DE3715698A1 - Tastkopf - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf einen Tastkopf zur dreidimensio­ nalen Antastung von Prüflingen, für dreidimensionale Meß- und/oder Anreißmaschinen, der im Oberbegriff des Anspruchs 1 genannten Art.

Es ist ein Tastkopf dieser Art bekannt (DE-OS 20 19 895), dessen Meßeinrichtung induktiv oder kapazitiv berührungslos arbeitet. Abgesehen davon, daß ein solcher Tastkopf nicht empfindlich genug arbeiten kann, bedingt diese Meßeinrichtung einen voluminösen Aufbau. Sie erfordert außerdem große beweg­ liche Massen, wodurch sich in nachteiliger Weise relativ große Deformationen am Taststift und in sonstigen bewegten Teilen ergeben. Außerdem sind demgemäß relativ große Rück­ stellkräfte bei Abfall der Antastkraft erforderlich, die somit relativ große Antastkräfte nach sich ziehen mit den Nachteilen verstärkter Durchbiegung des Taststiftes und son­ stiger bewegter Teile und auch der Deformation der Oberfläche des jeweiligen Meßobjektes insbesondere dann, wenn dieses aus relativ weichen Werkstoffen besteht. Beim Tastkopf bekann­ ter Art ist im übrigen nicht das Problem gelöst, den Taststift nach Abfall der Antastkraft reproduzierbar und möglichst schnell wieder in die Ausgangslage zurückzustellen und dabei im übrigen auch einen ausreichend großen Überhub in Taststift­ richtung zu ermöglichen.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Tastkopf der im Oberbegriff des Anspruchs 1 genannten Art zu schaf­ fen, der möglichst klein, leicht und kompakt ist, mög­ lichst wenig Bauteile hat und einfach gestaltet ist und dessen Meßeinrichtung einfach, klein und leicht beschaf­ fen ist und selbst bei kleinen Taststiftauslenkung hoch präzise und reproduzierbar arbeitet.

Die Aufgabe ist bei einem Tastkopf der im Oberbegriff des Anspruchs 1 genannten Art gemäß der Erfindung gelöst durch die Merkmale im Kennzeichnungsteil des Anspruchs 1. Die Meßeinrichtung ist außerordentlich klein, platzspa­ rend, leicht und kostengünstig. Sie bedingt nur geringe bewegte Massen und hat den Vorteil, daß bei kleiner Taststiftauslenkung eine äußerst genaue Messung möglich ist. Dabei sind die Voraussetzungen dafür geschaffen, den Tastkopf entweder als schaltenden oder auch als mes­ senden Taster auszubilden. Durch die Meßeinrichtung sind drei Meßsysteme im Tastkopf integriert, die auch den Vor­ teil haben, daß sie eine Aussage über die jeweilige An­ tastrichtung ermöglichen. Bei der Ausbildung als messen­ den Taster ist in vorteilhafter Weise auch ein Scanning möglich. Weitere Einzelheiten und Vorteile dieser Meß­ einrichtung ergeben sich im übrigen aus der speziellen Beschreibung, auf die zur Vermeidung unnötiger Wiederho­ lungen hier verwiesen wird.

Eine vorteilhafte Ausgestaltung ergibt sich aus Anspruch 2. Derartige Feldplatten als magnetisch steuerbare Wider­ stände, insbesondere Halbleiterwiderstände, sind als magnetfeldabhängige Bauelemente besonders einfach und in dieser Form auch kostengünstig.

Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen ergeben sich aus den Ansprüchen 3-7. Die Ausgestaltung gemäß Anspruch 7 ermöglicht durch entsprechende geometrische Auslegung der magnetischen Sensoren und der Spaltgeometrie einen definierten Kraftfluß der auftretenden magnetischen Kräfte derart, daß etwaige Federrückstellelemente zur Rückstel­ lung des Tastelementes nach Abfall der Antastkraft in die jeweilige Ausgangsstellung entbehrlich sein können. Außerdem läßt sich durch gezielte Bestimmung, ggf. Ände­ rung, der Spaltgeometrie zwischen den Gegenpolen und den Sensoren, insbesondere Feldplatten, die Größe der Kraft und damit die Antastkraft gezielt verändern. Es kann da­ mit der Forderung nach nachregulierender, sich anpassen­ der Rückstellkraft entsprochen werden.

Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen ergeben sich aus Anspruch 8 sowie ferner aus den Ansprüchen 9 bis 20. Durch die Blattfeder ist eine hochpräzise Lagereinrich­ tung geschaffen, die einen großen Hub zuläßt, eine exakte Reproduzierbarkeit gewährleistet und die außerdem auch exzentrische Kräfte zuläßt, wie sie z.B. bei der Verwen­ dung von Sterntastern als auswechselbaren Tasteinsatz vorkommen. Da die Blattfeder rotationssymmetrisch ist und wirkt, ist ein jeweils gleiches Verhalten beim An­ tasten über den gesamten Umfang des Tastkopfes erreicht. Die Lagereinrichtung führt zu einer guten mechanischen Stabilität und Reproduzierbarkeit der jeweiligen Ausgangs­ lage des Tastelementes sowie zu einer schnellen Rückstel­ lung in die Ausgangsstellung bei jeweils geringer Rück­ stellkraft, wodurch auch beim Antasten die wirksame An­ tastkraft relativ klein ist. Dies hat den Vorteil, daß beim Antasten von Meßobjekten aus weichen Werkstoffen die Gefahr etwaiger Deformationen vermieden ist und beim Antasten von Meßobjekten mit harter Oberfläche die Gefahr von Deformationen des Taststiftes, des auswechselbaren Tasteinsatzes und des auch z. B. kugelförmigen Antast­ endes vermieden ist.

Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen ergeben sich aus den Ansprüchen 21 bis 26. Durch die Merkmale gemäß Anspruch 26 ist eine besondere, in Achsrichtung wirksame Rückstellfeder, die die Rückstellung in die definierte Ausgangslage gewährleistet, entbehrlich.

Weitere Einzelheiten und Vorteile ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung.

Der vollständige Wortlaut der Ansprüche ist vorstehend allein zur Vermeidung unnötiger Wiederholungen nicht wie­ dergegeben, sondern statt dessen lediglich durch Nennung der Anspruchsnummer darauf Bezug genommen, wodurch jedoch alle diese Anspruchsmerkmale als an dieser Stelle ausdrück­ lich und erfindungswesentlich offenbart zu gelten haben. Dabei sind alle in der vorstehenden und folgenden Beschrei­ bung erwähnten Merkmale sowie auch die allein aus der Zeichnung entnehmbaren Merkmale weitere Bestandteile der Erfindung, auch wenn sie nicht besonders hervorgehoben und insbesondere nicht in den Ansprüchen erwähnt sind.

Die Erfindung ist nachfolgend anhand von in den Zeichnun­ gen gezeigten Ausführungsbeispielen näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 einen schematischen axialen Schnitt mit teilweiser Seitenansicht eines Tastkopfes gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel,

Fig. 2 einen schematischen Schnitt entlang der Linie II-II in Fig. 1,

Fig. 3 eine schematische vergrößerte Draufsicht allein der Blattfeder des Tastkopfes in Fig. 1,

Fig. 4 eine schematische vergrößerte Draufsicht einer Blattfeder gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel.

In Fig. 1 bis 3 ist ein Tastkopf 10 gemäß erstem Ausfüh­ rungsbeispiel gezeigt, der zur dreidimensionalen, berüh­ renden Antastung von nicht gezeigten Prüflingen bestimmt ist und hierzu z.B. mittels eines schematisch angedeuteten Haltezapfens 11 in einer Werkzeugaufnahme einer dreidimen­ sionalen Meß- und/oder Anreißmaschine aufgenommen wird, wie sie z.B. in DE-PS 17 73 282 oder 17 98 419 erläutert ist.

Der Tastkopf 10 weist in einem Gehäuse 12 ein Tastelement 13 auf, das einen im wesentlichen stabförmigen Abschnitt 14 und einen an diesem auswechselbar gehaltenen, ebenfalls im wesentlichen stabförmigen Tasteinsatz 15 mit z.B. kuge­ ligem Antastende 18 aufweist. Das Tastelement 13 ist mit dem Abschnitt 14 durch eine im Verhältnis dazu wesentlich größere Öffnung 17 des Gehäuses 12 herausgeführt.

Das Tastelement 13 ist im Gehäuse 12 mittels einer Lager­ einrichtung 18 in Richtung der Achsen eines räumlichen Koordinatensystems beweglich gelagert, wodurch das Tast­ element 13 in Richtung der Längsmittelachse 19 in das Gehäuse 12 einschiebbar ist und außerdem im Bereich der Lagereinrichtung 18 um die Längsmittelachse 19 herum schwenkbeweglich ist.

Im Gehäuse 12 ist ferner eine berührungslos arbeitende Messeinrichtung 20 enthalten, die zwischen dem Gehäuse 12 einerseits und dem Tastelement 13 andererseits bei Relativbewegung dieser relativ zueinander wirksam ist und mittels der eine derartige Relativbewegung, z.B. des Tastelements 13, in ein zugeordnetes Ausgangssignal um­ formbar ist. Die Meßeinrichtung 20 weist einerseits meh­ rere gehäusefest angeordnete magnetische Sensoren 21 auf, die hier nur schematisch dargestellt sind. Diese magne­ tischen Sensoren 21 sind als magnetisch steuerbare Wider­ stände, insbesondere Halbleiterwiderstände, ausgebildet und für sich bekannt. Sie sind hier als Feldplatten aus­ gebildet und auf einem Kreis in etwa gleichen Umfangs­ winkelabständen voneinander angeordnet. Teil der Meßein­ richtung 20 sind andererseits den Sensoren 21 zugeordnete Gegenpole 22 am Tastelement 13, die in radialem und/oder axialem Abstand von den Sensoren 21 angeordnet sind. Auch die Gegenpole 22 sind hier auf einem Kreis in etwa glei­ chen Umfangswinkelabständen voneinander angeordnet, und zwar auf einem inneren Kreis, der koaxial zu demjenigen der Sensoren 21 verläuft und von diesem umgeben ist. Die Gegenpole 22 befinden sich somit innen und die Sensoren 21 außen. Bei einem anderen, nicht gezeigten Ausführungs­ beispiel können die Verhältnisse auch vertauscht sein. Beim gezeigten Ausführungsbeispiel sind jeweils drei Sen­ soren 21 und zugeordnete Gegenpole 22 vorhanden. Es ver­ steht sich, daß auch weniger oder insbesondere auch mehr davon angeordnet sein können. Wie Fig. 1 zeigt, sind die magnetischen Sensoren 21 und die zugeordneten Gegenpole 22 auf gleicher axialer Höhe plaziert. Es versteht sich gleichwohl, daß bei einem anderen, nicht gezeigten Aus­ führungsbeispiel die Gegenpole 22 statt dessen axial, z.B. in Richtung zum freien, aus dem Gehäuse 12 herausgeführten Ende des Tastelements 13, versetzt zu den Sensoren 21 an­ geordnet sein können.

Die Sensoren 21 sind hier nur schematisch angedeutet und in der Form z.B. als Feldplatten im Handel erhältlich und für sich bekannt. Gleiches gilt auch für die zugeord­ neten Gegenpole 22. Die Sensoren 21 sind an einem vor­ zugsweise nichtmagentischen Ringteil 23 gehalten, der im topfförmigen Gehäuse 12 axial und in Umfangsrichtung unbeweglich festgehalten ist. Dieser Ringteil 23 ist als axialer Klemmteil ausgebildet, der für die Lagereinrich­ tung 18 zugleich eine Klemmfunktion erfüllt. Die Lager­ einrichtung 18 weist eine etwa ringförmige, im Querschnitt relativ dünne Blattfeder 24 auf, die ein rotationssymme­ trisches Lagerelement für das Tastelement 13 bildet, das mit der Blattfeder 24 fest verbunden ist. Das Gehäuse 12 enthält im Inneren eine radial vorspringende Schulter 25, auf der die Blattfeder 24 mit ihrem äußeren Rand 26 aufliegt. Auf der gegenüberliegenden Seite der Blattfeder 24 befindet sich der Ringteil 23, über den die Blattfeder 24 axial fest an die Schulter 25 angepreßt ist. Das Ge­ häuse 12 ist innen zumindest auf einem Teil seiner Länge mit einem Innengewinde 27 versehen, in das ein Gewindering 28 eingeschraubt ist, der in Fig. 1 von oben her gegen den Ringteil 23 drückt und diesen fest gegen die Blatt­ feder 24 anpreßt. Das oben offene Ende des topfförmigen Gehäuses 12 ist mittels eines den Haltezapfen 11 tragen­ den Deckels 29 verschlossen.

Das Tastelement 13 weist einen dazu koaxialen Klemmhalter 30 auf, der aus zwei miteinander fest verspannten Teilen 31 und 32 besteht, zwischen denen die Blattfeder 24 zen­ triert und im Bereich ihres radial innen befindlichen Randes fest eingespannt ist. Die Blattfeder 24 erstreckt sich dabei etwa rechtwinklig zum Tastelement 13.

Das Tastelement 13 weist einen Lagerring 33 auf, der beim gezeigten Ausführungsbeispiel als mit dem Klemmhalter 30, und zwar dem einen Teil 32, einstückiges Teil ausge­ bildet ist. Dieser Lagerring 33 befindet sich somit auf der Seite der Blattfeder 24, die zum freien, aus dem Ge­ häuse 12 herausragenden Ende des Tastelements 13 hin­ weist. Der Lagerring 33 verläuft koaxial zum Tastelement 13 und umgibt dieses mit radialem Abstand. Er weist eine axial vorstehende Ringschneide 34 auf, mit der der La­ gerring 33 axial auf einer gehäusefesten Sitzfläche 35 aufsitzt, die durch die zugewandte Fläche einer Lagerplat­ te 38 gebildet ist. Die Lagerplatte 38 besteht aus ge­ härtetem Material, so daß eine dauerhaft exakte und harte Sitzfläche 35 gewährleistet ist.

Auf der Seite der Blattfeder 24, die dem Lagerring 33 abgewandt ist, befindet sich ein im Querschnitt etwa topf­ förmiger Halter 37, der aus weichmagnetischem Material besteht. Der Halter 37 ist fest mit dem Klemmhalter 30 verbunden. Er ist Träger der einzelnen Gegenpole 22, die z.B. in entsprechenden Ausnehmungen 38 angeordnet sind, die in der Wandung 39 des Halters 37 enthalten sind.

Zwischen dem Gehäuse 12,und zwar dem Deckel 29, und dem Tastelement 13 ist beim gezeigten Ausführungsbeispiel eine vorzugsweise einstellbare Druckfeder 40 - hier in Form einer zylindrischen Schraubenfeder - angeordnet, mittels der das Tastelement 13 axial zurückstellbar und axial mit der Ringschneide 34 gegen die Sitzfläche 35 anpreß­ bar ist. Der Tastkopf 10 ist entweder als schaltender Taster oder aber als messender Taster ausgebildet. Bei der Ausbildung als messender Taster wird der Meßwert jedes Sensors 21 über nicht weiter gezeigte elektrische Leitun­ gen einem nicht gezeigten elektronischen Mikroprozessor zugeführt, der die bei der Auslenkung des Tastelements 13 sich ergebenden drei Meßwerte in translatorische Koor­ dinaten des räumlichen Koordinatensystems,also in X-, Y- und Z-Koordinaten, umrechnet. Zur Umrechnung werden in den Mikroprozessor außerdem die geräteseitig bekannten Geometriedaten des Tastkopfes 10, insbesondere des Tast­ elements 13 und vor allem des Antastendes 16, eingegeben. Somit läßt sich exakt die Auslenkung des Antastendes 16 im räumlichen Koordinatensystem berechnen. Diese Werte sind bekannt und werden für die Nachsteuerung der ein­ zelnen Maschinenachsen und außerdem zur Verrechnung mit den X-, Y- und Z-Werten der Meßmaschine zur exakten Meß­ punktbestimmung verwertet.

Nachfolgend sind Einzelheiten der Blattfeder 24 anhand von Fig. 3 erläutert. Die Blattfeder 24 enthält mehrere, zumindest etwa in Umfangsrichtung verlaufende schlitzför­ mige Durchbrüche 41. Beim gezeigten Ausführungsbeispiel sind insgesamt drei derartiger Durchbrüche 41 vorhanden, die sich jeweils etwa über 270° Umfangswinkel erstrecken und dabei in Umfangsrichtung jeweils etwa um 120° zueinan­ der versetzt sind und außerdem etwa spiralförmig verlau­ fen. Aufgrund der Durchbrüche 41 und dieser Konfiguration und Verteilung ist ein möglichst rotationssymmetrisches Verhalten der Blattfeder 24 gewährleistet.

Beim zweiten Ausführungsbeispiel in Fig. 4, die ebenfalls eine Blattfeder 124 zeigt, sind statt dessen drei Gruppen mit je drei schlitzförmigen Durchbrüchen 141, 142 und 143 vorhanden. Jeder Durchbruch 141 bis 143 ist für sich auf einem Kreis angeordnet, wobei diese Kreise zueinander konzentrisch verlaufen. Dabei erstreckt sich jeder Durch­ bruch 141 bis 143 etwa über 90° Umfangswinkel. Der Durch­ bruch 141, der auf dem kleinsten Kreisbogen angeordnet ist, und der Durchbruch 142, der auf dem größten Kreis­ bogen auf dem gleichen Sektor angeordnet ist, sind beide an einem Ende über einen zumindest in etwa radialen oder aber längs einer Sekante verlaufenden Schlitz 144 mit­ einander verbunden. Der Durchbruch 143, der sich auf dem mittleren Kreisbogen befindet, erstreckt sich ausgehend vom Schlitz 144 in der Umfangsrichtung, die den beiden anderen Durchbrüchen 141, 142 abgewandt ist. Dadurch er­ gibt sich, daß dieser schlitzförmige Durchbruch 143 je­ weils zwischen zwei Durchbrüchen 141, 142 verläuft. Jede Gruppe mit diesen so gestalteten drei Durchbrüchen 141 bis 143 hat somit etwa die Form einer zweizinkigen Gabel, die dem Kreisverlauf entsprechend gekrümmt ist.

Bei einem von Fig. 1 abweichenden, nicht gezeigten Aus­ führungsbeispiel entfällt die Druckfeder 40, wobei dann statt dessen die magnetischen Sensoren 21 und die zugeord­ neten Gegenpole 22 derart angeordnet sind, daß dadurch die Funktion der Druckfeder 40 übernommen wird und eine axiale Kraftkomponente der magnetischen Kräfte das Tast­ element 13 axial zurückstellt und mit der Ringschneide 34 gegen die Sitzfläche 35 andrückt.

Wird beim Antasten mittels des Tastkopfes 10 das Tastele­ ment 13 ausgelenkt, und zwar gegen die Wirkung der Druck­ feder 40 und/oder der Blattfeder 24, die eine Verdrehung des Tastelements 13 um die Längsmittelachse 19 verhindert und eine Rückstellung in die Lage gemäß Fig. 1 gewähr­ leistet, so hebt der Lagerring 33 mit der Ringschneide 34 je nach Auslenkrichtung und Stärke mehr oder weniger von der Sitzfläche 35 im einen Bereich ab. Der mit dem Tastelement 13 fest verbundene Halter 37 wird aus der zentralen Lage gemäß Fig. 1 heraus versetzt mit entspre­ chender Veränderung der Position der Gegenpole 22. Die Bewegung des Halters 37 mit den Gegenpolen 22 führt zu einer Widerstandsänderung der magnetischen Sensoren 21, wobei der Widerstand der Sensoren 21 jeweils vom Weg des bewegten Halters 37 mit Gegenpolen 22 abhängig ist. Die sich bei den Sensoren 21 ergebende Widerstandsänderung wird erfaßt und mittels einer geeigneten Auswerteschal­ tung ausgewertet, wobei je nach Ausbildung des Tastkopfes 10 entweder als schaltender Taster oder als messender Taster entweder ein Impulssignal oder ein den absoluten Weg der Relativbewegung repräsentierender Meßwert erzeugt wird, der mittels angeschlossener Auswerteschaltung ver­ arbeitet werden kann. In der Ausbildung als schaltender Taster wird innerhalb des Meßbereichs, d.h. der funktio­ nalen Abhängigkeit des Widerstandes der Sensoren 21 vom Weg des Halters 37 mit Gegenpolen 22, ein Schaltpunkt elektrisch gebildet. Die Relativlage des Schaltpunktes bezüglich des Auslösepunktes beim Berühren eines ange­ tasteten Meßobjektes kann verändert werden, d.h. z.B. elektrisch justiert werden. Die Meßeinrichtung 20 be­ schriebener Art hat ferner den Vorteil, daß durch die dabei auftretenden magnetischen Kräfte durch entsprechen­ de Auslegung der Sensoren 21 ein definierter Kraftfluß erreicht werden kann. Durch die relative Anordnung der Sensoren 21 und Gegenpole 22 zueinander kann eine Kraft­ richtung dieser Kraft gezielt erzeugt werden, wodurch eine Federrückstellung mittels der Druckfeder 40 entbehr­ lich werden kann. Im übrigen kann durch die Änderung der Geometrie des Spaltes zwischen den Sensoren 21 und den Gegenpolen 22 die Größe der Kraft und damit die Antast­ kraft des Tastkopfes 10 gezielt verändert werden. Damit läßt sich auch die Forderung nach einer sich anpassenden, nachregulierenden Rückstellkraft erfüllen. Die Meßein­ richtung 20 ist deswegen besonders vorteilhaft, weil sie bei Anordnung von drei Sensoren 21 mit zugeordneten Gegen­ polen 22 drei Meßsysteme im Tastkopf 10 integriert. Vor­ teilhaft ist ferner, daß die Meßeinrichtung 20 Angaben nicht nur über den absoluten Weg sondern auch über die Auslenkrichtung und damit die Antastrichtung ermöglicht, was bisher nicht möglich war. In der Ausbildung als messen­ der Taster ist auch ein Scanning möglich. Durch die be­ schriebene Ausbildung der Blattfeder 24 sind folgende Vorteile erreicht. Die Blattfeder läßt einen großen Hub zu, gewährleistet eine exakte Reproduzierbarkeit und läßt außerdem auch exzentrische Kräfte zu, wie sie z.B. bei der Verwendung von Sterntastern auftreten. Bei allem ist ein hochgenaues Lagerelement geschaffen, das nach wie vor eine Undrehbarkeit des Tastelements 13 um dessen Längs­ mittelsachse 19 gewährleistet. Die Rückstellkraft, die z.B. von der Druckfeder 40 aufgebracht wird, kann durch manuelle Verstellung der Druckfeder 40 an jeweilige Gege­ benheiten angepaßt werden, z.B. daran, ob es sich beim Meßobjekt um ein solches aus weichem Werkstoff, der zu Deformationen beim Antasten neigt, oder aber um Meßobjek­ te mit harter Oberfläche handelt. Bei allem sind der je­ weils eingestellte Schaltpunkt bzw. die jeweiligen Meß­ werte zuverlässig reproduzierbar. Es ist eine extrem leichte Auslenkung beim Antasten aus beliebiger Richtung möglich und bei Abfall der Antastkraft eine reproduzier­ bare, ebenso gute Rückzentrierung in die Ausgangslage gewährleistet. Dies gilt wegen des rotationssymmetrischen Verhaltens über den gesamten Umfang des Tasters. Von Vor­ teil ist ferner, daß die Massen der beim Antasten bewegten Teile so klein wie möglich sind, was im übrigen ebenfalls zu einer schnellen und reproduzierbaren Rückstellung in die Ausgangslage bei Abfall der Antastkraft beiträgt. Bei allem ist der gesamte Tastkopf klein, leicht, im Auf­ bau einfach und kostengünstig.

Claims (26)

1. Tastkopf zur dreidimensionalen Antastung von Prüflingen, für dreidimensionale Meß- und/oder Anreißmaschinen, mit einem berührend arbeitenden Tastelement (13) in einem Gehäuse (12), in dem das Tastelement (13) mittels zumindest einer Lager­ einrichtung (18) in Richtung der Achsen eines räumlichen Koordinatensystems beweglich gelagert ist und in dem eine berührungslos arbeitende Meßeinrichtung (20) enthalten ist, mittels der die Tastelementbewegung in ein zugeordnetes Aus­ gangssignal umformbar ist, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Meßeinrichtung (20) mehrere gehäuse­ fest angeordnete, als magnetisch steuerbare Widerstände, ins­ besondere Halbleiterwiderstände, ausgebildete magnetische Sensoren (21) einerseits und den Sensoren (21) zugeordnete Gegenpole (22) am Tastelement (13) andererseits aufweist, die in radialem und/oder axialem Abstand von den Sensoren (21) angeordnet sind.

2. Tastkopf nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die magnetischen Sensoren (21) als Feld­ platten ausgebildet sind.

3. Tastkopf nach Anspruch 1 oder 2, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die magnetischen Sensoren (21) und die zugeordneten Gegenpole (22) jeweils auf einem Kreis und in etwa gleichen Umfangswinkelabständen voneinander angeordnet sind.

4. Tastkopf nach einem der Ansprüche 1-3, gekenn­ zeichnet durch mindestens drei magneti­ sche Sensoren (21) und zugeordnete Gegenpole (22).

5. Tastkopf nach einem der Ansprüche 1-4, dadurch gekennzeichnet, daß die magnetischen Sensoren (21) auf einem die Gegenpole (22) umgebenden äußeren Kreis und außen angeordnet sind.

6. Tastkopf nach einem der Ansprüche 1-5, dadurch gekennzeichnet, daß die magnetischen Sen­ soren (21) und die zugeordneten Gegenpole (22) auf glei­ cher axialer Höhe angeordnet sind.

7. Tastkopf nach einem der Ansprüche 1-5, dadurch gekennzeichnet, daß die Gegenpole (22) axial in Richtung zum freien, aus dem Gehäuse (12) he­ rausgeführten Ende des Tastelementes (13) versetzt zu den magnetischen Sensoren (21) angeordnet sind.

8. Tastkopf nach einem der Ansprüche 1-7, dadurch gekennzeichnet, daß die magnetischen Sen­ soren (21) an einem vorzugsweise nichtmagnetischen Ring­ teil (23) gehalten sind, der im Gehäuse (12) axial und in Umfangsrichtung unbeweglich fest gehalten ist.

9. Tastkopf nach Anspruch 8, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der Ringteil (23) als axialer Klemmteil ausgebildet ist, mittels dessen eine etwa ringförmige Blattfeder (24) axial und in Umfangsrich­ tung unbeweglich am Gehäuse (12) festgeklemmt ist.

10. Tastkopf nach Anspruch 9, dadurch gekenn­ zeichnet, daß das Gehäuse (12) eine radial vorspringende Schulter (25) aufweist, auf der die Blatt­ feder (24) randseitig aufliegt.

11. Tastkopf nach einem der Ansprüche 8-10, dadurch gekennzeichnet, daß der Ringteil (23) mittels eines axial benachbarten und diesen anpressen­ den Gewinderinges (28) gegen die Blattfeder (24) ge­ preßt ist.

12. Tastkopf nach einem der Ansprüche 9-11, dadurch gekennzeichnet, daß die Blattfeder (24) sich etwa rechtwinklig zum Tastelement (13) erstreckt, etwa ringförmig ausgebildet ist und im Bereich ihres radial innen befindlichen Randes fest mit dem dieses durchsetzenden Tastelement (13) verbunden ist.

13. Tastkopf nach Anspruch 12, dadurch ge­ kennzeichnet, daß das Tastelement (13) einen Klemmhalter (30) aufweist, zwischen dem die Blatt­ feder (24) fest eingespannt ist.

14. Tastkopf nach einem der Ansprüche 9-13, da­ durch gekennzeichnet, daß die Blatt­ feder (24; 124) mehrere zumindest etwa in Umfangsrich­ tung verlaufende schlitzförmige Durchbrüche (41; 141- 143) enthält.

