DE2712181C3 - Tastsystem - Google Patents

Tastsystem

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DE2712181C3
DE2712181C3 DE2712181A DE2712181A DE2712181C3 DE 2712181 C3 DE2712181 C3 DE 2712181C3 DE 2712181 A DE2712181 A DE 2712181A DE 2712181 A DE2712181 A DE 2712181A DE 2712181 C3 DE2712181 C3 DE 2712181C3
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Franz 7923 Koenigsbronn Szenger
Walter Dr. 7923 Koenigsbronn Werner
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Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Tastsystem zur
J? Auslosung eines zur Meßwerterfassung dienenden Impulses beim Antasten eines relativ zum Tastsystem bewegten Werkstücks, bestehend aus einem Gehäusefesten und einem relativ zu diesem beweglichen, einen oder mehrere Taststifte tragenden Teil. Ein solches
■to Tastsystem findet besonders vorteilhafte Anwendung in Mehrkoordinaten-Meßmaschinen, bei denen das zu messende Werkstück jeweils bis /um Kontakt mit einem Taststifl des T.iMsystems bewegt wird, wobei der Verschiebeweg sehr genau gemessen und diese Messung durch den Antastimpuls beendet wird.
Bekannt sind Tastsysteme, bei denen Taststifte an einer torsionssteifen Aneinanderreihung von spiel- und reibungsfreien Geradführungssystemen befestigt sind, die als Federparallelogramme ausgebildet sind und die
■so ein räumliches Koordinatensystem bilden. Bei der Antastung des Werkstücks, d. h. bei Berührung des Werkstücks mit einem Taststift wird eines der Federparallelogramme ausgelenkt und erzeugt über einen zugeordneten Signalgeber einen Antastimpuls.
Vt Solche Taster sind zwar äußerst genau, sie verlangen jedoch einen sehr präzisen Aufbau und sind deshalb verhältnismäßig teuer. Außerdem ist zur Auslösung des Antastimpulses eine bestimmte und für die Auslenkung des zugehörigen Federparallelogramms ausreichende Kraft erforderlich.
Es ist auch ein Taster bekannt, bei dem der an einer koordinaten-Meßmaschine befestigte Teil mit V-Lagern ausgestattet ist, in welche mit dem beweglichen Teil verbundene Fortsätze ffiil kreisförmigem Querschnitt unter der Wirkung einer Feder einrasten. Beim Antasten des Werkstücks wird der am beweglichen Meßkopfteil befestigte Taster aus seiner definierten Ruhelage bewegt, wobei mindestens einer seiner
Fortsätze aus dem zugehörigen V-Lager gehoben wird. Padureh wird entweder ein Stromkreis unterbrochen oder ein gesondertes Schaltelement betätigt, so daß ein Antastimpuls erzeugt wird.
Auch hier ist zur Auslösung des Antastimpulses eine bestimmte, für die Aushebung eines Fortsatzes aus dem zugeordneten f .ager ausreichende Kraft erforderlich.
Schließlich ist auch eine Meßsonde bekannt, bei der die eigentliche Sonde gegenüber einem Grundkörper beweglich ist und bei der die beim Antasten ausgelöste Relativbewegung mit Hilfe von kapazitiven, ohmschen, induktiven oder pneumatischen Weggebern in den Koordinateneinrichtungen gemessen wird Bei Erreichen eines bestimmten Anpreßdruckes der Meßsonde an den Prüfling wird über Schalter die Relativbewegung abgeschaltet. Auch bei dieser Meßsonde ist zur Auslösung des Meßsignals eine bestimmte zur Einleitung einer Relativbewegung zwischen Sonde und Grundkörper ausreichende Kraft erforderlich.
Es ist nun die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein preiswerteres Tastsystem zu schaffen, bei dem die zur Auslösung eines Antastimpulses notwendige Kraft praktisch beliebig klein gehalten werden kann und bei dem auch bei schneller Werkstückantastitng eine Zerstörung des Tastsystems ebenso vermieden ist wie eine plastische Verformung des Meßobjektes.
Dieses Ziel wird gemäß der Erfindung dadurch erreicht, daß der bewegliche Teil des Tastsystems aus zwei fest miteinander verbundenen Teilen besteht, zwischen denen ein oder mehrere auf Zug und Druck hochempfindliche Meßelemente angeordnet sind, und daß die Verbindung zwischen gehäusefestem und beweglichem Teil des Tastsystems über ein Gelenkglied bewirkt ist, das in Ruhestellung die Position des beweglichen Teils zum gehäusefesten Teil durch J5 Federwirkung hochgenau festlegt.
Als Meßelemente sind zweckmäßig Sensoren verwendet, die auf mechanische und/oder elektrische Reize hochempfindlich ansprechen, vorzugsweise Dehnungsmeßstreifen oder piezoelektrische Elemente.
Der bewegliche Teil des Tastsystems besteht aus einem ersten, zur Aufnahme des Taststiftes dienenden Teil und einem zweiten mit dem Gelenkglied verbundenen Teil. Diese beiden Teile grenzen mit ebenen Flächen aneinander und sind fest miteinander verbunden, wobei zwischen den ebenen Flächen die Meßelemente angeordnet sind.
Eine geringe, kaum meßbare Kraft auf den Taststift bewirk·, daß trotz der festen Verbindung der beiden Teile des beweglichen Tasterteils die hochempfindlichen Sensoren ansprechen. Das von ihnen erzeugte Signal wird einem Trigger zugeleitet, dessen Pegel einstellbar ist. Sobald das Signal diesen Pegel überschreitet, wird ein Antastimpuls ausgelöst, welcher die in diesem Moment an den Meßsystemen der Koordinaten-Meßmaschine anliegenden Daten fixiert Die elektrischen Schaltelemente zur Verwertung des von den Meßelementen erzeugten Signals sind zweckmäßig im Tastsystem selbst angeordnet.
