CN105783772B - 单传感器式三维微纳米接触触发测量探头 - Google Patents

单传感器式三维微纳米接触触发测量探头 Download PDF

Info

Publication number
CN105783772B
CN105783772B CN201610128422.6A CN201610128422A CN105783772B CN 105783772 B CN105783772 B CN 105783772B CN 201610128422 A CN201610128422 A CN 201610128422A CN 105783772 B CN105783772 B CN 105783772B
Authority
CN
China
Prior art keywords
amici prism
laser
pedestal
reed
block
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201610128422.6A
Other languages
English (en)
Other versions
CN105783772A (zh
Inventor
李瑞君
陈晨
李丹东
范光照
程真英
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hefei University of Technology
Original Assignee
Hefei University of Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hefei University of Technology filed Critical Hefei University of Technology
Priority to CN201610128422.6A priority Critical patent/CN105783772B/zh
Publication of CN105783772A publication Critical patent/CN105783772A/zh
Priority to US15/451,772 priority patent/US10288403B2/en
Application granted granted Critical
Publication of CN105783772B publication Critical patent/CN105783772B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/004—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points
    • G01B5/008—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
    • G01B5/012—Contact-making feeler heads therefor
    • G01B5/016—Constructional details of contacts
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/002—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates
    • G01B11/005—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates coordinate measuring machines
    • G01B11/007—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates coordinate measuring machines feeler heads therefor
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/004—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points
    • G01B5/008—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
    • G01B5/012—Contact-making feeler heads therefor
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/28—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with deflection of beams of light, e.g. for direct optical indication
    • G01D5/30—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with deflection of beams of light, e.g. for direct optical indication the beams of light being detected by photocells

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Abstract

本发明公开了一种单传感器式三维微纳米接触触发测量探头，其特征是在基座中分别设置测头单元和测量单元，其测头单元将簧片支承在圆环座上，在簧片上设置圆形悬浮片，在圆形悬浮片上固定设置分光棱镜和楔形块，测杆与圆形悬浮片呈“T”形固定连接；测量单元是将激光器射出的准直光投射经分光棱镜和楔形块聚焦在四象限探测器上，利用四象限探测器测量探针的偏摆，从而实现单传感器式三维微纳米接触触发式测量。本发明能够获得高精度、高灵敏度和小测力的探测效果，其稳定性高、成本低且装调方便。

