DE19931226C2 - Führungssystem für einen Taster und Tastsystem - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Führungssystem, insbesonde­ re für Präzisionstastersysteme.

In der Regel werden bei induktiven Tastsystemen und sonstigen abtastenden Einrichtungen Kugelführungen zur Lagerung der jeweiligen beweglich gelagerten Elemente oder Glieder eingesetzt. Die Kugelführungen dienen dazu, das Tastelement mit hoher Führungsgenauigkeit und geringer Axialkraft bis zur Berührung des abzutastenden Werkstücks zu führen.

Die Führungen sind somit Teil eines Tasters, der zum praktischen Einsatz einer geeigneten Halterung gespannt wird. In der Regel sind die Taster etwa stiftförmig und weisen zum Scannen eine im Wesentlichen zylindrische Au­ ßenfläche auf. Die Spannkräfte, die auf diese Fläche wir­ ken, sind nicht genau festgelegt und können in einem ge­ wissen Bereich schwanken. In dem Fall soll der Taster je­ doch mit der gewünschten Präzision arbeiten. Insbesondere darf sein Führungssystem weder Spiel aufweisen noch klem­ men. Der Taster, d. h. das Führungssystem muss in jedem Fall leichtgängig, dabei aber präzise geführt sein.

Aus dem deutschen Gebrauchsmuster DE 295 00 635 U1 ist ein schwenkbarer Zwei-Koordinaten-Tastkopf bekannt, der eine Walzführung für eine erste Führungsrichtung und eine Par­ allelogrammführung für eine zweite Führungsrichtung auf­ weist, die die Wälzführung trägt. Derartige Walzführungen finden in verkleinerter Form auch für eindimensionale Messtaster Anwendung, die mit einem Messsystem als soge­ nannter Taster, bspw. in einem rohrförmigen zylindrischen Gehäuse untergebracht sind.

Es ist Aufgabe der Erfindung, ein Führungs­ system und ein Tastsystem mit einem solchen Führungssystem zu schaffen.

Diese Aufgabe wird mit dem Führungssystem gelöst, das die Merkmale des Patentanspruchs 1 oder 2 aufweist, und mit einem Tastsystem gemäß Patentanspruch 20.

Das erfindungsgemäße Führungssystem weist eine Linear­ führung mit einem beweglichen Glied und einem Führungs­ körper auf, die die gewünschte präzise leichtgängige Füh­ rung ermöglicht. Ein oder mehrere zu dem Führungssystem gehörige Entkopplungselemente sind so angeordnet, dass sie in dem Kraftweg zwischen einer Einspannung und den Teilen des Führungskörpers liegen, die tatsächlich der Führung dienen. Solche Abschnitte sind bspw. Laufbahnabschnitte, an denen Wälzkörper abrollen, um das bewegliche Glied zu lagern oder an denen das bewegliche Glied auf andere Weise gelagert ist.

Die Entkopplungselemente trennen die führenden Berei­ che des Führungskörpers von den mit Einspannkräften beauf­ schlagten Bereichen des Führungskörpers oder anderweitigen Elementen des Führungssystems bzw. eines entsprechenden Tasters. Dies ermöglicht es, sehr präzise spielarme oder spielfreie Führungen einzusetzen, ohne dass Gefahr be­ steht, dass das Führungssystem im eingespannten Zustand schwergängig wird.

Die Linearführung ist vorzugsweise durch einen runden Stab gebildet, der über Kugeln in einer etwa rohrförmigen Büchse gelagert ist. Die Kugeln sind dabei vorzugsweise in einem Käfig aufgenommen. Zur Lagerung des Stabs dienen vorzugsweise lediglich zwei Gruppen von bspw. jeweils drei Kugeln. Die Kugeln sind in Führungs- oder Lagerbereichen des Führungskörpers angeordnet, die von Einspannkräften im Wesentlichen freigehalten sind, wodurch die Leichtgängig­ keit der Führung sichergestellt bleibt.

