JPS6130163Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、測定機に使用する為の探針に関する
ものである。

探針の上に載置された触針が測定される工作物
に接触するまで測定機を移動させる段階と、触針
と工作物との接触の瞬間における規準に対するヘ
ツドの位置を記録する段階とから成る操作の為に
測定機ヘツドにこの種の探針を連結する事は公知
である。この様な操作を可能にするには、触針が
工作物と接触した位置を測定機が少し越える事が
できる様にする為、触針はヘツドに固定された探
針部分に対して僅かに転位可能である。

この様な探針は、そのハウジング上に備えられ
た受座と係合する様に付勢された触針を備えてい
る。操作に際して、もしホルダに連結された触針
が座の面に対して平行な方向に転位させられる
と、この転位に伴つて、ホルダは触針座の上にお
いて、座の対向する方向に傾斜させられ、次にホ
ルダはこの同じ方向において座から離れる。しか
し、公知の探針においては、触針を受座の対向す
る方向と反対方向に転位させる事は不可能であ
る。すなわち、触針をホルダの軸方向における両
方向に移動させることはできなかつた。本考案
は、かかる点に鑑み、簡単な構造で触針をホルダ
の軸方向における両方向に移動できるようにした
測定機において使用される探針を提供することを
目的とする。

以下、本考案を図面に示す実施例によつて詳細
に説明する。

第１図乃至第３図に図示の探針は、測定機のヘ
ツドに取付ける為のスピゴツト１１を備えたハウ
ジング１０を有する。保持部材１４によつてハウ
ジング１０上に支承された触針ホルダ１２に対し
て触針１３が連接されている。ハウジング１０
は、その下端内壁の周方向等間の位置からその内
方に突出した３つの突起上に固着された３個の円
筒形第１受座部材１８を有し、全体として第１受
座３１を形成している。ホルダの３方向に分岐し
た基部には、円筒形第２受座部材１５が固着され
た全体として第２受座を形成し、この部材１５
は、保持部材１４に固着された球形の第三受座部
材１６に当接しており、部材１６は全体として第
３受座３２を形成している。図から明かな様に、
第３受座部材１６はホルダ１２の座として役立つ
と共に、第１受座３１上の保持部材１４の支承部
材としても役立つている。前記第２受座部材１５
は前記第１受座部材１８と交互に配置されている
（第２図）。バネ１９が保持部材１４を下方に弾発
して、第３受座部材１６を第１受座部材１８に押
し付け、一方ホルダ１２はバネ１７によつて上方
に弾発され第２受座部材１５を第３受座部材１６
に押し付けている。下記に更に詳細に述べる様に
第１受座３１と第３受座３２および第２受座と第
３受座３２が十分に係合している時、触針または
ホルダは基準位置にあると言われる。

第１受座３１は第１受座部材１８の表面要素３
１Ａ（第３図）から成る。これらの表面要素３１
Ａは球形第３受座部材１６の対向表面要素３１Ｂ
共働して保持部材１４を支承している。

第３受座３２は第３受座部材１６の表面要素３
２Ａによつて構成される。これらの表面要素３２
Ａは第１受座部材１５の対向表面要素３２Ｂと共
働して、ホルダ１２を支承している。

第１受座３１は上向き（第１図と第３図）、即
ち矢印Ｚ１の方向であるのに対して、第３受座３
２は下向き、即ち矢印Ｚ２の方向である。従つ
て、ホルダ１２は、バネ１７の力に対抗して下方
に動かされ、またバネ１９の力に対抗して上方に
動かされ、またそれぞれの場合に対応のバネがホ
ルダ１２をその基準位置に戻す。

第３図から明かな様に、第１受座３１と第３受
座３２は共通面XYの中にあり、またこれらの座
３１，３２は、面XYに対して直交する軸線Ｚに
沿つた位置にホルダ１２を確実に配置する為に共
働する。

