CH625045A5 - - Google Patents

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CH625045A5
CH625045A5 CH138378A CH138378A CH625045A5 CH 625045 A5 CH625045 A5 CH 625045A5 CH 138378 A CH138378 A CH 138378A CH 138378 A CH138378 A CH 138378A CH 625045 A5 CH625045 A5 CH 625045A5
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Klaus Herzog
Franz Szenger
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Zeiss Carl Fa
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Description

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Messkopf zur Bestimmung der räumlichen Koordinaten beliebiger Punkte eines relativ zum Messkopf bewegten Werkstücks, bestehend aus einem gehäusefesten und einem relativ zu diesem beweglichen, 20 einen oder mehrere Taststifte tragenden Teil.
Bekannt sind solche, auch als Mehrkoordinatentaster bezeichneten Messköpfe, bei denen der Taststift an einer torsionssteifen Aneinanderreihung von spiel- und reibungsfreien Ge-radführungssystemen befestigt ist, die als Federparallelogram-25 me ausgebildet sind und die ein räumliches Koordinatensystem bilden. Bei der Antastung des Werkstücks wird eines der Federparallelogramme ausgelenkt und erzeugt über einen zugeordneten Signalgeber einen Antastimpuls. Solche Taster sind zwar äusserst genau, sie verlangen jedoch einen sehr präzisen Aufbau so und sind deshalb verhältnismässig teuer. Ausserdem ist zur Auslösung des Antastimpulses eine bestimmte und für die Auslenkung des zugehörigen Federparallelogramms ausreichende Kraft erforderlich.
Es ist auch ein Messkopf bekannt, bei dem der an der Koor-35 dinatenmessmaschine befestigte Teil mit V-Lagern ausgestattet ist, in welche mit dem beweglichen Teil verbundene Fortsätze mit kreisförmigem Querschnitt unter der Wirkung einer Feder einrasten. Beim Antasten des Werkstücks wird der am beweglichen Messkopfteil befestigte Taster aus seiner definierten Ru-40 helage bewegt, wobei mindestens einer seiner Fortsätze aus dem zugehörigen V-Lager gehoben wird. Dadurch wird entweder ein Stromkreis unterbrochen oder ein gesondertes Schaltelement betätigt, so dass ein Antastimpuls erzeugt wird.
Auch hier ist zur Auslösung des Antastimpulses eine be-45 stimmte, für die Aushebung eines Fortsatzes aus dem zugeordneten Lager ausreichende Kraft erforderlich.
Schliesslich ist auch eine Messsonde bekannt, bei der die eigentliche Sonde gegenüber einem Grundkörper beweglich ist und bei der die beim Antasten ausgelöste Relativbewegung mit so Hilfe von kapazitiven, ohmschen, induktiven oder pneumatischen Weggebern in den Koordinatenrichtungen gemessen wird. Bei Erreichen eines bestimmten Anpressdruckes der Messsonde an den Prüfling wird über Schalter die Relativbewegung abgeschaltet. Auch bei dieser Messsonde ist zur Auslösung 55 des Messignals eine bestimmte, zur Einleitung einer Relativbewegung zwischen Sonde und Grundkörper ausreichende Kraft erforderlich.
Es ist nun die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen preiswerten Messkopf zu schaffen, bei dem die zur Auslösung 60 eines Antastimpulses notwendige Kraft praktisch beliebig klein gehalten werden kann und bei dem auch bei schneller Werkstückantastung eine Zerstörung des Messkopfes ebenso vermieden ist wie eine plastische Verformung des Messobjektes.
Dieses Ziel wird gemäss der Erfindung dadurch erreicht, 65 dass der bewegliche Teil des Messkopfes aus zwei fest miteinander verbundenen Teilen besteht, zwischen denen ein oder mehrere auf Zug und Druck hochempfindliche Messelemente angeordnet sind, und dass die Verbindung zwischen festem und be
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weglichem Messkopfteil über ein Gelenkglied bewirkt ist, das in Ruhestellung die räumliche Lage des beweglichen Messkopfteiles genau festlegt.
Als Messelemente sind zweckmässig Sensoren verwendet, die auf mechanische und/oder elektrische Reize hochempfindlich ansprechen, beispielsweise Dehnungsmessstreifen oder piezoelektrische Elemente.
Der bewegliche Messkopfteil selbst besteht in einer Weiterbildung der Erfindung aus einem ersten, zur Aufnahme des Taststiftes dienenden Teil und einem zweiten mit dem Gelenkglied verbundenen Teil. Diese beiden Teile grenzen mit ebenen Flächen aneinander und sind fest miteinander verbunden, wobei zwischen den ebenen Flächen die Messelemente angeordnet sind.
Eine geringe, kaum messbare Kraft auf den Taststift bewirkt, dass trotz der festen Verbindung der beiden Teile des beweglichen Messkopfteils die hochempfindlichen Sensoren ansprechen. Das von ihnen erzeugte Signal wird z.B. einem Trigger zugeleitet, dessen Pegel einstellbar ist. Sobald das Signal diesen Pegel überschreitet, wird ein Antastimpuls ausgelöst, welcher die in diesem Moment an den Messsystemen der Koor-dinatenmessmaschine anliegenden Daten fixiert. Die elektrischen Schaltelemente zur Verwertung des von den Messelementen erzeugten Signals sind zweckmässig im Messkopf selbst angeordnet.
Die Empfindlichkeit des Taststiftes hängt von der Einstellung des Signalpegels ab. Wird dieser Pegel sehr niedrig gelegt, so bringt es die dann erreichte hohe Empfindlichkeit mit sich, dass schon bei einer unbeabsichtigten Erschütterung der Messmaschine oder des Messkopfs ein Signal ausgelöst wird. Um dadurch bedingt Fehlmessungen zu vermeiden, wird vorteilhaft der erste, d.h. der eigentliche Antastimpuls nur dann zur Messwerterfassung weitergeleitet, wenn innerhalb einer einstellbaren Zeitspanne ein zweiter Impuls, der sogenannte Kenn-Impuls, erzeugt wird.
Bei einer Antastung des Werkstücks wird nach dem Auslösen des Antastimpulses die Bewegung des Werkstücks, bzw. der Messmaschine, abgebremst. Da diese Abbremsung aus Gründen der Massenträgheit nicht abrupt erfolgen kann, liegt der Taststift während einer gewissen Zeitspanne am Werkstück an. Während dieser Zeit treten elastische Verformungen des Taststiftes auf und es gibt schliesslich das Gelenkglied zwischen dem festen und dem beweglichen Messkopfteil nach, so dass eine Ausweichbewegung des Taststifts freigegeben wird.
Dieser Ablauf des Abtastvorganges macht es möglich, den Kenn-Impuls nach einer vorgegebenen Zeitspanne ebenfalls von den Messelementen abzuleiten oder aber im Gelenkglied ein Schaltelement vorzusehen, das bei einer Ausweichbewegung des Taststifts diesen zweiten Impuls erzeugt.
Um auch die Verwendung langer, schlanker Taststifte zu ermöglichen und trotzdem schon beim ersten Antasten des Werkstücks den Antastimpuls zu erhalten, ist es vorteilhaft, die Messelemente in unmittelbarer Nähe der Tastkugel des Taststiftes anzuordnen.
Das Gelenkglied zwischen dem festen und dem beweglichen Messkopfteil kann in verschiedener Weise ausgebildet sein. Es muss gewährleisten, dass sich beim Abheben des Taststiftes vom Werkstück die dreidimensionale Lage des dann freistehenden Taststiftes wieder hochgenau regeneriert.
Verschiedene mögliche Ausbildungen des Gelenkgliedes werden zusammen mit den Ausführungsbeispiele des Messkopfes nach der Erfindung darstellenden Figuren 1 bis 11 der beigefügten Zeichnungen näher erläutert. Im einzelnen zeigen:
Fig. 1 eine Seitenansicht eines Ausführungsbeispiels des Messkopfes;
Fig. 2 eine Ansicht des beweglichen Messkopfteiles des Messkopfes der Fig. 1 ;
Fig. 3 einen Teilschnitt durch ein anderes Ausführungsbeispiel des Messkopfes;
Fig. 4 einen Schnitt entlang der Linie IV—IV der Fig. 3 ;
Fig. 5 eine Draufsicht auf ein Ausführungsbeispiel eines beim Messkopf nach Fig. 1 oder 3 verwendbaren Zwischenrings;
Fig. 6 einen Teilschnitt durch einen Zwischenring mit hohlkugelförmigen Lagern;
Fig. 7 den zeitlichen Verlauf des beim Antasten eines Werkstücks von einem der Messelemente abgegebenen Signals;
Fig. 8 einen Teilschnitt durch ein anderes Ausführungsbeispiel für einen beweglichen Messkopfteil ;
Fig. 9 einen Schnitt entlang der Linie IX-IX der Fig. 8 ;
Fig. 10 einen Teilschnitt durch ein weiteres Ausführungsbeispiel des Messkopfs ;
Fig. 11 einen Teilschnitt durch ein weiteres Ausführungsbeispiel des Messkopfs.
In Fig. 1 ist mit 1 der gehäusefeste Teil eines Messkopfs bezeichnet, welcher über den Flansch 2 fest mit einer hier nicht dargestellten Koordinatenmessmaschine verbunden ist. Der relativ zum Teil 1 bewegliche Messkopfteil ist mit 3 bezeichnet und trägt einen Taststift 4. Der feste Teil 1 ist mit Fortsätzen la, lb und lc versehen, von denen jeder mit einer Lagerkugel 5a, 5b, 5c fest verbunden ist.
Der bewegliche Messkopfteil 3 besteht, wie Fig. 2 zeigt, aus den beiden Teilen 3a und 3b, die entlang des oberen Randes des Teiles 3a mit ebenen Flächen aneinandergrenzen. Die Teile 3a und 3b sind fest miteinander verbunden, wobei jedoch zwischen diesen Teilen drei, gleichmässig über den Umfang verteilte piezoelektrische Elemente angeordnet sind. Eines dieser Elemente ist in Fig. 2 sichtbar und ist mit 6 bezeichnet.
Der ringförmige Teil 3b ist an seiner Unterseite mit drei gleichmässig über den Umfang verteilten Lagerkugeln 7a, 7b, 7c fest verbunden, von denen in Fig. 2 die Kugel 7a sichtbar ist.
Mit 8 ist ein Zwischenring bezeichnet, welcher im dargestellten Beispiel drei gleichmässig über seinen Umfang verteilte Lager 8a-8c aufweist. Im festen Teil 1 ist eine Zugfeder 9 angeordnet, welche über Ketten oder Drähte mit dem Zwischenring 8 verbunden ist und diesen an das Teil 1 zieht. Dabei greifen die Kugeln 5a, 5b und 5c in die Lager 8a, 8b, 8c des Zwischenringes 8 ein. Der bewegliche Teil 3 greift mit seinen Kugeln 7a, 7b, 7c in die entsprechenden Lager 8a, 8b, 8c des Zwischenringes 8 ein und wird mit Hilfe von Magneten, von denen ein Paar mit 10 bezeichnet ist in Ruhelage gehalten.
Mit 11 sind elektrische Schaltelemente bezeichnet, welche im Teil 3a angeordnet sind und welche dazu dienen, die von den Messelementen 6 gelieferten Signale in das eigentliche Messi-gnal umzuformen.
Die Wirkungsweise des in den Figuren 1 und 2 dargestellten Messkopfs ist folgende. Der Messkopf wird relativ zur Messmaschine auf das zu messende Werkstück zu bewegt. Beim ersten Kontakt des Taststiftes 4 mit dem Werkstück sprechen die Messelemente 6 an und erzeugen ein Signal, dessen Verlauf beispielsweise in Fig. 7 dargestellt ist. Die Schaltelemente 11 enthalten einen Trigger, dessen Pegel einstellbar ist. Sobald das Messsignal den Pegel des Triggers übersteigt, wird ein Impuls ausgelöst, welcher die im Moment an den Messystemen der Messmaschine anliegenden Daten fixiert. Dieser Zeitpunkt ist in Fig. 7 mit tt bezeichnet. Im weiteren Verlauf des Antastvorganges beginnt nun das Abbremsen der Bewegungen des Messmaschine. Es treten dabei erste elastische Verformungen des Taststiftes 4 auf. Die Kraft auf diesen Taststift und somit auf den beweglichen Teil 3 wird grösser, bis sich schliesslich dieser Teil gegenüber den Zwischenring 8 bewegt. Dadurch wird eine Ausweichbewegung des Taststiftes 4 zusammen mit dem beweglichen Teil 3 ermöglicht, so dass eine Zerstörung des Messkopfes ebenso verhindert ist, wie eine plastische Verformung des s
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angetasteten Werkstückes. Bei der Ausweichbewegung des beweglichen Teiles 3 hebt sich mindestens eine der Lagerkugeln 5a, 5b, 5c oder 7a, 7b, 7c aus ihrem zugeordneten Lager auf dem Zwischenring 8.
Bei niedriger Einstellung des Trigger-Pegels, d.h. bei hoher Empfindlichkeit des Messkopfs wird durch die Schaltelemente 11 nach einer einstellbaren Zeitspanne zu dem in Fig. 7 mit t2 bezeichneten Zeitpunkt wieder abgefragt, ob an den Messelementen 6 noch eine Spannung liegt. Da die Zeitspanne t2-t]
kurz ist, sie liegt in der Grössenordnung von 100 ms, ist eine solche Spannung in jedem Fall vorhanden und es wird ein zweiter Impuls, der sogenannte Kenn-Impuls erzeugt. Dieser zweite Impuls bewirkt, dass der erste, der eigentliche Antastimpuls zu der hier nicht dargestellten Auswerteschaltung weitergeleitet wird.
Wenn der Abbremsvorgang beendet ist und sich der Taster 4 wieder vom angetasteten Werkstück löst, regeneriert sich die dreidimensionale Lage des dann weider freistehenden Taststiftes 4 über die in den Fig. 1 und 2 dargestellte Lagerung wieder exakt und es kann die nächste Antastung vorgenommen werden.
Wird mit dem Messkopf eine Innenantastung einer z.B. waagerecht liegenden Bohrung eines Werkstückes vorgenommen, so legt sich einer der in Fig. 1 dargestellten waagrechten Fortsätze des Taststiftes 4 an die Werkstückinnenseite an. Bei der zur Messung dienenden Aufwärtsbewegung des Messkopfes bewegt sich der Zwischenring 8 zusammen mit dem beweglichen Teil 3 gegenüber dem feststehenden Teil 1, wobei die Lagerkugeln 5a, 5b, 5c aus ihren entsprechenden Lagern auf dem Zwischenring 8 bewegt werden. Durch die dargestellte und beschriebene Ausbildung des Gelenkgliedes ist also vermieden, dass bei einer Aufwärtsbewegung des Messkopfes eine Zerstörung des Tastsystems auftreten kann. .
Bei dem in den Fig. 3 und 4 dargestellten Ausführungsbeispiel ist der feste Messkopfteil mit 12 bezeichnet, der bewegliche Messkopfteil besteht aus den beiden fest miteinander verbundenen Teilen 13a und 13b, welche den Taststift 14 tragen. Die Teile 13a und 13b grenzen entlang ebener Oberflächen aneinander und zwischen ihnen sind die beispielsweise als piezoelektrische Elemente ausgebildeten Messelemente 16a, 16b, 16c, 16d und 16e angeordnet. Die Elemente 16a und 16b messen beispielsweise eine Antastung in x-Richtung, die Elemente 16d und 16c eine Antastung in y-Richtung und das Element 16e eine Antastung in z-Richtung.
Der bewegliche Teil 13b ist mit drei gleichmässig über seinen Umfang verteilten Lagerkugeln 17a, 17b und 17c verbunden, von denen im Schnitt der Fig. 3 die Kugeln 17a und 17d sichtbar sind. Der feste Messkopfteil 12 ist mit drei Lagerkugeln 15a, 15b, 15c fest verbunden. Mit 18 ist ein Zwischenring bezeichnet, welcher im dargestellten Beispiel drei gleichmässig über seinen Umfang verteilte V-Lager 18a, 18b, 18c aufweist. In das V-Lager 18a greifen die Lagerkugeln 17a und 15a ein. Eine mit 19 bezeichnete Spiralfeder drückt den Zwischenring 18 auf den festen Teil 12. Eine Feder 20 zieht den beweglichen Teil 13b an den Zwischenring 18.
Die Wirkungsweise des in den Figuren 3 und 4 dargestellten Messkopfs entspricht im wesentlichen derjenigen des Messkopfs nach den Figuren 1 und 2. Auch hier bewegt sich bei einer Auslenkung in x- und y-Richtung der bewegliche Messkopfteil 13a und 13b zusammen mit dem Taststift 14 relativ zum Zwischenring 18, wobei mindestens eine der Kugeln 17a, 17b, 17c oder 15a, 15b, 15c das zugeordnete V-Lager im Ring 18 ver-lässt.
Der Zwischenring 18 der Figur 3 ist in dem dargestellten Beispiel mit V-Lagern ausgestattet. Es ist jedoch auch möglich, anstelle dieser Lager andere zu verwenden, wie dies im Ausführungsbeispiel der Fig. 5 gezeigt ist. Der dort mit 28 bezeichnete Zwischenring trägt zwei V-Lager 21 und 22, sowie zwei ebene
Lagerplatten 23 und 24. Ein weiteres Lager 25 ist als Negativ-Form einer Pyramidenspitze ausgebildet. Der mit diesem Lager erreichbare Effekt, nämlich die genaue Plazierung einer Lagerkugel lässt sich auch mittels eines Lagers 26 erreichen, das aus 5 drei Kugeln besteht, in deren Mitte dann die Lagerkugel eingreift. In der Darstellung der Fig. 1 sind im Zwischenring 8 Lager verwendet, die den Lagern 21,23,25 der Fig. 5 entsprechen.
In Fig. 6 ist ein Teilschnitt durch einen Zwischenring darge-lo stellt, der mit einer Lagerkugel 35 verbunden ist. Dem beweglichen Messkopfteil 33 ist hier ein mit 38 bezeichneten Zwischenring zugeordnet, welcher hohlkugelförmig ausgebildete Lagerstellen aufweist. Diese lassen sich beispielsweise durch eine Ab-formung der entsprechenden Lagerkugeln im Teil 33 erzeugen, 15 die dann in Form eines Einsatzes 39 im Zwischenring 38 verankert ist. Durch eine Bohrung 34 wird zweckmässig Luft in die Lagerstelle geblasen, so dass die Kugel 35 auf einem dünnen Luftpolster ruht. Über die Bohrung 32 ist ein pneumatischer Fühler 31 angeschlossen, welcher auf geringste Veränderungen 20 der Spaltbreite zwischen den Teilen 35 und 39 reagiert. Solche pneumatische Messfühler können zur Auslösung des zweiten Impulses beim Antastvorgang verwendet werden.
In Fig. 8 ist ein Taststift dargestellt, welcher aus den beiden Teilen 44 und 45 besteht. Diese beiden Teile sind über die 25 Fortsätze 45a, 45b, 45c fest miteinander verbunden. Zwischen ihnen ist ein dreigeteiltes piezoelektrisches Element 46 angeordnet. Mit Hilfe dieses Elementes lassen sich alle drei Koordinatenrichtungen erfassen.
Der in den Figuren 8 und 9 dargestellte Taststift weist den 30 Vorteil auf, dass das Messelement 46 in unmittelbarer Nähe der Messkugel angeordnet ist. Beim Antasten eines Werkstückes wird also sofort ein Antastimpuls ausgelöst, d.h. dieser Impuls muss nicht erst noch durch Schall-Leitung bis zu weiter oben angeordneten Messelementen weitergeführt werden. Der Taststift kann deshalb vorzugsweise lang und schmal ausgebildet werden und führt dennoch zu sehr exakten und genau reproduzierbaren Messergebnisse.
In Fig. 10 ist ein weiteres Ausführungsbeispiel eines Mess-40 kopfes dargestellt. Der feste Messkopfteil ist mit 52 bezeichnet, während der mit dem Taststift 54 verbundene bewegliche Messkopfteil die Bezeichnung 55 trägt. Zwischen den Teilen 52 und 55 ist ein Federbalg 56 angeordnet, der zur Vermeidung von Schwingungen mit öl gefüllt ist. Die piezoelektrischen Messele-45 mente sind wie bei den schon besprochenen Ausführungsbeispielen im beweglichen Messkopfteil 55 angeordnet. Das Gelenkglied 56, d.h. der Federbalg kann hier beispielsweise mit Dehnungsmessstreifen versehen sein, die bei einer Ausweichbewegung des Taststiftes 54 ein Signal liefern, welches zu dem 50 zweiten Impuls verarbeitet werden kann. Ein Dehnungsmessstreifen ist beispielsweise dargestellt und mit 57 bezeichnet.
Anstelle des Federbalges 56 kann auch eine Schraubenfeder vorgesehen sein. In jedem Fall ist es notwendig, dass das Gelenksystem die dreidimensionale Lage des freistehenden Tast-55 stiftes exakt definiert und regeneriert.
Das in Fig. 11 dargestellte Ausführungsbeispiel des Messkopfs entspricht in seinem Aufbau im wesentlichen der Fig. 3. Der mit der Messmaschine fest verbundene Teil 62 ist über so einen Zwischenring 68 mit dem auslenkbaren Teil 63 gelenkig verbunden. Der Teil 63 trägt einen Taststift 64. Auf dem Zwischenring 68 ist ein Hohlspiegel 65 fest angeordnet. Dieser bildet das von einer gehäusefesten Lichtquelle 66 ausgehende Licht auf einen gehäusefesten Empfänger 67 ab. Dieser kann 65 beispielsweise als eine 4-Quadranten-Photodiode ausgebildet sein. Im Ruhezustand werden alle vier Quadranten des Empfängers gleichmässig beaufschlagt, so dass nachgeordnete Schaltelemente kein Signal liefern.
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Sobald der Teil 63 ausgelenkt wird, liefert der Empfänger 67 ein Signal, das beispielsweise zur Erzeugung eines Kenn-Impulses verwendet werden kann.
Ausserdem lässt sich mit der in Fig. 11 dargestellten Einrichtung automatisch die Einhaltung der exakten Null-Lage des auslenkbaren Teils 63 bei freistehendem Taststift 64 überwachen.
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Wie die vorstehende Beschreibung zeigt, sind sämtliche Ausführungsbeispiele des Messkopfs einfach und kostensparend aufgebaut. Es müssen nur sehr kleine Massen bewegt werden, so dass kleine dynamische Kräfte und wenig Belastung der eigent-5 liehen Messmaschine durch Gewicht auftreten. Der neue Messkopf ermöglicht einen schnellen Antastvorgang und erlaubt deshalb Antastungen in schneller Folge, wodurch die Messzeit gegenüber bekannten Systemen gesenkt werden kann.
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3 Blatt Zeichnungen

Claims (16)

625 045 PATENTANSPRÜCHE
1. Messkopf zur Bestimmung der räumlichen Koordinaten beliebiger Punkte eines relativ zum Messkopf bewegten Werkstücks, bestehend aus einem gehäusefesten und einem relativ zu diesem beweglichen, einen oder mehrere Taststifte tragenden Teil, dadurch gekennzeichnet, dass der bewegliche Teil (3) des Messkopfes aus zwei fest miteinander verbundenen Teilen (3a, 3b) besteht, zwischen denen ein oder mehrere auf Zug und Druck hochempfindliche Messelemente (6) angeordnet sind, und dass die Verbindung zwischen festem (1) und beweglichem (3) Messkopfteil über ein Gelenkglied (8) bewirkt ist, das in Ruhestellung die räumliche Lage des beweglichen Messkopfteiles genau festlegt.
2. Messkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
dass als Messelemente piezoelektrische Elemente (6) verwendet sind.
3. Messkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
dass der bewegliche Messkopfteil (3,13) aus einem ersten (3a, 13a) zur Aufnahme des Taststiftes (4,14) dienenden Teil und einem zweiten (3b, 13b) mit dem Gelenkglied (8,18) verbundenen Teil besteht, dass beide Teile mit ebenen Flächen aneinan-dergrenzen und fest miteinander verbunden sind und dass zwischen diesen ebenen Flächen die Messelemente (6) angeordnet sind.
4. Messkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
dass eine Anordnung (11,57) vorgesehen ist, die nach erfolgtem Antasten des Werkstücks innerhalb einer einstellbaren Zeitspanne (t2-t[) einen Kennimpuls auslöst, wobei der erste Antastimpuls nur nach Auslösen dieses Kennimpulses zur Messwerterfassung weitergeleitet ist.
5 Kennimpulses vorgesehen sind.
5. Messkopf nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet,
dass die Messelemente (6) mit im Messkopf angeordneten elektrischen Schaltelementen (11) verbunden sind, die zur Umformung der Messignale in Antastimpulse und in Kennimpulse dienen.
6. Messkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
dass die Messelemente (46) in unmittelbarer Nähe der Tastkugel (45) des Taststiftes (44) angeordnet sind.
7. Messkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
dass sowohl am (1) als auch am beweglichen (3) Tasterteil jeweils mindestens drei gleichmässig über den Umfang verteilte und in einer Ebene angeordnete Kugeln (5a, 5b, 5c, 7a, 7c) befestigt sind, dass als Gelenkglied ein mit mindestens drei Gegenlagern (8a, 8b, 8c) versehener Zwischenring (8) so angeordnet ist, dass die Kugeln des festen und des beweglichen Mess-kopfteils in seine Lager eingreifen und dass Federelemente (9) vorgesehen sind, welche die beiden Messkopfteile (1,3) und den Zwischenring (8) in ihrer Position halten.
8. Messkopf nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet,
dass der Zwischenring (28) für den festen und den beweglichen Messkopfteil jeweils mindestens ein als Negativ-Form einer Pyramidenspitze ausgebildetes Lager (25), ein V-Lager (21) und eine ebene Lagerplatte (23) enthält.
9. Messkopf nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet,
dass die Lager des Zwischenringes (38) als Hohlkugeln ausgebildet sind.
10. Messkopf nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen Kugel (35) und Hohlkugel (39) jeweils ein Luftpolster vorhanden ist.
11. Messkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen seinem festen und seinem beweglichen Teil als Gelenkglied eine Schraubenfeder vorgesehen ist.
12. Messkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen seinem festen (52) und seinem beweglichen (55) Teil als Gelenkglied ein ölgefüllter Federbalg (56) vorgesehen ist.
13. Messkopf nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet,
dass der Kennimpuls auch von den Messelementen (6) erzeugt oder abgeleitet ist.
14. Messkopf nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass im Gelenkglied (56) Schaltelemente (57) zu Erzeugung des
15. Messkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass am Gelenkglied (68) ein Spiegel (65) befestigt ist, der zur Umlenkung der von einer gehäusefesten Quelle (66) ausgehenden Strahlung auf einen gehäusefesten Empfänger (67) dient.
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16. Messkopf nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass der Spiegel als Hohlspiegel (65) und der Empfänger (67) als Vier-Quadranten-Empfänger ausgebildet ist.
CH138378A 1977-03-19 1978-02-08 CH625045A5 (de)

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DE (1) DE2712181C3 (de)
FR (1) FR2384230A1 (de)
GB (1) GB1586052A (de)
IT (1) IT1102107B (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3640160A1 (de) * 1986-11-25 1988-06-01 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Mehrkoordinaten-tastkopf

Families Citing this family (105)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1568053A (en) * 1975-10-04 1980-05-21 Rolls Royce Contactsensing probe
GB1589297A (en) * 1976-12-24 1981-05-13 Rolls Royce Probe for use in measuring apparatus
IT1088539B (it) * 1976-12-24 1985-06-10 Rolls Royce Sonda per l'uso in apparecchi di misura
IT1107310B (it) * 1978-03-23 1985-11-25 Dea Spa Gruppo di attacco per un montaggio di precisione e di sicurezza di un utensile su una macchina particolarmente una macchina di misura
JPS5711504Y2 (de) * 1978-05-29 1982-03-06
FR2458791A1 (fr) * 1979-06-13 1981-01-02 Seiv Automation Dispositif de mesure a commande numerique
DE2937431A1 (de) * 1979-09-15 1981-04-02 Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar Einrichtung zur messwerterfassung an prueflingen
SU1095065A2 (ru) * 1979-11-05 1984-05-30 Вильнюсский Филиал Экспериментального Научно-Исследовательского Института Металлорежущих Станков Измерительна головка
DE2947394A1 (de) * 1979-11-24 1981-05-27 Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar Einrichtung zur messwerterfassung an prueflingen
JPS5733301A (en) * 1980-08-08 1982-02-23 Mitsutoyo Mfg Co Ltd Copying probe for coordinate measuring machine
DD152853A1 (de) * 1980-09-01 1981-12-09 Horst Donat Wechseleinrichtung fuer messeinsatztraeger bei tastkoepfen
JPS57170006U (de) * 1981-04-21 1982-10-26
JPS5844302A (ja) * 1981-06-30 1983-03-15 レニショウ パブリック リミテッド カンパニー 測定プロ−ブ
DE3135495C2 (de) * 1981-09-08 1983-11-10 Mauser-Werke Oberndorf Gmbh, 7238 Oberndorf Meßkopf für Meßeinrichtungen, Mehrkoordinatenmeßgeräte und Bearbeitungsmaschinen
JPS58140404U (ja) * 1982-03-16 1983-09-21 株式会社ミツトヨ タッチ信号プロ−ブ
DE3215878A1 (de) * 1982-04-29 1983-11-03 Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim Tastkopf fuer koordinatenmessgeraete
US4451987A (en) * 1982-06-14 1984-06-05 The Valeron Corporation Touch probe
DE3370989D1 (en) * 1982-08-12 1987-05-21 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Tracer head with overload protection
DE3229992C2 (de) * 1982-08-12 1986-02-06 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Mehrkoordinaten-Tastkopf
DE3231158C2 (de) * 1982-08-21 1985-11-14 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Mehrkoordinaten-Tastkopf
DE3231160C2 (de) * 1982-08-21 1985-11-07 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Mehrkoordinaten-Tastkopf
DE3234471C1 (de) * 1982-09-17 1983-08-25 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Mehrkoordinaten-Tastkopf
DE3234851C2 (de) * 1982-09-21 1985-11-14 Mauser-Werke Oberndorf Gmbh, 7238 Oberndorf Dynamischer Tastkopf
DE3348472C2 (de) 1983-06-03 1994-09-29 Zeiss Carl Fa Taststiftwechselhalter
GB2145523A (en) * 1983-08-26 1985-03-27 Gte Valeron Corp Coatings for contacts of a touch probe
GB8407847D0 (en) * 1984-03-27 1984-05-02 Emi Ltd Sensing apparatus
DE3427413C1 (de) * 1984-07-25 1986-01-02 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Tasteinrichtung
JPS6127649U (ja) * 1984-07-26 1986-02-19 宣行 杉村 Nc旋盤のねじ用タツチセンサ
GB8431746D0 (en) * 1984-12-17 1985-01-30 Renishaw Plc Contact-sensing probe
JPS61108904U (de) * 1984-12-20 1986-07-10
GB8501178D0 (en) * 1985-01-17 1985-02-20 Emi Ltd Control system for robotic gripper/sensing device
DE3506892A1 (de) * 1985-02-27 1986-09-04 Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim Tastkopf fuer koordinatenmessmaschinen
JPS61180475U (de) * 1985-04-30 1986-11-11
JPS6254705U (de) * 1985-09-26 1987-04-04
EP0242710B1 (de) * 1986-04-17 1990-07-25 Renishaw plc Probe für Kontakt-Sensor
GB8610087D0 (en) * 1986-04-24 1986-05-29 Renishaw Plc Probe
DE3623614A1 (de) * 1986-07-12 1988-01-14 Zeiss Carl Fa Koordinatenmessgeraet mit einem tastkopf vom schaltenden typ
EP0279828B2 (de) * 1986-09-03 1993-11-24 Renishaw plc Signalverarbeitung für berührungstastkopf
DE3634689A1 (de) * 1986-10-11 1988-04-14 Zeiss Carl Fa Anordnung fuer den gleichzeitigen anschluss mehrerer tastkoepfe vom schaltenden typ an den messarm eines koordinatenmessgeraetes
JPS6363984U (de) * 1986-10-15 1988-04-27
JPS63108178U (de) * 1986-12-29 1988-07-12
DE8700885U1 (de) * 1987-01-20 1987-03-05 Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim Tastkopf für Koordinatenmeßgeräte
US4763417A (en) * 1987-03-02 1988-08-16 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Multi-coordinate probe
DE3717459A1 (de) * 1987-05-23 1988-12-01 Zeiss Carl Fa Handgefuehrtes koordinatenmessgeraet
DE3725205A1 (de) * 1987-07-30 1989-02-09 Zeiss Carl Fa Tastkopf fuer koordinatenmessgeraete
DE3728578A1 (de) * 1987-08-27 1989-03-09 Zeiss Carl Fa Tastsystem fuer koordinatenmessgeraete
GB8728500D0 (en) * 1987-12-05 1988-01-13 Renishaw Plc Position sensing probe
DE3831975A1 (de) * 1988-04-12 1989-10-26 Wegu Messtechnik Piezogesteuerter dynamischer tastkopf
GB8815984D0 (en) * 1988-07-05 1988-08-10 Univ Brunel Probes
DE3824548A1 (de) * 1988-07-20 1990-01-25 Zeiss Carl Fa Verfahren und einrichtung fuer den betrieb eines tastkopfes vom schaltenden typ
FR2644883B1 (fr) * 1989-03-23 1992-11-20 Commissariat Energie Atomique Capteur de contact multidirectionnel pour machines de controle
EP0415579A1 (de) * 1989-08-30 1991-03-06 Renishaw plc Berührender Taster
US5209131A (en) * 1989-11-03 1993-05-11 Rank Taylor Hobson Metrology
GB9000894D0 (en) * 1990-01-16 1990-03-14 Nat Res Dev Probes
US5339535A (en) * 1990-02-23 1994-08-23 Renishaw Metrology Limited Touch probe
US5491904A (en) * 1990-02-23 1996-02-20 Mcmurtry; David R. Touch probe
US5505005A (en) * 1990-02-23 1996-04-09 Renishaw Plc Touch probe
GB9004117D0 (en) * 1990-02-23 1990-04-18 Renishaw Plc Touch probe
US5345690A (en) * 1990-02-23 1994-09-13 Renishaw Metrology Limited Contact probes
US5253428A (en) * 1990-02-23 1993-10-19 Renishaw Plc Touch probe
JPH03110779U (de) * 1990-02-26 1991-11-13
DE4039336C5 (de) * 1990-12-10 2004-07-01 Carl Zeiss Verfahren zur schnellen Werkstück-Temperaturmessung auf Koordinatenmeßgeräten
FR2673468A1 (fr) * 1991-02-28 1992-09-04 Renishaw Plc Circuit de conditionnement de signaux pour sonde a declenchement.
DE69205738T2 (de) * 1991-07-03 1996-04-11 Renishaw Metrology Ltd Signalverarbeitungsschaltung für Triggersonde.
DE4123081C2 (de) * 1991-07-12 2001-05-17 Zeiss Carl Tastkopf vom schaltenden Typ
US5322007A (en) * 1991-08-15 1994-06-21 Heat And Control, Inc. Compact, high-capacity oven
DE69217548T2 (de) * 1991-11-09 1997-06-05 Renishaw Metrology Ltd Messfühler
DE4204602A1 (de) * 1992-02-15 1993-08-19 Zeiss Carl Fa Verfahren zur koordinatenmessung an werkstuecken
DE4209829A1 (de) * 1992-03-26 1993-09-30 Max Hobe Präzisions-Kupplung zum Einsatz in einem Tastkopf einer Meßeinrichtung
EP0605140B2 (de) * 1992-12-24 2002-10-09 Renishaw plc Tastsonde und Signalverarbeitungsschaltung dafür
DE4300026A1 (de) * 1993-01-02 1994-07-07 Andreas Lotze Tastkopf für Koordinatenmeßgeräte
GB9305687D0 (en) * 1993-03-19 1993-05-05 Renishaw Metrology Ltd A signal processing for trigger probe
DE4316236C1 (de) * 1993-05-14 1994-07-21 Leitz Mestechnik Gmbh Verfahren zur Ermittlung der Koordinaten des Antastpunktes auf einem Werkstück bei der dimensionellen Messung von Werkstücken mit Hilfe eines Sensors
DE4331069A1 (de) * 1993-09-13 1995-03-16 Zeiss Carl Fa Koordinatenmeßgerät mit einem Taster in Form eines Festkörperschwingers
GB9415338D0 (en) * 1994-07-29 1994-09-21 Renishaw Plc Trigger probe circuit
DE4445331C5 (de) * 1994-12-19 2006-07-27 Mycrona Gesellschaft für innovative Messtechnik mbH Automatischer Multisensormeßkopf für Koordinatenmeßgeräte
DE19525592A1 (de) * 1995-07-13 1997-01-16 Zeiss Carl Fa Verfahren zur Koordinatenmessung an Werkstücken
DE69617148T3 (de) * 1995-09-25 2005-11-10 Mitutoyo Corp., Kawasaki Fühlerprobe
DE19547977A1 (de) 1995-12-21 1997-06-26 Zeiss Carl Fa Tastsystem für Koordinatenmeßgeräte
DE19630823C1 (de) * 1996-07-31 1997-12-11 Zeiss Carl Fa Koordinatenmeßgerät mit Kollisionsschutz
CN1155803C (zh) 1997-02-17 2004-06-30 株式会社三丰 无方向性接触信号探测器
US6131301A (en) * 1997-07-18 2000-10-17 Renishaw Plc Method of and apparatus for measuring workpieces using a coordinate positioning machine
JP3126114B2 (ja) * 1997-11-12 2001-01-22 株式会社ミツトヨ 非接触表面粗さ測定装置
DE20006504U1 (de) * 2000-04-08 2000-08-17 Brown & Sharpe Gmbh Tastkopf mit auswechselbarem Taststift
JP3628938B2 (ja) * 2000-06-23 2005-03-16 株式会社ミツトヨ タッチ信号プローブ
ATE462952T1 (de) * 2001-09-05 2010-04-15 Renishaw Plc Sondenansteuerung
GB0207912D0 (en) * 2002-04-05 2002-05-15 Renishaw Plc Kinematic coupling
US20040125382A1 (en) * 2002-12-30 2004-07-01 Banks Anton G. Optically triggered probe
EP1443301B1 (de) * 2003-01-29 2010-02-10 Tesa SA Lenkbarer Taststift
EP1443300B1 (de) * 2003-01-29 2010-02-24 Tesa SA Lenkbarer Taststift
DE10336808A1 (de) * 2003-08-07 2005-03-03 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Verfahren zur Einstellung einer Schaltschwelle eines Tastschalters
US7549345B2 (en) * 2004-06-14 2009-06-23 Surface Technology Holdings, Ltd. Method and apparatus for sensing distortion
DE102005043454B3 (de) * 2005-09-13 2007-05-03 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Wechseleinrichtung
DE102007013916B4 (de) * 2007-03-20 2011-06-22 Feinmess Suhl GmbH, 98527 Konturenmessvorrichtung
CN101408418B (zh) * 2007-10-12 2011-03-30 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 接触式测量装置
EP2161536A1 (de) * 2008-09-05 2010-03-10 Leica Geosystems AG Optischer Sensor mit Kollisionsschutz für eine Messmaschine
IT1402715B1 (it) 2010-10-29 2013-09-18 Marposs Spa Sonda di tastaggio
IT1403845B1 (it) 2010-10-29 2013-11-08 Marposs Spa Sonda di tastaggio e relativo metodo di controllo
DE102014201438B4 (de) * 2014-01-27 2023-01-26 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Halterung einer Erfassungseinrichtung zur Erfassung von Eigenschaften eines Messobjekts
EP3236194B1 (de) 2016-04-18 2018-10-31 Hexagon Metrology GmbH Koordinatenmessgerät mit einem messenden tastkopf sowie verfahren zur messung eines werkstückes mit einem koordinatenmessgerät
GB201700879D0 (en) 2017-01-18 2017-03-01 Renishaw Plc Machine tool apparatus
IT201900006536A1 (it) 2019-05-06 2020-11-06 Marposs Spa Sonda per il controllo della posizione o di dimensioni lineari di una parte meccanica
DE102020113401A1 (de) * 2020-05-18 2021-11-18 Haimer Gmbh Kupplungselement zur Aufnahme einer Tastspitze in einem Tastmessgerät, Schraubeinsatz zur Aufnahme einer Tastspitze in einem Tastmessgerät, Kupplungsanordnung für einen Tasteinsatz bei einem Tastmessgerät, Tastmessgerät(-e)
US20220412721A1 (en) * 2021-06-25 2022-12-29 Keyence Corporation Probe for three-dimensional coordinate measuring device, three-dimensional coordinate measuring device, three-dimensional coordinate measuring system, and three-dimensional coordinate measuring method
US20240175668A1 (en) * 2022-11-29 2024-05-30 Mitutoyo Corporation Motion mechanism for measuring probe

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR1049118A (fr) * 1952-01-15 1953-12-28 Centre Nat Rech Scient Comparateur électromécanique de précision permettant la mesure à distance
FR1133642A (fr) * 1955-10-12 1957-03-29 Machine-outil à rectifier ou à aléser
US3028675A (en) * 1958-04-03 1962-04-10 Sheffield Corp Gaging device
FR1470705A (fr) * 1966-03-04 1967-02-24 Dispositif de sondage photo-électrique pour appareils à suivre les contours
DE1638048B2 (de) * 1968-02-07 1976-11-18 Indramat Gesellschaft für Industrie-Rationalisierung und Automatisierung mbH, 8770 Lohr Elektrischer, kontaktloser kopierfuehler fuer nachformeinrichtungen an werkzeugmaschinen
FR2135461B1 (de) * 1971-05-05 1973-05-11 Combustible Nucleaire
GB1445977A (en) * 1972-09-21 1976-08-11 Rolls Royce Probes
US3883956A (en) * 1972-12-26 1975-05-20 Cecil Equipment Co Proportional control for guidance system
DE2356030C3 (de) * 1973-11-09 1978-05-11 Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar Taster zur Werkstückantastung
JPS50151170A (de) * 1974-05-27 1975-12-04
DE2551361A1 (de) * 1974-11-18 1976-06-24 Dea Digital Electronic Allseitig wirkender elektronischer tastkopf fuer messmaschinen
FR2298084A1 (fr) * 1975-01-17 1976-08-13 Erap Dispositif d'exploration palpatoires et de reconstruction de la forme d'un objet
GB1568053A (en) * 1975-10-04 1980-05-21 Rolls Royce Contactsensing probe
CH599534A5 (en) * 1975-10-23 1978-05-31 Tesa Sa Electrical feeler probe system
IT1088539B (it) * 1976-12-24 1985-06-10 Rolls Royce Sonda per l'uso in apparecchi di misura
GB1593682A (en) * 1977-01-20 1981-07-22 Rolls Royce Probe for use in mearusing apparatus

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3640160A1 (de) * 1986-11-25 1988-06-01 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Mehrkoordinaten-tastkopf

Also Published As

Publication number Publication date
JPS6048681B2 (ja) 1985-10-29
FR2384230A1 (fr) 1978-10-13
US4177568A (en) 1979-12-11
DE2712181B2 (de) 1980-04-30
IT1102107B (it) 1985-10-07
DE2712181A1 (de) 1978-09-21
IT7848491A0 (it) 1978-03-17
GB1586052A (en) 1981-03-18
FR2384230B1 (de) 1984-12-28
DE2712181C3 (de) 1981-01-22
JPS53117464A (en) 1978-10-13

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