DE4331655C2 - Tastkopf vom messenden Typ für Koordinatenmeßgeräte - Google Patents
Tastkopf vom messenden Typ für KoordinatenmeßgeräteInfo
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Description
Die Erfindung betrifft einen Tastkopf für einen
ausweichbar gelagerten mechanischen Taster für die
Koordinatenbestimmung von Meßpunkten auf einem Werkstück.
Derartige Taster sind deshalb ausweichbar gelagert, weil
der Taster beim Auffahren auf den Meßpunkt des Werkstückes
mechanischen Kräften ausgesetzt wird, welche zum Beispiel
die Tastkugel des Tasters aus ihrer Soll-Lage auswandern
lassen. Soll der Taster anschließend für eine neue
Anschlußmessung benutzt werden, muß man sicher sein, daß
die Tastkugel ihre Ausgangslage nach dem Losen vom
Werkstück nieder eingenommen hat. Dies ist praktisch nicht
kontrollierbar.
Um deshalb zu gewährleisten, daß der Taster nach jeder
Messung seine Ausgangslage wieder einnimmt, ist der Taster
im Tastkopf ausweichbar gelagert, zum Beispiel an einem
Blattfederparallelogramm aufgehängt, so daß beim Anfahren
des Meßpunktes der Taster auswandern kann und das
Federparallelogramm den Taster nach Lösen vom Werkstück in
seine Ausgangslage zurückführt. Eine exakte Rückführung des
Tasters in seine Ausgangslage gelingt mit einem einfachen
Blattfederparallelogramm jedoch nicht. Deshalb ist für den
Taster nach dem Stand der Technik zusätzlich eine
Zentriereinrichtung vorgesehen, welche insbesondere eine
einwandfreie und hysteresefreie Zentrierung des Tasters in
seine Ausgangsstellung gewährleistet. Eine solche
Zentriereinrichtung wirkt beispielsweise gemäß der
DE-PS 23 56 030 mit unter Federdruck stehenden Kugeln auf
einen mit dem Taster verbundenen Biegestab. Um die
einwandfreie und hysteresefreie Zentrierung in der
Grundstellung zu gewährleisten, müssen bei dieser
Ausbildung alle vorgesehenen Berührungsstellen zwischen der
Kugel des Mitnehmers und den Kugeln der Anschläge und der
Druckstücke zugleich exakt anliegen. Dieses ist nur mit
hohem Fertigungsaufwand mit Bezug auf die Präzision der
Kugeln und der Plandruckstücke möglich. Im Gebrauch mindert
sich diese Qualität zwangsläufig durch Verschleiß, zum
Beispiel durch Schlagwirkung oder zum Beispiel durch
Reibung der Kugel des Mitnehmers an den Druckstücken.
Eine Weiterentwicklung einer derartigen
Zentriereinrichtung zeigt die DE-OS 40 27 136. Bei dieser
Zentriereinrichtung sind die in gegensätzlicher Richtung
wirkenden Rückstellmittel derart ausgebildet, daß für ein
Rückstellmittel ein, auch mehrteiliger Anschlag vorgesehen
ist und bei dem das im Ruhe Zustand an dem Anschlag
anliegende Rückstellmittel zumindest nahe dem Ruhezustand
eine doppelt so große Rückstellkraft ausübt wie das zweite
gegenüberliegende Rückstellmittel. Dadurch, daß das am
Anschlag anliegende Rückstellmittel bei Auslenkung des
Mitnehmers gegen die Rückstellkraft des gegenüberliegenden
Rückstellmittels nicht auf den Mitnehmer wirkt, wirkt nur
die einfache Rückstellkraft auf die Kugel des Mitnehmers.
Wird der Mitnehmer in eine andere Richtung ausgelenkt, so
wirkt auf die Kugel des Mitnehmers zwar die doppelt so
große Rückstellkraft, allerdings wirkt dieser
Rückstellkraft die einfache Rückstellkraft des
gegenüberliegenden Rückstellmittels entgegen, so daß
effektiv nur die Differenz der beiden Rückstellkräfte
wirkt. Hierdurch wird eine gleichgroße Rückstellkraft in
beiden Richtungen erreicht. Als Rückstellmittel sind
entweder federbelastete Kolben oder mittels eines Fluides
beaufschlagte Kolben vorgesehen.