三個の第１受座部材１８は軸線Ｚに対して放射
方向線上に配置されている（第２図）。この故
に、軸線Ｚを中心として等間隔に配置された三対
の表面要素３１Ａが存在する。要素３１Ｂおよび
要素３２Ａ，３２Ｂも軸線Ｚを中心として等間隔
に配置されている。各対の隣接の表面要素３１Ｂ
は一対の集中面を成し、構造中のこれらの三対の
要素３１Ｂがホルダ１２の軸線Ｚに対する横方向
運動および軸線Ｚを中心とする回転運動を確実に
防止する。表面要素３２Ａの集中構造も同様の拘
束作用を成す。

６個の球形第３受座部材１６は、第１受座３１
上に密着すると共に、第２受座に当接している。
この故に、周方向に連続した三個の球形部材１６
から成る任意のセツトは、１個の第１受座部材１
８を中間に配置した一対の集中表面要素３１Ｂを
限定する第１球座部材１６と第２球座部材１６を
含み、また１個の第２受座部材１５を中間に配置
した一対の集中表面要素３２Ａを限定する第２球
形部材１６と第３球形部材１６とを含んでいると
言う事ができよう。

上記の構造は、ホルダ１２と触針１３を、直線
運動も回動運動もしない様に確実に拘束するのに
役立ち、しかし同時に、バネ１７または１９の力
に勝つ任意の応力作用で完全にホルダの軸線方向
の両方向に運動自在である。

更に詳しくは、触針は軸線Ｚに沿つていずれの
方向にも移動可能であるから、例えば軸線Ｚの方
向に相互に対向する面２９Ａと２９Ｂとを有する
工作物２９を触針Ｂによつて探査する事ができ
る。面２９Ａの探査は、触針１３がこの面２９Ａ
と係合し第１受座３１との係合が破れるまで探針
を下降させる様に測定機を作動するにある。これ
に対して、触針１３が面２９Ｂに係合して第３受
座３２と第２受座とが離れるまで探針を上昇させ
る様に測定機を作動する事によつて面２９Ｂが探
査される。測定機が探査運動から逆行しまた触針
の移動を生じた力がが終止する時、対応のバネが
触針を完全に拘束された位置または基準位置に戻
す事は明かであろう。

触針１３に横方向（Ｚ軸に対して横方向）の力
が加わつた場合について第１０図を参照して説明
すると、触針１３にＭ_r方向の力が加わつたとき
には、ホルダ１２は第３受座部材１６と第１受座
部材１８との両接の点を結が仮想軸Ｈを中心とし
て傾斜し、逆にM₁と反対のM₂方向の力が触針１
３に加わると、ホルダ１２は第２受座部材１５と
第３受座部材との両接点を結ぶ仮想軸Ｉを中心と
して傾斜する。

各仮想軸Ｈ，Ｉ周りのモーメントを考えると、
M₁方向の力が加わつた場合にはそのスパンが距
離XZとなり、M₂方向の力が加わつた場合にはそ
のスパンが距離YZとなる。これら両距離の差が
M₁とM₂方向における感度の差となる。M₁M₂方向
と60度ずつずれた方向N₁N₂方向、およびP₁，P₂
方向についても同様な傾斜軸が存在し、これら各
方向の中間方向に力が加わつた場合には各傾斜仮
想軸に対するモーメント成分に分解して考えれば
よい。

今、単純な３点支持の触針を考えてみると、第
１１図に示すように、Ｚ軸にM₁方向とM₂方向に
おいて横方向の力が加わつた場合に、そのモーメ
ントスパンの差は三点が正三角形の関係にあれば
２：１となり、前記両距離の比XZ：YZよりも大
きくなる。すなわち、本発明のような構造とすれ
ば、単なる三点支持と異なり各方向における力に
対する感度の差が非常に小さくなる。すなわち、
本発明の構成によれば、各方向からの感度がほぼ
等しくなるばかりでなくＺ軸方向（上下方向）に
も触針が動き得るのである。

