JP2006504953A - 振動減衰システムを備えた座標測定装置 - Google Patents
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Abstract
測定されるべき物体(15)に接触するためのセンス部材(18)を備えたスタイラス(14)と、前記スタイラス(14)が弾性手段(19)を通じて接続された支持ユニット(13)と、導電材料中に渦電流を発生させることによって前記スタイラス(14)の振動を減衰させるための磁石手段(46)とを有するプローブを持つ座標測定装置。前記弾性手段(19)は、導電材料でできた少なくとも1つの板ばね(41)を有し、前記磁石手段(46)は、前記板ばね(41)中に渦電流を発生させる。
Description
本発明は、測定されるべき物体に接触するためのセンス部材を備えたスタイラスと、前記スタイラスが弾性手段を通じて接続された支持ユニットと、導電材料中に渦電流を発生させることによって前記スタイラスの振動を減衰させるための磁石手段とを有するプローブを持つ座標測定装置に関する。
このような装置は、ドイツ特許公開公報第19731005号に開示されており、この装置において、弾性手段は2つのばね素子からなり、そのそれぞれがセンス部材の動きを一方向に許可する。各ばね素子は、磁界中に位置した導電材料のピースを備えるので、導電材料の移動は該材料中に渦電流を発生させ、この移動に減衰動作を生じさせる。
しばしば、座標測定装置において機械的タッチプローブが用いられる。このようなプローブは、通常サファイアでできた高精度の球をその端に有するスタイラスを備えてよい。スタイラスと測定されるべき物体との間で、センス部材を通じて接触がなされることができる。物体の表面の特定のスポットの位置(即ち3つの座標)は、該物体に対する支持ユニットの位置が知られていることを条件として、センス部材が前記スポットに接触しているときに、センス部材の支持ユニットに対する位置を検出することによって測定されることができる。
センス部材の位置の検出は、センス部材の位置(3つの座標)が測定され、更に、センス部材の方向性(3つの角度)が測定されることを意味する。従って、センス部材の位置は、6つの自由度によって規定される。スタイラスは、前記位置を測定するために、支持ユニットに取り付けられた検出手段によって検出される検出部材を備えてよい。
センス部材の前記物体との衝突は、スタイラスの支持ユニットに対する振動を生じさせうる。なぜならスタイラスは、前記弾性手段によって支持ユニットに接続されているからである。このような振動は、測定誤差を導入する可能性があり、これらの誤差を低下させるために、振動が許容可能なレベルまで減衰される或る整定時間が必要とされる。
本発明の目的は、スタイラスの振動を効果的且つ効率的な態様で減衰する座標測定手段を提供することである。
この目的を達成するために、前記弾性手段は、導電材料でできた少なくとも1つの板ばねを有し、これにより、前記磁石手段は、前記板ばね中に渦電流を発生させる。
センス部材を備えたスタイラスの振動は、前記板ばねの振動も引き起こす。磁石が前記板ばねの近くに位置するとき、渦電流が板ばねの導電材料中で発生させられる。材料の電気伝導性のため、渦電流は、板ばねの動き、従ってスタイラスの振動への減衰効果を有する。渦電流は、前記弾性手段の板ばね中に発生するので、導電材料を含む追加の素子の必要がない。
用語「板ばね」は、広い解釈を有する。板ばねは、バーの曲がりが弾性力を生じさせる場合には、バーの形状さえ有してもよい。
好適には、前記導電材料は高い伝導性を有し、非磁性であり、このため磁場は前記導電材料には力を加えない。この材料は、非磁性鋼、即ち、約12%のMnを含む鋼であってよい。しかし、好適には、導電材料は、アルミニウム若しくはアルミニウム合金又は銅若しくは銅合金である。
好適な実施例では、前記板ばねは、互いに向かって傾斜して位置した、前記支持ユニットに接続される外側部分と前記スタイラスに接続される内側部分との2つの部分を有する。これら2つの部分は、ほぼ同じ平面に位置してよい。好適には、前記外側部分の横断面の面積は、前記内側部分の横断面の面積よりも小さい。板ばねのこれら両方の部分が同じ厚さを持っていれば、板ばねの前記外側部分の幅は、板ばねの前記内側部分の幅よりも小さい。