Diese Ausbildung erlaubt höchstens die Variation der
bei der Auslenkung auftretenden Maximalkraft durch
Variation des Systemdruckes, nicht jedoch eine Veränderung
des um den Nullpunkt liegenden linearen Bereiches der
Kennlinie. Soll das Tastsystem verschiedenen Meßaufgaben
optimal angepaßt werden, müssen für diese verschiedenen
Meßaufgaben verschiedene Zentriereinrichtungen verwendet
werden, wobei für jede spezielle Meßaufgabe eine spezielle
Zentriereinrichtung verwendet werden muß, die die für die
Meßaufgabe optimale Kraft-Weg-Kennlinie aufweist.
Darüber hinaus sind diese zum Stand der Technik
gehörenden mechanischen Zentriereinrichtungen empfindlich
gegenüber den Schwingungen des Tasters, die zum Beispiel
dann angeregt werden, wenn der Meßkopf zwischen
verschiedenen Meßstellungen hin- und hergefahren wird.
Diese Schwingungen sind abhängig von den Beschleunigungen
des Tasters. Die Schwingungen stören die Messung beim
Anfahren des Tasters an das Werkstück erheblich, so daß der
Taster ohne wesentliche Beschleunigung an das Werkstück
herangefahren werden muß, was verfahrenstechnisch nicht
erwünscht ist.
Aufgabe der Erfindung ist es, einen Tastkopf für einen
mechanischen Taster anzugeben, bei dem die Rückstellmittel
auf den Taster berührungslos wirken und die vorgenannten
Nachteile nicht auftreten.
Diese Aufgabe wird durch die Merkmale
der Ansprüche 1 oder 2 gelöst. Dadurch, daß jetzt
Magnetkräfte den Taster in seine Ausgangslage zurückführen,
und zwar berührungslos, treten keinerlei mechanische
Reibungen mehr auf, welche die Rückführung ungünstig
beeinflussen. Es ist ferner primär keinerlei Energiezufuhr
für die Rückführung des Tasters in seine Ausgangslage
erforderlich. Darüber hinaus verwendet eine derartige
Zentriereinrichtung nur einfache und preiswerte Teile.
Wie sich gezeigt hat, erhält man mit einer derartigen
Magnetzentrierung auch eine gewünschte Kraft-Weg-Kennlinie
für den messenden Tastkopf, wenn nur die Geometrie der sich
gegenüberstehenden Pole von Magnet und Gegenpol sowie ihr
Abstand entsprechend aufeinander, insbesondere auf ihre
Linearität abgestimmt werden.
Ist eine Federparallelogrammaufhängung für den Taster
vorgesehen, vorzugsweise eine Blattfederaufhängung, dann
übt die Zentriereinrichtung in der Ausführung der Fig. 3
durch die magnetische Anziehungskraft bedingt einen Zug auf
die Blattfedern aus. Diese Zugkraft läßt das
Federparallelogramm bei äußerer Druckbelastung erst später
einknicken als üblich, das heißt, die Belastbarkeit durch
äußere Kräfte und Momente wird größer, als es bisher der
Fall war.
In weiterer Ausgestaltung der Erfindung kann einer der
Magnete oder der Gegenpol von zwei um 90° gegeneinander
verdrehten Federparallelogrammen getragen sein, so daß eine
Rückstellung des Tasters in zwei Koordinatenrichtungen
gleichzeitig stattfindet. Die sich gegenüberstehenden
Magnete oder der Magnet mit gegenüberstehendem
ferromagnetischen Gegenpol sind bei dieser Ausbildung
vorteilhaft zentral symmetrisch ausgebildet. Grundsätzlich
genügt also für die Rückführung des Tasters in zwei
Koordinatenrichtungen eine einzige aus Pol und Gegenpol
bestehende Magnetzentrierung.
In weiterer Ausgestaltung der Erfindung kann der
Magnet als Elektromagnet ausgebildet sein, und der
gegenüberliegende ferromagnetische Körper als Gegenpol kann
dann in axialer Richtung gegen den Druck einer Feder
bewegbar gelagert sein, derart, daß die Kraft der Feder den
ferromagnetischen Körper vom Elektromagneten wegzudrücken
trachtet. Je nach Stärke des Stromflusses durch die
Wicklung des Elektromagneten findet dann die Rückführung
des Tasters in seine Ausgangslage statt, wenn die Feder
einen Luftabstand zwischen den Polen erzwingt′ oder aber
der Gegenpol wird gegen die Wirkung der Feder vom
Elektromagneten so weit angezogen, daß er den
gegenüberstehenden Pol des Elektromagneten berührt. Durch
die Berührung wird der Taster dann in seiner Position
sozusagen festgeklemmt.