基準位置からの触針の移動は電気回路２８Ａに
よつて検出される。この目的から、ハウジング１
０、保持部材１４およびホルダ１２は絶縁性物質
から成るのに対して、部材１５，１６，１８は硬
化処理され研摩された鋼から成り、導電性であ
る。１個の部材１８が相互に絶縁された２半分に
分割され（第３図）、これらの２半分は回路の二
導線２８Ａ，２８Ｂにそれぞれ接続されている。
この構造においては、各対の表面要素３１Ａ，３
１Ｂまたは３２Ａ，３２Ｂは開閉器を成し、これ
ら総ての開閉器が回路２８の中に直列に配置され
ている事は明かであろう。従つてもし触針の基準
位置が破られれば、これらの開閉器の少くとも１
つが開いて回路２８の状態を変更するに相違な
い。この状態変化を公知の様にして利用し、触針
と工作物の間に係合の生じた事を指示する。

第４図乃至第６図において図示の探針の触針１
１３（第６図）はホルダ１１２に連接され、この
ホルダ１１２は基準軸線Ｚを中心として等角度な
三位置Ａ，Ｂ，Ｃにおいて保持部材１１４と係合
する様にバネ１１７によつて弾発されている。バ
ネ１１７の力は、軸線Ｚに対して平行な矢印Ｚ１
の方向に加えられる。保持部材１１４そのもの
は、同じく軸線Ｚを中心として等角度な三位置
Ｄ，Ｅ，Ｆにおいてベース部材またはハウジング
１１０と係合する様にバネ１１９によつて弾発さ
れているが、このバネ１１９の力は矢印Ｚ１の方
向と逆の矢印Ｚ２の方向に加えられる。

これらの付図は、基準位置にあるホルダを示し
ている。ホルダはこの位置において各バネの作用
によつていかなる線運動または枢転運動に対して
も拘束されている。軸線Ｚの方向の線運動に対す
る拘束力は位置Ａ乃至Ｆにおいて加えられる。さ
らに、これらの位置においては、軸線Ｚに対して
直角方向の軸線を中心とする運動、即ち位置Ａ乃
至Ｆのいずれか１つまたは２つを中心とするホル
ダの傾斜、に対して拘束されている。ホルダは、
触針に対して適当方向に作用する力Ｆによつて、
バネ１１７または１１９の上記二種の拘束力に対
抗して移動する事ができる。力Ｆが終止する時、
バネ１１７または１１９がホルダとその触針を基
準位置に戻す。

軸線Ｚに対する横方向移動とこの軸線を中心と
する回転に対する拘束力は２枚の板バネ１２０と
１２１とによつて加えられる。これらの板バネは
それぞれ保持部材１１４とホルダ１１２をハウジ
ングに対して連接するものである。板バネ１２０
は、保持部材１１４に固着された中心部１２０Ａ
と、この中心部材１２０Ａとハウジング１１０に
固着されたフランジ１２０Ｃの中間の三個の外周
部１２０Ｂとを備えている。これらの外周部１２
０Ｂは、保持部材の、軸Ｚの方向または位置AB
乃至Ｆのいずれかを中心とする運動を許容する
が、この保持部材の軸線Ｚに対して横方向または
軸線Ｚを中心とする偶然の移動応力ぎ加えられて
終止した時、この移動から戻る事を保証する。バ
ネ１２１はバネ１２０と類似のものであつて、保
持部材１１４とハウジング１１０との中間に連結
されている。

各場所Ａ乃至Ｆは、半径方向軸線１２２Ａに沿
つて配置された円筒形の第３受座部材１２２とこ
れに直交する軸線１２３Ａ，１２３Ｂに沿つて配
設された第１および第２受座部材１２３ａおよび
１２３ｂとの接点によつて定められる。第３受座
部材１２２は保持部材１１４から出て、その軸線
１２２Ａは軸線Ｚに対して放射方向にある。第１
および第２受座部材１２３ａおよび１２３ｂはハ
ウジング１１０およびホルダ１１２に固着されて
いる。

