，２１４が収納され、これら各
保持部材２１４には円柱状受座部材２２２が等間
隔で３つずつ配置されている。上方の保持部材の
受座部材２２２は、ハウジング２１０のフランジ
部２１０ａ上の円柱状の受座部材２２３ａに当接
し、下方の保持部材の受座部材２２２はホルダの
基部上の円柱状受座部材２２３ｂに当接してい
る。前記保持部材２１４の連結部２１４ａとハウ
ジングのフランジ部２１０ａ間は板バネ２２０に
よつて連結されたホルダ基部とハウジング２１０
下面間は板バネ２２１によつて連結され、ホルダ
１１２と保持部材２１４間、保持部材２１４とい
うハウジング上面間にはコイルバネ１１７および
１１９がそれぞれ設けられている。ホルダ１１２
は保持部材２１４と三位置2A，2B，2Cにおいて
係合し、また保持部材２１４は前記の位置2A，
2B，2Cに対応する上方の三位置2D，2E，2Fに
おいてハウジング２１０と係合している。各位置
2A乃至2Fにおいて、保持部材２１４に固着され
た円柱形の受座部材２２２は、触針ホルダ１１２
またはハウジング２１０に固着された円柱形の両
受座部材２２３ａ，２２３ｂに係合している。
この構造においては、２組の受座位置を軸線Ｚ
から同一放射方向距離に配置し、または触針片寄
りモーメントの均一性を得る様にこれらの位置の
相対放射距離を選択する事が可能である。また、
この構造においては、ハウジング２１０の全体直
径を小さくする事ができる。第１図乃至第３図に
比較すれば、ホルダ１１２は変更されていない
が、保持部材２１４は保持部材１１４より大きい
軸方向高さを有しなければならない。また板バネ
２２０，２２１は小直径ハウジング２１０に適し
た直径とする。
から同一放射方向距離に配置し、または触針片寄
りモーメントの均一性を得る様にこれらの位置の
相対放射距離を選択する事が可能である。また、
この構造においては、ハウジング２１０の全体直
径を小さくする事ができる。第１図乃至第３図に
比較すれば、ホルダ１１２は変更されていない
が、保持部材２１４は保持部材１１４より大きい
軸方向高さを有しなければならない。また板バネ
２２０，２２１は小直径ハウジング２１０に適し
た直径とする。
第７図と第８図に図示した第４図構造の変形に
おいては、各円柱形の受座部材２２３ａ，２２３
ｂの代りに、１対の球形の部材３２３が使用さ
れ、これらの球形の受座部材は軸線Ｚの方向に集
中する一対の表面要素２２３−１，２２３−２を
形成するように配置されている。その場合，各位
置、例えば2D，2E，2Fは、それぞれの表面要素
対２２３−１，２２３−２の中間点によつて形成
される。各位置における集中表面要素２２３−
１，２２３−２は、ホルダが基準位置にあると
き、相互に共働して、ホルダを軸線Ｚに対して横
方向にまたは軸線Ｚを中心として運動しない様に
拘束するので、板バネ２２０，２２１を省略する
事ができる。
おいては、各円柱形の受座部材２２３ａ，２２３
ｂの代りに、１対の球形の部材３２３が使用さ
れ、これらの球形の受座部材は軸線Ｚの方向に集
中する一対の表面要素２２３−１，２２３−２を
形成するように配置されている。その場合，各位
置、例えば2D，2E，2Fは、それぞれの表面要素
対２２３−１，２２３−２の中間点によつて形成
される。各位置における集中表面要素２２３−
１，２２３−２は、ホルダが基準位置にあると
き、相互に共働して、ホルダを軸線Ｚに対して横
方向にまたは軸線Ｚを中心として運動しない様に
拘束するので、板バネ２２０，２２１を省略する
事ができる。
本考案は、以上のように構成したので、触針が
その軸の両方向に移動可能となり、探針を上方に
移動させつつ上側の加工物の表面を測定できると
ともに探針を下方に移動させつつ加工物の下側表
面をも測定できる。また、単純な三点支持の触針
と異なり、異なる方向における触針の傾斜モーメ
ントがほぼ等しくなるので力の方向における感度
が均一であるし、特にハウジングと保持部材ホル
ダ間に板バネを設けているので簡単な構造で軸回
りの変移を防止でせきる。
その軸の両方向に移動可能となり、探針を上方に
移動させつつ上側の加工物の表面を測定できると
ともに探針を下方に移動させつつ加工物の下側表
面をも測定できる。また、単純な三点支持の触針
と異なり、異なる方向における触針の傾斜モーメ
ントがほぼ等しくなるので力の方向における感度
が均一であるし、特にハウジングと保持部材ホル
ダ間に板バネを設けているので簡単な構造で軸回
りの変移を防止でせきる。
第１図はこの考案の探針の第１実施例の平面
図、第２図は第１図の−線による断面図、第
３図は第１図の−線による断面図、第４図は
第１図の変形例を示す類似の断面図、第５図は単
純三点支持の触針の作用説明図、第６図は第１図
の説明補助図、第７図は第４図の一部の変形を示
す詳細図、第８図は第７図の平面図である。 １１０，２１０……ハウジング、１１２……ホ
ルダ、１２３ａ，２２３ａ……受座部材、１２３
ｂ，２２３ｂ……受座部材、１２２，２２２……
受座部材、１１７，１１９……バネ。
図、第２図は第１図の−線による断面図、第
３図は第１図の−線による断面図、第４図は
第１図の変形例を示す類似の断面図、第５図は単
純三点支持の触針の作用説明図、第６図は第１図
の説明補助図、第７図は第４図の一部の変形を示
す詳細図、第８図は第７図の平面図である。 １１０，２１０……ハウジング、１１２……ホ
ルダ、１２３ａ，２２３ａ……受座部材、１２３
ｂ，２２３ｂ……受座部材、１２２，２２２……
受座部材、１１７，１１９……バネ。
Claims (1)
- 触針１１３を加工物に係合させるために互いに
相対的に移動可能でその係合によつて加工物の位
置を検出する位置測定機において使用され探針に
おいて、軸線Ｚを有する固定部材１１０と、触針
１１３が連結される移動部材１１２と、前記固定
部材１１０上に設けられ前記軸線Ｚに直交する平
面内において前記軸線Ｚの半径方向に配設された
第１受座手段１２３ａ，１２３ｂと、前記移動部
材１１２上に設けられ前記第１受座手段１２３
ａ，１２３ｂに対向する第２受座手段１２２と、
前記移動部材１１２を前記固定部材１１０に前記
第１および第２受座手段１２３ａ，１２３ｂ，１
２２を介して係合せしめ前記固定部材１１０上に
前記移動部材１１２を前記軸線Ｚの方向の基準位
置において前記固定部材１１０上に位置せしめる
ための付勢手段１１７，１１９と、前記固定部材
１１０と前記移動部材１１２間に連結された中心
位置決め部材１２０，１２１とからなり、前記中
心位置決め部材１２０，１２１は前記移動部材１
１２が基準位置にあるときに前記軸線Ｚに直交す
る２方向に伸びる少なくとも１つの構造体からな
り、前記中心位置決め部材１２０，１２１は前記
