DE3016782A1 - Sonde zur messung von werkstuecken - Google Patents

Sonde zur messung von werkstuecken

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DE3016782A1
DE3016782A1 DE19803016782 DE3016782A DE3016782A1 DE 3016782 A1 DE3016782 A1 DE 3016782A1 DE 19803016782 DE19803016782 DE 19803016782 DE 3016782 A DE3016782 A DE 3016782A DE 3016782 A1 DE3016782 A1 DE 3016782A1
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Germany
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probe
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sensor
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Application number
DE19803016782
Other languages
English (en)
Inventor
David Roberts Mcmurtry
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Renishaw Electrical Ltd
Original Assignee
Renishaw Electrical Ltd
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Filing date
Publication date
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Ceased legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/004Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points
    • G01B7/008Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
    • G01B7/012Contact-making feeler heads therefor
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B3/00Measuring instruments characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B3/002Details
    • G01B3/008Arrangements for controlling the measuring force

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Sonde zur Messung von Werkstücken.
  • Eine bekannte Sonde (GB-PS 1 445 977) enthält einen Fühler, welcher an einer Basis befestigt ist und aus ihr hervorragt.
  • Im Gebrauch ist diese Basis an einer Maschine befestigt, welche die Sonde in drei Dimensionen gegenüber dem Werkstück bewegt und automatisch die Koordinatenstellung jedes einzelnen Punktes des Werkstückes mißt und registriert, mit dem der Fühler in Eingriff gebracht wird. Der Meßvorgang der Maschine wird über einen Impulssignalausgang durch die Sonde im wesentlichen im Augenblick des Eingriffs mit dem Werkstück ausgelöst.
  • Die Maschine ist darauf ausgelegt, die Sonde schnell von einem Meßpunkt zum nächsten zu bringen, indem sie die Sonde abwechselnd mit dem Werkstück in Berührung bringt und wieder zurückzieht.
  • Da die Bewegung der Sonde im Augenblick der Berührung zwischen Fühler und Werkstück nicht unterbrochen werden kann, ist der Fühler mit der Basis durch eine kinematische Positionierungsvorrichtung verbunden, welche eine begrenzte Verschiebung des Fühlers gegenüber der Basis zuläßt, so daß die Sonde den Berührungspunkt bis zu einem begrenzten Betrag überschreiten kann. Die Überschreitung wirkt gegen eine Feder, welche den Fühler in seine Ausgangs- oder Ruheposition zurückbringt, wenn die Sonde vom Werkstück abgezogen wird.
  • Es ist erwünscht, eine Sonde mit den folgenden Eigenschaften zu haben. Die durch die Positionierungsvorrichtung zugelassene Verschiebung des Fühlers sollte beträchtlich sein. Die Ruhestellung sollte zwangsläufig und genau definiert sein. Das Signalansprechverhalten sollte schnell sein, d.h. das Signal sollte so nahe wie möglich dem Zeitpunkt des Eingriffs mit dem Werkstück auftreten. Die Kraft, die auf den Fühler während des Eingriffs mit dem Werkstück wirkt, sollte angemessen niedrig sein, und das Signal sollte nicht fälschlicherweise als Folge von Momentenkräften ausgelöst werden, die auf den Fühler oder andere Teile der Sonde wirken, während sie von der Maschine beschleunigt oder verlangsamt werden.
  • Insoweit die obengenannte Sonde ihr Signal im wesentlichen im Augenblick des Eingriffs erzeugt, wird sie als "Berührungssonde" bezeichnet. Da diese Sonden hohe Arbeitsgeschwindigkeiten ermöglichen, haben sie weitverbreitete Verwendung gefunden.
  • Das liegt an ihrer einfachen und robusten Konstruktion und ihrer verhältnismäßig guten Übereinstimmung mit den obengenannten Eigenschaften, insbesondere was die von Trägheitskräften freie Signalerzeugung betrifft. Es ist jedoch eine Aufgabe der Erfindung, die Reaktion der Sonde auf Eingriff mit dem Werkstück im Hinblick auf die Erreichung höherer Genauigkeitsanforderungen zu verbessern.