第１グループの位置Ａ，Ｂ，Ｃにおいて、３個
の第３受座部材１２２は、軸線Ｚに対して直交す
る面の中にある集合的に受座１３２を形成して、
ホルダ１１２を第３受座部材１２２の上に、傾斜
しない様に、支承している。これらの位置Ａ，
Ｂ，Ｃの第１および第２受座部材１２３ａおよび
１２３ｂは、第３受座部材１２２によつて限定さ
れる対応の凸形面要素に対向する凸形面要素を限
定している。これらの部材１２２，１２３ａおよ
び１２３ｂの対向面要素が共働して、ホルダ１１
２を保持部材１１４の上に支承している。また位
置Ｄ，Ｅ，Ｆにおいては、第１受座部材１２３ａ
は受座１３２と同一面において受座１３１を形成
し、保持部材１１４を第３受座部材１２２および
第２受座部材１２３ｂを介してハウジング１１０
の上に、傾斜しない様に、支承する。受座１３１
は矢印Ｚ１の方向に面しているのに対して、受座
１３２は逆方向、即ち、矢印Ｚ２の方向に面して
いる。

触針の移動を検出する目的で、各位置Ａ乃至Ｆ
における部材１２２，１２３ａおよび１２３ｂは
回路開閉器を成している。その目的から、ホルダ
１１２、保持部材１１４およびハウジング１１０
は合成樹脂から成り、これに対して部材１２２，
１２３ａおよび１２３ｂは硬化処理され研摩され
た鋼から成る。各開閉器は、一対の上下の部材１
２２，１２３ａおよび１２３ｂによつて限定され
る。各第３受座部材１２２は、その係合する２個
の第１、第２受座部材１２３ａおよび１２３ｂと
それぞれ別個の２個の開閉器を成している。それ
ぞれの位置Ａ乃至Ｆにおける開閉器は回路１２４
の中に直列に接続されているので（第４図）開閉
器のどれか一つが開いた時に回路の状態は変えら
れる。回路１２４は位置Ｅにおいて部材１２３ａ
および１２３ｂに対する導体１２５を有し、導体
１２５は隣設第３受座部材１２２に導体１２６に
接続され、位置Ｂ，Ｃにおける部材１２３と位置
CF，FDおよび位置DA間には導体１２６が設け
られている。

位置Ａにおける部材１２３ｂは板バネ１２０を
介して帰路導体１２７に接続され、回路が閉じ
る。

第１位置Ａ，Ｂ，Ｃは対応する第２位置Ｄ，
Ｅ，Ｆと軸Ｚの周りに実際に可能な範囲でできる
だけ等しい角度位置をとる。すなわち、３つの対
になつた位置Ａ，Ｄ，Ｂ，Ｅ，Ｃ，Ｆ、が存在
し、それぞれの対はハウジング１１０上のそれぞ
れの第２位置に近接したホルダ１１２上の第１位
置を有する。

本実施においては各々の第１位置Ａ，Ｂ，Ｃは
それぞれの第２位置Ｄ，Ｅ，Ｆとともに半径線
R₁，R₂，R₃上に置かれている。各々の第２位置
はホルダーおよびハウジング上に２つの位置をそ
れぞれ設置するために隣接する第１位置から半径
方向に必要なる距離だけ単に離れている。

上述した位置Ａ乃至Ｆの角度位置は最小モーメ
ントの６角形状の関係軸を事実上備えている。

触針が方向M₁に動かされるならば（第４図、
第１２図）、ホルダは位置ＡおよびＣを通る軸で
ある軸ACの周りに下方に傾斜し、そして開閉器
の接触は位置DFおよびＢにおいて離れる。

触針１１３が反対方向であるM₂の方向に動か
されるならば、ホルダが軸線Ｄ，Ｆを中心として
上方に傾斜し、このとき位置Ａ，ＣおよびＥにお
いて開閉接点が開かれる。軸線Ａ，Ｃと軸線Ｚと
の距離と軸線DFと軸線Ｚとの距離の差ｄは小さ
いので触針を方向M₁とM₂に傾斜させるのに必要
なモーメントはほぼ等しくなる。