Vorzugsweise ist der Führungskörper in einem rohrför­ migen Gehäuse untergebracht, wobei er mit der Innenwand des Gehäuses an zwei voneinander axial beabstandeten Be­ reichen in Berührung steht. Lediglich in diesen Bereichen kann eine Radialkraft von dem Gehäuse auf den Führungs­ körper übertragen werden. Die den Befestigungsbereichen benachbarten Entkopplungselemente unterbinden dann eine Kraftfortpflanzung auf die Führungsbereiche, die in Radi­ alrichtung wesentlich steifer sind als die Entkopplungs­ elemente.

Die Entkopplungselemente können als Federelemente aus­ gebildet sein, die bspw. einstückig an dem Führungskörper angeformt oder als separate Elemente ausgebildet sind. Die Federelemente sind dabei vorzugsweise so bemessen, dass sie bezogen auf die geringen, beim Einspannen auftretenden Deformationswege, keine Kräfte auf den Führungskörper übertragen, die zu einer nennenswerten Deformation dessel­ ben führen können. Die Federelemente können durch Ausneh­ mungen in dem Führungskörper, bspw. Ringnuten gebildet sein, die den Befestigungsbereich von dem Lagerbereich trennen. Zwischen einem Teil des Führungskörpers, der zur Führung und Lagerung des beweglichen Glieds dient und we­ nigstens zwei zur Befestigung des Führungskörpers dienen­ den Einspannstellen oder Befestigungsstellen, sind in der Regel unterschiedlich große Abstände vorhanden. Das Ent­ kopplungselement ist dann vorzugsweise auf dem kürzeren Weg zwischen der Lagerstelle und der Befestigungsstelle angeordnet.

Weist der Führungskörper zwei Befestigungselemente und zwei Wälzkörpergruppen zur Lagerung des beweglichen Glieds auf, genügen zur Kraftentkopplung zwei an dem Führungs­ körper ausgebildete Entkopplungselemente, bspw. Ringnuten, die von den Wälzkörpern aus gesehen auf dem Weg zur nächstgelegenen Befestigungsstelle des Führungskörpers angeordnet sind.

Alternativ können zwischen dem Führungskörper und ei­ nem etwaigen Einspannkräften unterliegenden Gehäuse radial federnde oder puffernde Elemente angeordnet werden. Hier werden Federelemente bevorzugt, die keine axiale Relativ­ bewegung zwischen dem Führungskörper und dem Gehäuse, je­ doch eine, wenn auch begrenzte radiale Bewegung zulassen.

Das bewegliche Glied kann mit einem Messsystem verbun­ den werden, das vorzugsweise in dem gleichen Gehäuse un­ tergebracht ist wie das Führungssystem. Auf diese Weise wird ein Tastsystem erhalten, dass hinsichtlich der Ein­ spannmöglichkeiten robust ausgelegt ist. Durch die Ent­ kopplung von Einspannung und Führung können hochpräzise Führungen verwendet werden, die unabhängig von der Ein­ spannkraft des Tastsystems leichtgängig bleiben. Dies er­ möglicht wiederum geringe Betätigungskräfte zur Auslenkung des beweglichen Glieds und entsprechend geringe Tastkräf­ te.

Vorteilhafte Einzelheiten von Ausführungsformen der Erfindung ergeben sich aus der Zeichnung, der Beschreibung und/oder Unteransprüchen.