軸線Ｚに直交する２方向における変形に対して剛
性を有するが他の方向に対しては柔軟性を有する
ことを特徴とする測定機において使用される探
針。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| GB54032/76A GB1589297A (en) | 1976-12-24 | 1976-12-24 | Probe for use in measuring apparatus |
| GB2265677 | 1977-05-28 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61125702U JPS61125702U (ja) | 1986-08-07 |
| JPH0421048Y2 true JPH0421048Y2 (ja) | 1992-05-14 |
Family
ID=26256049
Family Applications (3)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15550177A Pending JPS5382377A (en) | 1976-12-24 | 1977-12-23 | Probe used in measuring instruments |
| JP1982110158U Granted JPS5866307U (ja) | 1976-12-24 | 1982-07-20 | 測定機において使用される探針 |
| JP1985178978U Expired JPH0421048Y2 (ja) | 1976-12-24 | 1985-11-20 |
Family Applications Before (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15550177A Pending JPS5382377A (en) | 1976-12-24 | 1977-12-23 | Probe used in measuring instruments |
| JP1982110158U Granted JPS5866307U (ja) | 1976-12-24 | 1982-07-20 | 測定機において使用される探針 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (4) | US4288925A (ja) |
| JP (3) | JPS5382377A (ja) |
| CH (1) | CH617881A5 (ja) |
| DE (1) | DE2757453B2 (ja) |
| FR (1) | FR2375580A1 (ja) |
| IT (1) | IT1088539B (ja) |
| SE (1) | SE437301B (ja) |
Families Citing this family (64)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB1568053A (en) * | 1975-10-04 | 1980-05-21 | Rolls Royce | Contactsensing probe |
| IT1088539B (it) * | 1976-12-24 | 1985-06-10 | Rolls Royce | Sonda per l'uso in apparecchi di misura |
| GB1593682A (en) * | 1977-01-20 | 1981-07-22 | Rolls Royce | Probe for use in mearusing apparatus |
| DE2712181C3 (de) * | 1977-03-19 | 1981-01-22 | Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim | Tastsystem |
| IT1107310B (it) * | 1978-03-23 | 1985-11-25 | Dea Spa | Gruppo di attacco per un montaggio di precisione e di sicurezza di un utensile su una macchina particolarmente una macchina di misura |
| DE2947394A1 (de) * | 1979-11-24 | 1981-05-27 | Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar | Einrichtung zur messwerterfassung an prueflingen |
| FR2475717A1 (fr) * | 1980-02-08 | 1981-08-14 | Roch Pierre Sarl | Instrument a poignee pour la mesure de diametres interieurs |
| US4583000A (en) * | 1980-11-14 | 1986-04-15 | Difracto Ltd. | Coordinate measuring method and device with a contact member and light detector |
| DE3279249D1 (en) * | 1981-06-30 | 1989-01-05 | Renishaw Plc | Probe for measuring workpieces |
| US4558312A (en) * | 1982-03-05 | 1985-12-10 | Sony Magnescale Incorporated | Position detecting device |
| DE3215878A1 (de) * | 1982-04-29 | 1983-11-03 | Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim | Tastkopf fuer koordinatenmessgeraete |
| JPS58169502U (ja) * | 1982-05-06 | 1983-11-12 | 大昭和精機株式会社 | 工作機械用位置測定装置 |
| JPS58196404A (ja) * | 1982-05-11 | 1983-11-15 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | タッチ信号プロ−ブ |