好適な実施例において、弾性手段は、1つの材料シート、例えばアルミニウムのシートから作られた多くの板ばねを有する。このシートは0.05〜0.5mmの厚さを持ってよく、厚さ0.18mmを用いることにより良好な結果が得られる。接続部分を含むばね部材(即ち板ばね)は、シート材料から機械加工されてもよいが、シートから材料を除去するあらゆる他の方法が代わりに用いられてよい。
好適には、ばね部材の板ばねは、ばね部材の面に垂直に対称軸を持つ回転対称である。このように、多くの板ばねがばね部材の中心部分の周りに位置し、この中心部分にはセンス部材を備えたスタイラスが取り付けられる。従って、板ばねの内側の端はスタイラスに取り付けられ、外側の端は支持ユニットに取り付けられる。
1つの好適な実施例において、弾性手段は、それぞれが板ばねを有する、間隔を置いた2つのばね部材を有し、磁石手段は2つのばね部材間に位置する。好適には、各ばね部材は、1つの材料シートから作られた多くの板ばねを有し、ばね部材は互いに平行に位置する。従って、磁石手段は、磁石手段の両側で磁界を作るので、各ばね部材は磁界の1つの中に位置する。
それぞれが板ばねを有する互いに平行に位置した2つのばね部材の構成は、米国特許第525122号から知られている。ここでは、2つのばね部材の間に位置する粘液を有する減衰手段も存在する。
好適な実施例では、磁石手段は、多くの永久磁石を有する。このような永久磁石の材料は、コバルト鋼又は種々のフェライト合金であってもよい。好適には、永久磁石は非磁性材料、例えばプラスチックの板に組み込まれ、この場合、磁界はこの板の両側に延在する。
好適には、永久磁石は互いに隣接してアレイに配置される。2又は3以上のこのような磁石のアレイは、実際には永久磁石の面が作られるように、互いに隣接して平行に配置されてよい。永久磁石のアレイ又は平面が、渦電流が発生されなければならない各板ばねに平行に配置される。板ばねと磁石との間の距離は小さくあるべきであるが、板ばねが動くのに十分なスペースがあるべきである。
1つの好適な実施例において、前記永久磁石の磁軸は前記板の面内にアレイに対して垂直に配置され、磁石のアレイの幅は、この構成で、関連する板ばねの幅と等しくてよい。
本発明は、更に、物体の位置を測定する方法であって、前記物体はプローブのスタイラスによって接触され、前記プローブは、センス部材を備えた前記スタイラスと、前記スタイラスが弾性手段を通じて接続された支持ユニットと、導電材料中に渦電流を発生させることによって前記スタイラスの振動を減衰するための磁石手段とを有し、前記弾性手段は導電材料でできた少なくとも1つの板ばねを有し、前記磁石手段は前記板ばね中に渦電流を生成する、方法に関する。
本発明は、図面が参照される座標測定装置の1つの実施例の説明によって、以下でより詳細に説明される。
図は実施例の概略図に過ぎず、重要性の低い部分は示されない。
図1は、例えばグラナイトでできたベース1を有する座標測定装置を示す。ベース1の上には、矢印3で示されるように該ベース1に対して一方向(y方向)に移動することができる第1のステージ2がある。測定スケール4は、ベース1に対する第1のステージ2の線形位置を示す。
第2のステージ5は、矢印6で示されるように第1のステージ2に対して一方向(x方向)に移動することができる。測定スケール7は、第1のステージ2に対する第2のステージ5の線形位置を示す。第3のステージ8は、矢印9で示されるように第2のステージ5に対して一方向(z方向)に移動することができる。測定スケール10は、第2のステージ5に対する第3のステージ8の線形位置を示す。
第3のステージ8の下方端はプローブを持っており、このプローブは、第3のステージに取り付けられた支持ユニット13と、該支持ユニット13から下方に延在するスタイラス14とを有する。スタイラス14の下方端は、測定されるべき物体15に接触するためのセンス部材(図1に示されない)を持つ。スタイラス14は、弾性手段、例えばばね手段によって支持ユニット13に接続されるので、スタイラス14は、支持ユニット13に対して移動することができる。
第1の、第2の及び第3のステージ2、5、8を互いに対して、そしてベース1に対して移動させることによって、プローブ13、14は、ベース1に対してあらゆる位置に配置されることができる。このような位置は、3つの測定スケール4、7、10上で測定される3つの値によって識別されることができる。