In der Zeichnung sind Ausführungsbeispiele der Erfin­ dung Veranschaulicht. Es zeigen:

Fig. 1 einen Taster mit einem Führungssystem, das von der Einspannung kräftemäßig entkoppelt ist, in längsge­ schnittener vereinfachter Darstellung,

Fig. 2 das Führungssystem nach Fig. 1, in einem ande­ ren Maßstab, in längsgeschnittener Darstellung,

Fig. 3 das Führungssystem nach Fig. 2, in Prinzipdar­ stellung,

Fig. 4 das Führungssystem nach den Fig. 2 und 3, in schematisierter Prinzipdarstellung,

Fig. 5 eine alternative Ausführungsform eines entkop­ pelten Führungssystems in schematisierter Prinzipdarstel­ lung,

Fig. 6 das Führungssystem nach Fig. 5, in quer­ geschnittener Prinzipdarstellung, und

Fig. 7 ein abgewandeltes Führungssystem nach dem in Fig. 5 veranschaulichten Prinzip, in quergeschnittener Darstellung.

In Fig. 1 ist ein Taster 1 veranschaulicht, der einen axial verschiebbar gelagerten Taststift 2 aufweist. Der Taststift 2 ragt aus einem rohrförmigen Gehäuse 3 mit vor­ zugsweise zylindrischer Außenfläche endseitig heraus und trägt an seinem freien Ende einen kugelabschnittsförmigen Tastkörper 4, der bspw. durch eine in einer Hülse 5 ge­ fasst Kugel gebildet wird. Das von dem Tastkörper 4 ablie­ gende Ende 6 des Taststifts 2 ist in dem Gehäuse 3 ange­ ordnet und mit einem induktiven Wegmesssystem 7 verbunden. Zum dem induktiven Messsystem 7 gehört ein parallel zu einer Mittelachse 8 des Tasters 1 verschiebbarer Kern 9, der stabförmig ausgebildet ist, andere magentische Eigen­ schaften aufweist als der übrige Taststift 2 und mit des­ sen stirnseitigen Ende verbunden ist. Zu dem induktiven Wegmesssystem 7 gehört außerdem eine Spulenanordnung 11, mit drei Spulen 11a, 11b, 11c, die in dem Gehäuse 3 auf einem entsprechenden Wickelkörper 12 ortsfest angeordnet sind. Die Spulenanordnung 11 ist an nicht weiter veran­ schaulichte Messleitungen angeschlossen, die aus dem Ge­ häuse 3 herausgeführt sind. Dazu dient ein Winkel­ anschlussstück 14, das abgedichtet in dem von dem Tastkör­ per 4 abliegenden offenen Ende des rohrförmigen Gehäuses 3 steckt.

Um den Tastkörper 4 in Richtung auf eine in Fig. 1 links angedeutete Werkstückoberfläche 15 vorzuspannen, ist zwischen dem Spulenkörper 12 und dem Taststift 2 bzw. ei­ ner an diesem vorgesehenen Ringschulter 16 ein Federele­ ment in Form einer konisch gewickelten Druckfeder 17 an­ geordnet.

Zur längsverschieblichen Führung des Taststifts 2 in dem Gehäuse 3 dient eine Linearführung 19, die in einem anderen Maßstab in Fig. 2 veranschaulicht ist. Zu der Linearführung 19 gehört der Taststift 2 mit einem ersten zylindrischen Führungsbereich 21 und einem zweiten zylin­ drischen Führungsbereich 22, die beide koaxial zu der Längsmittelachse 8 angeordnet sind. Die Führungsbereiche 21, 22 können beide Teil einer gemeinsamen zylindrischen Außenfläche des Taststifts sein. Zur Führung und Lagerung des Taststifts 2 dienen Wälzkörper in Form von Kugeln 24, die gruppenweise angeordnet sind. Zur Lagerung des ersten Führungsbereichs 21 dienen bspw. drei Kugeln 24 einer ers­ ten Kugelgruppe 25, während zur Lagerung des zweiten Füh­ rungsbereichs 22 drei Kugeln 24 einer zweiten Kugelgruppe 26 gehören. Um die Kugeln 24 in der gewünschten räumlichen Zuordnung zueinander zu halten, sind sie in einem Käfig 27 gefasst, der wie eine Kugelbüchse für die vorhandenen Ku­ geln 24 Ausnehmungen 28 aufweist, in denen sich die Kugeln 24 mit geringem Spiel drehen können.