Description

单传感器式三维微纳米接触触发测量探头
技术领域
本发明涉及微纳米测试领域，更具体的说是一种应用在纳米三坐标测量机上的接触触发式三维探头，用于感测物体表面的三维形貌。
背景技术
近年来，微电子技术的快速发展引发了一场微小型化的革命，尤其是微机电系统MEMS器件的加工技术的发展，出现了各种微纳米级的微小器件，如微齿轮、微型孔，微型喷嘴，微型台阶等MEMS产品。这些微器件的加工精度处于微纳米量级，要对这些微器件进行精密测量，就要发展高精度检测方法与技术手段。为此各国相关机构都致力于研究具有纳米级精度的三坐标测量机。
三坐标测量机的探头部分是三坐标测量机的核心部件之一，探头的测量精度决定三坐标测量机的总体测量精度。探头有接触式和非接触式之分，接触式探头可以用来测量非接触式探头所不能测量的具有斜面、台阶、深孔、圆弧等特征的工件。
现有技术中的接触式探头主要有：原子力探头、电容式探头、光纤探头、DVD探头、微触觉探头、共焦式探头等。现有探头需要集成二至四个高精度传感器，存在着结构复杂、装调难度大、成本高的问题。比如荷兰Eindhoven大学开发的基于应变计的三维微接触式传感测头，是将应变计、电路以及弹性元件通过沉淀、制版、刻蚀等工艺后共同制作成整体结构，测头各个方向的力和位移的变化通过装在敏感粱上的应变计进行检测，其体积较小，但应变片的检测灵敏度和精度都比较低，并且其测头采用三角形拓扑结构，解耦复杂。瑞士联邦计量检定局METAS开发的电磁式微接触式测头，测头具有三个方向的自由度，每个方向的检测都采用电感来实现，三个方向的测力相同，结构主要由铝制成，电磁式测头的测量范围较大，横向检测灵敏度较高且接触力较小，但其结构相当复杂、装调困难，且采用三角形悬挂结构，解耦复杂。
发明内容
本发明是为避免上述现有技术所存在的不足之处，提供一种单传感器式三维微纳米接触触发测量探头，以期获得体积小、成本低、稳定性高且装调方便的优势，同时具有高精度、高灵敏度和小测力的探测效果。
本发明为解决技术问题采用如下技术方案：
本发明单传感器式三维微纳米接触触发测量探头的结构特点是设置：
一基座，用于固定设置所述测量探头；
一测头单元，是在所述基座上固定设置圆环座，在所述圆环座上设置簧片，所述簧片是以其远端固定连接在圆环座上，使簧片支承在圆环座的上端面；在所述簧片的上表面、处在簧片的中央固定设置圆形悬浮片；在所述圆形悬浮片的上端面、处在圆形悬浮片的中央固定设置第二分光棱镜，在所述第二分光棱镜的上端面固定设置楔形块；在所述圆形悬浮片的下端面、处在圆形悬浮片的中央、与所述圆形悬浮片呈“T”形固定设置测杆，所述测杆自簧片的中心通孔中贯穿，在所述测杆的前端固定测球；固定设置在基座中的第一分光棱镜处在所述第二分光棱镜的一侧，用于向所述第二分光棱镜投射反射光；所述第一分光棱镜和第二分光棱镜均为消偏振分光棱镜；所述测球为红宝石测球；
一测量单元，是在所述基座上固定激光器和四象限探测器，所述激光器射出的准直光投射在第一分光棱镜上，经所述第一分光棱镜反射形成第一反射光，所述第一反射光经所述第二分光棱镜形成第二反射光，所述第二反射光透过楔形块聚焦在所述四象限探测器上，利用所述四象限探测器的激光探测信号获得所述第二分光棱镜的位移量和三维角度。
本发明单传感器式三维微纳米接触触发测量探头的结构特点也在于：在所述基座中设置一调整块，所述激光器安装在所述调整块上，利用所述调整块调整激光器的激光出射角度，使所述激光探测信号聚焦在所述四象限探测器的探测中心。
本发明单传感器式三维微纳米接触触发测量探头的结构特点也在于：所述基座设置为空心套筒，并以横隔架将所述空心套筒的内腔分区为处在空心套筒上段的第一腔和处在空心套筒下段的第二腔；所述调整块安装在所述第一腔中；所述圆环座固定设置在空心套筒的底端敞口处，使所述圆形悬浮片、第二分光棱镜、楔形块以及第一分光棱镜均处在所述第二腔中。
本发明单传感器式三维微纳米接触触发测量探头的结构特点也在于：所述四象限探测器是利用探测器支撑块固定安装在所述横隔架上，在所述探测器支撑块的顶面固定设置侧立支架，所述调整块由可调螺钉安装在所述侧立支架的一侧，激光器套装在圆柱套筒中，所述圆柱套筒固联在调整块的侧部；所述可调螺钉是贯穿所述侧立支架并分处在侧立支架不同位置上的第一螺钉和第二螺钉，按所述可调螺钉的所处位置，在所述基座的套筒侧壁上设有通孔；在所述基座的空心套筒的外部，利用螺丝刀穿过所述通孔能够调整所述可调螺钉在侧立支架中的拧入深度，以此通过调整块调整激光器的激光出射角度。
与已有技术相比，本发明有益效果体现在：
1、本发明采用四象限探测器进行光电感测，其灵敏度和位置分辨率高、光谱范围宽、体积小、响应快、动态范围宽；
2、本发明仅仅使用了一只光学传感器即可同时感测到测球在三维方向上的位移，其结构简单、装调方便、成本较低和时间稳定性好；
3、本发明采用微调块调整激光器的姿态，其调整精度更高，调整更方便；调整后的稳定性高；
附图说明
图1为本发明总体结构示意图；
图2为本发明总体结构分解示意图；
图3为本发明中基座结构示意图
图4为本发明中调整块结构示意图；
图5为本发明中探测头朝向筒体内侧结构示意图；