測定されるべき物体15は、座標測定装置のベース1の上に配置され、これは図1に図式的に示される。物体15の外形は、該物体15の外面上の特定のスポットの正確な位置を測定することによって決定されることができる。
このような測定を実行するため、プローブ13、14は、ステージ2、5、8を、スタイラス14(センス部材)の下方端が物体15の表面の関連するスポットに対して当接するような態様で動かすことによって、動かされる。このとき、支持ユニット13に対するセンス部材の位置が決定され、これにより、物体15の表面上の関連するスポットの位置が計算されることができる。物体15の表面の異なったスポットでこのような測定を繰り返すことにより、物体15の外形が決定されることができる。
図2は、ステム17と、該ステム17の下方端に取り付けられたセンス部材18とを有するステイラスを支持する支持ユニット13を示す。検出部材18は、球(好適にはサファイア球)である。
スタイラス17、18は、支持ユニット13内で弾性手段19によって懸架されるので、ステム17は、支持ユニット13に対して動くことができる。ステム17は、検出部材18が物体15の表面に接していれば、その垂直位置から外れる。
ステム17は、支持ユニット13に対してヒンジ結合している(即ち動く)ので、ステム17の上方端に取り付けられた検出部材22は、センス部材18の動きに従って動く。支持ユニット13は、検出部材22の該支持ユニット13に対する位置を測定するための検出手段23を有する。検出部材22の位置を測定することによって、センス部材18の位置が計算されることができる。
図3は、プローブの検出手段23の実施例を示す。ステム17は、その下方端にセンス部材18を、その上方端に検出部材22を持つ。前述したように、センス部材18の位置は、検出部材22の位置が測定されることにより計算されることができる。検出部材の位置は、検出部材22の位置だけでなくその方向性も伴う。
検出部材22は、3つの傾斜した三角形の反射する表面30を持つ角錐の形をしている。上から、3つのファイバー及び3つのレンズ系33を通じて3つのレーザービーム31が供給される。3つのレーザービーム31のそれぞれは、検出部材22の3つの三角形のミラー30の内の1つに向けられる。3つのレーザービーム35は、ミラー30によって反射され3つのディテクタスクリーン36によって受けられる。3つのディテクタスクリーン36のそれぞれは、レーザービームがスクリーンに当たる位置を測定する。
検出手段23の全ての構成要素、即ち、ファイバー32、レンズ系33及びディテクタスクリーン36は、支持ユニット13に固定される。従って、検出部材22の位置は、3つのディテクタスクリーン36から来るデータから、即ち、レーザービーム35がそれぞれのディテクタスクリーン36に当たる位置から計算されることができる。検出部材22の位置が測定された後、センス部材18の位置が計算されることができるので、測定されるべき物体15の表面の関連するスポットが決定される。
図4は、ばね部材の第1の実施例を示す。このばね部材は、ステム17と支持ユニット13との間で接続を形成することができる3つの板ばね41のアセンブリである。ばね部材は、例えば0.18mmの厚さを持つ平坦な材料シート(板)から作られる。リング42、3つの板ばね41及び中心部43が残るようにシートの材料は除去される。リング42は支持ユニットに取り付けられることができ、3つの板ばね41が支持ユニット13とスタイラス17、18との間の弾性接続を提供するように中心部43はステム17に取り付けられることができる。
図5は、よりフレキシブルなばね部材を示す。ここで、リング42は、外側部分44及び内側部分45の2つの部分をそれぞれ有する3つの板ばねによって中心部43に接続される。このばね部材も、例えばアルミニウムの平板の材料シートから作られる。
図6は、非磁性体(例えばプラスチック)の平板46を示す。板46は、図5に示されるばね部材と同じ直径の円形形状を持つ。板46は、その外周(縁)の近くに、板の残りよりも大きな厚さを持つリング形の領域47を持つ。板46の中心部には穴48がある。
板46の材料には、それぞれ多くの永久磁石からなる6つのアレイ49、50が、当該アレイ49、50の位置及び寸法が図5の板ばね44、45の位置及び寸法に対応するように埋め込まれる。3つのアレイ49は、板ばねの外側部分44と同じ幅を持ち、3つのアレイ50は、この板ばねの内側部分45と同じ幅を持つ。永久磁石は、板46の表面に、該板の両側に現れるように埋め込まれる。
