CH625045A5 - - Google Patents
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Description
Die vorliegende Erfindung betrifft einen Messkopf zur Bestimmung der räumlichen Koordinaten beliebiger Punkte eines relativ zum Messkopf bewegten Werkstücks, bestehend aus einem gehäusefesten und einem relativ zu diesem beweglichen, 20 einen oder mehrere Taststifte tragenden Teil.
Bekannt sind solche, auch als Mehrkoordinatentaster bezeichneten Messköpfe, bei denen der Taststift an einer torsionssteifen Aneinanderreihung von spiel- und reibungsfreien Ge-radführungssystemen befestigt ist, die als Federparallelogram-25 me ausgebildet sind und die ein räumliches Koordinatensystem bilden. Bei der Antastung des Werkstücks wird eines der Federparallelogramme ausgelenkt und erzeugt über einen zugeordneten Signalgeber einen Antastimpuls. Solche Taster sind zwar äusserst genau, sie verlangen jedoch einen sehr präzisen Aufbau so und sind deshalb verhältnismässig teuer. Ausserdem ist zur Auslösung des Antastimpulses eine bestimmte und für die Auslenkung des zugehörigen Federparallelogramms ausreichende Kraft erforderlich.
Es ist auch ein Messkopf bekannt, bei dem der an der Koor-35 dinatenmessmaschine befestigte Teil mit V-Lagern ausgestattet ist, in welche mit dem beweglichen Teil verbundene Fortsätze mit kreisförmigem Querschnitt unter der Wirkung einer Feder einrasten. Beim Antasten des Werkstücks wird der am beweglichen Messkopfteil befestigte Taster aus seiner definierten Ru-40 helage bewegt, wobei mindestens einer seiner Fortsätze aus dem zugehörigen V-Lager gehoben wird. Dadurch wird entweder ein Stromkreis unterbrochen oder ein gesondertes Schaltelement betätigt, so dass ein Antastimpuls erzeugt wird.
Auch hier ist zur Auslösung des Antastimpulses eine be-45 stimmte, für die Aushebung eines Fortsatzes aus dem zugeordneten Lager ausreichende Kraft erforderlich.
Schliesslich ist auch eine Messsonde bekannt, bei der die eigentliche Sonde gegenüber einem Grundkörper beweglich ist und bei der die beim Antasten ausgelöste Relativbewegung mit so Hilfe von kapazitiven, ohmschen, induktiven oder pneumatischen Weggebern in den Koordinatenrichtungen gemessen wird. Bei Erreichen eines bestimmten Anpressdruckes der Messsonde an den Prüfling wird über Schalter die Relativbewegung abgeschaltet. Auch bei dieser Messsonde ist zur Auslösung 55 des Messignals eine bestimmte, zur Einleitung einer Relativbewegung zwischen Sonde und Grundkörper ausreichende Kraft erforderlich.
Es ist nun die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen preiswerten Messkopf zu schaffen, bei dem die zur Auslösung 60 eines Antastimpulses notwendige Kraft praktisch beliebig klein gehalten werden kann und bei dem auch bei schneller Werkstückantastung eine Zerstörung des Messkopfes ebenso vermieden ist wie eine plastische Verformung des Messobjektes.
Dieses Ziel wird gemäss der Erfindung dadurch erreicht, 65 dass der bewegliche Teil des Messkopfes aus zwei fest miteinander verbundenen Teilen besteht, zwischen denen ein oder mehrere auf Zug und Druck hochempfindliche Messelemente angeordnet sind, und dass die Verbindung zwischen festem und be
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weglichem Messkopfteil über ein Gelenkglied bewirkt ist, das in Ruhestellung die räumliche Lage des beweglichen Messkopfteiles genau festlegt.
Als Messelemente sind zweckmässig Sensoren verwendet, die auf mechanische und/oder elektrische Reize hochempfindlich ansprechen, beispielsweise Dehnungsmessstreifen oder piezoelektrische Elemente.