15. Tastkopf nach Anspruch 14, gekennzeich­ net durch drei schlitzförmige Durchbrüche (41), die sich jeweils etwa über 270° Umfangswinkel erstrecken, in Umfangsrichtung um etwa 120° zueinander versetzt sind und jeweils etwa spiralförmig verlaufen.

16. Tastkopf nach Anspruch 14, gekennzeich­ net durch drei Gruppen mit je drei schlitz­ förmigen Durchbrüchen (141-143), die jeweils auf zuein­ ander konzentrischen Kreisen angeordnet sind und sich jeweils etwa über 90° Umfangswinkel erstrecken, wobei der Durchbruch (141) auf dem kleinsten Kreisbogen und der Durchbruch (142) auf dem größten Kreisbogen auf dem gleichen Sektor angeordnet und an einem Ende über einen etwa radialen oder längs einer Sekante verlaufen­ den Schlitz (144) miteinander verbunden sind und wobei der Durchbruch (143) auf dem mittleren Kreisbogen vom Schlitz (144) ausgehend sich in der Umfangsrichtung erstreckt, die den beiden anderen Durchbrüchen (141, 142) abgewandt ist.

17. Tastkopf nach einem der Ansprüche 1-18, da­ durch gekennzeichnet, daß das Tast­ element (13) einen koaxialen, diesen mit Abstand umge­ benden Lagerring (33) mit axial vorstehender Ring­ schneide (34) aufweist, mit der der Lagerring (33) axial auf einer gehäusefesten Sitzfläche (35), z.B. an einer vorzugsweise gehärteten Lagerplatte (38), aufsitzt.

18. Tastkopf nach den Ansprüchen 13 und 17, dadurch gekennzeichnet, daß der Lagerring (33) auf der Seite der Blattfeder (24) angeordnet ist, die zum freien, aus dem Gehäuse (12) herausragenden Ende des Tastelementes (13) hinweist.

19. Tastkopf nach Anspruch 18, dadurch ge­ kennzeichnet, daß der Lagerring (33) als Teil des Klemmhalters (30) ausgebildet ist.

20. Tastkopf nach einem der Ansprüche 1-19, da­ durch gekennzeichnet, daß die Ge­ genpole (22) an einem etwa topfförmigen Halter (37) sitzen, der auf der Seite der Blattfeder (24) am Klemmhalter (30) gehalten ist, die dem Lagerring (33) abgewandt ist.

21. Tastkopf nach Anspruch 20, dadurch ge­ kennzeichnet, daß der etwa topfförmige Halter (37) Ausnehmungen (38) in seiner Wandung (39) aufweist, in denen die Gegenpole (22) angeordnet sind.

22. Tastkopf nach Anspruch 20 oder 21, dadurch gekennzeichnet, daß der Halter (37) aus weichmagnetischem Material gebildet ist.

23. Tastkopf nach einem der Ansprüche 1-22, ge­ kennzeichnet durch die Ausbildung als schaltender Taster.

24. Tastkopf nach einem der Ansprüche 1-22, ge­ kennzeichnet durch die Ausbildung als messender Taster.

25. Tastkopf nach einem der Ansprüche 1-24, ge­ kennzeichnet durch eine koaxiale, vorzugweise einstellbare, Druckfeder (40) zwischen dem Gehäuse (12) und dem Tastelement (13), mittels der das Tastelement (13) axial zurückstellbar und axial mit dem Lagerring (33), insbesondere dessen Ring­ schneide (34), gegen die Sitzfläche (35) anpreßbar ist.

26. Tastkopf nach einem der Ansprüche 1-24 , da­ durch gekennzeichnet, daß die magnetischen Sensoren (21) und zugeordneten Gegenpole (22) derart angeordnet sind, daß eine axiale Kraftkom­ ponente der magnetischen Kräfte das Tastelement (13) axial zurückstellt und mit dem Lagerring (33), insbe­ sondere dessen Ringschneide (34), gegen die Sitzfläche (35) anpreßt.