图6为本发明中探测头朝向筒体外侧结构示意图；
图7为本发明中测球不受触碰时的主视光路图；
图8为本发明中测球受到Y方向触碰时的光路图；
图9为本发明中测球受到Z方向触碰时的光路图；
图10为本发明中测球不受任何方向触碰时的右视图光路图；
图11为本发明中测球受到X方向触碰时的右视光路图；
图中标号：1顶盖；2基座；2a套筒侧壁；2b通孔；2d第一螺纹孔；2e第二螺纹孔；2c台阶孔；2f竖向槽；2i顶盖螺纹孔；2g第一腔；2h第二腔；3圆柱套筒；4调整块；4a激光器；4b第一螺钉；4c第二螺钉；5探测器支撑块；6四象限探测器；7分光棱镜固定座；8第一分光棱镜；10第二分光棱镜；9楔形块；11测头单元；11a螺纹固定孔；11e圆环座螺纹孔；11d圆形悬浮片；11b簧片；11c圆环座；11g测杆；11f测球。
具体实施方式
本实施例中单传感器式三维微纳米接触触发测量探头的结构设置包括：
如图1、图3、图5和图6所示，基座2用于固定设置测量探头，测头单元11是在基座2上固定设置圆环座11c，在圆环座11c上设置簧片11b，簧片11b是以其远端固定连接在圆环座11c上，图6中所示设置在圆环座11c上的圆环座螺纹孔11e用于在簧片11b和圆环座11c之间进行固定连接，使簧片11b支承在圆环座11c的上端面；在簧片11b的上表面、处在簧片11b的中央固定设置圆形悬浮片11d，在圆形悬浮片11d的上端面、处在圆形悬浮片11d的中央固定设置第二分光棱镜10，在第二分光棱镜10的上端面固定设置楔形块9；在圆形悬浮片11d的下端面、处在圆形悬浮片11d的中央、与圆形悬浮片11d呈“T”形固定设置测杆11g，测杆11g自簧片11b的中心通孔中贯穿，在测杆11g的前端固定测球11f；固定设置在基座2中的第一分光棱镜8处在第二分光棱镜10的一侧，用于向第二分光棱镜10投射反射光；第一分光棱镜8和第二分光棱镜10均为消偏振分光棱镜；测球11f为红宝石测球；图5和图6示出，簧片11b及圆形悬浮片11d均设置有中央通孔以及围绕中央通孔的螺纹固定孔11a，圆形悬浮片11d利用螺纹固定孔11a与簧片11b固定连接，连接在圆形悬浮片11d上的测杆11g在簧片11b的中央通孔中贯穿。
如图1、图2和图4所示，测量单元是在基座2上固定激光器4a和四象限探测器6，激光器4a射出的准直光投射在第一分光棱镜8上，经第一分光棱镜8反射形成第一反射光，第一反射光经第二分光棱镜10形成第二反射光，第二反射光透过楔形块9聚焦在四象限探测器6上，利用四象限探测器6的激光探测信号获得第二分光棱镜10的位移量和三维角度。
具体实施中，相应的结构设置也包括：如图1、图3和图4所示，在基座2中设置一调整块4，激光器4a安装在调整块4上，利用调整块4调整激光器4a的激光出射角度，使激光探测信号聚焦在四象限探测器6的探测中心。
如图2和图3所示，基座2设置为空心套筒，空心套管的顶面设置有顶盖1，用于测量探头与外部构件的连接，在顶盖1上设置顶盖螺纹孔2i，利用顶盖螺纹孔2i将顶盖1与基座2固定连接，以横隔架将空心套筒的内腔分区为处在空心套筒上段的第一腔2g和处在空心套筒下段的第二腔2h；调整块4安装在第一腔2g中；圆环座11c固定设置在空心套筒的底端敞口处，使圆形悬浮片11d、第二分光棱镜10、楔形块9以及第一分光棱镜8均处在第二腔2h中。
如图1所示，为了便于装配，在基座2中横隔架的中央设置有台阶孔2c，四象限探测器6嵌装在台阶孔2c中得到限位，用于固定四象限探测器6的探测器支撑块5利用横隔架上的第一螺纹孔2d固定安装在横隔架上，在探测器支撑块5的顶面固定设置侧立支架，调整块4由可调螺钉安装在侧立支架的一侧，激光器4a套装在圆柱套筒3中，圆柱套筒3固联在调整块4的侧部；可调螺钉是贯穿侧立支架并分处在侧立支架不同位置上的第一螺钉4b和第二螺钉4c，按可调螺钉的所处位置，在基座2的套筒侧壁2a上设有通孔2b；在基座2的空心套筒的外部，利用螺丝刀穿过通孔2b能够调整可调螺钉在侧立支架中的拧入深度，以此通过调整块4调整激光器4a的激光出射角度；在基座2的第二腔2h中，位于基座2的筒体内侧壁上设置有竖向槽2f，用于固定第一分光棱镜8的分光棱镜固定座7嵌装在竖向槽2f中得到限位，分光棱镜固定座7利用横隔架上的第二螺纹孔2e固定安装在横隔架上。
图7和图10所示，当测球11f没有受到触碰时，不发生偏转，此时，在楔形快9中射出的光线正好射在四象限传感器6的正中心处；若是光线没有射到四象限传感器6的正中心，则调节第一螺钉4b和第二螺钉4c，从而使激光器4a的激光出射角度得到调整，直到出射光射到四象限传感器的中心为止。
如图8所示，当测球11f在Y方向受到触碰，会使出射光线在Y轴向发生偏移，依此计算获得测球11f在Y轴向的偏移量；
如图9所示，当测球11f在z方向受到触碰，四象限探测器6测得第二分光棱镜10和楔形块9反射出的光线左偏，并测量出左偏的的位移值，从而对应计算获得测球11f在Z轴向移动的距离。
如图11所示，当测球11f在X方向受到触碰，由第二分光棱镜10出射的光线角度并不变化，但在经过楔形快9之后，出射光线的角度在X方向偏移，通过四象限探测器6测量光线的偏移量即可计算获得测球在X轴向的偏移。