| US4451987A (en) * | 1982-06-14 | 1984-06-05 | The Valeron Corporation | Touch probe |
| DE3231160C2 (de) * | 1982-08-21 | 1985-11-07 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Mehrkoordinaten-Tastkopf |
| US4577416A (en) * | 1982-11-05 | 1986-03-25 | Traub Gmbh | Tracing sensor |
| JPS59104003U (ja) * | 1982-12-29 | 1984-07-13 | 黒田精工株式会社 | タツチセンサ |
| US4567672A (en) * | 1983-06-16 | 1986-02-04 | Mitutoyo Mfg. Co., Ltd. | Coordinate measuring instrument |
| US4612622A (en) * | 1983-07-12 | 1986-09-16 | United Technologies Corporation | Probe for coordinate measuring machine |
| IT1168698B (it) * | 1983-11-21 | 1987-05-20 | Finike Italiana Marposs | Testa per il controllo di dimensioni lineari |
| US4523063A (en) * | 1983-12-05 | 1985-06-11 | Gte Valeron Corporation | Touch probe having nonconductive contact carriers |
| US4553001A (en) * | 1983-12-05 | 1985-11-12 | Gte Valeron Corporation | Touch probe having nonconductive contact carriers |
| US4542590A (en) * | 1984-03-26 | 1985-09-24 | Gte Valeron Corporation | Two axis touch probe |
| FR2573865B1 (fr) * | 1984-11-23 | 1989-04-28 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif de retour automatique d'un plateau mobile a sa position de repos et palpeur multidirectionnel utilisant ce dispositif |
| US4625417A (en) * | 1985-06-17 | 1986-12-02 | Gte Valeron Corporation | Probe with stylus pressure adjustment |
| WO1987000915A1 (fr) * | 1985-07-30 | 1987-02-12 | Norio Fukuhisa | Detecteur de position |
| GB8627374D0 (en) * | 1986-11-15 | 1986-12-17 | Renishaw Plc | Checking setting of tool |
| DE3706767A1 (de) * | 1987-03-02 | 1988-09-15 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Mehrkoordinaten-tastkopf |
| US4778313A (en) * | 1987-05-18 | 1988-10-18 | Manuflex Corp. | Intelligent tool system |
| DE3811235A1 (de) * | 1987-08-21 | 1989-10-19 | Wegu Messtechnik | Dynamischer tastkopf |
| US5491904A (en) * | 1990-02-23 | 1996-02-20 | Mcmurtry; David R. | Touch probe |
| US5253428A (en) * | 1990-02-23 | 1993-10-19 | Renishaw Plc | Touch probe |
| GB9004117D0 (en) * | 1990-02-23 | 1990-04-18 | Renishaw Plc | Touch probe |
| IT1238266B (it) * | 1990-03-06 | 1993-07-12 | Marposs Spa | Testa per il controllo di dimensioni lineari di pezzi. |
| US5410334A (en) * | 1990-09-19 | 1995-04-25 | International Business Machines Corporation | Switch for pen-down sensing in electronic styli |
| GB9106731D0 (en) * | 1991-03-28 | 1991-05-15 | Renishaw Metrology Ltd | Touch probe |
| DE4123081C2 (de) * | 1991-07-12 | 2001-05-17 | Zeiss Carl | Tastkopf vom schaltenden Typ |
| DE4209829A1 (de) * | 1992-03-26 | 1993-09-30 | Max Hobe | Präzisions-Kupplung zum Einsatz in einem Tastkopf einer Meßeinrichtung |
| DE4228018C2 (de) * | 1992-08-24 | 1994-11-24 | Haff & Schneider Werkzeug Und | Mehrkoordinaten-Tastmeßgerät |
| IT1258132B (it) * | 1992-12-24 | 1996-02-20 | Dispositivo tastatore, particolarmente per macchine a copiare. | |