図7は、その下方端にセンス部材18を持つステム17を示す。ステム17の上方端は、例えば図3に示される角錐として形成された検出部材22を持つ。検出部材22の近くで、ステム17は弾性手段19の中心部に取り付けられる。弾性手段19は、互いに平行に位置した2つのばね部材52を有し(図5に示されるように)、断面図で部分的に示される。2つのばね部材52間には板46がある(図6に示すように)。板46のリング形の厚い部分47のため、2つのばね部材52のそれぞれと板46との間には或る所定の距離がある。弾性手段19の中心部には、2つのばね部材52間で間隔を維持するため、ステム17の周りにスリーブ53がある。2つのばね部材52及びスリーブ53は、例えば接着されてステム17に接続される。弾性手段19の円周の縁には、図7には示されない支持ユニット13が取り付けられる。
2つのばね部材52の6つの板ばね44、45(図5に示される)は、弾性手段19中で板46(図6に示される)の両側に延在し、これにより、板ばねの部分44が永久磁石のアレイ49の近くに位置し、板ばねの部分45が永久磁石のアレイ50の近くに位置する。板ばね44、45が板46に対して動くと、永久磁石のアレイ49、50の磁界が板46の両側で板ばね44、45における渦電流を生じさせ、板ばねの動きは、板ばねの材料の電気伝導度に起因して減衰される。
上述の座標測定装置の実施例は、例に過ぎず、多くの他の実施例が可能である。
Claims (13)
- 測定されるべき物体に接触するためのセンス部材を備えたスタイラスと、前記スタイラスが弾性手段を通じて接続された支持ユニットと、導電材料中に渦電流を発生させることによって前記スタイラスの振動を減衰させるための磁石手段とを有するプローブを持つ座標測定装置において、前記弾性手段は導電材料でできた少なくとも1つの板ばねを有し、前記磁石手段は前記板ばね中に渦電流を発生させることを特徴とする装置。
- 請求項1に記載の座標測定装置において、前記導電材料は非磁性材料であることを特徴とする装置。
- 請求項1又は2に記載の座標測定装置において、前記導電材料はアルミニウム若しくはアルミニウム合金又は銅若しくは銅合金であることを特徴とする装置。
- 請求項1乃至3の何れか1項に記載の座標測定装置において、前記板ばねは、互いに向かって傾斜して位置した、前記支持ユニットに接続される外側部分と前記スタイラスに接続される内側部分との2つの部分を有することを特徴とする装置。
- 請求項1乃至4の何れか1項に記載の座標測定装置において、前記弾性手段は、1つの材料シートから作られる多くの板ばねを有することを特徴とする装置。
- 請求項1乃至5の何れか1項に記載の座標測定装置において、前記板ばねの構成は、当該板ばねの面に垂直な対称軸を持つ回転対称であることを特徴とする装置。
- 請求項1乃至6の何れか1項に記載の座標測定装置において、前記弾性手段は、それぞれが前記板ばねを有する、間隔を置いた2つのばね部材を有し、前記磁石手段は、前記2つのばね部材間に位置することを特徴とする装置。
- 請求項7に記載の座標測定装置において、前記各ばね部材は1つの材料シートから作られる多くの板ばねを有する一方で、前記ばね部材は互いに平行に位置することを特徴とする装置。
- 請求項1乃至8の何れか1項に記載の座標測定装置において、前記磁石手段は多くの永久磁石を有することを特徴とする装置。
- 請求項9に記載の座標測定装置において、前記永久磁石は非磁性材料の板に組み込まれることを特徴とする装置。
- 請求項9又は10に記載の座標測定装置において、前記永久磁石は互いに隣接してアレイに配置されることを特徴とする装置。
- 請求項10又は11に記載の座標測定装置において、前記永久磁石の磁軸は前記板の面内に前記アレイに対して垂直に位置することを特徴とする装置。
- 物体の位置を測定する方法であって、前記物体はプローブのスタイラスによって接触され、前記プローブは、センス部材を備えた前記スタイラスと、前記スタイラスが弾性手段を通じて接続された支持ユニットと、導電材料中に渦電流を発生させることによって前記スタイラスの振動を減衰するための磁石手段とを有する、方法において、前記弾性手段は導電材料でできた少なくとも1つの板ばねを有し、前記磁石手段は前記板ばね中に渦電流を発生させることを特徴とする方法。
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