Claims (4)

1.一种单传感器式三维微纳米接触触发测量探头，其特征是设置：
一基座(2)，用于固定设置所述测量探头；
一测头单元(11)，是在所述基座(2)上固定设置圆环座(11c)，在所述圆环座(11c)上设置簧片(11b)，所述簧片(11b)是以其远端固定连接在圆环座(11c)上，使簧片(11b)支承在圆环座(11c)的上端面；在所述簧片(11b)的上表面、处在簧片(11b)的中央固定设置圆形悬浮片(11d)；在所述圆形悬浮片(11d)的上端面、处在圆形悬浮片(11d)的中央固定设置第二分光棱镜(10)，在所述第二分光棱镜(10)的上端面固定设置楔形块(9)；在所述圆形悬浮片(11d)的下端面、处在圆形悬浮片(11d)的中央、与所述圆形悬浮片(11d)呈“T”形固定设置测杆(11g)，所述测杆(11g)自簧片(11b)的中心通孔中贯穿，在所述测杆(11g)的前端固定测球(11f)；固定设置在基座(2)中的第一分光棱镜(8)处在所述第二分光棱镜(10)的一侧，用于向所述第二分光棱镜(10)投射反射光；所述第一分光棱镜(8)和第二分光棱镜(10)均为消偏振分光棱镜；所述测球(11f)为红宝石测球；
一测量单元，是在所述基座(2)上固定激光器(4a)和四象限探测器(6)，所述激光器(4a)射出的准直光投射在第一分光棱镜(8)上，经所述第一分光棱镜(8)反射形成第一反射光，所述第一反射光经所述第二分光棱镜(10)形成第二反射光，所述第二反射光透过楔形块(9)聚焦在所述四象限探测器(6)上，利用所述四象限探测器(6)的激光探测信号获得所述第二分光棱镜(10)的位移量和三维角度。
2.根据权利要求1所述的单传感器式三维微纳米接触触发测量探头，其特征是在所述基座(2)中设置一调整块(4)，所述激光器(4a)安装在所述调整块(4)上，利用所述调整块(4)调整激光器(4a)的激光出射角度，使所述激光探测信号聚焦在所述四象限探测器(6)的探测中心。
3.根据权利要求2所述的单传感器式三维微纳米接触触发测量探头，其特征是：所述基座(2)设置为空心套筒，并以横隔架将所述空心套筒的内腔分区为处在空心套筒上段的第一腔(2g)和处在空心套筒下段的第二腔(2h)；所述调整块(4)安装在所述第一腔(2g)中；所述圆环座(11c)固定设置在空心套筒的底端敞口处，使所述圆形悬浮片(11d)、第二分光棱镜(10)、楔形块(9)以及第一分光棱镜(8)均处在所述第二腔(2h)中。
4.根据权利要求3所述的单传感器式三维微纳米接触触发测量探头，其特征是：所述四象限探测器(6)是利用探测器支撑块(5)固定安装在所述横隔架上，在所述探测器支撑块(5)的顶面固定设置侧立支架，所述调整块(4)由可调螺钉安装在所述侧立支架的一侧，激光器(4a)套装在圆柱套筒(3)中，所述圆柱套筒(3)固联在调整块(4)的侧部；所述可调螺钉是贯穿所述侧立支架并分处在侧立支架不同位置上的第一螺钉(4b)和第二螺钉(4c)，按所述可调螺钉的所处位置，在所述基座(2)的套筒侧壁(2a)上设有通孔(2b)；在所述基座(2)的空心套筒的外部，利用螺丝刀穿过所述通孔(2b)能够调整所述可调螺钉在侧立支架中的拧入深度，以此通过调整块(4)调整激光器(4a)的激光出射角度。
CN201610128422.6A 2016-03-07 2016-03-07 单传感器式三维微纳米接触触发测量探头 Active CN105783772B (zh)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610128422.6A CN105783772B (zh) 2016-03-07 2016-03-07 单传感器式三维微纳米接触触发测量探头
US15/451,772 US10288403B2 (en) 2016-03-07 2017-03-07 Single sensor type three-dimensional micro/nano contact trigger measuring probe