Die Magnetzentrierung bietet bei dieser Ausführung
eine äußerst einfache Klemmöglichkeit für den Taster, zum
Beispiel beim schnellen Fahren des Tasters von einer
Meßposition in die nächste.
Auf der Zeichnung sind Ausführungsbeispiele der
Erfindung dargestellt, und zwar zeigen:
Fig. 1 eine Prinzipskizze;
Fig. 2 die Kraft-Weg-Kennlinie;
Fig. 3 ein erstes Ausführungsbeispiel;
Fig. 4 ein zweites Ausführungsbeispiel;
Fig. 5a, 5b ein weiteres Ausführungsbeispiel.
Gemäß Fig. 1 ist ein Permanentmagnet (1) mit einem
Nordpol (N) und einem Südpol (S) vorgesehen. Dem Nordpol
(N) steht unter Belassung eines Luftspaltes (37) ein
ferromagnetischer Körper (2) mit seiner Fläche (2a) als
Gegenpol gegenüber. Der Körper (2) trägt den Taster (3) (in
Fig. 1 nicht dargestellt) und ist mit Hilfe einer
Querführung (15) in Richtung des Pfeiles (8) beweglich. Die
zwischen dem Nordpol (N) und dem Körper (2) verlaufenden
Feldlinien bewirken, daß bei einer Bewegung des Körpers (2)
in Richtung des Pfeiles (8), also aus seiner Grundstellung
heraus der Körper (2) stets in seine dargestellte
Ausgangslage zurückgezogen wird.
Die Kraft-Weg-Kennlinie (F = Kraft, s = Weg) dieser
Ausbildung ist in Fig. 2 dargestellt. Sie hat hinsichtlich
ihres Anstieges im Bereich des Nullpunktes (0) weitgehend
die übliche Form der Kraft-Weg-Kennlinie einer mit einem
Federparallelogramm arbeitenden Zentriereinrichtung für die
Rückführung des Tasters nach dem Stand der Technik.
Fig. 3 zeigt ein Ausführungsbeispiel für die
Aufhängung des Tasters (3). Der Taster (3) ist an einem
Körper (4) befestigt, der mit Hilfe von Blattfedern (5 und
6) an einem ortsfesten Teil (7) der Zentriereinrichtung
befestigt ist.
Zur koordinatenmäßigen Antastung des Meßpunktes auf
dem Werkstück wird der Teil (7) in Richtung des Pfeiles
(16) koordinatenmäßig verschoben. Beim Auftreffen der
Tastkugel (3a) des Tasters (3) auf das auszumessende
Werkstück (nicht dargestellt) wandert die Kugel (3a) zum
Beispiel in Richtung des Pfeiles (9) aufgrund der
Federparallelogrammaufhängung des Tasters (3) aus. Der
Körper (4) verschiebt sich hierbei mit Hilfe der
Blattfedern (5, 6) parallel zum Körper (7). Wird der
Tastkopf anschließend in eine Lage gefahren, in der keine
Berührung der Kugel (3a) mit dem Werkstück mehr
stattfindet, soll der Taster (3) wieder seine Ausgangslage
(Nullage) einnehmen.
Gemäß Fig. 3 ist für die Rückführung des Tasters (3)
in seine Ausgangslage der als Gegenpol zum
Permanentmagneten (1) dienende Körper (2) mit Hilfe von
Verbindungsstücken (10) mit dem den Taster (3) tragenden
Körper (4) verbunden. Das heißt, der Taster (3) kann sich
mit dem Körper (4) in Richtung des Pfeiles (8) bewegen.
Damit der Körper (2) und damit der Taster (3) in seine
exakte Ausgangslage gefahren wird, ist der Nordpol (N) des
Permanentmagneten (1) dem Gegenpol des Körpers (2)
gegenübergestellt. Der Permanentmagnet (1) ist hierzu über
Verbindungsstücke (12) fest mit dem Teil (7) der
Zentriereinrichtung verbunden.