また、M₁方向すなわち三角形状の支持点の２
つを結ぶ軸線に直交する方向の力の傾斜モーメン
トは各支持点に向かうたとえばM₂方向の傾斜モ
ーメントよりも小さいことがわかる。これら方向
の中間方向に力を加えた場合の傾斜モーメントは
各傾斜軸線（６本の傾斜軸線が存在する）に対す
るモーメント成分に分けて考えればよい。触針の
片寄り方向がＮ１とＮ２の場合、またはＰ１とＰ
２の場合にも、同様の状態が生じる。この故に、
基準位置において触針の安定性を得る為、触針は
２セツトの三位置上に支承されているけれども、
実際上、触針が傾斜する際に６つの、傾斜軸線が
存在する。従つて、軸線Ｚに対して横方向の任意
の傾斜力方向について、触針を傾斜させるのに必
要なモーメントは実質的に同一であり、この様な
横方向傾斜力に起因する触針の片寄りは避け難い
が小さく、単一セツトの三位置使用する場合に見
られる変動を免れる事ができる。

軸線Ｚの方向の触針転位に関しては、第６図か
ら、触針は矢印方向Ｚ１またはＺ２の方向に移動
できる事は明らかである。触針がＺ１の方向に転
位する時、位置Ｄ，Ｅ，Ｆにおいて開閉接点が開
かれる。逆方向Ｚ２に転位する時、位置ABCに
おいて開閉接点が開く。

図示されていない他の実施態様においては、板
バネ１２０と１２１は自由状態において皿状を成
し、これらのバネが探針中に組立てられた時、バ
ネ１２１はＺ１方向の力を加えて、ホルダ１１２
を保持部材１１４に対して弾発する。同様に、バ
ネ１２０が組立てられた時、方向Ｚ２の力を加え
て保持部材１１４をハウジングに対して弾発す
る。この様な状態においては、バネ１１７と１１
９を省略し、または比較的弱くする事ができ、ま
たこれらのバネ１１７，１１９はバネ１２０，１
２１の力を補足し或は調節するのに充分である。

第４図乃至第６図について記述した実施例にお
いて、２セツトの三位置、即ち位置Ａ，Ｂ，Ｃと
Ｄ，Ｅ，Ｆが存在し、その一方のセツトの各位置
の軸線を中心とする角度位置は他のセツトのもの
と同一である。一セツト当り三位置の構造は安定
性を示し余分の位置を省略するものであるが、も
し望むなら三位置以上の位置を設ける事ができ
る。その場合には、セツト当りの位置の数が偶数
であるか奇数であるかに応じて異る状態が生じ
る。第４図乃至第６図の様に奇数であれば、傾斜
モーメント実質的に均一にする為には二セツトの
各位置を実質的に同一角度位置としなければなら
ない。しかし偶数であれば、実質的に同一の傾斜
モーメントを得る為には、一方のセツトの位置を
他方のセツトの位置の中間角度位置に配置し、ま
た同一半径位置に配置する事が好ましい。

更に他の実施態様として、各部材１２２，１２
３，１３１の間の電気的接触構造を省略して、そ
の代りに触針ホルダ１１２とハウジング１１０と
の間に近接検知器または類似物を導入し、又はホ
ルダ１１２と保持部材１１４間と、保持部材とハ
ウジング１１０の間とに、それぞれ近接検知器を
導入する。前記実施例の電気回路２８Ａ、各受座
部材の接触およびその近接検知器が検知装置をな
し、この検知装置は前記触針１３が加工物に対し
て所定の位置に達したときに信号を発し、この信
号処理によつて加工物の測定面が検知される。

第７図に図示の探針は、受座部材によつて限ら
れる受座２３１，２３２が軸線Ｚに沿つて軸方向
に離間配置された複数の面に配置されている事以
外は、第４図乃至第６図に図示の探針と類似であ
る。ホルダ１１２は保持部材２１４と三位置２
Ａ，２Ｂ，２Ｃにおいて係合し、また保持部材２
１４は前記の位置２Ａ，２Ｂ，２Ｃのそれぞれ上
方の三位置２Ｄ，２Ｅ，２Ｆにおいてハウジング
２１０と係合している。各位置２Ａ乃至２Ｆにお
いて、保持部材２１４に固着された円筒形の第３
受座部材２２２は、触針ホルダ１１２またはハウ
ジング２１０に固着された円筒形の第１および第
２受座部材２２３ａおよび２２３ｂに係合してい
る。