| DE4325743C1 (de) * | 1993-07-31 | 1994-09-08 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Mehrkoordinaten-Tastkopf |
| US5594995A (en) * | 1995-04-06 | 1997-01-21 | Metrol Co., Ltd. | Touch sensor |
| US5825666A (en) * | 1995-06-07 | 1998-10-20 | Freifeld; Daniel | Optical coordinate measuring machines and optical touch probes |
| US5819429A (en) * | 1995-10-12 | 1998-10-13 | Metrol Co., Ltd. | Touch sensor |
| DE29612475U1 (de) * | 1996-07-18 | 1996-09-19 | Zeiss Carl Fa | Tastkopf |
| DE19630823C1 (de) * | 1996-07-31 | 1997-12-11 | Zeiss Carl Fa | Koordinatenmeßgerät mit Kollisionsschutz |
| JP3121289B2 (ja) * | 1997-06-10 | 2000-12-25 | 株式会社ミツトヨ | 測定器 |
| GB0118981D0 (en) * | 2001-08-03 | 2001-09-26 | Renishaw Plc | Electron microscope and spectroscopy system |
| US6553682B1 (en) | 1999-03-15 | 2003-04-29 | Paradyne | Touch probe |
| DE19931226C2 (de) * | 1999-07-06 | 2001-10-18 | Mahr Gmbh | Führungssystem für einen Taster und Tastsystem |
| US6718647B2 (en) * | 2000-06-14 | 2004-04-13 | Renishaw Plc | Force sensing probe |
| DE10118069A1 (de) * | 2001-04-11 | 2002-10-17 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Längenmesstaster |
| GB0201845D0 (en) * | 2002-01-26 | 2002-03-13 | Renishaw Plc | Analogue probe |
| US6810599B2 (en) * | 2002-07-01 | 2004-11-02 | The Boeing Company | Pin tip sharpness measurement gauge |
| AU2003267798A1 (en) * | 2002-10-29 | 2004-05-25 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | A coordinate measuring device with a vibration damping system |
| EP1443300B1 (fr) * | 2003-01-29 | 2010-02-24 | Tesa SA | Palpeur orientable |
| EP1443301B1 (fr) * | 2003-01-29 | 2010-02-10 | Tesa SA | Palpeur orientable |
| US7116555B2 (en) * | 2003-12-29 | 2006-10-03 | International Business Machines Corporation | Acoustic and thermal energy management system |
| EP1610087B1 (fr) * | 2004-06-22 | 2010-01-20 | Tesa SA | Palpeur avec déclencheur |
| US7404260B2 (en) * | 2005-11-10 | 2008-07-29 | Johns Manville | Gauge and method for indicating one or more properties of a loose-fill insulation |
| DE102005054593B4 (de) * | 2005-11-14 | 2018-04-26 | Immobiliengesellschaft Helmut Fischer Gmbh & Co. Kg | Messonde zur Messung der Dicke dünner Schichten |
| EP1852674B1 (de) * | 2006-05-05 | 2015-09-09 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Messvorrichtung zur Bestimmung des relativen Versatzes zwischen zwei Bauteilen |
| GB2437982B (en) * | 2006-05-08 | 2011-07-27 | Taylor Hobson Ltd | Metrological apparatus |
| CN109048498B (zh) * | 2018-08-29 | 2020-10-20 | 扬州大学 | 一种可自动寻边系统 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4946350A (ja) * | 1972-09-04 | 1974-05-02 | ||
| JPS4994370A (ja) * | 1972-09-21 | 1974-09-07 | ||
| JPS52145058A (en) * | 1976-03-24 | 1977-12-02 | Rolls Royce | Displacement measuring device |
| JPS6130163U (ja) * | 1984-07-25 | 1986-02-22 | ロ−レルバンクマシン株式会社 | 硬貨投出装置 |