Die sich gegenüberliegenden Flächen (13 und 14) des
Permanentmagneten (1) und des Körpers (2) sind als parallel
zueinander liegende Planflächen ausgebildet. Sie weisen
zwischen sich den Luftspalt (37) auf. Die zwischen dem
Nordpol (N) und dem Körper (2) verlaufenden Kraftlinien des
Magnetfeldes bewirken, daß sich der Körper (2) nach einer
seitlichen Auslenkung stets exakt in die Ausgangslage
zurückbewegt und damit auch der mit dem Körper (2)
verbundene Taster (3).
Der Taster gemäß der Fig. 3 ist durch die Aufhängung
an den Blattfedern (5, 6) nur in einer Koordinatenrichtung
auslenkbar.
Fig. 4 zeigt eine Anordnung für die Auslenkung des
Tasters in zwei senkrecht zueinander liegenden
Koordinatenrichtungen (X und Y). An dem vom Tastkopf
getragenen Teil (7) ist wiederum über Blattfedern (5, 6)
der Körper (4) in der Zeichenebene in der X-Richtung
auslenkbar befestigt. Der Teil (4) trägt jetzt jedoch nicht
unmittelbar den Taster (3), sondern der Taster (3) ist über
ein weiteres um 90° zu dem Federparallelogramm (5, 6)
verdrehtes Federparallelogramm (20, 21) auch in der
Y-Richtung, das heißt senkrecht zur zeichenebene, bewegbar.
Die Blattfedern (20, 21) sind einerseits am Körper (4)
befestigt und andererseits an dem jetzt den Taster (3)
tragenden Körper (22). Der Körper (22) ist damit in einer
Ebene senkrecht zur Zeichenebene auslenkbar.
Um nach einer Antastung eines Werkstückes (nicht
dargestellt) den Taster (3) wieder in seine Ausgangslage
zurückzuführen, trägt der Körper (22) den Permanentmagneten
(1). Dem Nordpol (N) des Permanentmagneten (1) steht der
Körper (2) mit seiner Fläche (2a) gegenüber. Der Körper (2)
ist bei dieser Ausbildung am Körper (7) befestigt. Diese
Befestigung ist nicht zwingend. Sie kann auch in
umgekehrter Weise getroffen werden, das heißt derart, daß
der Körper (2) und der Permanentmagnet (1) gegeneinander
vertauscht werden, beziehungsweise daß zwei ähnliche
Permanente gegenübergestellt werden. Dies gilt auch für die
Anordnung nach Fig. 3.
Bei der Ausbildung nach Fig. 4 wird durch die
Anziehungskraft zwischen dem Körper (2) und dem Nordpol (N)
des Magneten (1) der Taster (3) in seine Ausgangslage
zurückgefahren, ohne daß es einer weiteren Magnetanordnung
bedarf. Vorteilhaft sind bei dieser Anwendung der Körper
(2) und der Permanentmagnet (1) zentralsymmetrisch zur
Achse (A-A) ausgebildet, um ein rotationssymmetrisches
Magnetfeld zwischen dem Magneten (1) und dem Körper (2) zu
erhalten.
Die Fig. 5a und 5b zeigen ein weiteres
Ausführungsbeispiel. Der Permanentmagnet (1) ist durch
einen Elektromagneten (30) ersetzt. Über die Leitungen (31)
kann ein Strom durch eine Wicklung (32) des Elektromagneten
(30) fließen. Der Körper (2) mit seiner als Gegenpol
dienenden Fläche (2a) ist in einer Führung (33) eines
Körpers (35) angeordnet. Der Körper (35) trägt den Taster
(3). Eine Feder (34) stützt sich einerseits an einem
eingewinkelten Teil (33a) der Führung (33) ab und
andererseits mit einem Teller (36) des Körpers (2) in der
Führung (33). Die Feder (34) bewirkt, daß sich die Flächen
(2a) des Körpers (2) und die Fläche (38a) des Kernes (38)
des Elektromagneten (30) mit Luftabstand gegenüberstehen.