Der Taststift 2 und der mit den Kugeln 24 versehene Käfig 27 sind von einem Führungskörper 29 aufgenommen, der dazu eine Zylinderbohrung 31 aufweist. Die Zylinderbohrung 31 ist dabei so bemessen, dass der Taststift 2 von dem Führungskörper 29 und den Kugeln 24 ohne Spiel geführt wird. Die Führung kann als Präzisionsführung ausgebildet sein, bei der der Innendurchmesser der Zylinderbohrung 31, der Außendurchmesser der Führungsbereich 21, 22 des Tast­ stifts 2 und der Durchmesser der Kugeln 24 präzise aufein­ ander abgestimmt sind. Die Zylinderbohrung 31 muss wenigs­ tens in den Führungsbereichen 21, 22 gegenüberliegenden und zugeordneten entsprechenden Führungsbereich 32, 33 präzise das gewünschte Innenmaß aufweisen.

Der Führungskörper 29 steht mit dem Gehäuse 3 bzw. dessen zylindrischer Innenfläche 2 über zum Beispiel ring­ förmige Anlagebereiche 34, 35 in Berührung, in denen der Außendurchmesser des Führungskörpers 29 das ansonsten vor­ handene Maß übersteigt und mit dem Innendurchmesser des Gehäuses 3 übereinstimmt. Die Anlagebereiche 34, 35 sind den Führungsbereichen 32, 33 benachbart, jedoch in einem von Null verschiedenen Abstand zu diesem angeordnet. Zwi­ schen den Anlagebereichen 34, 35 und dem jeweils benach­ barten Führungsbereich 32, 33 ist jeweils ein Entkopp­ lungselement 36, 37 angeordnet, das bspw. durch einen fe­ dernden Steg 38, 39 gebildet wird. Dieser Steg 38, 39 wird durch den Boden einer Ringnut gebildet und wirkt zumindest für geringe Auslenkungen von wenigen 1/1000 oder 1/100 Millimetern als nicht zu harte Feder, die eine Radialbewe­ gung des Anlagebereichs 34, 35 zulässt, ohne dadurch eine wesentliche Radialkraft an dem Führungsbereich 32, 33 und somit eine Verformung an diesem hervorzurufen. Dies geht insbesondere aus dem Schema gemäß Fig. 3 hervor. Die Ste­ ge 37, 38 weisen eine radiale Dicke auf, die nur halb - bis ein Viertel so groß ist, wie die übrige Wandstärke des Führungskörpers 29.

Eine Belastung des Gehäuses 3 mit einer radial nach innen gerichteten Einspannkraft F kann auf den Führungs­ körper 29 nur in den Anlagebereichen 34, 35 übertragen werden und hier eine Verformung von z. B. 10 µm hervorrufen. Die Anlagebereiche 34, 35 sind von den benachbarten Kugeln 24 bzw. den benachbarten Führungsbereichen 32, 33 durch die Entkopplungselemente 36, 37 getrennt. Als Federn hal­ ten sie, wie Fig. 4 veranschaulicht, die Kraft F wirksam von den Kugeln 24 fern. Sie wirkt auf das Gehäuse 3 ein und wird über die Entkopplungselemente 36, 37, die eine relativ weiche Federkennlinie haben, nur schwach auf die Führungsbereiche 32, 33 des Führungskörpers 29 übertragen. Zwischen dem Anlagebereich 34 und der weiter fernliegenden Kugel 24 des Führungsbereichs 33 ist infolge des großen Abstands ein relativ langer Hebel vorhanden, wodurch Bewe­ gungen des Anlagebereichs 34 kaum auf den Führungsbereich 33 übertragen werden. Die Führungsbereiche 33, 34 bewegen sich bspw. lediglich 0,1 µm. Die Entkopplung liegt dabei bei 1 : 100.