Family Cites Families (28)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE92567C (ja) * | ||||
| DD92567B (ja) * | ||||
| DE506115C (de) * | 1928-05-17 | 1930-09-01 | Fritz Werner Akt Ges | Gelenkiger Kopierstift |
| US2470244A (en) * | 1946-09-07 | 1949-05-17 | Submarine Signal Co | Electrical reproducing stylus |
| US3016619A (en) * | 1957-12-19 | 1962-01-16 | Kurt H Mueller | Depth and groove locating gage |
| US3028675A (en) * | 1958-04-03 | 1962-04-10 | Sheffield Corp | Gaging device |
| US3212325A (en) * | 1963-07-30 | 1965-10-19 | Katz Lester | Force measuring instrument |
| JPS4425436Y1 (ja) * | 1964-06-06 | 1969-10-24 | ||
| US3277248A (en) * | 1965-07-19 | 1966-10-04 | Western Electric Co | Switch control unit with improved pivot arm actuator structure |
| FR1543450A (fr) * | 1967-09-14 | 1968-10-25 | Gambin S A | Dispositif palpeur pour machine-outil à copier |
| US3520063A (en) * | 1968-08-30 | 1970-07-14 | Rohr Corp | Multiaxis inspection probe |
| US3557462A (en) * | 1968-10-30 | 1971-01-26 | Inspection Engineering And Equ | Gaging device and system |
| GB1271841A (en) * | 1969-01-01 | 1972-04-26 | British Aircraft Corp Ltd | Improvements relating to dimensional sensing devices |
| US3673695A (en) * | 1970-05-22 | 1972-07-04 | Rohr Corp | Non-tilting probe |
| US3670420A (en) * | 1971-01-04 | 1972-06-20 | Inspection Eng And Equipment I | Gaging head construction |
| US3766653A (en) * | 1971-10-04 | 1973-10-23 | Lockheed Missiles Space | Three axis inspection probe |
| DE2242355C2 (de) * | 1972-08-29 | 1974-10-17 | Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim | Elektronischer Mehrkoordinatentaster |
| US4153998A (en) * | 1972-09-21 | 1979-05-15 | Rolls-Royce (1971) Limited | Probes |
| US3855708A (en) * | 1972-10-16 | 1974-12-24 | Candid Logic Inc | Self-actuated digital location sensor |
| GB1447613A (en) * | 1973-06-14 | 1976-08-25 | Rolls Royce | Probes |
| DE2346031C2 (de) * | 1973-09-12 | 1975-08-07 | Kugelfischer Georg Schaefer & Co, 8720 Schweinfurt | Meßkopf für Koordinatenmeßmaschinen |
| AR205904A1 (es) * | 1973-10-01 | 1976-06-15 | Illinois Tool Works | Dispositivo detector para revelar variaciones de la superficie de una pieza de trabajo |
| DE2356030C3 (de) * | 1973-11-09 | 1978-05-11 | Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar | Taster zur Werkstückantastung |
| US4130941A (en) * | 1975-03-20 | 1978-12-26 | Rolls-Royce Limited | Displacement gauge |
| GB1568053A (en) * | 1975-10-04 | 1980-05-21 | Rolls Royce | Contactsensing probe |
| US4136458A (en) * | 1976-10-01 | 1979-01-30 | The Bendix Corporation | Bi-axial probe |
| IT1088539B (it) * | 1976-12-24 | 1985-06-10 | Rolls Royce | Sonda per l'uso in apparecchi di misura |
| DE2712181C3 (de) * | 1977-03-19 | 1981-01-22 | Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim | Tastsystem |
-
1977
- 1977-12-13 IT IT30675/77A patent/IT1088539B/it active
- 1977-12-14 SE SE7714205A patent/SE437301B/xx not_active IP Right Cessation
- 1977-12-22 DE DE2757453A patent/DE2757453B2/de active Granted
- 1977-12-23 FR FR7739015A patent/FR2375580A1/fr active Granted
- 1977-12-23 CH CH1599877A patent/CH617881A5/fr not_active IP Right Cessation
- 1977-12-23 JP JP15550177A patent/JPS5382377A/ja active Pending
-
1979
- 1979-05-17 US US06/039,786 patent/US4288925A/en not_active Expired - Lifetime
-
1981
- 1981-05-26 US US06/267,068 patent/US4360973A/en not_active Expired - Fee Related
-
1982
- 1982-07-20 JP JP1982110158U patent/JPS5866307U/ja active Granted
- 1982-09-02 US US06/414,502 patent/US4397093A/en not_active Expired - Lifetime
-
1984
- 1984-02-10 US US06/568,645 patent/US4473955A/en not_active Expired - Fee Related
-
1985
- 1985-11-20 JP JP1985178978U patent/JPH0421048Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4946350A (ja) * | 1972-09-04 | 1974-05-02 | ||
| JPS4994370A (ja) * | 1972-09-21 | 1974-09-07 | ||
| JPS52145058A (en) * | 1976-03-24 | 1977-12-02 | Rolls Royce | Displacement measuring device |
| JPS6130163U (ja) * | 1984-07-25 | 1986-02-22 | ロ−レルバンクマシン株式会社 | 硬貨投出装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE2757453A1 (de) | 1978-07-06 |
| FR2375580B1 (ja) | 1981-12-18 |
| SE7714205L (sv) | 1978-06-25 |
| JPS5866307U (ja) | 1983-05-06 |
| US4360973A (en) | 1982-11-30 |
| US4288925A (en) | 1981-09-15 |
| US4473955A (en) | 1984-10-02 |
| JPS61125702U (ja) | 1986-08-07 |
| JPS6130163Y2 (ja) | 1986-09-04 |
| IT1088539B (it) | 1985-06-10 |
| FR2375580A1 (fr) | 1978-07-21 |
| DE2757453B2 (de) | 1979-05-03 |
| SE437301B (sv) | 1985-02-18 |
| US4397093A (en) | 1983-08-09 |
| CH617881A5 (ja) | 1980-06-30 |
| DE2757453C3 (ja) | 1989-10-12 |
| JPS5382377A (en) | 1978-07-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0421048Y2 (ja) | ||
| US4138823A (en) | Probe for use in measuring apparatus | |
| EP0551165B1 (en) | Touch probe | |
| US4516327A (en) | Touch signal probe | |
| US4451988A (en) | Probe for use in measuring apparatus | |
| US4523382A (en) | Work-contact probe head for coordinate-measuring instruments | |
| JP3621938B2 (ja) | プローブカード | |
| JPS6133122B2 (ja) | ||
| US4625413A (en) | Head for checking dimensions of mechanical parts | |
| JPH0441808B2 (ja) | ||
| US4798004A (en) | Displacement detecting apparatus | |
| US5509211A (en) | Multi-coordinate probe | |
| US4832452A (en) | Device for setting the angular position of optical elements | |
| JPH0617766B2 (ja) | タッチ信号プロ−ブ | |
| US4720922A (en) | Anti-collision device for the sensing head of a measuring machine | |
| US4884003A (en) | Compact micromotion translator | |
| JPS6322526B2 (ja) | ||
| US3991477A (en) | Probe for a coordinate measuring machine | |
| JPH0239205Y2 (ja) | ||
| JPH0131924Y2 (ja) | ||
| JP2617651B2 (ja) | タッチ信号プローブ | |
| JPS6334961B2 (ja) | ||
| JPH0416886Y2 (ja) | ||
| JPH01299401A (ja) | 動的フィーラヘッド | |
| JPH0360363B2 (ja) |