Bei dieser Ausbildung ist es möglich, den für die
Rückführung des Tasters in seine Ausgangslage notwendigen
Luftspalt (37) zwischen dem Kern (38) und dem Körper (2)
aufzuheben, indem man über die Leitung (31) einen genügend
starken Strom durch die Wicklung (32) um den Kern (38) des
Elektromagneten (30) fließen läßt. In diesem Fall zieht der
Elektromagnet (30) den Körper (2) in die Stellung (2b)
(Fig. 5b), so daß sich die Flächen (40 und 41) des
Elektromagneten (30) und des Körpers (2) berühren. Findet
eine solche Berührung statt, kann sich der Körper (2) zum
Elektromagneten (30) nicht mehr verschieben. Mit anderen
Worten, er ist festgeklemmt und damit auch der Taster (3),
was für das schnelle Anfahren eines neuen Meßpunktes
vorteilhaft ist.
Wird ein schwacher Strom durch die Wicklung (32) des
Elektromagneten (30) geschickt, hält die Feder (34) den
Körper (2) mit Luftabstand (37) zum Elektromagneten (30),
so daß dieser die Wirkung des Permanentmagneten (1) gemäß
den Fig. 3 und 4 zeigt.
Wird überhaupt kein Strom durch die Wicklung (32) des
Elektromagneten (30) geschickt, findet keine selbsttätige
Rückführung des Tasters in die Ausgangslage statt.
Bezugszeichenliste
1 Permanentmagnet
2 ferromagnetischer Körper
2a Fläche
2b Stellung des Körpers (2)
3 Taster
3a Tastkugel
4 Körper
5 Blattfeder
6 Blattfeder
5, 6 Federparallelogramm
7 ortsfester Teil
8 Pfeil
9 Pfeil
10 Verbindungsstück
12 Verbindungsstück
13, 14 Flächen
15 Querführung
16 Pfeil
20 Blattfeder
21 Blattfeder
20, 21 Federparallelogramm
22 Körper
30 Elektromagnet
31 Leitung
32 Wicklung
30, 32 Elektromagnet
33 Führung
33a eingewinkelter Teil der Führung (33)
34 Feder
35 Körper
36 Teller
37 Luftspalt
38 Kern
38a Fläche des Kernes
40 Fläche
41 Fläche
N Nordpol
S Südpol
F Kraft
s Weg
0 Nullpunkt
X X-Richtung
Y Y-Richtung
A-A Symmetrieachse
2 ferromagnetischer Körper
2a Fläche
2b Stellung des Körpers (2)
3 Taster
3a Tastkugel
4 Körper
5 Blattfeder
6 Blattfeder
5, 6 Federparallelogramm
7 ortsfester Teil
8 Pfeil
9 Pfeil
10 Verbindungsstück
12 Verbindungsstück
13, 14 Flächen
15 Querführung
16 Pfeil
20 Blattfeder
21 Blattfeder
20, 21 Federparallelogramm
22 Körper
30 Elektromagnet
31 Leitung
32 Wicklung
30, 32 Elektromagnet
33 Führung
33a eingewinkelter Teil der Führung (33)
34 Feder
35 Körper
36 Teller
37 Luftspalt
38 Kern
38a Fläche des Kernes
40 Fläche
41 Fläche
N Nordpol
S Südpol
F Kraft
s Weg
0 Nullpunkt
X X-Richtung
Y Y-Richtung
A-A Symmetrieachse
Claims (11)
1. Tastkopf vom messenden Typ für Koordinatenmeßgeräte
mit einem den Taststift (3) tragenden Teil, das in
mindestens einer Raumrichtung gegenüber einem ortsfesten
Teil beweglich gelagert ist, bei dem der Tastkopf einen
ortsfest angeordneten ersten Magneten (1) aufweist sowie
einen zweiten Magneten oder einen ferromagnetischen Körper
(2), der mit dem Taststift (3) verbunden ist, derart, daß
sich ein Pol des Magneten (1) und der zweite Magnet oder
der ferromagnetische Körper (2) als Gegenpol unter
Belassung eines Luftspaltes (37) gegenüberstehen,
dadurch gekennzeichnet, daß der
zweite Magnet oder der ferromagnetische Körper (2) zum
ersten Magneten (1) seitlich ausweichbar gelagert ist,
derart, daß der Luftspalt (37) eine wenigstens annähernd
konstante Dicke behält.