Die Führungsbereiche 33 sind hinsichtlich radialer Kraftbelastung steif. Sie sind ringförmig ausgebildet und können somit in Radialrichtung kaum komprimiert werden. Dies ist in Fig. 4 durch Federsymbole 41, 42 veranschau­ licht, wobei diese Federn eine wesentlich größere Steifig­ keit (Federkonstante) aufweisen, als die Federn, die die Entkopplungselemente 36, 37 bilden. In Axialrichtung sind die Entkopplungselemente 36, 37 jedoch keinesfalls nach­ giebig, d. h. der Führungskörper 29 ist axial fest in dem Gehäuse 3 gehalten. Die Art der Befestigung ist aus Fig. 1 ersichtlich. Aus dem Gehäuse 3 ragt ein rohrförmiger Abschnitt 44 des Führungskörpers 29, auf dem ein Außenge­ winde ausgebildet ist. Auf diesem sitzt eine Befestigungs­ mutter 45, die sich an der Stirnseite des rohrförmigen Gehäuses 3 abstützt. Zur Abdichtung nach außen ist von der dem Steg 38 festlegenden Nut ein O-Ring 46 aufgenommen. Zur Abdichtung der Linearführung weist der Führungskörper 29 an seinem aus dem Gehäuse 3 herausragenden Ende eine Nut 47 auf, in der ein Ende eines Faltenbalgs 48 sitzt. Mit seinem anderen Ende stützt sich der Faltenbalg 48 an der Hülse 5 ab.

Zur weiteren Befestigung des Führungskörpers 29 in dem Gehäuse 3 ist dieses mit einem Innengewinde 49 versehen, dem ein Außengewinde 51 des Führungskörpers zugeordnet ist. Dieser wird somit in das Gehäuse 3 eingeschraubt und mit der Befestigungsmutter 45 gekontert. Es sind unter­ schiedliche Axialpositionen festlegbar, wie in Fig. 1 durch eine punktierte Linie 52 angedeutet ist.

Den Bewegungshub des Taststifts 2 begrenzt eine An­ schlagschraube 53, die quer durch den Taststift 2 ge­ schraubt oder gesteckt ist. Entsprechende langlochförmige Ausnehmungen 54, 55 auf beiden Seiten des Führungskörpers 29 lassen eine Bewegung der aus dem Taststift 2 ragenden Abschnitte des Bolzens oder der Schraube 53 zu.

Der insoweit beschriebene Taster 1 ist wie folgt ein­ zusetzen:

In einem Messsystem wird der Taster 1 an seinem Gehäu­ se 2 gefasst und eingespannt. Dies vorzugsweise in der Nähe seines Endes, aus dem der Taststift 2 ragt. Die Ein­ spannung übt ein radial nach innen gerichtete Klemmkraft auf das Gehäuse 3 auf, die eine erhebliche Größe annehmen und zu einer geringen elastischen Deformation (10 µm) des Gehäuses 3 führen kann. Die Einspannkräfte sind nicht ge­ nau bestimmt und hängen von dem Anwender ab. Sie werden von dem Linearführung wirksam ferngehalten. Dazu wird auf Fig. 4 verwiesen. Führen die Kräfte F zu einer Verlage­ rung des Gehäuses 3 radial nach innen, wird diese Mikrobe­ wegung von den Entkopplungselementen 36, 37 aufgenommen, die eine Verbindung zwischen den Anlagebereichen 34, 35 und den Führungsbereichen 32, 33 herstellen. Die Führungs­ bereiche 32, 33 sind in Radialrichtung steif, so dass sie von den hier noch ankommenden Kräften nicht in schädlicher Weise deformiert werden (0,1 µm). Eine Mikrobewegung der Anlagebereiche 34, 35 wird somit von den Führungsbereichen 32, 33 entkoppelt. Die Führung kann somit, auch wenn sie als ansonsten sehr empfindliche Präzisionsführung ausge­ bildet ist, hinsichtlich der Einspannung robust behandelt werden.