この構造においては、２セツトの位置を軸線Ｚ
から同一放射方向距離に配置し、または触針片寄
りモーメントの均一性を得る様にこれらの位置の
相対放射距離を選択する事が可能である。また、
この構造においては、ハウジング２１０の全体直
径を小さくする事ができる。第４図乃至第６図に
比較すれば、ホルダ１１２は変更されていない
が、保持部材２１４は保持部材１１４より大きい
軸方向高さを有しなければならない。また板バネ
２２０，２２１は小直径ハウジング２１０に適し
た直径とする。

第８図と第９図に図示の第７図構造の変形にお
いては、各円筒形の第１および第２受座部材２２
３ａおよび２２３ｂの代りに、１対の球形の部材
３２３が使用され、これらの球形の受座部材は軸
線Ｚの方向に集中する一対の表面要素２２３−
１，２２３−２を限定する様に配置されている。
その場合、各位置、例えば２Ｄ，２Ｅ，２Ｆは、
それぞれの表面要素対２２３−１，２２３−２の
中間点によつて限定される。各位置における集中
表面要素２２３−１，２２３−２は、ホルダが基
準位置にある時、相互に協働して、ホルダを軸線
Ｚに対して横方向にまたは軸線Ｚを中心として運
動しない様に拘束するので、板バネ２２０，２２
１を省略する事ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の第１実施態様による探針の
垂直断面図、第２図は第１図の−線に沿つた
横断面図、第３図は第２図の−線に沿つた展
開断面図、第４図はこの考案の探針の第２実施態
様の水平断面図、第５図は第４図合−線によ
る断面図、第６図は第４図の−線による断面
図、第７図は第４図の変形を示す類似の断面図、
第８図は第７図の一部の変形を示す詳細図、また
第９図は第８図の平面図、第１０図は第１実施態
様において触針に横方向の力を加えた場合ホルダ
の傾斜状況説明図、第１１図は単純三点支持の触
針の作用説明図、第１２図は第４図の説明補助図
である。 １０，１１０，２１０……ハウジング、１２，
１１２……ホルダ、１８，１２３ａ，２２３ａ…
…第１受座部材、１５，１２３ｂ，２２３ｂ……
第２受座部材、１６，１２２，２２２……第３受
座部材、１７，１９，１１７，１１９……バネ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 触針１３を保持する触針ホルダ１２を基準位
   置から傾斜できるとともにその軸方向に移動可
   能に支持し、工作物表面の状態を検知するため
   の測定機において使用される探針において、測
   定機のヘツドに連結された筒状のハウジング１
   ０，１１０，２１０と、このハウジングの周壁
   の同一高さ位置からハウジングの中心軸側に突
   出形成された突出部の少なくとも３箇所に、ハ
   ウジングの周方向に対して等間隔に設けられた
   固定第１受座部材１８，１２３ａ，２２３ａ
   と、前記ハウジング内に移動自在に収納され触
   針ホルダを保持するための保持部材１４，１１
   ４，２１４と、この保持部材に支持された触針
   ホルダの基部に前記保持部材に対向して設けら
   れた第２受座部材１５，１２３ｂ，２２３ｂ
   と、前記保持部材に設けられ、前記第１受座部
   材および第２受座部材に当接する第３受座部材
   １６，１２２，２２２と、前記保持部材を前記
   突出部側に押圧して第３受座部材を第１受座部
   材に押圧するための第１弾性部材１９，１１９
   と、前記触針ホルダを保持部材側に付勢して第
   ２受座部材を第３受座部材に押圧しつつホルダ
   を支持するための第２弾性部材１７，１１７
   と、前記触針１３が加工物に対して所定の位置
   に達したときに信号を発する検知装置とを有
   し、前記第１受座部材および第２受座部材は軸
   方向の同一方向において第３受座部材に当接
   し、前記触針ホルダは各受座部材の当接によつ