2. Tastkopf vom messenden Typ für Koordinatenmeßgeräte
mit einem den Taststift (3) tragenden Teil, das in
mindestens einer Raumrichtung gegenüber einem ortsfesten
Teil beweglich gelagert ist, bei dem der Tastkopf einen
ortsfest angeordneten ferromagnetischen Körper aufweist
sowie einen Magneten, der mit dem Taststift (3) verbunden
ist, derart, daß sich ein Pol des Magneten und der
ferromagnetische Körper als Gegenpol unter Belassung eines
Luftspaltes gegenüberstehen, dadurch gekennzeichnet, daß
der Magnet zum ferromagnetischen Körper seitlich
ausweichbar gelagert ist, derart, daß der Luftspalt eine
wenigstens annähernd konstante Dicke behält.
3. Tastkopf für Koordinatenmeßgeräte nach Anspruch 1
oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Taststift (3) mit
Hilfe wenigstens eines Federparallelogrammes (5, 6) mit dem
ortsfesten Teil (7) des Tastkopfes verbunden ist.
4. Tastkopf für Koordinatenmeßgeräte nach Anspruch 1
oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Taststift (3) mit
Hilfe von zwei Federparallelogrammen (5, 6; 20, 21) mit dem
ortsfesten Teil (7) des Tastkopfes verbunden ist und das
eine Federparallelogramm (20, 21) gegen das andere
Federparallelogramm (5, 6) um 90° verdreht angeordnet ist.
5. Tastkopf für Koordinatenmeßgeräte nach Anspruch 1
oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Magnete oder der
Magnet (1) und der ferromagnetische Körper (2)
rotationssymmetrisch ausgebildet sind.
6. Tastkopf für Koordinatenmeßgeräte nach Anspruch 1
oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Magnet (1) als
Elektromagnet (30) ausgebildet ist.
7. Tastkopf für Koordinatenmeßgeräte nach Anspruch 6,
dadurch gekennzeichnet, daß der dem Elektromagneten (30)
als Gegenpol gegenüberstehende ferromagnetische Körper (2)
gegen den Druck einer Feder (34) bis zur Berührung der
einander gegenüberstehenden Pole (40, 41) des
Elektromagneten (30) und des ferromagnetischen Körpers (2)
bewegbar ist.
8. Tastkopf für Koordinatenmeßgeräte nach Anspruch 6,
dadurch gekennzeichnet, daß der dem Elektromagneten (30)
gegenüberstehende ferromagnetische Körper (2) in einer
Führung (33) angeordnet ist.
9. Tastkopf für Koordinatenmeßgeräte nach Anspruch 1
oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die sich
gegenüberstehenden Pole der Magnete oder des Magneten (1)
und des ferromagnetischen Körpers (2) als plane Flächen
(13, 14; 40, 41) ausgebildet sind, welche wenigstens
annähernd parallel zueinanderliegend ausgerichtet sind.
10. Tastkopf für Koordinatenmeßgeräte nach Anspruch 1
oder 2, gekennzeichnet durch eine Linearführung für den
auswandernden Magneten oder Gegenpol.
11. Tastkopf für Koordinatenmeßgeräte nach Anspruch
10, dadurch gekennzeichnet, daß die Linearführung als
Gleit-, Luft-, oder Wälzlager ausgebildet ist.
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19934331655 DE4331655C3 (de) | 1993-09-17 | 1993-09-17 | Tastkopf vom messenden Typ für Koordinatenmeßgeräte |
GB9418715A GB2284057B (en) | 1993-09-17 | 1994-09-16 | Probe and centring device in combination |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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DE19934331655 DE4331655C3 (de) | 1993-09-17 | 1993-09-17 | Tastkopf vom messenden Typ für Koordinatenmeßgeräte |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
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DE4331655A1 DE4331655A1 (de) | 1995-04-27 |
DE4331655C2 true DE4331655C2 (de) | 1997-02-13 |
DE4331655C3 DE4331655C3 (de) | 2000-11-09 |
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DE19934331655 Expired - Lifetime DE4331655C3 (de) | 1993-09-17 | 1993-09-17 | Tastkopf vom messenden Typ für Koordinatenmeßgeräte |
Country Status (2)
Country | Link |
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DE (1) | DE4331655C3 (de) |
GB (1) | GB2284057B (de) |
Cited By (1)
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