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610128422.6A CN105783772B (zh) 2016-03-07 2016-03-07 单传感器式三维微纳米接触触发测量探头

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN105783772A CN105783772A (zh) 2016-07-20
CN105783772B true CN105783772B (zh) 2018-06-26

Family

ID=56387185

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201610128422.6A Active CN105783772B (zh) 2016-03-07 2016-03-07 单传感器式三维微纳米接触触发测量探头

Country Status (2)

Country Link
US (1) US10288403B2 (zh)
CN (1) CN105783772B (zh)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108168489A (zh) * 2018-01-20 2018-06-15 浙江爱易特智能技术有限公司 一种内心轮内径测量机构
US11511351B2 (en) * 2018-08-10 2022-11-29 Canon Kabushiki Kaisha Additive manufacturing apparatus and method for manufacturing three-dimensionally shaped object
CN112054075B (zh) * 2020-07-31 2023-01-06 重庆鹰谷光电股份有限公司 一种超高精度的硅象限光电探测器
CN112781495B (zh) * 2020-12-31 2022-07-12 合肥工业大学 一种基于悬浮激光结构的三维接触触发式测量探头

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5118956A (en) * 1989-08-30 1992-06-02 Renishaw Touch probe including a waveguide
EP1435506A1 (en) * 2002-12-30 2004-07-07 United Technologies Corporation Optically triggered probe
CN101322005A (zh) * 2006-05-18 2008-12-10 松下电器产业株式会社 形状测定装置用探头及形状测定装置
CN104457613A (zh) * 2014-12-26 2015-03-25 合肥工业大学 一种三维微纳米接触触发式探头
CN105136038A (zh) * 2015-09-30 2015-12-09 北方民族大学 一种直接入射式光臂放大型三维扫描测头

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5152072A (en) * 1988-02-18 1992-10-06 Renishaw Plc Surface-sensing device
JP3000819B2 (ja) * 1993-03-15 2000-01-17 松下電器産業株式会社 三次元測定用プローブ及び形状測定方法
US5920394A (en) * 1995-09-01 1999-07-06 Research Corporation Technologies, Inc. Optical coordinate measuring machine
JP3075981B2 (ja) * 1996-04-05 2000-08-14 松下電器産業株式会社 形状測定装置
US6957496B2 (en) * 2002-02-14 2005-10-25 Faro Technologies, Inc. Method for improving measurement accuracy of a portable coordinate measurement machine
EP1400776B1 (en) * 2002-09-18 2009-08-26 Mecartex SA Touch probing device
JP2006504953A (ja) * 2002-10-29 2006-02-09 コーニンクレッカ　フィリップス　エレクトロニクス　エヌ　ヴィ 振動減衰システムを備えた座標測定装置
US7248907B2 (en) * 2004-10-23 2007-07-24 Hogan Josh N Correlation of concurrent non-invasively acquired signals
JP2006329973A (ja) * 2005-04-28 2006-12-07 Hitachi Ltd 走査プローブ顕微鏡およびこれを用いた試料観察方法およびデバイス製造方法
JP4291849B2 (ja) * 2006-12-20 2009-07-08 パナソニック株式会社 三次元測定プローブ
GB2452103B (en) * 2007-01-05 2011-08-31 Arthrocare Corp Electrosurgical system with suction control apparatus and system
US8355799B2 (en) * 2008-12-12 2013-01-15 Arthrocare Corporation Systems and methods for limiting joint temperature
EP2385339A1 (en) * 2010-05-05 2011-11-09 Leica Geosystems AG Surface sensing device with optical monitoring system
WO2014083358A1 (en) * 2012-11-29 2014-06-05 Infinitesima Limited Probe calibration or measurement routine
EP3026422B1 (en) * 2014-11-26 2018-02-14 Universität Stuttgart An apparatus and a method for spectroscopic ellipsometry, in particular infrared spectroscopic ellipsometry