Der bewegliche Messkopfteil selbst besteht in einer Weiterbildung der Erfindung aus einem ersten, zur Aufnahme des Taststiftes dienenden Teil und einem zweiten mit dem Gelenkglied verbundenen Teil. Diese beiden Teile grenzen mit ebenen Flächen aneinander und sind fest miteinander verbunden, wobei zwischen den ebenen Flächen die Messelemente angeordnet sind.
Eine geringe, kaum messbare Kraft auf den Taststift bewirkt, dass trotz der festen Verbindung der beiden Teile des beweglichen Messkopfteils die hochempfindlichen Sensoren ansprechen. Das von ihnen erzeugte Signal wird z.B. einem Trigger zugeleitet, dessen Pegel einstellbar ist. Sobald das Signal diesen Pegel überschreitet, wird ein Antastimpuls ausgelöst, welcher die in diesem Moment an den Messsystemen der Koor-dinatenmessmaschine anliegenden Daten fixiert. Die elektrischen Schaltelemente zur Verwertung des von den Messelementen erzeugten Signals sind zweckmässig im Messkopf selbst angeordnet.
Die Empfindlichkeit des Taststiftes hängt von der Einstellung des Signalpegels ab. Wird dieser Pegel sehr niedrig gelegt, so bringt es die dann erreichte hohe Empfindlichkeit mit sich, dass schon bei einer unbeabsichtigten Erschütterung der Messmaschine oder des Messkopfs ein Signal ausgelöst wird. Um dadurch bedingt Fehlmessungen zu vermeiden, wird vorteilhaft der erste, d.h. der eigentliche Antastimpuls nur dann zur Messwerterfassung weitergeleitet, wenn innerhalb einer einstellbaren Zeitspanne ein zweiter Impuls, der sogenannte Kenn-Impuls, erzeugt wird.
Bei einer Antastung des Werkstücks wird nach dem Auslösen des Antastimpulses die Bewegung des Werkstücks, bzw. der Messmaschine, abgebremst. Da diese Abbremsung aus Gründen der Massenträgheit nicht abrupt erfolgen kann, liegt der Taststift während einer gewissen Zeitspanne am Werkstück an. Während dieser Zeit treten elastische Verformungen des Taststiftes auf und es gibt schliesslich das Gelenkglied zwischen dem festen und dem beweglichen Messkopfteil nach, so dass eine Ausweichbewegung des Taststifts freigegeben wird.
Dieser Ablauf des Abtastvorganges macht es möglich, den Kenn-Impuls nach einer vorgegebenen Zeitspanne ebenfalls von den Messelementen abzuleiten oder aber im Gelenkglied ein Schaltelement vorzusehen, das bei einer Ausweichbewegung des Taststifts diesen zweiten Impuls erzeugt.
Um auch die Verwendung langer, schlanker Taststifte zu ermöglichen und trotzdem schon beim ersten Antasten des Werkstücks den Antastimpuls zu erhalten, ist es vorteilhaft, die Messelemente in unmittelbarer Nähe der Tastkugel des Taststiftes anzuordnen.
Das Gelenkglied zwischen dem festen und dem beweglichen Messkopfteil kann in verschiedener Weise ausgebildet sein. Es muss gewährleisten, dass sich beim Abheben des Taststiftes vom Werkstück die dreidimensionale Lage des dann freistehenden Taststiftes wieder hochgenau regeneriert.
Verschiedene mögliche Ausbildungen des Gelenkgliedes werden zusammen mit den Ausführungsbeispiele des Messkopfes nach der Erfindung darstellenden Figuren 1 bis 11 der beigefügten Zeichnungen näher erläutert. Im einzelnen zeigen:
Fig. 1 eine Seitenansicht eines Ausführungsbeispiels des Messkopfes;
Fig. 2 eine Ansicht des beweglichen Messkopfteiles des Messkopfes der Fig. 1 ;
Fig. 3 einen Teilschnitt durch ein anderes Ausführungsbeispiel des Messkopfes;
Fig. 4 einen Schnitt entlang der Linie IV—IV der Fig. 3 ;
Fig. 5 eine Draufsicht auf ein Ausführungsbeispiel eines beim Messkopf nach Fig. 1 oder 3 verwendbaren Zwischenrings;
Fig. 6 einen Teilschnitt durch einen Zwischenring mit hohlkugelförmigen Lagern;
Fig. 7 den zeitlichen Verlauf des beim Antasten eines Werkstücks von einem der Messelemente abgegebenen Signals;
Fig. 8 einen Teilschnitt durch ein anderes Ausführungsbeispiel für einen beweglichen Messkopfteil ;
Fig. 9 einen Schnitt entlang der Linie IX-IX der Fig. 8 ;
Fig. 10 einen Teilschnitt durch ein weiteres Ausführungsbeispiel des Messkopfs ;
Fig. 11 einen Teilschnitt durch ein weiteres Ausführungsbeispiel des Messkopfs.
In Fig. 1 ist mit 1 der gehäusefeste Teil eines Messkopfs bezeichnet, welcher über den Flansch 2 fest mit einer hier nicht dargestellten Koordinatenmessmaschine verbunden ist. Der relativ zum Teil 1 bewegliche Messkopfteil ist mit 3 bezeichnet und trägt einen Taststift 4. Der feste Teil 1 ist mit Fortsätzen la, lb und lc versehen, von denen jeder mit einer Lagerkugel 5a, 5b, 5c fest verbunden ist.
Der bewegliche Messkopfteil 3 besteht, wie Fig. 2 zeigt, aus den beiden Teilen 3a und 3b, die entlang des oberen Randes des Teiles 3a mit ebenen Flächen aneinandergrenzen. Die Teile 3a und 3b sind fest miteinander verbunden, wobei jedoch zwischen diesen Teilen drei, gleichmässig über den Umfang verteilte piezoelektrische Elemente angeordnet sind. Eines dieser Elemente ist in Fig. 2 sichtbar und ist mit 6 bezeichnet.
Der ringförmige Teil 3b ist an seiner Unterseite mit drei gleichmässig über den Umfang verteilten Lagerkugeln 7a, 7b, 7c fest verbunden, von denen in Fig. 2 die Kugel 7a sichtbar ist.
Mit 8 ist ein Zwischenring bezeichnet, welcher im dargestellten Beispiel drei gleichmässig über seinen Umfang verteilte Lager 8a-8c aufweist. Im festen Teil 1 ist eine Zugfeder 9 angeordnet, welche über Ketten oder Drähte mit dem Zwischenring 8 verbunden ist und diesen an das Teil 1 zieht. Dabei greifen die Kugeln 5a, 5b und 5c in die Lager 8a, 8b, 8c des Zwischenringes 8 ein. Der bewegliche Teil 3 greift mit seinen Kugeln 7a, 7b, 7c in die entsprechenden Lager 8a, 8b, 8c des Zwischenringes 8 ein und wird mit Hilfe von Magneten, von denen ein Paar mit 10 bezeichnet ist in Ruhelage gehalten.
Mit 11 sind elektrische Schaltelemente bezeichnet, welche im Teil 3a angeordnet sind und welche dazu dienen, die von den Messelementen 6 gelieferten Signale in das eigentliche Messi-gnal umzuformen.
Die Wirkungsweise des in den Figuren 1 und 2 dargestellten Messkopfs ist folgende. Der Messkopf wird relativ zur Messmaschine auf das zu messende Werkstück zu bewegt. Beim ersten Kontakt des Taststiftes 4 mit dem Werkstück sprechen die Messelemente 6 an und erzeugen ein Signal, dessen Verlauf beispielsweise in Fig. 7 dargestellt ist. Die Schaltelemente 11 enthalten einen Trigger, dessen Pegel einstellbar ist. Sobald das Messsignal den Pegel des Triggers übersteigt, wird ein Impuls ausgelöst, welcher die im Moment an den Messystemen der Messmaschine anliegenden Daten fixiert. Dieser Zeitpunkt ist in Fig. 7 mit tt bezeichnet. Im weiteren Verlauf des Antastvorganges beginnt nun das Abbremsen der Bewegungen des Messmaschine. Es treten dabei erste elastische Verformungen des Taststiftes 4 auf. Die Kraft auf diesen Taststift und somit auf den beweglichen Teil 3 wird grösser, bis sich schliesslich dieser Teil gegenüber den Zwischenring 8 bewegt. Dadurch wird eine Ausweichbewegung des Taststiftes 4 zusammen mit dem beweglichen Teil 3 ermöglicht, so dass eine Zerstörung des Messkopfes ebenso verhindert ist, wie eine plastische Verformung des s
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angetasteten Werkstückes. Bei der Ausweichbewegung des beweglichen Teiles 3 hebt sich mindestens eine der Lagerkugeln 5a, 5b, 5c oder 7a, 7b, 7c aus ihrem zugeordneten Lager auf dem Zwischenring 8.
Bei niedriger Einstellung des Trigger-Pegels, d.h. bei hoher Empfindlichkeit des Messkopfs wird durch die Schaltelemente 11 nach einer einstellbaren Zeitspanne zu dem in Fig. 7 mit t2 bezeichneten Zeitpunkt wieder abgefragt, ob an den Messelementen 6 noch eine Spannung liegt. Da die Zeitspanne t2-t]
kurz ist, sie liegt in der Grössenordnung von 100 ms, ist eine solche Spannung in jedem Fall vorhanden und es wird ein zweiter Impuls, der sogenannte Kenn-Impuls erzeugt. Dieser zweite Impuls bewirkt, dass der erste, der eigentliche Antastimpuls zu der hier nicht dargestellten Auswerteschaltung weitergeleitet wird.
Wenn der Abbremsvorgang beendet ist und sich der Taster 4 wieder vom angetasteten Werkstück löst, regeneriert sich die dreidimensionale Lage des dann weider freistehenden Taststiftes 4 über die in den Fig. 1 und 2 dargestellte Lagerung wieder exakt und es kann die nächste Antastung vorgenommen werden.
Wird mit dem Messkopf eine Innenantastung einer z.B. waagerecht liegenden Bohrung eines Werkstückes vorgenommen, so legt sich einer der in Fig. 1 dargestellten waagrechten Fortsätze des Taststiftes 4 an die Werkstückinnenseite an. Bei der zur Messung dienenden Aufwärtsbewegung des Messkopfes bewegt sich der Zwischenring 8 zusammen mit dem beweglichen Teil 3 gegenüber dem feststehenden Teil 1, wobei die Lagerkugeln 5a, 5b, 5c aus ihren entsprechenden Lagern auf dem Zwischenring 8 bewegt werden. Durch die dargestellte und beschriebene Ausbildung des Gelenkgliedes ist also vermieden, dass bei einer Aufwärtsbewegung des Messkopfes eine Zerstörung des Tastsystems auftreten kann. .
Bei dem in den Fig. 3 und 4 dargestellten Ausführungsbeispiel ist der feste Messkopfteil mit 12 bezeichnet, der bewegliche Messkopfteil besteht aus den beiden fest miteinander verbundenen Teilen 13a und 13b, welche den Taststift 14 tragen. Die Teile 13a und 13b grenzen entlang ebener Oberflächen aneinander und zwischen ihnen sind die beispielsweise als piezoelektrische Elemente ausgebildeten Messelemente 16a, 16b, 16c, 16d und 16e angeordnet. Die Elemente 16a und 16b messen beispielsweise eine Antastung in x-Richtung, die Elemente 16d und 16c eine Antastung in y-Richtung und das Element 16e eine Antastung in z-Richtung.
Der bewegliche Teil 13b ist mit drei gleichmässig über seinen Umfang verteilten Lagerkugeln 17a, 17b und 17c verbunden, von denen im Schnitt der Fig. 3 die Kugeln 17a und 17d sichtbar sind. Der feste Messkopfteil 12 ist mit drei Lagerkugeln 15a, 15b, 15c fest verbunden. Mit 18 ist ein Zwischenring bezeichnet, welcher im dargestellten Beispiel drei gleichmässig über seinen Umfang verteilte V-Lager 18a, 18b, 18c aufweist. In das V-Lager 18a greifen die Lagerkugeln 17a und 15a ein. Eine mit 19 bezeichnete Spiralfeder drückt den Zwischenring 18 auf den festen Teil 12. Eine Feder 20 zieht den beweglichen Teil 13b an den Zwischenring 18.
Die Wirkungsweise des in den Figuren 3 und 4 dargestellten Messkopfs entspricht im wesentlichen derjenigen des Messkopfs nach den Figuren 1 und 2. Auch hier bewegt sich bei einer Auslenkung in x- und y-Richtung der bewegliche Messkopfteil 13a und 13b zusammen mit dem Taststift 14 relativ zum Zwischenring 18, wobei mindestens eine der Kugeln 17a, 17b, 17c oder 15a, 15b, 15c das zugeordnete V-Lager im Ring 18 ver-lässt.
Der Zwischenring 18 der Figur 3 ist in dem dargestellten Beispiel mit V-Lagern ausgestattet. Es ist jedoch auch möglich, anstelle dieser Lager andere zu verwenden, wie dies im Ausführungsbeispiel der Fig. 5 gezeigt ist. Der dort mit 28 bezeichnete Zwischenring trägt zwei V-Lager 21 und 22, sowie zwei ebene
Lagerplatten 23 und 24. Ein weiteres Lager 25 ist als Negativ-Form einer Pyramidenspitze ausgebildet. Der mit diesem Lager erreichbare Effekt, nämlich die genaue Plazierung einer Lagerkugel lässt sich auch mittels eines Lagers 26 erreichen, das aus 5 drei Kugeln besteht, in deren Mitte dann die Lagerkugel eingreift. In der Darstellung der Fig. 1 sind im Zwischenring 8 Lager verwendet, die den Lagern 21,23,25 der Fig. 5 entsprechen.
In Fig. 6 ist ein Teilschnitt durch einen Zwischenring darge-lo stellt, der mit einer Lagerkugel 35 verbunden ist. Dem beweglichen Messkopfteil 33 ist hier ein mit 38 bezeichneten Zwischenring zugeordnet, welcher hohlkugelförmig ausgebildete Lagerstellen aufweist. Diese lassen sich beispielsweise durch eine Ab-formung der entsprechenden Lagerkugeln im Teil 33 erzeugen, 15 die dann in Form eines Einsatzes 39 im Zwischenring 38 verankert ist. Durch eine Bohrung 34 wird zweckmässig Luft in die Lagerstelle geblasen, so dass die Kugel 35 auf einem dünnen Luftpolster ruht. Über die Bohrung 32 ist ein pneumatischer Fühler 31 angeschlossen, welcher auf geringste Veränderungen 20 der Spaltbreite zwischen den Teilen 35 und 39 reagiert. Solche pneumatische Messfühler können zur Auslösung des zweiten Impulses beim Antastvorgang verwendet werden.
In Fig. 8 ist ein Taststift dargestellt, welcher aus den beiden Teilen 44 und 45 besteht. Diese beiden Teile sind über die 25 Fortsätze 45a, 45b, 45c fest miteinander verbunden. Zwischen ihnen ist ein dreigeteiltes piezoelektrisches Element 46 angeordnet. Mit Hilfe dieses Elementes lassen sich alle drei Koordinatenrichtungen erfassen.
Der in den Figuren 8 und 9 dargestellte Taststift weist den 30 Vorteil auf, dass das Messelement 46 in unmittelbarer Nähe der Messkugel angeordnet ist. Beim Antasten eines Werkstückes wird also sofort ein Antastimpuls ausgelöst, d.h. dieser Impuls muss nicht erst noch durch Schall-Leitung bis zu weiter oben angeordneten Messelementen weitergeführt werden. Der Taststift kann deshalb vorzugsweise lang und schmal ausgebildet werden und führt dennoch zu sehr exakten und genau reproduzierbaren Messergebnisse.
In Fig. 10 ist ein weiteres Ausführungsbeispiel eines Mess-40 kopfes dargestellt. Der feste Messkopfteil ist mit 52 bezeichnet, während der mit dem Taststift 54 verbundene bewegliche Messkopfteil die Bezeichnung 55 trägt. Zwischen den Teilen 52 und 55 ist ein Federbalg 56 angeordnet, der zur Vermeidung von Schwingungen mit öl gefüllt ist. Die piezoelektrischen Messele-45 mente sind wie bei den schon besprochenen Ausführungsbeispielen im beweglichen Messkopfteil 55 angeordnet. Das Gelenkglied 56, d.h. der Federbalg kann hier beispielsweise mit Dehnungsmessstreifen versehen sein, die bei einer Ausweichbewegung des Taststiftes 54 ein Signal liefern, welches zu dem 50 zweiten Impuls verarbeitet werden kann. Ein Dehnungsmessstreifen ist beispielsweise dargestellt und mit 57 bezeichnet.
Anstelle des Federbalges 56 kann auch eine Schraubenfeder vorgesehen sein. In jedem Fall ist es notwendig, dass das Gelenksystem die dreidimensionale Lage des freistehenden Tast-55 stiftes exakt definiert und regeneriert.
Das in Fig. 11 dargestellte Ausführungsbeispiel des Messkopfs entspricht in seinem Aufbau im wesentlichen der Fig. 3. Der mit der Messmaschine fest verbundene Teil 62 ist über so einen Zwischenring 68 mit dem auslenkbaren Teil 63 gelenkig verbunden. Der Teil 63 trägt einen Taststift 64. Auf dem Zwischenring 68 ist ein Hohlspiegel 65 fest angeordnet. Dieser bildet das von einer gehäusefesten Lichtquelle 66 ausgehende Licht auf einen gehäusefesten Empfänger 67 ab. Dieser kann 65 beispielsweise als eine 4-Quadranten-Photodiode ausgebildet sein. Im Ruhezustand werden alle vier Quadranten des Empfängers gleichmässig beaufschlagt, so dass nachgeordnete Schaltelemente kein Signal liefern.
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Sobald der Teil 63 ausgelenkt wird, liefert der Empfänger 67 ein Signal, das beispielsweise zur Erzeugung eines Kenn-Impulses verwendet werden kann.
Ausserdem lässt sich mit der in Fig. 11 dargestellten Einrichtung automatisch die Einhaltung der exakten Null-Lage des auslenkbaren Teils 63 bei freistehendem Taststift 64 überwachen.
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Wie die vorstehende Beschreibung zeigt, sind sämtliche Ausführungsbeispiele des Messkopfs einfach und kostensparend aufgebaut. Es müssen nur sehr kleine Massen bewegt werden, so dass kleine dynamische Kräfte und wenig Belastung der eigent-5 liehen Messmaschine durch Gewicht auftreten. Der neue Messkopf ermöglicht einen schnellen Antastvorgang und erlaubt deshalb Antastungen in schneller Folge, wodurch die Messzeit gegenüber bekannten Systemen gesenkt werden kann.
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3 Blatt Zeichnungen
Claims (16)
1. Messkopf zur Bestimmung der räumlichen Koordinaten beliebiger Punkte eines relativ zum Messkopf bewegten Werkstücks, bestehend aus einem gehäusefesten und einem relativ zu diesem beweglichen, einen oder mehrere Taststifte tragenden Teil, dadurch gekennzeichnet, dass der bewegliche Teil (3) des Messkopfes aus zwei fest miteinander verbundenen Teilen (3a, 3b) besteht, zwischen denen ein oder mehrere auf Zug und Druck hochempfindliche Messelemente (6) angeordnet sind, und dass die Verbindung zwischen festem (1) und beweglichem (3) Messkopfteil über ein Gelenkglied (8) bewirkt ist, das in Ruhestellung die räumliche Lage des beweglichen Messkopfteiles genau festlegt.
2. Messkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
dass als Messelemente piezoelektrische Elemente (6) verwendet sind.
3. Messkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
dass der bewegliche Messkopfteil (3,13) aus einem ersten (3a, 13a) zur Aufnahme des Taststiftes (4,14) dienenden Teil und einem zweiten (3b, 13b) mit dem Gelenkglied (8,18) verbundenen Teil besteht, dass beide Teile mit ebenen Flächen aneinan-dergrenzen und fest miteinander verbunden sind und dass zwischen diesen ebenen Flächen die Messelemente (6) angeordnet sind.
4. Messkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
dass eine Anordnung (11,57) vorgesehen ist, die nach erfolgtem Antasten des Werkstücks innerhalb einer einstellbaren Zeitspanne (t2-t[) einen Kennimpuls auslöst, wobei der erste Antastimpuls nur nach Auslösen dieses Kennimpulses zur Messwerterfassung weitergeleitet ist.
5 Kennimpulses vorgesehen sind.
5. Messkopf nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet,
dass die Messelemente (6) mit im Messkopf angeordneten elektrischen Schaltelementen (11) verbunden sind, die zur Umformung der Messignale in Antastimpulse und in Kennimpulse dienen.
6. Messkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
dass die Messelemente (46) in unmittelbarer Nähe der Tastkugel (45) des Taststiftes (44) angeordnet sind.
7. Messkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
dass sowohl am (1) als auch am beweglichen (3) Tasterteil jeweils mindestens drei gleichmässig über den Umfang verteilte und in einer Ebene angeordnete Kugeln (5a, 5b, 5c, 7a, 7c) befestigt sind, dass als Gelenkglied ein mit mindestens drei Gegenlagern (8a, 8b, 8c) versehener Zwischenring (8) so angeordnet ist, dass die Kugeln des festen und des beweglichen Mess-kopfteils in seine Lager eingreifen und dass Federelemente (9) vorgesehen sind, welche die beiden Messkopfteile (1,3) und den Zwischenring (8) in ihrer Position halten.
8. Messkopf nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet,
dass der Zwischenring (28) für den festen und den beweglichen Messkopfteil jeweils mindestens ein als Negativ-Form einer Pyramidenspitze ausgebildetes Lager (25), ein V-Lager (21) und eine ebene Lagerplatte (23) enthält.
9. Messkopf nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet,
dass die Lager des Zwischenringes (38) als Hohlkugeln ausgebildet sind.
10. Messkopf nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen Kugel (35) und Hohlkugel (39) jeweils ein Luftpolster vorhanden ist.
11. Messkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen seinem festen und seinem beweglichen Teil als Gelenkglied eine Schraubenfeder vorgesehen ist.
12. Messkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen seinem festen (52) und seinem beweglichen (55) Teil als Gelenkglied ein ölgefüllter Federbalg (56) vorgesehen ist.
13. Messkopf nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet,
dass der Kennimpuls auch von den Messelementen (6) erzeugt oder abgeleitet ist.
14. Messkopf nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass im Gelenkglied (56) Schaltelemente (57) zu Erzeugung des
15. Messkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass am Gelenkglied (68) ein Spiegel (65) befestigt ist, der zur Umlenkung der von einer gehäusefesten Quelle (66) ausgehenden Strahlung auf einen gehäusefesten Empfänger (67) dient.
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16. Messkopf nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass der Spiegel als Hohlspiegel (65) und der Empfänger (67) als Vier-Quadranten-Empfänger ausgebildet ist.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2712181A DE2712181C3 (de) | 1977-03-19 | 1977-03-19 | Tastsystem |
Publications (1)
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---|---|
CH625045A5 true CH625045A5 (de) | 1981-08-31 |
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ID=6004133
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CH138378A CH625045A5 (de) | 1977-03-19 | 1978-02-08 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4177568A (de) |
JP (1) | JPS6048681B2 (de) |
CH (1) | CH625045A5 (de) |
DE (1) | DE2712181C3 (de) |
FR (1) | FR2384230A1 (de) |
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