Die Empfindlichkeit des Tastsystems hängt von der ω Einstellung des Signalpegels ab. Wird dieser Pegel sehr niedrig gelegt, so bringt es die dann erreichte hohe Empfindlichkeit mit sich, daß schon bei einer unbeabsichtigten Erschütterung der Meßmaschine öder des Tastsyslems ein Signal ausgelöst wird. Um dadurch bedingte Fehlmessungen zu vermeiden, wird der erste, d h. der eigentliche Antastimpuls nur dann zur Meßweflef fassung weil abgeleitet, wenn innerhalb einer einstellbaren Zeitspanne ein zweiter Impuls, der sogenannte Kennimpuls erzeugt wird.
Bei einer Antastung des Werkstücks wird nach dem Auslösen des Antastimpulses die Bewegung des Werkstücks, bzw. der Meßmaschine abgebremst- Da diese Abbremsung aus Gründen der Massenträgheit nicht abrupt erfolgen kann, liegt der Taststift während einer gewissen Zeitspanne am Werkstück an. Während dieser Zeit treten elastische Verformungen des Taststifles auf und es gibt schließlich das Gelenkglied zwischen dem festen und dem beweglichen Teil des Tastsystems nach, so daß eine Ausweichbewegung des Taststifts freigegeben wird.
Dieser Ablauf des Abtastvorganges macht es möglich, den Kennimpuls nach einer vorgegebenen Zeitspanne ebenfalls von den Meßelementen abzuleiten oder aber im Gelenkglied ein Schaltelement vorzusehen, das bei einer Ausweichbewegung des TasLc»;fts diesen zweiten Impuls erzeugt.
Um auch die Verwendung langer, schlanker Taststifte zu ermöglichen und trotzdem schon beim ersten Antasten des Werkstücks den Antastimpuls zu e. halten, ist es vorteilhaft, die Meßelemente in unmittelbarer Nähe vier Tastkugel des Taststiftes anzuordnen.
Das Gelenkglied zwischen dem festen und dem beweglichen Teil des TasKystems kann in verschiedener Weise ausgebildet sein. Es muß gewährleisten, daß sich beim Abheben des Taststiftes vom Werkstück die dreidimensionale Lage des dann freistehenden Tastsystems wieder hochgenau regeneriert
Verschiedene mögliche Ausbildungen des Gelenkgliedes werden zusammen mit den Ausführungsbeispiele des Tastsystems nach der Erfindung darstellenden Fig. 1 bis 11 der Zeichnungen näher erläutert. Im einzelnen zeigt
F i g. 1 eine Seitenansicht eines Ausiührungsbeispiels des Tastsystems;
Fig. 2 eine Ansicht des beweglichen Teils des Tastsystems der Fig. 1,
Fig.3 einen Teilschnitt durch ein anderes Ausführungsbeispiel des Tastsystems;
Fig.4 einen Schnitt entlang der Linie IV-IV der Fig.3;
Fig.5 eine Draufsicht auf ein Ausführungsbeispiel eines beim Tastsystem nach F i g. 1 oder 3 verwendbaren Zwischenrings;
F i g. 6 einen Teilschnitt durch einen Zwischenring mit hohlkugelförmigen Lagern;
F i g. 7 den zeitlichen Verlauf des beim Antasten eines Werkstücks von einem der Meßelemente abgegebenen Signals;
F 1 g. 8 einen Teilschnitt durch ein anderes Ausführungsbeispiel für ein bewegliches Teil eines Tüstsystems;
Fig.9 einen Schnitt entlang der Linie IX-IX der Fig. 8;
Fig. 10 einen Teilschnitt durch ein weiteres Ausführungsbeispiel des Tastsystems;
Fig. 11 einen Teilschnitt durch ein weiteres Ausführungsbeispiel des Tastsystems.
In F i g. 1 ist mit 1 der gehäusefeste Teil eines Tastsystems bezeichnet, welcher über den Flansch 2 fest mit einer hier nicht dargestellten Köördinateri-Meßmä^ schine verbunden ist. Der relativ zum Teil 1 bewegliche Teil ist mit 3 bezeichnet und trägt einen Taststift 4. Der feste Teil 1 ist mit Fortsätzen la, liünd lcversehen.von denen jeder mit einer Lagerkugel 5a, Sb, 5c fest verbunden ist.
Der bewegliche Teil 3 des Tasfsyslcms besteht, wie F i g. 2 zeigt, aus den beiden Teilen 3a und 36, die entlang des oberen Randes des Teiles 3a mit ebenen Flächen aneinandergrcnzen. Die Teile 3a und 36 sind fest miteinander verbunden, wobei jedoch zwischen diesen Teilen drei, gleichmäßig über den Umfang verteilte piezoelektrische Elemente angeordnet sind. Eines dieser Elemente ist in F i g* 2 sichtbar und ist mit 6 bezeichnet.
Der ringförmige Teil 3b ist an seiner Unterseite mit drei gleichmäßig über den Umfang verteilten Lagcrkugeln 7a, 7b, Tc fest verbunden, von denen in Fi g. 2 die Kugel 7a sichtbar ist.
Mit 8 ist ein Zwischenring bezeichnet, welcher im dargestellten Beispiel drei gleichmäßig über seinen Umfang verteilte Lager 8a—8caufweist. Im festen Teil I ist eine Zugfeder 9 angeordnet, welche über Ketten oder Drählp mit dem 7umrhenring 8 "erblinden !Si Und diesen an das Teil 1 zieht. Dabei greifen die Kugeln 5a, 5b und 5t· in die Lager 8a. 8b. 8c des Zwischenringes 8 ein. Der bewegliche Teil 3 greift mit seinem Kugeln 7a, 76, 7c in die entsprechenden Lager 8a. 8b, 8c des Zwischenringes 8 ein und wird mit Hilfe von Magneten, von denen in Fig. 2 ein Paar mit 10 bezeichnet ist in Ruhelage gehalten.
Mit 11 sind elektrische Schaltelemente bezeichnet, welche im Teil 3a angeordnet sind und welche dazu dienen, die von den Meßelementen 6 gelieferten Signale in das eigentliche Meßsignal umzuformen.
Die Wirkungsweise des in den Fig. 1 und 2 dargestellten Tastsystems ist folgende. Das Tastsystem wird relativ zur Meßmaschine auf das zu messende Werkstück zu bewegt. Beim ersten Kontakt des Taststiftes 4 mit dem Werkstück sprechen die Meßelemente 6 an und erzeugen ein Signal, dessen Verlauf beispielsweise in F i g. 7 dargestellt ist. Die Schaltelemente 11 enthalten einen Trigger, dessen Pegel einstellbar ist. Sobald das Meßsignal den Pegel des Triggers übersteigt, wird ein Impuls ausgelöst, welcher die im Moment an den Meßsystemen der Meßmaschine anliegenden Daten fixiert. Dieser Zeitpunkt ist in Fig. 7 mit ti bezeichnet. Im weiteren Verlauf des Antastvorganges beginnt nun das Abbremsen der Bewegungen der Meßmaschine. Es treten dabei erste elastische Verformungen des Taststiftes 4 auf. Die Kraft auf diesen Taststift und somit auf den beweglichen Teil 3 wird größer, bis sich schließlich dieser Teil gegenüber den Zwischenring 8 bewegt. Dadurch wird eine Ausweichbewegung des Taststiftes 4 zusammen mit dem beweglichen Teil 3 ermöglicht, so daß eine Zerstörung des Tastsystems ebenso verhindert ist, wie eine plastische Verformung des angetasteten Werkstückes. Bei der Ausweichbewegung des beweglichen Teiles 3 hebt sich mindestens eine der Lagerkugeln 5a, 5b, 5c oder 7a, 7b, 7c aus ihrem zugeordneten Lager auf dem Zwischenring 8.
Bei niedriger EinstellungTdes Trigger-Pegels, d. h. bei hoher Empfindlichkeit des Tastsystems wird durch die Schaltelemente 11 nach einer einstellbaren Zeitspanne zu dem in Fig.7 mit f2 bezeichneten Zeitpunkt wieder abgefragt, ob an den Meßelementen 6 noch eine Spannung liegt Da die Zeitspanne f2-fi kurz ist, sie liegt in der Größenordnung von 100 ms, ist eine solche Spannung in jedem Fall vorhanden und es wird ein zweiter impuls, der sogenannte Kennimpuis erzeugt. Dieser zweite Impuls bewirkt, daß der erste, der eigentliche Antastimpuls zu der hier nicht dargestellten AuswerteschaJtung weitergeleitet wird.
Wenn der Abbremsvorgang beendet ist und sich der Taster 4 wieder vom angetasteten Werkstück löst, regeneriert sich die dreidimensionale Lage des dann wieder frcisichcridcri Tas'stiftcs 4 über1 die in den V\g. 1 und 2 dargestellte Lagerung wieder exakt und es kann die nächste Antastung vorgenommen werden.
Wird mit dem Tastsystem eine innehantaslung einer Z; B. waagerecht liegenden' Bohrung eines Werkstücks vorgenommen, so legt sich einer der in Fig. 1 dargestellten waagrechten Fortsätze' des Taststiftes 4 an
κι die Werkstückinnenseite an. Bei der zur Messung dienenden Aufwärlsbewegung des Tastsystems bewegt sich der Zwischenring 8 zusammen mit dem bewegli chen Teil 3 gegenüber dem feststehenden Teil I. wobei die Lagerkugeln 5a, 5b, 5c aus ihren entsprechenden Lagern auf dem Zwischenring 8 bewegt werden. Durch die dargestellte und beschriebene Ausbildung des CJelpnltgliedes ist also vermieden Haß hei einer Aufwärtsbewegung des Tastsyslems eine Zerstörung des Systems auftreten kann.
Bei dem in den Fig. 3 und 4 dargestellten Ausführungsbeispiel ist der feste Teil des Tastsyslems mit 12 bezeichnet, der bewegliche System-Teil besteht aus den beiden fest miteinander verbundenen Teilen 13a und \3b, welche den Taststift 14 tragen. Die Teile 13a und 1.36 grenzen entlang ebener Oberflächen aneinan der un'l zwischen ihnen sind die beispielsweise als piezoelektrische Elemente ausgebildeten Meßelemente 16a, 166,16c; 16t/und 16c angeordnet. Die Elemente 16a und 166 messen beispielsweise eine Antastung in x-Richtung, die Elemente 16c/unrl 16c eine Antastung in y-Richtung und das Element 16c eine Antastung in ^-Richtung.
Der bewegliche Teil 136 ist mit drei gleichmäßig über
seinem Umfang verteilten Lagerkugeln 17a, 176 und 17c
J5 verbunden, von denen in der Schnittdarstellung der F i g. 4 die Kugel 17a sichtbar ist. Der fesie Teil 12 ist mit drei Lagerkugeln 15a, 156.15c fest verbunden. Mit 18 ist ein Zwischenring bezeichnet, welcher im dargestellten Beispiel drei gleichmäßig über seinen Umfang verteilte
ίο V-Lager 18a, 186, 18c aufweist. In das V-Lager 18a greifen die Lagerkugeln 17a und 15a ein. Mehrere mit 19 bezeichnete Schraubenfedern drücken den Zwischenring 18 auf das feste Teil 12 Eine Feder 20 zieht das bewegliche Teil 136 an den Zwischenring 18.
Die Wirkungsweise des in den Fig. 3 und 4 dargestellten Tastsystems entspricht im wesentlichen derjenigen des Tastsystems nach den F i g. 1 und 2. Auch hier bewegt sich bei einer Auslenkung in x- und y-Richtung der bewegliche Systemteil 13a, 136 ζ Λζπι-men mit dem Taststift 14 relativ zum Zwischenring 18. wobei mindestens eine der Kugeln 17a, 176, 17c oder 15a, 156, 15c das zugeordnete V-Lager im Ring 18 verläßt
Der Zwischenring 18 der Fig.3 ist in dem dargestellten Beispiel mit V-Lagern ausgestattet Es ist jedoch auch möglich, anstelle dieser Lager andere zu verwenden, wie dies im Ausführungsbeispiel der F i g. 5 gezeigt ist Der dort mit 28 bezeichnete Zwischenring trägt insgesamt sechs Lager, nämlich zwei V-Lager 21
ω und 22, sowie zwei ebene Lagerplatten 23 und 24. Ein weiteres Lager 25 ist als Negativ-Form einer Pyramidenspitze ausgebildet Der mit diesem Lager erreichbare Effekt, nämlich die genaue Plazierung einer Lagerkugel läßt sich auch mitteis eines Lagers 26 erreichen, das aus drei Kugeln besteht, in deren Mitte dann die Lagerkugel eingreift
In F i g. 6 ist ein Teilschnitt durch ein bewegliches Teil 33 eines Tastsystems dargestellt das mit einer
IO
15
Lagerkugel 35 verbunden ist. Dem beweglichen Teil 33 ist hier ein mi{ 38 bezeichneter Zwischenring zugeordnet welcher hoh|kuge|förmig ausgebildete Lagerstellen aufweist Diese lassen sich beispielsweise durch eine Abformüngder entsprechenden Lagerkugeln erzeugen, dif Sann in Form von Einsalzen 39 im Zwischenring 38 Verankert sind; Durch eine Bohrung 34 wird zweckmä-Dig Luft in die dargestellte Lägersteile geblasen, so daß die Kugel 35 auf einem dünnen Luftpolster ruht Über die Bohrung 32 ist ein pneumatischer Fühler 31 angeschlossen, welcher auf geringste Veränderungen der Spaltbreite zwischen den Teilen 35 und 39 reagiert. Solche pneumatische Meßfühler können zur Auslösung des zweiten Impulses beim Antastvorgang verwendet werden.
In F i g. 8 ist ein Taststift dargestellt, welcher aus den beiden Teilen 44 und 45 besteht Diese beiden Teile sind über die Fortsätze 45a, 45A>, 45c fest miteinander verbunden. Zwischen ihnen ist ein dreigeteiltes piezoelektrisches Element 46 angeordnet. Mit Hilfe dieses Elementes lassen sich alle drei Koordinatenrichtungen erfassen.
Der in den F i g. 8 und 9 dargestellte Taststift weist den Vorteil auf, daß das Meßelement 46 in unmittelbarer Nähe der Meßkugel angeordnet ist. Beim Antasten eines Werkstücks wird also sofort ein Antastimpuls ausgelöst d. h. dieser Impuls muß nicht erst noch durch Schall-Leitung bis zu weiter oben angeordneten Msßelementen weitergeführt werden. Der Taststiff kann deshalb vorzugsweise lang und schmal ausgebildet werden und führt dennoch zu sehr exakten und genau reproduzierbaren Meßergebnissen.
In Fig. 10 ist ein weiteres Ausführungsbeispiel eines Tastsystems dargestellt Der feste System-Teil ist mit 52 bezeichnet, während der mit dem Taststift 54 verbündene bewegliche Teil die Bezeichnung 55 trägt. Zwischen den Teilen 52 und 55 ist ein Federbalg 56 angeordnet, der zur Vermeidung von Schwingungen mit öl gefüllt ist Die piezoelektrischen Meßelemente sind wie bei den schon besprochenen Ausführungsbeispielen im beweglichen 1 eii 55 angeordnet Das Gelenkglied 56, d. h. der Federbalg kann hier beispielsweise mit Dehnungsmeß-
streifen versehen sein, die bei einer Ausweichbewegung des Taststiftes 54 ein Signal liefern, welches zu dem zweiten Impuls verarbeitet werden kann; Ein Dehnungsmeßstreifen ist beispielsweise dargestellt und mit 57 bezeichnet.
Anstelle des Federbälges 56 kann auch eine Schraubenfeder vorgesehen sein. In jedem Fall· ist es notwendig, daß das Gelenksystem die dreidimensionale Lage der freistehenden Taststiftes exakt definiert und regeneriert.
Das in Fig. 11 dargestellte Ausführungsbeispiel des Tastsystems entspricht in seinem Aufbau im wesentlichen der Fig.3. Der mit der Meßmaschine fest verbundene Teil 62 ist über einen Zwischenring 68 mit dem auslenkbaren Teil 63 gelenkig verbunden. Der Teil 63 trägt einen Taststift 64. Auf dem Zwischenring 68 ist ein Hohlspiegel 65 fest angeordnet. Dieser bildet das von einer ßehäusefesten Lichtquelle 66 ausgehende Licht auf einen gehäusefesten Empfänger 67 ab. Dieser kann beispielsweise als eine 4-Quadranten-Photodiode ausgebildet sein. Im Ruhezustand werden alle vier Quadranten des Empfängers gleichmäßig beaufschlagt, so daß nachgeordnete Schaltelemente kein Signal liefern.
Sobald der Teil 63 ausgelenkt wird, liefert der Empfänger 67 ein Signal, das beispielsweise zur Erzeugung eines Kennimpulses verwendet werden kann.
Außerdem läßt sich mit der in Fig. 11 dargestellten Einrichtung automatisch die Einhaltung der exakten Null-Lage des auslenkbaren Teils 63 bei freistehendem Taststift 64 überwachen.
Wie die vorstehende Beschreibung zeigt, sind sämtliche Ausführungsbeispiele des Tastsystems einfach und kostensparend aufgebaut Es müssen nur sehr kleine Massen bewegt werden, so daß kleine dynamische Kräfte und wenig Belastung der eigentlichen Meßmaschine durch Gewicht auftreten. Das neue Tastsystem ermöglicht einen schnellen Antastvorgang und erlaubt deshalb Antastungen in schneller Folge, wodurch die MeUzeit gegenüber bekannten Systemen abgesenkt werden kann.
Hierzu 5 Blatt Zeichnungen
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Claims (16)

  1. Patentansprüche:
    I.Tastsystem zur Auslosung einas zur Meßwerterfassung dienenden Impulses beim Antasten eines relativ zum Tastsystem bewegten Werkstücks, bestehend aus einem gehäusefesten und einem relativ zu diesem beweglichen, einen oder mehrere Taststifte tragenden Teil, dadurch gekennzeichnet, daß der bewegliche Teil (3) des Tastsystems aus zwei fest miteinander verbundenen Teilen (3a, 3b) besteht, zwischen denen ein oder mehrere auf Zug und Druck hochempfindliche MeQelemente (6) angeordnet sind, und daß die Verbindung zwischen gehäusefestem (1) und beweglichem (3) Teil des Tastsystems über ein Gelenkglied (8) bewirkt ist, das in Ruhestellung die Position des beweglichen Teils (3) zum gehäusefesten Teil (1) durch Fedf-wirkung hochgenau festlegt.
  2. 2. Tastsvatem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Meßelemente piezoelektrische Elemente (6) verwendet sind.
  3. 3. Tastsystem nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß sein beweglicher Teil (3,13) aus einem ersten (3a iia) mit dem Gelenkglied (8, 18) verbundenen Teil besteht, üaß beide Teile mit ebenen Flächen aneinandergrenzen und fest miteinander verbunden sind und daß zwischen diesen ebenen Flächen die Meßelemente (6,16) angeordnet sind.
  4. 4. Tastsystem nach Anspruch 1—3, dadurch gekennzeichnet, daß eine Anordnung (11, 57) vorgesehen ist. die najh erfolgtem Antasten des Werkstücks innerhalb einer ei stellbaren Zeitspanne (t2-t\) einen Kennimpuls auslöst, und daß der erste Antastimpuls nur nach Auslösen dieses Kennimpulses zur Meßwerterfassung weitergeleitet wird.
  5. 5. Tastsystem nach Anspruch 1—4, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßelemente (6) mit im System selbst angeordneten elektrischen Schaltelementen (11) verbunden sind, die zur Umformung der Meßsignale in Antasümpulse und in Kennirnpulse dienen.
  6. 6. Tastsystem nach Anspruch!—5. dadurch gekennzeichnet, daß die Meßelemente (46) in Unmittelbarer Nähe der Tastkugel (45) des Taststiftes (44) angeordnet sind.
  7. 7. Tastsystem nach Anspruch!—6. dadurch gekennzeichnet, daß sowohl am festen (1) als auch um beweglichen (3) Tasterteil jeweils mindestens 3 gleichmäßig übet" den Umfang verteilte und in einer Ebene angeordnete Kugeln (5a. 5b. 5c. 7a, 7b. 7c) befestigt sind, daß das Gelenkglied aus einem, mit mindestens drei Gegenlagern (8a,8b,8c)versehenen Zwischenring (8) besteht, in dessen Lager die Kugeln des festen und des beweglichen Tasterteils eingreifen und daß Federelemente (9) vorgesehen sind, welche diese beiden Tasterteile (1, 3) und den Zwischenring (8) in ihrer gegenseitigen Position halten,
  8. 8. Tastsystem nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Zwischenring (28) für den festen und den beweglichen Tasterteil jeweils mindestens ein als NegatiV'Föftfl einer Pyramidenspitze ausge^ bildctes Lager (25), ein V-Lager (21) und eine ebene Lagerplatte (23) enthält.
  9. 9. Tasisyslem nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Lager des Zwischenringes (38) als Hohlkugclh ausgebildet sind.
  10. 10. Tastsystem nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen Kugel (35) und Hohlkugel (39) jeweils ein Luftpolster erzeugt ist.
  11. 11. Tastsystem nach Anspruch 1—6, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen seinem festen und seinem beweglichen Teil als Gelenkglied eine Schraubenfeder vorgesehen ist.
  12. 12. Tastsystem nach Anspruch!—6, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen seinem festen (52) und seinem beweglichen (55) Teil als Gelenkglied ein ölgefüllter Federbalg (56) vorgesehen isi.
  13. 13. Tastsystem nach Anspruch 1 und einem oder mehreren der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß auch der, zur Bestätigung des ersten Antastimpulses dienende Kennimpuls von den Meßelementen (6) erzeugt oder abgeleitet ist.
  14. 14. Tastsystem nach Anspruch 1 und einem oder mehreren der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß im Gelenkglied (56) Schaltelemente (57) zur Erzeugung des Kennimpulses vorgesehen sind.
  15. 15. Tastsystem nach Anspruch 1—6, dadurch gekennzeichnet, daß am Gelenkglied (68) ein Spiegel (65) befestigt ist, der zur Umlenkung der von einer gehäusefesten Quelle (66) ausgehenden Strahlung auf einen gehäusefesten Empfänger (67) dient.
  16. 16. Tastsystem nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß der Spiegel als Hohlspiegel (65) und der Empfänger (67) als Vier-Quadranten-Empfänger ausgebildet ist.
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GB (1) GB1586052A (de)
IT (1) IT1102107B (de)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2757453A1 (de) * 1976-12-24 1978-07-06 Renishaw Electrical Ltd Tastkopf fuer messmaschinen
EP0093299A1 (de) * 1982-04-29 1983-11-09 Firma Carl Zeiss Tastkopf für Koordinatenmessgeräte
DE3231160A1 (de) * 1982-08-21 1984-02-23 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Mehrkoordinaten-tastkopf
DE3634689A1 (de) * 1986-10-11 1988-04-14 Zeiss Carl Fa Anordnung fuer den gleichzeitigen anschluss mehrerer tastkoepfe vom schaltenden typ an den messarm eines koordinatenmessgeraetes
EP0301390A2 (de) * 1987-07-30 1989-02-01 Firma Carl Zeiss Tastkopf für Koordinatenmessgeräte
EP0388993A1 (de) * 1986-04-24 1990-09-26 Renishaw plc Messprobe für Werkstücke
EP0556574A2 (de) * 1992-02-15 1993-08-25 Firma Carl Zeiss Verfahren zur Koordinatenmessung an Werkstücken

Families Citing this family (98)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1568053A (en) * 1975-10-04 1980-05-21 Rolls Royce Contactsensing probe
GB1589297A (en) * 1976-12-24 1981-05-13 Rolls Royce Probe for use in measuring apparatus
IT1107310B (it) * 1978-03-23 1985-11-25 Dea Spa Gruppo di attacco per un montaggio di precisione e di sicurezza di un utensile su una macchina particolarmente una macchina di misura
JPS5711504Y2 (de) * 1978-05-29 1982-03-06
FR2458791A1 (fr) * 1979-06-13 1981-01-02 Seiv Automation Dispositif de mesure a commande numerique
DE2937431A1 (de) * 1979-09-15 1981-04-02 Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar Einrichtung zur messwerterfassung an prueflingen
SU1095065A2 (ru) * 1979-11-05 1984-05-30 Вильнюсский Филиал Экспериментального Научно-Исследовательского Института Металлорежущих Станков Измерительна головка
DE2947394A1 (de) * 1979-11-24 1981-05-27 Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar Einrichtung zur messwerterfassung an prueflingen
JPS5733301A (en) * 1980-08-08 1982-02-23 Mitsutoyo Mfg Co Ltd Copying probe for coordinate measuring machine
DD152853A1 (de) * 1980-09-01 1981-12-09 Horst Donat Wechseleinrichtung fuer messeinsatztraeger bei tastkoepfen
JPS57170006U (de) * 1981-04-21 1982-10-26
EP0068899B1 (de) * 1981-06-30 1988-11-30 Renishaw plc Tastkopf zur Messung von Werkstücken
DE3135495C2 (de) * 1981-09-08 1983-11-10 Mauser-Werke Oberndorf Gmbh, 7238 Oberndorf Meßkopf für Meßeinrichtungen, Mehrkoordinatenmeßgeräte und Bearbeitungsmaschinen
JPS58140404U (ja) * 1982-03-16 1983-09-21 株式会社ミツトヨ タッチ信号プロ−ブ
US4451987A (en) * 1982-06-14 1984-06-05 The Valeron Corporation Touch probe
DE3370989D1 (en) * 1982-08-12 1987-05-21 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Tracer head with overload protection
DE3229992C2 (de) * 1982-08-12 1986-02-06 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Mehrkoordinaten-Tastkopf
DE3231158C2 (de) * 1982-08-21 1985-11-14 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Mehrkoordinaten-Tastkopf
DE3234471C1 (de) * 1982-09-17 1983-08-25 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Mehrkoordinaten-Tastkopf
DE3234851C2 (de) * 1982-09-21 1985-11-14 Mauser-Werke Oberndorf Gmbh, 7238 Oberndorf Dynamischer Tastkopf
DE3348472C2 (de) * 1983-06-03 1994-09-29 Zeiss Carl Fa Taststiftwechselhalter
GB2145523A (en) * 1983-08-26 1985-03-27 Gte Valeron Corp Coatings for contacts of a touch probe
GB8407847D0 (en) * 1984-03-27 1984-05-02 Emi Ltd Sensing apparatus
DE3427413C1 (de) * 1984-07-25 1986-01-02 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Tasteinrichtung
JPS6127649U (ja) * 1984-07-26 1986-02-19 宣行 杉村 Ｎｃ旋盤のねじ用タツチセンサ
GB8431746D0 (en) * 1984-12-17 1985-01-30 Renishaw Plc Contact-sensing probe
JPS61108904U (de) * 1984-12-20 1986-07-10
GB8501178D0 (en) * 1985-01-17 1985-02-20 Emi Ltd Control system for robotic gripper/sensing device
DE3506892A1 (de) * 1985-02-27 1986-09-04 Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim Tastkopf fuer koordinatenmessmaschinen
JPS61180475U (de) * 1985-04-30 1986-11-11
JPS6254705U (de) * 1985-09-26 1987-04-04
EP0242710B1 (de) * 1986-04-17 1990-07-25 Renishaw plc Probe für Kontakt-Sensor
DE3623614A1 (de) * 1986-07-12 1988-01-14 Zeiss Carl Fa Koordinatenmessgeraet mit einem tastkopf vom schaltenden typ
DE3773899D1 (de) * 1986-09-03 1991-11-21 Renishaw Plc Signalverarbeitung fuer beruehrungstastkopf.
JPS6363984U (de) * 1986-10-15 1988-04-27
DE3640160A1 (de) * 1986-11-25 1988-06-01 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Mehrkoordinaten-tastkopf
JPS63108178U (de) * 1986-12-29 1988-07-12
DE8700885U1 (de) * 1987-01-20 1987-03-05 Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim, De
DE3706767A1 (de) * 1987-03-02 1988-09-15 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Mehrkoordinaten-tastkopf
DE3717459A1 (de) * 1987-05-23 1988-12-01 Zeiss Carl Fa Handgefuehrtes koordinatenmessgeraet
DE3728578A1 (de) * 1987-08-27 1989-03-09 Zeiss Carl Fa Tastsystem fuer koordinatenmessgeraete
GB8728500D0 (en) * 1987-12-05 1988-01-13 Renishaw Plc Position sensing probe
DE3831975A1 (de) * 1988-04-12 1989-10-26 Wegu Messtechnik Piezogesteuerter dynamischer tastkopf
GB8815984D0 (en) * 1988-07-05 1988-08-10 Univ Brunel Probes
DE3824548A1 (de) * 1988-07-20 1990-01-25 Zeiss Carl Fa Verfahren und einrichtung fuer den betrieb eines tastkopfes vom schaltenden typ
FR2644883B1 (fr) * 1989-03-23 1992-11-20 Commissariat Energie Atomique Capteur de contact multidirectionnel pour machines de controle
EP0415579A1 (de) * 1989-08-30 1991-03-06 Renishaw plc Berührender Taster
US5209131A (en) * 1989-11-03 1993-05-11 Rank Taylor Hobson Metrology
GB9000894D0 (en) * 1990-01-16 1990-03-14 Nat Res Dev Probes
US5339535A (en) * 1990-02-23 1994-08-23 Renishaw Metrology Limited Touch probe
US5345690A (en) * 1990-02-23 1994-09-13 Renishaw Metrology Limited Contact probes
US5253428A (en) * 1990-02-23 1993-10-19 Renishaw Plc Touch probe
US5505005A (en) * 1990-02-23 1996-04-09 Renishaw Plc Touch probe
US5491904A (en) * 1990-02-23 1996-02-20 Mcmurtry; David R. Touch probe
GB9004117D0 (en) * 1990-02-23 1990-04-18 Renishaw Plc Touch probe
JPH03110779U (de) * 1990-02-26 1991-11-13
DE4039336C5 (de) * 1990-12-10 2004-07-01 Carl Zeiss Verfahren zur schnellen Werkstück-Temperaturmessung auf Koordinatenmeßgeräten
FR2673468A1 (fr) * 1991-02-28 1992-09-04 Renishaw Plc Circuit de conditionnement de signaux pour sonde a declenchement.
EP0521703B1 (de) * 1991-07-03 1995-11-02 Renishaw Metrology Limited Signalverarbeitungsschaltung für Triggersonde
DE4123081C2 (de) * 1991-07-12 2001-05-17 Zeiss Carl Tastkopf vom schaltenden Typ
US5322007A (en) * 1991-08-15 1994-06-21 Heat And Control, Inc. Compact, high-capacity oven
EP0566719B1 (de) * 1991-11-09 1997-02-19 Renishaw Metrology Limited Messfühler
DE4209829A1 (de) * 1992-03-26 1993-09-30 Max Hobe Präzisions-Kupplung zum Einsatz in einem Tastkopf einer Meßeinrichtung
DE69323289T3 (de) * 1992-12-24 2003-04-24 Renishaw Plc Tastsonde und Signalverarbeitungsschaltung dafür
DE4300026A1 (de) * 1993-01-02 1994-07-07 Andreas Lotze Tastkopf für Koordinatenmeßgeräte
GB9305687D0 (en) * 1993-03-19 1993-05-05 Renishaw Metrology Ltd A signal processing for trigger probe
DE4316236C1 (de) * 1993-05-14 1994-07-21 Leitz Mestechnik Gmbh Verfahren zur Ermittlung der Koordinaten des Antastpunktes auf einem Werkstück bei der dimensionellen Messung von Werkstücken mit Hilfe eines Sensors
DE4331069A1 (de) * 1993-09-13 1995-03-16 Zeiss Carl Fa Koordinatenmeßgerät mit einem Taster in Form eines Festkörperschwingers
GB9415338D0 (en) * 1994-07-29 1994-09-21 Renishaw Plc Trigger probe circuit
DE4445331C5 (de) * 1994-12-19 2006-07-27 Mycrona Gesellschaft für innovative Messtechnik mbH Automatischer Multisensormeßkopf für Koordinatenmeßgeräte
DE19525592A1 (de) * 1995-07-13 1997-01-16 Zeiss Carl Fa Verfahren zur Koordinatenmessung an Werkstücken
DE69617148T3 (de) * 1995-09-25 2005-11-10 Mitutoyo Corp., Kawasaki Fühlerprobe
DE19547977A1 (de) 1995-12-21 1997-06-26 Zeiss Carl Fa Tastsystem für Koordinatenmeßgeräte
DE19630823C1 (de) * 1996-07-31 1997-12-11 Zeiss Carl Fa Koordinatenmeßgerät mit Kollisionsschutz
CN1155803C (zh) * 1997-02-17 2004-06-30 株式会社三丰 无方向性接触信号探测器
US6131301A (en) * 1997-07-18 2000-10-17 Renishaw Plc Method of and apparatus for measuring workpieces using a coordinate positioning machine
JP3126114B2 (ja) * 1997-11-12 2001-01-22 株式会社ミツトヨ 非接触表面粗さ測定装置
DE20006504U1 (de) * 2000-04-08 2000-08-17 Brown & Sharpe Gmbh Tastkopf mit auswechselbarem Taststift
JP3628938B2 (ja) * 2000-06-23 2005-03-16 株式会社ミツトヨ タッチ信号プローブ
WO2003021182A1 (en) * 2001-09-05 2003-03-13 Renishaw Plc Probe triggering
GB0207912D0 (en) * 2002-04-05 2002-05-15 Renishaw Plc Kinematic coupling
US20040125382A1 (en) * 2002-12-30 2004-07-01 Banks Anton G. Optically triggered probe
EP1443300B1 (de) * 2003-01-29 2010-02-24 Tesa SA Lenkbarer Taststift
EP1443301B1 (de) * 2003-01-29 2010-02-10 Tesa SA Lenkbarer Taststift
DE10336808A1 (de) * 2003-08-07 2005-03-03 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Verfahren zur Einstellung einer Schaltschwelle eines Tastschalters
US7549345B2 (en) * 2004-06-14 2009-06-23 Surface Technology Holdings, Ltd. Method and apparatus for sensing distortion
DE102005043454B3 (de) * 2005-09-13 2007-05-03 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Wechseleinrichtung
DE102007013916B4 (de) * 2007-03-20 2011-06-22 Feinmess Suhl GmbH, 98527 Konturenmessvorrichtung
CN101408418B (zh) * 2007-10-12 2011-03-30 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 接触式测量装置
EP2161536A1 (de) * 2008-09-05 2010-03-10 Leica Geosystems AG Optischer Sensor mit Kollisionsschutz für eine Messmaschine
IT1402715B1 (it) 2010-10-29 2013-09-18 Marposs Spa Sonda di tastaggio
IT1403845B1 (it) 2010-10-29 2013-11-08 Marposs Spa Sonda di tastaggio e relativo metodo di controllo
DE102014201438B4 (de) * 2014-01-27 2023-01-26 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Halterung einer Erfassungseinrichtung zur Erfassung von Eigenschaften eines Messobjekts
EP3236194B1 (de) 2016-04-18 2018-10-31 Hexagon Metrology GmbH Koordinatenmessgerät mit einem messenden tastkopf sowie verfahren zur messung eines werkstückes mit einem koordinatenmessgerät
GB201700879D0 (en) 2017-01-18 2017-03-01 Renishaw Plc Machine tool apparatus
IT201900006536A1 (it) 2019-05-06 2020-11-06 Marposs Spa Sonda per il controllo della posizione o di dimensioni lineari di una parte meccanica
DE102020113401A1 (de) * 2020-05-18 2021-11-18 Haimer Gmbh Kupplungselement zur Aufnahme einer Tastspitze in einem Tastmessgerät, Schraubeinsatz zur Aufnahme einer Tastspitze in einem Tastmessgerät, Kupplungsanordnung für einen Tasteinsatz bei einem Tastmessgerät, Tastmessgerät(-e)
US20240175668A1 (en) * 2022-11-29 2024-05-30 Mitutoyo Corporation Motion mechanism for measuring probe

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR1049118A (fr) * 1952-01-15 1953-12-28 Centre Nat Rech Scient Comparateur électromécanique de précision permettant la mesure à distance
FR1133642A (fr) * 1955-10-12 1957-03-29 Machine-outil à rectifier ou à aléser
US3028675A (en) * 1958-04-03 1962-04-10 Sheffield Corp Gaging device
FR1470705A (fr) * 1966-03-04 1967-02-24 Dispositif de sondage photo-électrique pour appareils à suivre les contours
DE1638048B2 (de) * 1968-02-07 1976-11-18 Indramat Gesellschaft für Industrie-Rationalisierung und Automatisierung mbH, 8770 Lohr Elektrischer, kontaktloser kopierfuehler fuer nachformeinrichtungen an werkzeugmaschinen
FR2135461B1 (de) * 1971-05-05 1973-05-11 Combustible Nucleaire
GB1445977A (en) * 1972-09-21 1976-08-11 Rolls Royce Probes
US3883956A (en) * 1972-12-26 1975-05-20 Cecil Equipment Co Proportional control for guidance system
DE2356030C3 (de) * 1973-11-09 1978-05-11 Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar Taster zur Werkstückantastung
JPS50151170A (de) * 1974-05-27 1975-12-04
DE2551361A1 (de) * 1974-11-18 1976-06-24 Dea Digital Electronic Allseitig wirkender elektronischer tastkopf fuer messmaschinen
FR2298084A1 (fr) * 1975-01-17 1976-08-13 Erap Dispositif d'exploration palpatoires et de reconstruction de la forme d'un objet
GB1568053A (en) * 1975-10-04 1980-05-21 Rolls Royce Contactsensing probe
CH599534A5 (en) * 1975-10-23 1978-05-31 Tesa Sa Electrical feeler probe system
IT1088539B (it) * 1976-12-24 1985-06-10 Rolls Royce Sonda per l'uso in apparecchi di misura
GB1593682A (en) * 1977-01-20 1981-07-22 Rolls Royce Probe for use in mearusing apparatus

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2757453A1 (de) * 1976-12-24 1978-07-06 Renishaw Electrical Ltd Tastkopf fuer messmaschinen
EP0093299A1 (de) * 1982-04-29 1983-11-09 Firma Carl Zeiss Tastkopf für Koordinatenmessgeräte
DE3231160A1 (de) * 1982-08-21 1984-02-23 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Mehrkoordinaten-tastkopf
EP0388993A1 (de) * 1986-04-24 1990-09-26 Renishaw plc Messprobe für Werkstücke
DE3634689A1 (de) * 1986-10-11 1988-04-14 Zeiss Carl Fa Anordnung fuer den gleichzeitigen anschluss mehrerer tastkoepfe vom schaltenden typ an den messarm eines koordinatenmessgeraetes
EP0301390A2 (de) * 1987-07-30 1989-02-01 Firma Carl Zeiss Tastkopf für Koordinatenmessgeräte
EP0301390A3 (en) * 1987-07-30 1990-08-22 Zeiss Carl Fa Feeler head for coordinate measuring machines
EP0556574A2 (de) * 1992-02-15 1993-08-25 Firma Carl Zeiss Verfahren zur Koordinatenmessung an Werkstücken
EP0556574A3 (de) * 1992-02-15 1995-05-10 Zeiss Carl Fa

Also Published As

Publication number Publication date
FR2384230B1 (de) 1984-12-28
CH625045A5 (de) 1981-08-31
FR2384230A1 (fr) 1978-10-13
DE2712181A1 (de) 1978-09-21
JPS6048681B2 (ja) 1985-10-29
GB1586052A (en) 1981-03-18
US4177568A (en) 1979-12-11
IT7848491A0 (it) 1978-03-17
IT1102107B (it) 1985-10-07
JPS53117464A (en) 1978-10-13
DE2712181B2 (de) 1980-04-30

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