  • Bei einer anderen bekannten Sonde (US-PS 3 945 124) umfaßt die Positionierungsvorrichtung ein aus zwei starren, durch zwei Blattfedern verbundenen Teilen-einer Basis bzw. einer Fühlerhalterung - hergestelltes Parallelogramm. Ein piezoelektrischer Stab, der zwischen den beiden starren Teilen angeordnet ist, wird beim Verbiegen belastet, wenn eine entsprechend gerichtete Kraft auf den Fühler wirkt; die Biegungsbelastung erzeugt das Sondensignal. Die Verbindung zwischen dem Stab und der Basis wird durch zwei dazwischen befindliche Schraubenfedern hergestellt, die während der Lageveränderung des Fühlers bezüglich der Basis bei der genannten Überschreitung nachgeben und die den Fühler wieder in die Ruhestellung bringen, wenn die Sonde von dem Werkstück zurückgezogen wird. Die Federanordnung umfaßt zwei durch die entsprechenden Federn gegeneinander gedrückte Köpfe, die jedoch durch fixierte Kugelanschläge, welche zwischen den parallel sich gegenüberliegenden Flächen der beiden Köpfe liegen, in Abstand gehalten sind. Der Verbiegungsstab hat ein kugelförmiges Ende, welches ebenfalls zwischen den beiden Kopfflächen liegt. Um eine genau definierte Ruhestellung für den Fühler sicherzustellen, darf zwischen dem kugelförmigen Ende des Stabs und den Kopfflächen kein Spiel bestehen. Wenn eine gegebene Kraft überschritten wird, wird jede weitere Verlagerung durch die Federung aufgenommen. Um die nötige Lageveränderung des Fühlers in drei Dimensionen zu ermöglichen, werden drei derartige Parallelogramme, von denen jedes einen Verbiegungsstab und Schraubenfedern enthält, in Reihe zwischen dem Fühler und einer Endbasis verbunden.
  • Die piezoelektrischen Stäbe in der zuletzt erwähnten bekannten Sonde haben von sich aus gute Ansprechcharakteristiken, aber es treten Schwierigkeiten auf durch die Wechselwirkung zwischen dem kugelförmigen Ende des Stabs und den flachen Oberflächen der Köpfe, zwischen denen dieses Ende angeordnet ist. Das Spiel zwischen dem kugelförmigen Ende und den Köpfen ist insofern schwer zu verhindern, als die Möglichkeit besteht, daß das kugelförmige Ende von den beiden Köpfen eingezwängt wird; dort entsteht dann unerwünschte Reibung, wenn das kugelförmige Ende sich bei Verbiegung des Stabs dreht. Da die Federn relativ steif sein müssen (sie müssen steif genug sein, um nicht vor Überschreiten einer gewissen Fühlerkraft nachzugeben), können am Kontaktpunkt zwischen dem Fühler und dem Werkstück Kräfte entstehen, die ausreichen, unerwünschte Abweichungen eines der beiden zu verursachen. Wenn andererseits die Federn weich genug sind, um solche Abweichungen zu vermeiden, wird die Sonde dementsprechend eher der Erzeugung von Signalen aufgrund von Trägheitskräften unterworfen sein. Dies rührt im wesentlichen von der Reihenanordnung der drei Positionierungsvorrichtungen her, wobei jene Vorrichtung, die der Endbasis am nächsten gelegen ist, der Trägheit der anderen beiden Vorrichtungen ausgesetzt ist. Die bekannte Sonde eignet sich deshalb nicht als Berührungssonde in Maschinen mit hoher Arbeitsgeschwindigkeit.
  • Schließlich hat die Notwendigkeit, drei der erwähnten Positionierungsvorrichtungen mit ihren einzelnen piezoelektrischen Stäben vorzusehen, eine komplexe und teure Anordnung zur Folge.
  • Die Erfindung nach Anspruch 1 beruht auf der Erkenntnis, daß von einer einzelnen Spannungs-Sensorvorrichtung, die direkt in die Basis oder den Fühlerhalter eingebaut ist, ein befriedigendes Signal erhalten werden kann. D.h., daß das Spannungs-Sensorelement, z.B. eine piezoelektrische oder piezoresistive Vorrichtung, einen Teil der Basis oder einen Teil des Halters bilden kann, aber nicht beides.
  • Es ist daher von den Elementen der Positioniervorrichtung, die für die Anordnung des Halters in der Ruheposition verantwortlich sind, getrennt. Die einzelne Spannungs-Sensorvorrichtung kann ein einzelnes Fühlelement enthalten oder mehrere solcher Elemente, die in einer kompakten Einheit zusammengefaßt sind. Vorzugsweise ist die Positioniervorrichtung, die im Zusammenhang mit der Erfindung verwendet wird, eine kinematische Vorrichtung. Sie umfaßt nur zwei starre Teile, nämlich die Basis und den Fühlerhalter, und die Druck-Sensorvorrichtung, welche vorzugsweise im Fühlerhalter eingebettet ist.
  • Weiter kann die Spannungs-Sensorvorrichtung mit einem elektrischen Schaltkreis verbunden sein, welcher ein Impulssignal feststellt, wenn das Signal eine Spitze aufweist, die eine gegebene Amplitude übersteigt. Das erfordert, daß die Maschine genügend schnell betrieben wird, um einen Stoß zwischen dem Fühler und dem Werkstück zu erzeugen, der stark genug ist, jene Spitze hervorzurufen. Obwohl für solche Arbeitsvorgänge eine gewisse Stärke des Stoßes erforderlich ist, ist sie in der Praxis klein genug, zum am Fühler und am-Werkstück keinen Schaden zu verursachen.
  • Eine Ausführungsform der Erfindung wird im folgenden anhand der Zeichnung beschrieben; in dieser zeigt: Fig. 1 einen Teil-Aufriß der Sonde und Fig. 2 einen Schnitt entlang der Linie II-II der Fig 1.
  • Nach der Zeichnung ist ein Gehäuse 10 bei 11 an einer ersten Halterung bricht dargestellt) einer Koordinatenmeßmaschine befestigt. Eine derartige Maschine umfaßt üblicherweise drei Halterungen: eine erste Halterung, die auf einer zweiten Halterung montiert ist und gegenüber dieser auf einer ersten Achse beweglich ist; eine zweite Halterung, die auf einer dritten Halterung befestigt ist und ihr gegenüber auf einer zweiten Achse beweglich ist, und eine dritte Halterung, welche an dem Maschinenrahmen angeordnet ist und gegenüber der Maschine entlang einer dritten Achse beweglich gelagert ist.
  • Die drei Achsen sind im allgemeinen rechtwinklig zueinander angeordnet. So kann eine Sonde, die auf der ersten Halterung angebracht ist, mit der Oberfläche eines Werkstücks in Kontakt gebracht werden, und die Koordinaten der Kontaktstelle können anhand der entsprechenden Stellungen der drei Halterungen bestimmt werden.
  • In der Ausführungsform ist die Sonde am Gehäuse 10 auf der ersten Halterung angebracht. Die Sonde umfaßt einen Fühler 17 mit einer Kugel 9 am einen Ende für die Kontaktaufnahme mit dem Werkstück 18. Der Fühler 17 ist mit dem Boden eines unteren Teils 22 des Halters 12 verschraubt. Ein oberer Teil 21 des Halters 12 ist mit einem dazwischenliegenden Spielraum 19 oberhalb des unteren Teils 22 angeordnet. Der oberste Abschnitt des Halters 12 ist allgemein dreieckig in der Ebene der Fig. 2 und hat drei gleichwinkelig angeordnete Arme 13.
  • Die Teile 21, 22 sind durch piezoelektrische Kristalle getrennt, welche sandwichartig zwischen entsprechenden Armen der oberen und unteren Teile 21, 22 angeordnet sind, welche mit einer Schraube 23 zusammen gehalten werden. Zylindrische Teilverlängerungen 14 der Arme 13 überlappen einen einwärts gebogenen Flansch 8 an der Öffnung des Gehäuses 10. Kugelpaare 15 auf dem Flansch bestimmen genau die Lage der Verlängerungen 14 gegenüber dem Flansch. Zwischen dem Gehäuse und dem Halter 12 wirkt eine Druckfeder 16, um die Verlängerungen 14 normalerweise durch die Kugeln 15 gelagert zu halten, wobei die Achse 12A des Fühlers zur Bewegungsachse der ersten Halterung parallel läuft, auf welchem das Gehäuse 10 angebracht ist.
  • Im Gebrauch verlagert die Kraft F, welche auf den Fühler durch die Berührung mit dem Werkstück 18 wirkt, den Halter 12 aus seiner Ruheposition gegenüber dem Gehäuse gegen die rücktreibende Kraft der Feder 16. Wenn durch Abheben vom Werkstück die Kraft F nachläßt, wirken die Feder und die konvergierenden Oberflächen der Kugelpaare 15 dahingehend zusammen, daß der Halter 12 in die Ruhestellung zurückgebracht wird.
  • Die Anwendung der Kraft F verursacht im Halter 12 eine Belastung, die durch die drei druckempfindlichen Elemente 20, in diesem Beispiel in die Arme 13 eingebettete piezoelektrische Kristalle, abgetastet wird. Es ist keine relative Bewegung zwischen den Teilen 21, 22 beabsichtigt, und die Schraube 23 ist vorgesehen, um die Teile und Elemente fest zusammenzuhalten und eine Verschiebung der Elemente zu vermeiden, während die Arbeitskräfte auf den Halter 12 wirken.
  • Die Elemente selbst sind mittels Klebstoff zwischen den Teile len 21 und 22 befestigt.
  • Man kann feststellen, daß die Belastung im Halter 12 aufgrund der Kraft F eine Belastung ist, die die Arme 13, welche als Ausleger angesehen werden können, zu biegen sucht. Dies ist der Fall, weil der Halter 12 während der Verlagerung aus der Ruhestellung gekippt ist und die gleichmäßige Last, die die drei Arme in der Ruhestellung haben, sich in einem oder zwei Armen konzentriert, auf denen der Halter 12 abgestützt bleibt.
  • Unabhängig von der quer zur Achse 12A verlaufenden Richtung der Kraft F sind immer ein oder zwei Elemente 20 aufgrund einer zunehmenden Biegespannung belastet, während die verbleibenden Elemente nicht belastet sind.
  • Die Elemente 20 sind jeweils mit zwei Leitungen 24 verbunden, durch welche die Spannungsänderungen an den Polen der Kristalle auf Verstärker 25 übertragen werden, wobei jeder Kristall seinen eigenen Verstärker besitzt. Das Ausgangssignal eines jeden Verstärkers wird durch eine entsprechende Triggerschaltung 26 geleitet, welche ein Impulssignal erzeugt, wenn die momentane Spannung einen gegebenen Schwellenwert übersteigt. Die Ausgänge der Triggerschaltungen werden in einem ODER-Gatter 27 zusariuriengefaßt, dessen Ausgang 28 somit aktiviert ist, falls irgendeines der Elemente 20 einem den Schwellenwert übersteigenden Spannungspegel ausgesetzt ist. Der Ausgang 28 kann mit elektronischen Zählern verbunden sein, die zweckmäßigerweise mit entsprechenden Digitalanzeigen quantitativ die jeweiligen Stellungen der der Halterungen anzeigen. Der Ausgang 28 unterbricht die Zähler, so daß sie im Augenblick des Kontakts zwischen Fühler und Werkstück stoppen und nicht durch den unvermeidlichen Überlauf der Halterungen beeinflußt werden, welcher durch die Verlagerung des Halters 12 in dem Gehäuse 10 ermöglicht wird.
  • Obwohl es wie angegeben zwischen den Teilen 21, 22 keine Bewegung gibt, verändert sich trotzdem die Spannung zwischen ihnen. Die Schraube 23 setzt die Teile 21, 22 einer anfänglichen Spannung aus, die eine anfängliche elastische Verformung erzeugt, welche gleichartige Belastungen auf die Kristalle ausübt. Wenn die Kraft F angelegt wird, verändern sich die Spannungsform, und dementsprechend der Druck auf das Element 20 verändert sich. Diese Änderung läßt das elektrische Ausgangssignal der Kristalle ansteigen. Wenn die Kraft axial auf den Fühler wirkt, unterliegen die Elemente 20 einer gleichförmigen Belastungsänderung und erzeugen dementsprechend gleichförmige Signale. Das gilt unabhängig davon, ob der Fühler gezogen oder gedrückt wird. Daher ist die Sonde richtungsunabhängig; d.h. sie reagiert auf alle Kräfte, gleichgültig aus welcher Richtung sie kommen.
  • Die Teile 21, 22 könnten auch durch andere Vorrichtungen als eine Schraube zusammengehalten werden. Sie könnten beispielsweise durch Kleber, wie etwa Epoxdharzkleber, zusammengehalten werden, solange der Kontakt des Fühlers mit dem Werkstück eine ausreichende Belastungsveränderung in einem oder mehreren der piezoelektrischen Kristalle 20 erzeugt.
  • In der beschriebenen Ausführungsform sind die Piezoelemente 20 zwischen zwei Teilen 21, 22 der Fühlerhalterung befestigt. Wahlweise könnte das Gehäuse 10 aus zwei Teilen bestehen, und z.B. auf einer Ebene X-X getrennt und mit dazwischenliegenden Piezoelementen zusammengehalten sein.
  • Leerseite

Claims (6)

  1. Sonde zur Messung von Werkstücken Patentansprüche U Sonde zum Messen von Werkstücken mit zwei Teilen, nämlich einer Basis und einer Fühlerhalterung, einer Positioniervorrichtung, welche den Halter mit der Basis zur begrenzten dreidimensionalen Verlagerung aus der Ruhestellung und die Rückführung in dieselbe verbindet, und einer Sensorvorrichtung zum Ermitteln der Berührung zwischen dem Fühler und einem Werkstück in jeder der drei genannten Dimensionen, wobei die Basis an einer Maschine anbringbar ist, die die Sonde in drei Dimensionen relativ zum Werkstück bewegen kann, um den mit dem Halter verbundenen Fühler mit dem Werkstück an einem darauf ausgewählten Punkt in Eingriff zu bringen, und wobei die Sensorvorrichtung dazu dient, ein Signal auszugeben, das auf einen derartigen Eingriff anspricht und in der Maschine benutzt wird, um die Koordinatenlage des besagten Punktes zu bestimmen, dadurch g e -z e i c h n e t , daß die Sensorvorrichtung eine in einem der genannten Teile angeordnete Drucksensorvorrichtung ist.
  2. 2. Sonde nach Anspruch 1, dadurch g e k e n n z e i c h n e t daß die Drucksensorvorrichtung in dem Halter befestigt ist und wenigstens ein druckempfindliches Element enthält.
  3. 3. Sonde nach Anspruch 1, dadurch g e k e n n z e i c h n e t daß die Drucksensorvorrichtung drei druckempfinc' che Elemente enthält, von denen jedes ein elektrisches Ansprechsignal abgibt, das je nach Spannungsrichtung positiv oder negativ ist, und wobei die Ausgänge der Elemente mit einem Schaltkreis verbunden sind, der auf ein Vorzeichen nur eines der Ausgänge anspricht, so daß der Schaltkreis so lange aktiviert ist, wie wenigstens eines der Elemente ein Ansprechsignal des einen Vorzeichens abgibt.
  4. 4. Sonde nach Anspruch 3, dadurch g e k e n n z e i c h n e t daß eines der Teile wiederum aus zwei Teilen besteht, zwischen denen die spannungsempfindlichen Elemente parallel in festem Eingriff angeordnet sind.
  5. 5. Sonde nach Anspruch 1 oder 2, dadurch g e k e n n z e i c h -n e t , daß die Positioniervorrichtung ein erstes am Halter angebrachtes Widerlager umfaßt, welches die Teile gegen Verlagerung in zwei Dimensionen festlegt, daß eine Vorspannvorrichtung-den Halter in Eingriff-mit der Basis an den Widerlagern drückt, um eine Ruhelage des Halters zu erreichen, und daß der Halter entgegengesetzt der Vorspannvorrichtung und in dem Sinne beweglich is-t, daß er auf dem Widerlager der Basis kippt oder körperlich von dem Widerlager verschoben wird.
  6. 6. Sonde nach Anspruch 5, dadurch g e k e n n z e i c h n e t daß eines der Widerlager drei Teile für die Verbindung mit dem anderen Widerlager an nur drei Stellen umfaßt und daß drei spannungsempfindliche Elemente angrenzend an den entsprechenden Teilen angeordnet sind.
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