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5118956A (en) * 1989-08-30 1992-06-02 Renishaw Touch probe including a waveguide
EP1435506A1 (en) * 2002-12-30 2004-07-07 United Technologies Corporation Optically triggered probe
CN101322005A (zh) * 2006-05-18 2008-12-10 松下电器产业株式会社 形状测定装置用探头及形状测定装置
CN104457613A (zh) * 2014-12-26 2015-03-25 合肥工业大学 一种三维微纳米接触触发式探头
CN105136038A (zh) * 2015-09-30 2015-12-09 北方民族大学 一种直接入射式光臂放大型三维扫描测头

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Optical design of a Touch Trigger Probe;Rui-Jun Li等;《PROCEEDINGS OF SPIE》;20151231;第9446卷;第94461Z-1-94461Z-7页 *
Stability Analysis of Contact Scanning Probe for Micro /Nano Coordinate Measuring Machine;李瑞君等;《纳米技术与精密工程》;20120331;第10卷(第2期);第125-131页 *

Also Published As

Publication number Publication date
CN105783772A (zh) 2016-07-20
US10288403B2 (en) 2019-05-14
US20170176162A1 (en) 2017-06-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105783772B (zh) 单传感器式三维微纳米接触触发测量探头
CN104457613A (zh) 一种三维微纳米接触触发式探头
CA2702823C (en) Measuring head system for a coordinate measuring machine and method for the optical measurement of displacements of a scanning element of the measuring head system
Li et al. A long-stroke 3D contact scanning probe for micro/nano coordinate measuring machine
CN102589423B (zh) 微纳米三维接触扫描测量探头
CN105698661A (zh) 微纳米三坐标测量机接触式扫描探头
CN105627949B (zh) 光学传感式三维高精度接触扫描测量探头
CN103256890A (zh) 接触式探针
CN105547157B (zh) 三维微纳米触发式探头
CN205403689U (zh) 微纳米三坐标测量机接触式扫描探头
CN103075952B (zh) 一种用于微纳米尺度二维尺寸测量的微触觉测头
CN105758335B (zh) 三维微纳米测量探头
CN205373641U (zh) 三维微纳米触发式探头
CN103075951B (zh) 一种基于电容传感器阵列的三维微接触式测头
US11340252B2 (en) Acceleration measuring device and acceleration measuring method of the same
Li et al. Design of an analogue contact probe for nano-coordinate measurement machines (CMM)
CN202974174U (zh) 一种基于电容传感器阵列的三维微接触式测头
CN109839514B (zh) 一种具有自调零功能的高精度光学加速度计
CN114964181A (zh) 基于波前零差干涉的高精度双轴激光水平仪及测量方法
CN202974172U (zh) 一种用于微纳米尺度二维尺寸测量的微触觉测头
KR102057072B1 (ko) 구조물의 기울기 변화량 측정 장치 및 이를 이용한 구조물의 기울기 변화량을 측정하는 방법
LI et al. Stability analysis of contact scanning probe for micro/nano coordinate measuring machine
CN109827680A (zh) 一种基于cmos传感器的三维高灵敏度测微力计
CN110095071A (zh) 一种电子测量检具及电子测量方法
CN204389712U (zh) 一种用于激光干涉绝对重力仪的敏感质量体及安装支架

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant