DE4232030C2 - Tastsignalfühler - Google Patents

Tastsignalfühler

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Description

Die Erfindung ist bei einer Dreikoordinaten-Meßmaschine wie beispiels­ weise bei einer in drei Dimensionen messenden Maschine mit Bezug auf einen Tastsignalfühler anwendbar, dessen Ausgänge Signale durch Kontakt mit einem zu messenden Gegenstand ertasten.
Der Tastsignalfühler ist an einer Fühlerinstallationswelle befestigt, die sich bewegt, wobei sie den zu messenden Gegenstand, der an einem Haltetisch für zu messende Gegenstände der Meßmaschine angeordnet ist, berührt. Wenn der Taster des Tastsignalfühlers den zu messenden Gegenstand berührt und die Lage der Tasterinstallationswelle mit diesem Taster in Bezug auf Sensoren geändert wird, ertastet der Ausgang der Sensoren Signale. Demgemäß kann die Größe und Form des zu messen­ den Gegenstandes auf der Basis von Tastsignalausgängen von den Senso­ ren gemessen werden. Die Tasterinstallationswelle ist gestützt und durch Blattfedern verschiebbar. Um Vibrationen des Tasters, die während der Bewegung des Fühlers zu den Gegenständen erzeugt wird, die zu messen sind und nach Kontakt mit dem zu messenden Gegenstand zu verhin­ dern, ist die Tasterinstallationswelle mit einer Dämpfermechanik ausgerü­ stet, welche um einen Streifen für den Dämpfer mit viskoser Flüssigkeit gefüllt ist.
Herkömmliche Tastsignalfühler umfassen einen Typ, bei welchem eine Blattfeder verwendet wird, und einen anderen Typ, bei dem zwei Blatt­ federn längs der Achsrichtung der Tasterinstallationswelle im Abstand voneinander angeordnet sind, und wenn der Taster den zu messenden Gegenstand gemäß der Richtung berührt, in welcher er ertastet wird, wird die Tasterinstallationswelle im rechten Winkel zur Axialrichtung der Tasterinstallationswelle (X-Y-Richtung) durch den Blattfederteil oder zur Axialrichtung (Z-Richtung) der Tasterinstallationswelle verschoben.
In Dokument DE 27 12 761 B2 wird ein Tastsignalfühler beschrieben, der über eine Blattfeder in einem Gehäuse gelagert ist. Eine Dämpfungsvorrichtung ist in diesem Dokument jedoch nicht offenbart. Dämpfungsvorrichtungen im techni­ schen Gebiet von Abtastfühlern sind aus DE 40 01 981 A1, DE-A-24 49 673 A1 und DD 140 079 bekannt. Bei der aus DE 40 01 981 A1 bekannten Dämpfungs­ vorrichtung wird eine Zusatzmasse verwendet. Diese Anordnung ist schwer und benötigt viel Platz; die Dämpfungswirkung ist verbesserungsbedürftig. In DE 24 49 673 A1 wird die Verwendung einer viskosen Flüssigkeit zur Dämpfung vorge­ schlagen. Die Anordnung benötigt jedoch für eine befriedigende Dämpfungswir­ kung wiederum sehr viel Platz. Außerdem erfolgt die Dämpfungswirkung im we­ sentlichen nur in einer Verschiebungsrichtung des Tasters. Die in DD 140 079 beschriebene Dämpfungsvorrichtung wird nicht am Tastsignalfühler angebracht, sondern am Rahmen einer Koordinatenmeßeinrichtung. Eine Dämpfung des Ta­ sters selbst ist dadurch nur unzureichend. Durch die Verwendung eines Magneten weist die dort vorgeschlagene Dämpfungsvorrichtung außerdem ein hohes Ge­ wicht auf. Schließlich ist bei dem in DE 38 28 713 A1 beschriebenen Tastsignal­ fühler wird zur Vermeidung der Eigenschwingungsproblematik vorgeschlagen, die Tastereinrichtung möglichst leicht auszubilden. Die Dämpfungswirkung die­ ses Tastsignalfühlers ist ebenfalls verbesserungsbedürftig.
Bei einem Tastsignalfühler, bei welchem eine Blattfeder verwendet wird, ist, weil die Federkonstante der Blattfeder zwischen der X-Y-Richtung und der Z-Richtung in Bezug auf die Meßkraft der Blattfeder zu der Zeit unterschiedlich ist, wenn der Taster den zu messenden Gegenstand berührt, die Meßkraft in X-Y-Richtung mehrfach so groß wie die in Z- Richtung, so daß als Ergebnis das Problem der Erzeugung einer Polarität der Meßkraft entsteht. Während es bei dem Tastsignalfühler, bei wel­ chem zwei Blattfedern verwendet werden, möglich ist, den Unterschied zwischen der Federkonstante in X-Y-Richtung und in Z-Richtung gering zu machen, kann der Unterschied der Meßkraft zwischen jeder Richtung geringer als bei einem Tastsignalfühler gemacht werden, der eine Blatt­ feder aufweist, aber er wird nicht gering genug, und das Problem der Polarität der Meßkraft bleibt bestehen.
Weiterhin sind bei einem Tastsignalfühler, bei welchem zwei Blattfedern installiert sind, diese beiden Blattfedern weit voneinander längs der Axialrichtung der Tasterinstallationswelle angeordnet, und die oben erwähnten Sensoren sind zwischen den Blattfedern vorgesehen. Demzufol­ ge ist, da der Abstand zwischen dem Verschiebungszentrum der Taster­ installationswelle und den Sensoren kurz ist, wenn der Taster den zu messenden Gegenstand aus der X-Y-Richtung berührt, selbst wenn die Verschiebungsgröße des Tasters ausreichend ist, die Verschiebungsquanti­ tät der Tasterinstallationswelle in dem Teil, an welchem der Sensor vorgesehen ist, gering, so dass sich bei diesem Typ ein Problem des Herabsetzens der Erfassempfindlichkeit des Sensors in X-Y-Richtung ergibt.
Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein Tastensignalfühler zu schaf­ fen, bei welchem der Unterschied in der Polarität zwischen der Messkraft in X-Y- Richtung und der Messkraft in Z-Richtung eliminiert wird, wobei gleichzeitig eine erhöhte Erfassempfindlichkeit in X-Y-Richtung erreicht werden soll.
Diese Aufgabe wird durch einen Tastsignalfühler gemäß Anspruch 1 gelöst. Die abhängigen Ansprüche betreffen vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung.
Die Erfindung wird nachfolgend an Ausführungsbeispielen an Hand der beige­ fügten Zeichnung näher erläutert.
In der Zeichnung zeigen:
Fig. 1 eine Schnittansicht der Innenkonstruktion des Tastsignalfüh­ lers nach einer bevorzugten Ausführungsform,
Fig. 2 eine Schnittansicht durch den Tastsignalfühler, um die Hauptteile zu zeigen, die von denen nach Fig. 1 unter­ schiedlich sind,
Fig. 3 eine vergrößerte Schnittansicht, um ein Teil zweier Blatt­ federn darzustellen, welches das Verschiebungszentrum der Tasterinstallationswelle ist,
Fig. 4 eine Draufsicht auf den Tastsignalfühler nach Fig. 1.
In Fig. 1 ist eine Schnittansicht gezeigt, in welcher der gesamte Tastsi­ gnalfühler nach dieser Ausführungsform gezeigt ist, der an einer Fühler­ installationswelle als Z-Wellenaufbau einer drei Dimensionen messenden Maschine angeordnet ist. Ein Taster 1 ist am Bodenende der Taster­ installationswelle 2 befestigt, an welcher ein Adapter 3, eine Mittelwelle 4 und ein Ferritplatten-Installationsblock 5 in Reihe verbunden sind. Wie in Fig. 3 gezeigt ist, sind eine Mutter 6 und der Adapter 3 in eine Schraube 4A geschraubt, die an dem Bodenende der Zentralwelle 4 vorgesehen ist. Zwischen der Mutter 6 und dem Flanschteil 4B in der Mittelwelle 4 ist ein Wellenteil 4C geringen Durchmessers ausgebildet, wo jedes Mittelloch eines ersten Ringes 7 geringen Durchmessers, eine erste Blattfeder 8, der Streifen für den Dämpfer 9, eine zweite Blatt­ feder 10 und ein zweiter Ring 11 geringen Durchmessers eingesetzt sind.
Dabei sind diese Teile 7 bis 11 durch die Mutter 6 und den Flanschteil 4B fixiert.
Der ringartige Streifen für den Dämpfer weist an dem mittleren Ab­ schnitt einen dicken Teil 9A auf, dessen untere Fläche die erste Blatt­ feder 8 und dessen obere Fläche die zweite Blattfeder 10 berührt. Damit sind die Blattfedern 8, 10 und der Streifen 9 so miteinander verbunden, daß sie in rechtem Winkel zu der Tasterinstallationswelle 2 angeordnet sind.
Die beiden Blattfedern 8, 10 erstrecken sich in Richtung Durchmesser der Tasterinstallationswelle 2 weiter als der Streifen 9. Ringe 12 bis 14 großen Durchmessers sind am Umfangsteil dieser Federn 8 und 10 angeordnet. Der Umfangsteil der ersten Blattfeder 8 liegt zwischen dem ersten Ring 12 großen Durchmessers und dem zweiten Ring 13 großen Durchmessers, und der Umfangsteil der zweiten Blattfeder 10 liegt zwischen dem zweiten Ring 13 großen Durchmessers und dem dritten Ring 14 großen Durchmessers. Diese Teile sind alle mit Hilfe eines Bolzens 5 mit einer Abstandsscheibe 16 verbunden, die über einen Bolzen 17 mit dem Gehäuse 18 verbunden ist. Demzufolge sind die Blattfedern 8, 10 mit dem Gehäuse 18 über die Scheibe 16 verbunden, und die Tasterinstallationswelle 2 kann als von den beiden Blattfedern 8, 10 abgestützt betrachtet werden. Zu diesem Zweck kann die von den Blattfedern 8, 10 abgestützte Tasterinstallationswelle 2 in X-Y-Richtung und Z-Richtung (siehe Fig. 1) auf Grund der elastischen Wirkung der beiden Blattfedern 8 und 10 verschoben werden.
Wie am besten in Fig. 3 gezeigt ist, ist der Raum S zwischen den beiden Blattfedern 8 und 10, welcher den Streifen für den Dämpfer 9 umfaßt, von den beiden Blattfedern 8, 10, dem Ring 13 großen Durch­ messers und dem dicken Teil 9A in der Mitte des Streifens 9 abgeschlossen und mit viskoser Flüssigkeit 19 für den Dämpfer gefüllt. Dabei umfasst der Dämpfer­ mechanismus 20 gegen unnötige Vibration in X-Y-Richtung und Z-Richtung auf Grund der Bewegung des Tasters 1 und der Tasterinstallationswelle 2 den Streifen für den Dämpfer 9 und die viskose Flüssigkeit 19 für den Dämpfer.
Wie in Fig. 1 gezeigt ist, ist ein X-Y-Sensor-Installationsblock in den vier hori­ zontalen Richtungen der X- und Y-Achsenrichtung auf dem oberen Teil des Ge­ häuses 18 über einen mittleren Block 21 aufgesetzt. Eine Z-Sensor- Installationsplatte 24 ist ebenfalls an dem mittleren Block 21 über Gewindebolzen 23 vorgesehen. Jeder Installationsblock 22 ist mit einem X-Y-Sensor 25 versehen, und die Z-Sensor-Installationsplatte 24 ist mit dem Z-Sensor 26 versehen. Diese Sensoren 25, 26, die Induktanzsensoren sind, sind so angeordnet, dass sie zum Ferritplatte-Installationsblock 5 weisen, der sich auf der oberen Seite der Tasterin­ stallationswelle 2 befindet. Jedoch muss der Ferrit-Installationsblock 5 zweckmä­ ßig mit Ferritplatten 27 und 28 versehen sein, welche zu den Sensoren 25 und 26 weisen. Demzufolge erfasst die Tasterinstallationswelle 2 auf der Basis der beiden Blattfedern 8 und 10 die Verschiebung in X-Y-Richtung durch die X-Y-Sensoren 25 und in Z-Richtung durch den Z-Sensor 26.
Eine Tasterstütze 29 zum Abstützen des Tasters 1 und der Tasterinstallationswelle 2 mittels der beiden Blattfedern 8 und 10 besteht aus der Abstandsscheibe 16, welche die Tasterinstallationswelle 2 umgibt, dem Gehäuse 18 und dem mittleren Block 21 u. dgl. Ein Gehäuse 30, welches die Tasterstütze 29 enthält, besteht aus einer oberen Abdeckung 32 mit einem Schaft 31, einem Gehäuse 33 und einer unteren Abdeckung 34. Ein ringförmiges Glied 35 ist am Umfang der Tasterstütze 29 vorgesehen, und eine erste Zugfeder hängt zwischen einem Stift 36 an der In­ nenseite des Gehäuses 33 und einem entsprechenden Stift 37 des ringförmigen Bauteils 35. Wie in Fig. 4 gezeigt ist, sind drei dieser Zugfedern 38 am Umfang des ringförmigen Teiles 35 im gleichen Abstand voneinander angeordnet, und das ringförmige Teil 35 wird stets durch die Zugkraft der ersten Zugfeder 38 aufwärts gezogen. Wie in Fig. 2 gezeigt ist, weist das Gehäuse 33 ein vorspringendes Teil 33A auf, welches sich einwärts erstreckt und, wie in Fig. 4 gezeigt ist, liegen drei Kugeln 39 an dem Umfang des ringförmigen Teiles 35 wie bei der erwähnten Zugfeder 38 in den gleichen Anständen zwischen der V-Nut, die am Boden des vorspringenden Teiles 33A ausgebildet ist, und dem ringförmigen Glied 35. Dem­ zufolge wird die Kraft der ersten Zugfeder 38, durch welche das ringförmige Teil 35 aufwärts gezogen wird, von diesen ersten Kugeln 39 aufgenommen. Somit besteht auf der Innenseite des Gehäuses 30 die Dreipunktverbindung, welche das ringförmige Teil 35 an drei Punkten abstützt, aus den erwähnten ersten Federn 38 und den ersten Kugeln 39.
Wie in Fig. 2 gezeigt ist, sind, um die Tasterstütze 29 zu dem ringförmigen Teil 35 zu ziehen, der Mittelblock 21 und das ringförmige Teil 35 mit einem Stift 40 bzw. einem Stift 41 versehen, an welchem die zweite Zugfeder 42 befestigt ist. Wie in Fig. 1 gezeigt ist, ist der Mittelblock 21 mit einem vorspringenden Teil 21A versehen, der sich aufwärts erstreckt, und zweite Kugeln liegen zwischen einer V-Nut, die am Boden des vorspringenden Teils 21A ausgebildet ist, sind drei der zweiten Zugfedern 42 und der zweiten Kugeln 43 entsprechend am Um­ fang des ringförmigen Teiles 35 in gleichen Abständen voneinander angeordnet. Deshalb wird die Kraft der zweiten Zugfeder, welche die Tasterstütze 29 in Rich­ tung des ringförmigen Teiles 35 zieht, von der zweiten Kugel 43 aufgenommen. Die Dreipunktverbindung, welche die Tasterstütze 29 über das ringförmige Glied 35 abstützt, umfaßt diese zweite Zugfeder 42 und die zweite Kugel 43. Als Ergebnis wird die Tasterstütze 29 in dem Gehäuse 30 durch die zweite Kugel 43, das ringförmige Teil 35 und die erste Feder 38 gehal­ ten.
Nachfolgend wird der Betrieb der obigen Ausführungsform erläutert.
Der Tastsignalfühler wird zunächst in die Tastsignalfühler-Installations­ welle der drei Dimensionen messenden Maschine eingebaut, und dann berührt der Taster 1 den zu messenden Gegenstand durch Bewegen dieser Fühlerinstallationswelle in X, Y oder Z-Richtung gegen den Gegenstand, der an dem Tisch angeordnet ist. Wenn der Taster 1 den zu messenden Gegenstand aus der X-Y-Richtung berührt, wird die Tasterinstallationswelle 2 in X-Y-Richtung auf der Basis der beiden Blattfedern 8 und 10 verschoben, und diese Verschiebung wird von den X-Y-Sensoren 25 erfaßt. Auch wenn der Taster 1 den zu messenden Gegenstand aus der Z-Richtung berührt, wird die Tasterinstallationswelle 2 aufwärts verschoben, da sich die erste Blattfeder 8 und die zweite Blattfeder 10 vertikal abbiegen, wobei diese Verschiebung von dem Z- Sensor 26 erfaßt wird. Wenn die Verschiebung der Tasterinstallations­ welle 2 von den Sensoren 25 und 26 erfaßt ist, schaltet sich eine Leuchtvorrichtung 44 ein, und das so angezeigte Signal wird zu einer Steuereinheit durch den Ausgangscode gegeben, die mit dem Verbinder 45 verbunden ist, und die Größe und die Form des zu messenden Gegenstandes werden gemäß dem Bewegungsweg der Installationswelle gemessen, bis der Taster 1 den zu messenden Gegenstand berührt.
Wenn die Tastsignalfühler-Installationswelle sich weiter bewegt, obwohl der Taster 1 den zu messenden Gegenstand berührt, wird, da die große Verschiebung des Tasters 1 und der Tasterinstallationswelle 2 die Taster­ stütze 29 über die beiden Blattfedern 8 und 10 beeinflußt, die Taster­ stütze 29 verschoben, um diese große Verschiebung in X-Y- oder Z- Richtung gegen das Gehäuse 30 durch die oben erwähnten beiden der Dreipunktkoordinaten-Verbindungen auszugleichen.
Wenn der Taster 1 den zu messenden Gegenstand berührt, wird die Vibration des Tasters 1 und der Tasterinstallationswelle 2, die während der Bewegung des Tastsignalfühlers und des Tasters 1 und der Taster­ installationswelle 2 nach Berühren des Tasters 1 mit dem zu messenden Gegenstand durch die Dämpfermechanik 20 beschränkt, welche den oben erwähnten Streifen 9 und die viskose Flüssigkeit 19 umfaßt, so daß eine Fehlfunktion der Sensoren 25 und 26 verhindert ist.
Bei jeder der Blattfedern ist die Federkonstante in Z-Richtung mehrfach so groß wie die in X-Y-Richtung. Bei der obigen Ausführungsform ist, weil die beiden Blattfedern 8 und 10 als Parallelfeder ausgebildet sind, die über den Streifen 9 in der Mitte verbunden sind, in welcher sich der dicke Teil 9A befindet, der in X-Y-Richtung weit ist, die Gesamtfeder­ konstante der Blattfedern 8 und 10 in X-Y-Richtung gleich oder fast gleich wie die Federkonstante in Z-Richtung. Demzufolge wird, wenn der Taster 1 den zu messenden Gegenstand in X-Y-Richtung und Z-Richtung berührt und dies von den Sensoren 25 und 26 angezeigt wird, da die Meßkraft in X-Y-Richtung gleich oder nahezu gleich derjenigen in Z- Richtung ist, der Unterschied in der Polarität der Meßkraft eliminiert.
Da der Taster 1 in der Bodenseite der Tasterinstallationswelle 2 und die Sensoren 25 und 26 in der oberen Seite der Tasterinstallationswelle 2 angeordnet sind und da die beiden Blattfedern 8 und 10 in der Mitte der Axialrichtung der Tasterinstallationswelle 2 einschließlich der Länge des Tasters 1 angeordnet sind, ist der Abstand zwischen dem Ende des Tasters 1, welcher den zu messenden Gegenstand berührt, und den Blattfedern 8 und 10 gleich oder nahezu gleich dem Abstand zwischen den Blattfedern 8 und 10 und den Sensoren 25 und 26. Demzufolge kann die Empfindlichkeit der Sensoren 25 hoch werden, weil durch Berührung des Tasters 1 mit dem zu messenden Gegenstand in X-Y- Richtung, wenn die Tasterinstallationswelle 2 in X-Y-Richtung am Stütz­ punkt der Blattfedern 8 und 10 verschoben ist, da die Verschiebungs­ qualität des oberen Endes der Tasterinstallationswelle 2 und die des unteren Endes des Tasters 1 gleich oder nahezu gleich sind.
Die oben erwähnte Dämpfermechanik 20 ist durch Einfüllen der viskosen Flüssigkeit 19 in den Raum S zwischen den beiden Blattfedern 8 und 10 zusammengesetzt, welcher den ringförmigen Streifen 9 enthält. Somit bilden die Blattfedern 8 und 10 den Raum S, und er kann eine kleine Dämpfermechanik in der Mitte der Verschiebung der Tasterinstallations­ welle 2 formen. Dies ermutigt, den gesamten Tastsignalfühler zu miniatu­ risieren und die anderen Teile anzuordnen.
Da die Sensoren 25 und 26 getrennt von der Dämpfermechanik 20 anstatt in der viskosen Flüssigkeit 19 der Dämpfermechanik 20 installiert sind, ist die Empfindlichkeit der Sensoren 25 und 26 gut.
Bei der oben beschriebenen Ausführungsform ist der dicke Abschnitt 9A des Streifens 9 zusammen mit dem Körper des Streifens geformt, aber die Teile können nach separatem Formen auch miteinander vereinigt werden.
Die Tasterstütze 29, die in der obigen Ausführungsform beschrieben ist, wird von den beiden Dreipunkt Verbindungen abgestützt, die aus den Federn 38, 42 und den Kugeln 39, 43 zusammengesetzt ist, jedoch können diese Verbindungen auch fortgelassen werden.
Weiterhin schließt die Art der Sensoren 25 und 26 nicht nur einen Induktanzsensor, sondern auch einen Sensor ein, welcher die Verschie­ bung der Tasterinstallationswelle 2 erfassen kann.
Da der mittlere Abschnitt des Streifens, welcher Bestandteil der Dämp­ fermechanik ist, dick ist, und da dieser dicke Abschnitt die beiden Blattfedern berührt, welche die Verschiebungsmitte der Tasterinstallations­ welle formen, ist die Federkonstante der Blattfedern, die aus zwei Teilen bestehen, gleich oder nahezu gleich in X-Y-Richtung und in Z-Richtung. Somit ist die Differenz der Meßpolarität eliminiert.
Daneben sind die beiden Blattfedern und der Streifen in der Mitte der Tasterinstallationswelle einschließlich der Länge des Tasters vorgesehen, und da der Abstand zwischen dem Ende des Tasters und den Blattfedern und dem Streifen gleich oder nahezu gleich dem Abstand zwischen den Blattfedern und Streifen und den Sensoren ist, wenn der Taster den zu messenden Gegenstand aus der X-Y-Richtung berührt, die Verschiebungs­ quantität der Tasterinstallationswelle in dem Sensorteil gleich oder nahe­ zu gleich der des Tasters. Somit wird die Erfaßempfindlichkeit der Sensoren in der X-Y-Richtung verbessert.

Claims (8)

1. Tastsignalfühler, bestehend aus
einem Taster (1), der in Kontakt mit einem zu messenden Gegenstand ge­ bracht werden kann,
einer Tasterinstallationswelle (2), welche den Taster hält,
Sensoren (25, 26), um die Verschiebung der Tasterinstallationswelle (2) auf Grund eines Kontaktes mit dem zu messenden Gegenstand zu erfassen, zwei Blattfedern (8, 10), welche eine Bewegung der Tasterinstallations­ welle (2) senkrecht zu deren Achse ermöglichen, und welche einen ge­ schlossenen Raum (S) in Axialrichtung der Tasterinstallationswelle be­ grenzen, wobei der geschlossene Raum (S) mit viskoser Flüssigkeit gefüllt ist, und
einem Streifen (9) für einen Dämpfer (20) in dem geschlossenen Raum (S), welcher sich im rechten Winkel zur Tasterinstallationswelle erstreckt, und welcher mit einem dicken Teil (9A) in seiner Mitte versehen ist, in welchem die Tasterinstallationswelle (2) mit beiden Blattfedern (8, 10) eingesetzt ist.
2. Tastsignalfühler nach Anspruch 1, wobei der Taster (1) an einem Ende der Tasterinstallastionswelle (2) vorgesehen ist, die Sensoren an der anderen Seite der Tasterinstallationswelle (2) angeordnet sind und wobei die bei­ den Blattfedern (8, 10) und der Streifen (9) für den Dämpfer (20) in der Mitte oder annähernd in der Mitte der Tasterinstallationswelle (2) ein­ schließlich der Länge des Tasters (1) angeordnet sind.
3. Tastsignalfühler nach Anspruch 2, wobei die Sensoren (25, 26) aus vier X- Y-Sensoren (25), die in den vier horizontalen Richtungen der X- und Y- Achsrichtungen vorgesehen sind, um eine Verschiebung der Tasterinstal­ lationswelle (2) in X-Y-Richtungen zu erfassen, und einem Z-Sensor (26) bestehen, um eine Verschiebung der Tasterinstallationswelle (2) in Z- Richtung zu erfassen.
4. Tastsignalfühler nach Anspruch 1, wobei die Verbindung der beiden Blatt­ federn (8, 10) und des Streifens (9) für den Dämpfer (20), welcher den dickeren Abschnitt (9A) aufweist, die Federkonstante in X-Y-Richtung und in Z-Richtung gleich hält.
5. Tastsignalfühler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Taster (1), die Tasterinstallationswelle (2), die Sensoren (25, 26), die Blattfedern (8, 10) und der Streifen (9) für den Dämpfer (20) von einer ersten Drei­ punktverbindung anhebbar sind, bestehend aus ersten Federn, ersten Ku­ geln und einem ringförmigen Bauteil und andererseits durch eine zweite Dreipunktverbindung abwärts schiebbar sind, bestehend aus zweiten Zug­ federn und zwei Kugeln.
6. Tastsignalfühler nach Anspruch 5, wobei die horizontalen Anordnungen der ersten Federn und ersten Kugeln der ersten Dreipunktverbindung und der zweiten Zugfedern und zweiten Kugeln der zweiten Dreipunktverbin­ dung in gleichem Abstand voneinander ausgebildet sind.
7. Tastsignalfühler nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Blattfedern (8, 10) durch einen zweiten Ring (13) voneinander beabstandet sind, welcher den geschlossenen Raum (S) in ra­ dialer Richtung begrenzt.
8. Tastsignalfühler nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Blattfedern (8, 10) über einen dritten Ring (14) und eine Scheibe (16) mit einem Gehäuse (18) verbunden sind.
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