Die Fig. 5 bis 7 veranschaulichen abgewandelte Aus­ führungsformen der Erfindung, wobei, soweit bau- und funk­ tionsgleiche Teile vorhanden sind, gleiche Bezugszeichen wie bei dem Ausführungsbeispiel nach den Fig. 1 bis 5 verwendet sind und die dort gegebene Beschreibung entspre­ chend gilt.

Die Entkopplungselemente 36, 37 können Teil des Füh­ rungskörpers 29 sein. Es ist jedoch auch möglich, diese separat vom Führungskörper 29 auszubilden, wie Fig. 6 und 7 veranschaulichen. In Fig. 6 ist zwischen dem Führungs­ körper und dem Gehäuse 3 ein Federelement 57 angeordnet, das in Radialrichtung federn kann. Das Federelement ist eine wellblechförmig gerippte Hülse. Alternativ können Gummischnüre 58 oder dgl. verwendet werden, wie aus Fig. 7 hervorgeht. Jedoch benötigt die Anordnung von einstückig mit dem Führungskörper 29 verbundenen oder separat ausge­ bildeten Federelementen radial außerhalb des Führungskör­ pers 29 zusätzlichen Bauraum. Bei der Ausführungsform nach den Fig. 1 bis 4 sind die Entkopplungselemente 36, 37 in einem axialen Abschnitt des Führungskörpers 29 angeord­ net, wodurch der erforderliche Durchmesser des Tasters nicht vergrößert wird und dieser schlank baut.

Bei einem Taster 1 ist eine Linearführung 19 zur axial verschiebbaren Lagerung eines Taststifts 2 vorhanden. Die Linearführung ist in einem Gehäuse 3 angeordnet, dass in einer Klemmeinrichtung eingespannt werden kann. Entkopp­ lungselemente 36, 37 zwischen dem Gehäuse 3 und dem Führ­ ungskörper 29 der Linearführung 19 verhindern, dass Ein­ spannkräfte zu der Linearführung 19 vordringen.

Claims (20)

1. Führungssystem, insbesondere für Präzisionstaster­ systeme (1),
mit einem beweglichen Glied (2),
mit einer Linearführung (19), zur Lagerung des beweg­ lichen Glieds (2), die einen Führungskörper (29) aufweist, an dem das bewegliche Glied (2) gelagert ist, und
wobei an dem Führungskörper (29) zur Einspannung des­ selben Anlagebereiche (34, 35) und zur Lagerang des be­ weglichen Glieds (2) Führungsbereiche (32, 33) festgelegt sind,
mit wenigstens einem Entkopplungselement (36, 37), das Bestandteil des Führungskörpers (29) und zwischen dem Füh­ rungsbereich (32, 33) und dem Anlagebereich (34, 35) an­ geordnet ist.

2. Führungssystem, insbesondere für Präzisionstaster­ systeme (1),
mit einem beweglichen Glied (2),
mit einer Linearführung (19), zur Lagerung des beweg­ lichen Glieds (2), die einen Führungskörper (29) aufweist, an dem das bewegliche Glied (2) gelagert ist, wobei an dem Führungskörper (29) Führungsbereiche (32, 33) zur Lagerung des beweglichen Glieds (2) an dem Führungskörper festge­ legt sind, und
mit wenigstens einem separaten Entkopplungselement (57, 58), das zwischen dem Führungskörper (29) und einer Einspannung angeordnet ist.

3. Führungssystem nach Anspruch 1 oder 2, dadurch ge­ kennzeichnet, dass die Linearführung (19) eine Wälzkörper­ führung, vorzugsweise eine Kugelführung mit einem axial beweglichen Stab als beweglichem Glied (2) und einer äuße­ ren Hülse als Führungskörper (29) ist.

4. Führungssystem nach Anspruch 3, dadurch gekenn­ zeichnet, dass die Linearführung (19) im Wesentlichen ro­ tationssymmetrisch ausgebildet ist.

5. Führungssystem nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, dass die Linearführung (19) in einem Tasterge­ häuse (3) gelagert ist, an dem die Einspannung angreift.

6. Führungssystem nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, dass das Tastergehäuse (3) eine im Wesentlichen zylindrische Mantelfläche aufweist, die als Einspannfläche vorgesehen ist.

7. Führungssystem nach Anspruch 5 oder 6, dadurch ge­ kennzeichnet, dass das Tastergehäuse (3) und der Führungs­ körper (29) jeweils rohrförmig ausgebildet sind, wobei der Führungskörper (29) wenigstens mit einem Abschnitt von dem Tastergehäuse (3) aufgenommen ist, und dass der Führungs­ körper (29) an zwei voneinander in Axialrichtung beabstan­ deten Befestigungs- oder Anlagebereichen (34, 35) gehalten ist.

8. Führungssystem nach Anspruch 3, dadurch gekenn­ zeichnet, dass die Linearführung (19) wenigstens zwei in Axialrichtung voneinander beabstandete Wälzkörpergruppen (25, 26) zur Führung des beweglichen Glieds (2) aufweist.

9. Führungssystem nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, dass die Linearführung, insbesondere deren Füh­ rungsköper (29) wenigstens bereichsweise im Wesentlichen frei von Einspannkräften gehalten ist.

10. Führungssystem nach Anspruch 8 und 9, dadurch ge­ kennzeichnet, dass die Wälzkörpergruppen (25, 26) in den von Einspannkräften freien Bereichen des Führungskörpers (29) angeordnet sind.

11. Führungssystem nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, dass die Entkopplungselemente (36, 37) Feder­ elemente sind.

12. Führungssystem nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, dass die Entkopplungselemente (36, 37) durch Abschnitte (38, 39) des Führungskörpers (29) gebildet sind, in denen der Führungskörper Ausnehmungen aufweist.

13. Führungssystem nach Anspruch 12, dadurch gekenn­ zeichnet, dass die Ausnehmungen Ringnuten sind.

14. Führungssystem nach Anspruch 7, 8 und 12, dadurch gekennzeichnet, dass der Führungskörper (29) bei seinen Befestigungsbereichen (34, 35) einen Durchmesser aufweist, der etwas größer ist als der übrige Durchmesser des Füh­ rungskörpers (29), dass die Ausnehmungen in Nachbarschaft zu den Befestigungsbereichen (34, 35) angeordnet sind und dass die Ausnehmungen jeweils zwischen einem Befestigungs­ bereich (343, 35) und der nächstgelegenen Wälzkörpergruppe (25, 26) angeordnet ist.

15. Führungssystem nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, dass die Befestigungsbereiche (35, 36) vorzugs­ weise ringförmige Klemmbereiche sind.

16. Führungssystem nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, dass der Führungskörper (29) über zwei Entkopp­ lungselemente (36, 37) gehalten ist, die separate ausge­ bildet oder Bestandteil des Führungskörpers (29) sind.

17. Führungssystem nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, dass mit dem beweglichen Glied (2) ein Messsys­ tem (7) in einem gemeinsamen Gehäuse (3) angeordnet ist.

18. Führungssystem nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, dass das bewegliche Glied (2) durch eine Feder (17) in einer Axialrichtung vorgespannt ist.

19. Führungssystem nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, dass das bewegliche Glied (2) mit einem Mess­ system (7) verbunden ist, das die Bewegung des beweglichen Glieds (2) erfasst und ein entsprechendes, die Auslenkung des Glieds (2) kennzeichnendes elektrisches Signal er­ zeugt, so dass ein Tastsystem (1) gebildet ist.

20. Tastsystem (1) mit einem Führungssystem (19) nach einem der Ansprüche 1 bis 19.