   て保持され、前記保持部材１４，１１４，２１
   ４は、第１弾性部材１９，１１９に抗して第１
   受座上において傾斜可能であるとともにその軸
   方向に移動可能であり、前記触針ホルダ１２，
   １１２は前記第２弾性部材１７，１１７に抗し
   て第３受座上において傾斜可能であるとともに
   その軸方向に移動可能であることを特徴とする
   測定機において使用される探針。 ２ 前記ハウジング１０，１１０，２１０は円筒
   状をなし、前記第１受座部材１８，１２３ａ，
   ２２３ａは円周方向等間隔に形成され、前記保
   持部材１４，１１４，２１４上の第３受座部材
   １６，１２２ｂ，２２２ｂは互いに円周方向等
   間隔に配置されて前記第１受座および第２受座
   部材１５，１８，１２３ａ，１２３ｂ，２２３
   ａ，２２３ｂと共働し、前記触針ホルダ１２，
   １１２上の第２受座部材１５，１２３ｂ，２２
   ３ｂは互いに円周方向等間隔に配置されている
   ことを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１
   項に記載の測定機において使用される探針。 ３ 前記第１受座部材１８と第２受座部材１５と
   は円周方向に交互に配置されていることを特徴
   とする実用新案登録請求の範囲第２項に記載の
   測定機において使用される探針。 ４ 前記第１受座部材１８は円周方向に３個配設
   され、これら第１受座部材１８の中間に第２受
   座部材１５が３個配設され、これら両受部材１
   ５，１８の隣接表面３１Ａ，３１Ｂに跨るよう
   にして６個の第３受座部材１６が設けられ、そ
   の表面３１Ｂ，３１Ａがそれぞれ前記隣接表面
   ３１Ａ，３１Ｂに説触していることを特徴とす
   る実用新案登録請求の範囲第３項に記載の測定
   機において使用される探針。 ５ 前記第１および第２受座部材１２３ａ，１２
   ３ｂは第３受座部材１２２と同一の半径線
   R₁，R₂，R₃上に位置することを特徴とする実
   用新案登録請求の範囲第２項に記載の測定機に
   おいて使用される探針。 ６ 前記第３受座部材１２２は、一対の半径方向
   に離間した位置Ａ〜Ｆで第１および第２受座部
   材１２３ａ，１２３ｂに当接し、前記第１受座
   部材１２３ａは半径方向外側位置Ｄ，Ｅ，Ｆで
   第３受座部材１２２と当接することにより保持
   部材１４４を支持し、前記第２受座部材１２３
   ｂが半径方向内側位置Ａ，Ｂ，Ｃで第３受座部
   材１２２と当接することにより触針ホルダ１１
   ２が支持されることを特徴とする実用新案登録
   請求の範囲第５項に記載の測定機において使用
   される探針。 ７ 前記第１受座部材１８，１２３ａと第２受座
   部材１５，１２３ｂの各々の表面に対する第３
   受座部材１６，１２２の接触位置は同一平面内
   にあることを特徴とする実用新案登録請求の範
   囲第２項に記載の測定機において使用される探
   針。 ８ 前記第１受座部材２２３ａと第２受座部材２
   ２３ｂの各々に対する第３受座部材２２２の接
   触位置は異なる平面内に配置されていることを
   特徴とする実用新案登録請求の範囲第２項に記
   載の測定機において使用される探針。 ９ 前記検知装置は、各受座部材間の電気的接触
   がなされたり、その接触が破れたりすることに
   応答して信号を発し、前記各受座部材は互いに
   当接する曲面を有していることを特徴とする実
   用新案登録請求の範囲第１項乃至第８項のいず
   れかに記載の測定機において使用される探針。 10 前記検知装置は、近接検知器からなることを
   特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項乃至
   第８項のいずれかに記載の測定機において使用
   される探針。